KR100965526B1

KR100965526B1 - 매엽반송용 트레이

Info

Publication number: KR100965526B1
Application number: KR1020060008796A
Authority: KR
Inventors: 히로시 후카자와; 료수케 타하라
Original assignee: 무라타 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2005-07-25
Filing date: 2006-01-27
Publication date: 2010-06-23
Also published as: KR20070013186A; JP4407586B2; JP2007035763A

Abstract

판형상물을 1장씩 적재하여, 반송하고, 복수장 쌓아 올려진 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 수용하는 판형상물에 트레이로부터 먼지가 부착될 일이 없는 매엽반송용 트레이를 제공한다.

외부 프레임(2) 사이에 가로대(4)를 걸쳐서 가설함으로써 공작물 적재부(31)를 형성하는 매엽반송용 트레이(1)로서, 가로대(4)의 양단을 외부 프레임(2)에 접합함과 아울러, 그 접합 개소(3)를 공작물 적재부(31)의 외측에 설치하였다.

Description

매엽반송용 트레이{TRAY FOR CONVEYING SINGLE WAFER}

도 1(a)는 실시예의 매엽반송용 트레이의 개요를 설명하는 사시도, 도 1(b)는 도 1(a)의 A방향으로 바라본 요부 확대 평면도이다.

도 2(a)는 실시예의 외부 프레임을 구성하는 부재의 사시도, 도 2(b)는 BB 단면도이다.

도 3은 실시예의 외부 프레임을 구성하는 부재 단부의 사시도이다.

도 4는 실시예의 수지블록의 사시도이다.

도 5는 실시예의 장변부재에 고정된 수지블록의 측면도이다.

도 6은 실시예의 접합부재의 사시도이다.

도 7(a)는 실시예의 가로대의 일단부의 사시도, 도 7(b)는 측면도이다.

도 8은 실시예의 코너 가로대의 사시도이다.

도 9는 실시예의 매엽반송용 트레이를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 나타내는 도면이다.

도 10은 복수단 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이로부터 임의의 트레이를 취출하는 방법을 설명하는 도면이다.

도 11은 복수단 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이로부터 임의의 트레이를 취출하는 방법을 설명하는 도면이다.

도 12는 복수단 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이로부터 임의의 트레이를 취출하는 방법을 설명하는 도면이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 : 매엽반송용 트레이 2 : 외부 프레임

2a: 장변부재 2b: 단변부재

3 : 접합 개소 4 : 가로대

6 : 코너 가로대 8 : 수지블록

10: 접합부재 11: 외측평탄부

12: 내측평탄부 25: 부착부

26: 돌출부 28: 적재 핀

29: 위치 결정 핀 31: 판형상물(공작물 적재부)

본 발명은, 박형 표시장치의 유리기판 등의 판형상물을 1장씩 적재하여 반송하는 매엽반송용 트레이에 관한 것이다. 특히, 작은 공간에 많은 트레이를 쌓아 올려 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이에 관한 것이다.

예컨대 박형 표시장치의 제조공정 등에 있어서, 유리기판으로 대표되는 판형상물을 반송하는 기술이 필요로 되고 있다. 판형상물은 비틀림이나 휨 등의 변형이 발생하기 쉽고, 반송중에 변형이 원인으로 되어 주위에 접촉해서 표면에 상처가 나 거나, 파손될 우려가 있다. 이 때문에 반송에는, 판형상물을 변형시키지 않고 적재할 수 있는 트레이가 이용된다.

판형상물을, 1장씩 개별 트레이에 적재하여 반송함으로써, 반송중의 물품의 변형을 방지할 수 있다. 그러나 이러한 반송 형태에서는, 반송 도중에 일시보관을 행할 경우에, 보관 공간을 넓게 차지해 버린다는 문제가 있었다. 또한, 별도의 장소에 통합하여 이송하고 싶을 경우에도 수고가 든다는 문제가 있었다.

그래서, 예컨대, 특허문헌1에 기재된 바와 같은, 판형상물을 개별적으로 적재할 수 있고, 또한 일시보관이나 별도의 장소로의 이송시에는 트레이끼리를 쌓아 올릴 수 있는 매엽반송용 트레이가 고안되었다.

그러나, 이 매엽반송용 트레이는, 트레이 내에 먼지가 축적되거나, 쌓아 올릴 때에 자신으로부터 먼지가 발생해서 적재한 물품을 오염시켜 버린다는 문제가 발생했다. 또한, 쌓아 올린 경우의 전체의 중량이 무거워져, 보관이나 운반이 불편하다는 문제가 있었다.

또한, 이 매엽반송용 트레이는, 전체가 일체화되어, 각 부품을 따로따로 나눌 수 없는 것이었기 때문에, 유리기판 등의 대형화에 따라서, 트레이가 커지면, 이것을 사용하는 공장 등에 가지고 들어갈 경우에, 운반이 번거롭게 된다.

이러한 문제점을 극복하기 위해, 판형상물을 반송하기 위해서, 복수 장을 한번에 수용하는 카세트가 고안되었다. 그러나, 이러한 카세트를 이용하여 장치간의 반송을 행할 경우에는, 물품을 투입하는 각 장치의 입구에, 판형상물을 카세트로부터 취출하여 투입하기 위한 전용의 투입 로봇이 필요로 되었다.

박형 표시장치 등은, 클린룸 내에서 제조되는 일이 많고, 클린룸 내의 반송이 필요하게 된다. 클린룸 내의 각 제조장치에 유리기판을 투입하기 위해서는, 먼지의 발생이 매우 적고, 또한 무인운전이 가능한 클린룸 대응의 투입 로봇이 필요하게 된다. 이러한 투입 로봇은 매우 고가이며, 반송 시스템의 도입 비용의 증대를 초래하고 있었다.

또한, 최근, 박형 표시장치의 급격한 대형화가 진행되고 있고, 표시장치에 사용되는 대형의 유리기판의 중량은, 1장이 수십 킬로그램으로 되어 있다. 또한, 대형의 유리기판을 수용하는 카세트에는 상당한 강도가 요구되고 있기 때문에, 카세트 자체의 중량이 커져 있다. 통상, 반송에는 20장에서 40장의 유리기판을 수용하여 한번에 반송하는 상자형상의 카세트가 이용되고 있지만, 유리기판을 수용한 카세트의 총중량은, 1톤을 초과할 경우가 있다.

대형화하여 무거운 유리기판을 투입하기 위한 로봇이, 더욱 고가인 것으로 되어 있을 뿐만 아니라, 총중량이 1톤 전후인 카세트를 공정과 공정 사이에서 반송하기 위해서는 크레인이 필요하게 되어 있다. 이들 설비가 필요하기 때문에, 카세트를 사용하는 반송 시스템에서는, 반송하는 물품의 대형화에 따라 현저하게 시스템의 도입 비용이 증대되어, 문제가 되고 있다.

또한, 1톤 전후의 카세트를 인력으로 반송하는 것이 매우 곤란하기 때문에, 투입 로봇이나 크레인이 조정이나 수리를 위해 정지했을 때, 유리기판의 반송이 중단되어 버릴 가능성이 생겼다. 이 때문에, 종래의 반송 시스템에 있어서는, 투입 로봇이나 크레인의 정지에 의해 박형 표시장치의 제조공정이 정지되어 버려, 제조공정 전체의 가동률 저하를 초래할 우려가 있다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2004-168484호 공보(도 1의 판형상 용기(2))

본원 발명은, 상기 종래기술의 문제점에 감안하여 이루어진 것이고, 판형상물을 1장씩 적재하여, 반송하고, 복수장 쌓아 올려진 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 수용하는 판형상물에 트레이로부터 먼지가 부착될 일이 없는 매엽반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

또한, 본원 발명은, 트레이의 사용 현장에 가지고 들어갈 때까지의 공간을 절약할 수 있는 매엽반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

삭제

청구항2에 기재된 매엽반송용 트레이는, 청구항1에 종속되고, 외부 프레임을 상하에 평탄부를 구비한 구조로 하고, 가로대를 평탄부로부터 상방으로 돌출하는 돌출부를 갖는 구성으로 하고, 이 돌출부의 상방을 공작물 적재부로 하고, 상기 외부 프레임의 하방의 평탄부와 상기 가로대의 평탄부를 겹쳐서, 상기 외부 프레임과 상기 가로대를 접합하도록 한 것을 특징으로 한다.

청구항3에 기재된 매엽반송용 트레이는, 청구항2에 종속되고, 4개의 부재의 상방의 평탄부를 코너 부분에서 접합함으로써 외부 프레임을 형성하고, 이렇게 해서 접합된 외부 프레임의 코너 부분의 인접하는 부재의 하방의 평탄부를 경사지게 걸쳐져 가설되는 코너 가로대로 접합한 것을 특징으로 한다.

이하에 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 열기한다.

(형태1) 매엽반송용 트레이는, 4개의 판형상부재를 대략 직사각형으로 접합함으로써 구성된 외부 프레임의 사이에, 복수의 가로대를 걸쳐서 가설함으로써 공작물 적재부가 형성되어 있다.

(형태2) 4개의 판형상부재의 상호 접합 개소, 가로대와 외부 프레임의 접합 개소는, 공작물 적재부에서 떨어진 위치가 되도록 구성되어 있다.

(형태3) 대략 직사각형의 외부 프레임은, 외측평탄부와 외측평탄부보다 낮은 위치에 설치된 내측평탄부를 구비하고 있고, 외측평탄부와 내측평탄부 사이에 경사부가 설치되어 있다. 경사부의 길이는, 외부 프레임의 평면을 유지하기 위해 요구되는 강도를 유지할 수 있는 길이로 설정된다. 요구되는 강도가 클 때 경사부는 길어지고, 요구되는 강도가 작을 때 경사부는 짧아진다.

(형태4) 상하에 쌓아 올려지는 트레이간의 접촉부를 구성하기 위해서, 복수개의 수지블록이, 외측평탄부의 4변 전체에 부착되어 있다. 수지블록의 높이는, 1장의 판형상물을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이(H1)(도 9 참조.)와 같게 되어 있다.

(형태5) 수지블록에는, 내마모성이 높고, 기계적인 강도에 우수하기 때문에 먼지가 발생하기 어려운 수지인 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)이 사용된다.

(형태6) 복수장의 매엽반송용 트레이를 상하방향으로 쌓아 올릴 경우에는, 경사부로 둘러싸여진 부분이 상방으로부터 다른 트레이가 들어가기 위한 수용부로서 기능하기 때문에, 소정의 수용 높이를 바꾸는 일없이 쌓아 올릴 수 있게 된다.

(형태7) 수지블록의 상면은 외부 프레임의 외측평탄부의 상면보다 높은 위치에 있고, 수지블록의 하면은 외측평탄부의 하면보다 낮은 위치에 있다. 복수장의 매엽반송용 트레이를 쌓아 올린 상태에서는, 수지블록의 높이가 상하의 쌓아 올림 피치가 된다.

(형태8) 수지블록의 상면에는 볼록부가 형성되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부가 형성되어 있다. 하면의 오목부는 상면의 볼록부에 대응한 형상을 갖고 있다. 상하방향으로 겹쳐진 매엽반송용 트레이의 수지블록의 볼록부와 오목부를 끼워맞춤으로써, 매엽반송용 트레이의 위치 결정 고정이 이루어진다.

이하에, 본 발명의 실시형태(실시예)에 대해서, 도면을 사용하여 설명한다.

[실시예]

이하, 본 발명을 적용한 매엽반송용 트레이(이하, 트레이로 생략할 경우도 있다)의 실시예를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 도 1(a)는, 본 발명에 의한 매엽반송용 트레이의 일실시예의 구성을 나타내는 사시도, 도 1(b)는 도 1(a)의 A방향으로 바라본 요부 확대 평면도이다.

본 실시예에 있어서의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2), 외부 프레임(2)의 대향하는 변의 사이에 걸쳐진 복수의 가로대(4), 외부 프레임용 부재의 하방의 접합부 근방에서 서로 이웃하는 부재의 사이에 경사지게 걸쳐지는 코너 가로 대(6), 상방의 접합부에 이용되는 접합부재(10)를 구비하고 있다.

외부 프레임(2)은, 2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)로 구성된다. 본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 동일한 단면형상[후술하는 플랜지(14), 외측평탄부(11), 경사부(13), 내측평탄부(12)]이 되도록 가공되어 있다.

접합부재(10)는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 상방의 외측평탄부(11)를 코너 부분에서 접합하고, 코너 가로대(6)는, 이렇게 해서 접합된 외부 프레임의 코너 부분의 인접하는 부재의 하방의 내측평탄부(12)에 경사지게 걸쳐서 가설되어 쌍방의 부재(2a,2b)를 접합하고 있다.

복수의 가로대(4)는, 단변부재(2b)의 내측평탄부(12) 사이에 걸쳐서 가설되어, 그 양단부가 이 내측평탄부(12)에 접합되어 있다. 이들 부재간의 접합부분을 접합 개소(3)로서 나타내고 있다.

복수의 가로대(4)와, 코너 가로대(6)의 한가운데에는, 이 매엽반송용 트레이(1)의 수용 대상으로 되는 판형상물(31)을 적재하기 위한 적재핀(28)이 설치되어 있다. 코너 가로대(6)의 적소에는, 적재되는 판형상물(31)의 코너 부분의 위치 결정을 하는 위치 결정 핀(29)이 설치되어 있다.

이와 같은 구성에서, 본 발명의 매엽반송용 트레이(1)는, 도 1(b)에서 보다 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 가로대(4)의 양단을 외부 프레임(2)에 접합함과 아울러, 그 접합 개소(3)가 판형상물(31)을 적재하는 공작물 적재부(31)[동일한 부호로 한다.]의 외측이 되도록 구성되어 있으므로, 트레이(1)측으로서는, 가장 먼지 발생의 가능성이 높은 접합 개소(3)가 공작물 적재부(31)의 하방이며 외측에 떨어진 장소로 되어 있게 되어, 판형상물(31)로의 먼지의 영향을 피할 수 있다.

특히, 이 트레이(1)를 쌓아 올린 경우이여도, 판형상물(31)의 상방에 위의 트레이(1)의 접합 개소가 위치할 일이 없어, 접합 개소(3)로부터 발생하는 먼지에 의해 판형상물(31)이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

다음에, 이 매엽반송용 트레이(1)의 상세에 대해서, 이하 설명한다.

도 2(a)에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 사시도를 나타내고, 도 2(b)에 그 B-B 단면도를 나타낸다. 또한, 도 3에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 단부 부근의 사시도를 나타낸다.

장변부재(2a)와 단변부재(2b)는, 도 2(b)의 단면형상에서 알 수 있는 바와 같이, 외측평탄부(11)와, 외측평탄부(11)보다 낮은 위치에 형성되는 내측평탄부(12)를 구비하고 있고, 외측평탄부(11)와 내측평탄부(12) 사이에 경사부(13)가 설치되어 있다.

경사부(13)는, 외부 프레임(2)이 형성되었을 때에 상방을 향해 넓혀진 콘 형상으로 되도록 각도가 형성되어 있다. 또한, 외측평탄부(11)의 외측에는, 플랜지(14)가 설치되어 있다.

경사부(13)의 높이는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)가 직사각형의 외부 프레임(2)으로서 조합된 경우에, 외부 프레임(2)의 평면을 유지하기 위해 필요한 강도를 유지할 수 있는 높이로 설정된다. 이 때문에, 경사부(13)의 높이가, 1장의 판형상물(31)을 안전하게 수용하기 위해 필요한 수용 높이를 초과한 높이가 될 경우가 있다.

외부 프레임(2)의 형상이 대형화된 경우에는 요구되는 강도가 커지고, 외부 프레임(2)을 강화하기 위해서 경사부(13)의 높이는 더욱 높게 된다. 소형의 외부 프레임(2)에서 요구되는 강도가 작을 경우에는, 경사부(13)를 짧게 할 수 있다.

본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는, 외측평탄부(11)에, 수지블록(8)을 부착하기 위한 블록 설치구멍(15a,15b)이 1부재에 각각 2개소씩 형성되어 있다. 또한, 각각의 부재의 외측평탄부(11)의 단부에는, 부재끼리를 접합하기 위한 접합구멍(16)이 3개씩 형성되어 있다. 내측평탄부(12)에는, 가로대(4)를 접합하기 위한 가로대 설치구멍(17)이 형성되어 있다.

도 4에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에 부착되기 전의 수지블록(8)의 사시도를 나타낸다. 수지블록(8)은, 대략 직육면체의 본체부(20)의 상면에 볼록부(21)가 형성되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부(22)가 형성되어 있다. 본체부(20)의 높이는, 1장의 판형상물(31)을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이(H1)(도 9 참조.)와 같게 되도록 형성되어 있다.

본 실시예에 있어서의 수지블록(8)의 볼록부(21)는, 원추대 형상으로 형성되어 있다. 하면의 오목부(22)는, 상면의 볼록부(21)에 대응한 형상을 갖고 있다. 본체부(20)의 우측면과 좌측면에는, 트레이 매거진과의 접촉부가 되는 피지지부(23)가 신장되어 있다. 피지지부(23)에는, 장변부재(2a) 또는 단변부재(2b)에 수지블록(8)을 고정하기 위한 외부 프레임 설치구멍(24)이 관통되어 있다.

수지블록(8)은, 상하에 쌓아 올려지는 매엽반송용 트레이(1)와의 접촉부가 되기 때문에, 먼지의 발생을 억제할 수 있는 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서의 수지블록(8)은, 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 우수한 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)으로 형성되어 있다. 수지블록(8)은, 블록끼리가 접촉해도 마모되지 않고, 먼지를 발생할 일이 없기 때문에, 반송하는 판형상물(31)을 오염시키지 않는다.

수지블록(8)은, 외부 프레임(2)에, 리벳 또는 나사에 의해 고정된다. 도 5는, 장변부재(2a)의 측면도이고, 수지블록(8)이 장변부재(2a)에 리벳 또는 나사에 의해 고정된 상태를 나타내는 도면이다.

수지블록(8)은, 피지지부(23)의 상면이 장변부재(2a)의 외측평탄부의 하면에 접촉되어, 블록 설치구멍(15a)으로부터 볼록부(21)와 본체부(20)의 상부가 돌출한 상태로 고정되어 있다.

외부 프레임(2)에 고정된 수지블록(8)은, 본체부(20)의 상면이, 장변부재(2a)의 외측평탄부(11)보다 높게 되어 있다. 또한, 본체부(20)의 하면은, 외측평탄부(11)에 설치된 플랜지(14)의 하면보다 낮게 되어 있다.

외부 프레임(2)과 수지블록(8)의 이러한 배치를 채용함으로써, 상하방향으로 매엽반송용 트레이(1)를 다단으로 쌓아 올리면, 각각의 트레이의 수지블록(8)의 본체부(20)의 상면과 하면이 서로 접하게 되고, 매엽반송용 트레이(1)는, 수지블록(8)의 본체부(20)의 높이를 피치로 하여 쌓아 올려진다.

이 매엽반송용 트레이(1)는, 접촉부인 수지블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 각각 형성하고나서 고정하는 구성으로 되어 있다. 이것에 의해, 접촉부에만 먼지의 발생이 억제된 소재를 적용하는 것이 가능하게 되어, 접촉부를 용이하게 가공하고, 형성할 수 있다.

한편, 외부 프레임(2)의 다른 부분은, 다른 매엽반송용 트레이(1)나 설비 등과 거의 접촉하지 않으므로 , 먼지의 억제보다 강도를 중시한 소재를 적용하는 것이 가능하게 되어, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 넓힐 수 있다.

외부 프레임(2)의 조립에 대해서 더욱 설명한다. 장변부재(2a)와 단변부재(2b)는, 도 6에 나타내는 L자형의 접합부재(10)를 이용하여 접합되어 있다. 본 실시예에 있어서의 접합부재(10)에는, L자형의 각각의 변에 3개씩 합계 6개의 접합구멍(18)이 형성되어 있다. 접합구멍(18)끼리의 상대 위치는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합구멍(16)의 구멍끼리의 상대 위치 관계와 동일하게 되도록, 배치되어 있다.

접합부재(10)의 한 변은 장변부재(2a)의 단부에 겹쳐진다. 장변부재(2a)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18) 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 장변부재(2a)와 접합부재(10)가 리벳 접합되고, 접합 개소(3)를 형성한다.

접합부재(10)의 타변은 단변부재(2b)의 단부에 겹쳐진다. 단변부재(2b)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18)의 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 단변부재(2b)와 접합부재(10)가 블라인드 리벳 접합되고, 접합 개소(3)를 형성한다.

2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)가 4개의 접합부재(10)를 이용하여 블라인드 리벳 접합되어서, 대략 직사각형의 외부 프레임(2)이 형성된다.

블라인드 리벳 접합에 의해 형성된 외부 프레임(2)은, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합부에, 공간(19)(도 1참조)이 형성되어 있다. 공간(19)이 형성되어 있으므로, 접합부에 먼지가 쌓이는 일이 없고, 또한 외부 프레임(2)의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다. 즉 공간(19)이 형성되어 있음으로써, 외부 프레임(2)의 접합부에 먼지가 축적되지 않게 되어, 적재하는 판형상물(31)의 오염을 미연에 방지하는 효과가 얻어진다.

본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)의 대향하는 단변부재(2b)의 사이에, 복수의 가로대(4)가 걸쳐져서, 판형상물(31)의 적재부(31)가 형성되어 있다. 가로대(4)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 소정의 단면형상을 가지도록 가공되어 있다.

가로대(4)의 일단부의 확대도를 도 7(a)에, 그 두께방향의 측면도를 도 7(b)에 나타낸다. 가로대(4)는, 양측에 외부 프레임(2)으로의 평탄한 부착부(25)가 형성되어 있고, 평탄부의 사이에 상방으로 돌출하는 돌출부(26)가 형성되어 있다. 부착부(25)의 단부에는, 외부 프레임(2)에 접합하기 위한 외부 프레임 설치구멍(27)이 형성되어 있다. 돌출부(26)에는, 판형상물(31)을 지지하기 위한 복수의 적재 핀(28)이 고정되어 있다.

적재 핀(28)은 내마모성이 높은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)으로 형성되어 있고, 판형상물(31)을 반복해서 탑재하여도, 마모에 의한 먼지가 발생하지 않고, 판형상물(31)을 오염시키지 않는다.

가로대(4)의 외부 프레임 설치구멍(27)과, 외부 프레임(2)의 가로대 설치구 멍(17)을 관통하도록 리벳이 박아져, 외부 프레임(2)과 가로대(4)가 리벳 접합되고, 접합 개소(3)를 형성한다. 이와 같이 가로대(4)의 평탄한 부착부(25)와, 외부 프레임(2)의 내측평탄부(12) 사이에서 접합되므로, 접합을 쉽게 할 수 있다.

또한, 가로대(4)가 돌출부(26)를 구비하고 있기 때문에, 가로대(4)는 외부 프레임(2)에 대해서 양단에 개구부를 가진 상태로 접합되어 있다. 이 때문에 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합부에 먼지가 축적되기 어렵고, 또한 매엽반송용 트레이(1)를 세정할 때에 가로대(4)의 부분의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 가로대(4)는, 도 7(b)에서 더욱 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 돌출부(26)가 형성되어 있기 때문에, 평판의 부재를 이용한 경우보다 빔 강도가 향상되어 있다. 이 때문에, 가로대(4)에는 보다 판두께가 얇은 소재를 이용할 수 있게 되어 있어, 가로대(4)의 경량화가 도모되고 있다.

이 돌출부(26)의 형상은, 가로대(4)를 양쪽 지지 빔이라고 생각한 경우에, 그 휨을 가장 작게 할 수 있도록 고려하면 되고, 보다 구체적으로는, 휨=다른 조건에서 결정되는 수치/단면 2차 모멘트I의 식으로부터 알 수 있듯이, 가로대(4)의 횡단면의 단면 2차 모멘트I 가 가능한 한 커지도록, 설계하면 된다.

단, 설계상의 다른 조건, 예컨대, 수용 높이(H1)를 가능한 한 작게 하고, 부착부(25), 돌출부(26)의 상방의 일정한 평탄부분을 확보한다라는 조건도 아울러서 고려할 필요가 있다.

코너 가로대(6)는, 매엽반송용 트레이(1)에 탑재되는 판형상물(31)의 위치 결정과, 외부 프레임(2)의 코너부의 보강을 위해서, 외부 프레임(2)의 코너부 근방 의 장변부재(2a)와 단변부재(2b) 사이에, 경사지게 걸쳐져 있다.

코너 가로대(6)의 사시도를 도 9에 나타낸다. 코너 가로대(6)는, 가로대(4)와 마찬가지로 돌출부(26)가 형성되어 있고, 돌출부 상에, 판형상물(31)을 지지하기 위한 적재 핀(28)과, 판형상물(31)의 코너부를 접촉시켜 적재 위치의 위치 결정을 행하기 위한 2개의 위치 결정 핀(29)이 고정되어 있다.

또한, 이 코너 가로대(6)와 외부 프레임(2)의 접합에 있어서도, 블라인드 리벳에 의한 리벳 접합이 이용되고, 접합 개소(3)가 형성되어 있다.

코너 가로대(6)의 위치 결정 핀(29)은, 판형상물(31)의 코너 위치를 정하기 위해 설치되어 있고, 실제의 판형상물(31)의 치수에 대해서 편측에서 2밀리미터~3밀리미터의 간극을 확보할 수 있게 배치되어 있다. 위치 결정 핀(29)은, 내마모성이 높은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌으로 형성되어 있고, 판형상물(31)이 위치 결정을 위해 반복 접촉하더라도, 마모에 의한 먼지가 발생하지 않고, 판형상물(31)이 오염되지 않는다.

이와 같이 하여, 상술한 바와 같이, 본 발명의 매엽반송용 트레이(1)에 있어서는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합부재(10)에 의한 접합, 가로대(4)와 외부 프레임(2)의 접합, 코너 가로대(6)와 외부 프레임(2)의 접합, 수지블록(8)의 외부 프레임으로의 설치 중 어느 경우나, 이 트레이(1)를 이용하는 현장에서 시행할 수 있는 블라인드 리벳이나, 나사 체결 수단을 이용하여 접합되어 있으므로, 이 현장에 가지고 들어갈 때에는, 각각의 부품인 장변부재(2a), 단변부재(2b), 가로대(4), 코너 가로대(6), 접합부재(10)는 따로따로의 직선상의 부재로서, 각각 통합하여, 가지고 들어갈 수 있고, 운반 조립까지의 보관 공간을 대폭적으로 절약할 수 있다.

특히 블라인드 리벳 등의 소성변형에 의한 축형상 체결수단을 이용하는 경우에는, 각각의 부착구멍의 위치 등이 정확하게 형성되어 있으면, 단지 현장에서 리벳 접합하는 것만으로, 접합후의 트레이 형상도 정밀도가 좋은 것을 얻을 수 있다.

또한, 가로대(4)의 돌출부(26)의 형상을, 도 7(b)에 나타내는 바와 같은 직립하는 모자형상은 아니고, 상호 쌓아 올릴 수 있도록 조금 측벽을 경사지게 하면, 가로대(4) 자체도 조립전에는 상하에 공간 절약적으로 쌓아 올릴 수 있어, 보다 공간을 절약할 수 있다. 이 점은, 도 2(b)의 단면도에 나타낸 외부 프레임(2)을 구성하는 장변부재(2a), 단변부재(2b)에 대해서도 마찬가지이다.

도 9에, 매엽반송용 트레이(1)를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 모식적으로 나타낸다.

이 도 8에 의하면, 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에, 위로부터 적재된 별도의 트레이(1)의 경사부(13)가 들어감으로써, 경사부(13) 쌓아 올림시에 작은 공간으로 많은 트레이를 보관할 수 있게 되어 있다.

본 실시예의 복수의 매엽반송용 트레이(1)를 쌓아 올렸을 때의 전체의 높이에 대해서, 쌓아 올림의 피치와, 상측에 적재되는 트레이(1)가 아래의 트레이에 들어가는 높이, 즉 수용부(13b)의 높이와의 관계를 명확하게 하면서 설명한다.

본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)에 고정된 수지블록(8)의 본체부(20)의 상면과 하면만이 서로 접한 상태로 쌓아 올려진다. 수지블록(8)의 높이가, 1장의 판형상물(31)을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이(H1)로 되어 있고, 매엽반송용 트레이(1)의 외부 프레임(2)의 다른 부분 및 가로대(4)는, 쌓아 올려졌을 때에 상하의 트레이(1)와는 접촉하지 않는다.

이 때문에, 매엽반송용 트레이(1)는, 수지블록(8)에 의해 규정되는 높이, 즉 수용 높이(H1)를 피치로 하여 쌓아 올려진다.

매엽반송용 트레이(1)가 수지블록(8)에 의해 규정되는 수용 높이(H1)의 피치로 쌓아 올려질 때, 하측의 트레이(1)의 외부 프레임(2)에, 위로부터 적재된 별도의 트레이(1)의 외부 프레임(2)이 들어간다.

들어간 상측의 트레이(1)의 내측평탄부(12)의 하면으로부터, 하측의 매엽반송용 트레이(1)의 내측평탄부(12)의 하면까지의 거리를 13a로 하면, 여기서 나타내어지는 높이(13a)가, 수지블록(8)의 높이(H1)와 같은 것은 분명하다. 그리고, 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에, 위로부터 적재된 별도의 트레이(1)의 경사부(13)가 들어가는 높이, 즉 수용부(13b)의 높이는, 경사부(13)의 높이(H)에서 수용 높이(H1)를 감한 높이(H2)로 된다.

쌓아 올리는 매엽반송용 트레이(1)의 장수가 1장 증가할 때마다 필요하게 되는 높이의 증가분은, 경사부(13)의 높이(H)에 관계없이, 쌓아 올림의 피치인 수용 높이(H1)이다. 예컨대, 경사부의 높이(H), 수용 높이(H1), 수용부의 높이(H2)의 매엽반송용 트레이(1)를 n장 쌓아 올린 경우의, 전체의 높이는, 이하에 나타내는 식1로 나타내어진다.

H1×n + H2 …(식1) n장의 매엽반송용 트레이(1)를 쌓아 올린 경우에, 전체의 높이에 가장 영향을 미치는 높이는, 장수에 비례하는 경우의 쌓아 올림의 피치, 즉 수용 높이(H1)인 것은 상기 식으로부터 분명하다. 가령, 외부 프레임(2)의 강도를 높게 하기 위해서 경사부의 높이(H)를 높게 한 매엽반송용 트레이(1)를 쌓아 올렸더라도, 전체의 높이에 대한 경사부(13)의 높이의 변경의 영향은, 1장분의 수용부(13b)의 높이(H2)만큼이며, 전체의 높이에 대한 영향은 조금이다.

이와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에, 위로부터 적재된 별도의 트레이(1)의 경사부(13)가 들어가는 수용부(13b)가 설치됨으로써, 가령 경사부(13)의 높이를 변경한 경우이더라도, 평소보다 일정한 수용 높이(H1)로 쌓아 올릴 수 있게 되어 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)가 상하방향으로 쌓아 올려져 있을 때, 상하의 매엽반송용 트레이(1)의 사이에서는, 수지블록(8)만큼이 접촉되어 있고, 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 전혀 접촉하지 않는다.

수지블록(8)은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌수지로 형성되어 있으므로 접촉에 의해서도 먼지가 발생하지 않는다. 또한 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 접촉하지 않기 때문에 먼지를 발생시키지 않는다. 이와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 쌓아 올려도 먼지가 발생하지 않고, 판형상물(31)을 오염시키지 않는다.

또한, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)의 하중을, 수지블록(8)이 지지하는 구성으로 되어 있어, 외부 프레임(2)에 는, 상측의 매엽반송용 트레이(1)의 하중이 가해지는 일이 없다.

이 때문에, 외부 프레임(2)은, 자기의 중량과, 적재한 판형상물(31)의 중량을 지지할 수 있는 강도가 구비되어 있으면 되고, 외부 프레임(2)에 의해 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)를 지지하는 구성을 채용한 경우와 비교하면, 요구되는 강도는 작다. 이 때문에, 외부 프레임(2)에 요구되는 강도를 용이하게 얻을 수 있고, 경량화를 도모할 수 있다.

도 10, 도 11, 도 12는, 본 발명의 매엽반송용 트레이(1)를 상하로 쌓아 올린 경우에, 그 임의의 단의 트레이(1)를 취출하는 방법을 설명하는 것이다.

우선, 도 10, 11로부터 알 수 있는 바와 같이, 쌓아 올려진 트레이(1)의 임의의 단으로부터 위의 것을 아래의 단으로부터 분리시키는 경우에는, 트레이의 양측으로부터 수평방향으로 진퇴하는 분리 암(35)을, 원하는 단의 1개 위의 트레이(1)의 수지블록(8)의 지지부(23) 하면에 들어가게 한다.

이 때의, 분리 암(35)에 대한 쌓아 올려진 트레이(1)의 상하 위치조정은, 이 트레이(1)의 최하단 부분을 수용하는 승강대(32)(도 12 참조.)를 승강시키는 것에 의해 이루어진다.

그 후, 이 승강대(32)를 내리면, 상대적으로 이 분리 암(35)에 수용된 트레이(1)로부터 상방의 복수의 트레이(1)는, 하방의 트레이(1)로부터 분리되게 된다.

여기서, 도 12에 나타내는 바와 같이, 별개로 설치된 반송롤러(33)를 수평방향으로 트레이(1)측에 대고, 하방의 트레이(1) 중, 최상단의 목적으로 하는 단의 트레이(1)의 플랜지(14)의 하면에 접촉하여 받도록 하고, 이어서, 승강대(32)를 내리면, 이 목적의 단의 트레이(1)만이 반송롤러(33)에 타고, 다른 하방의 복수의 트레이(1)는 하방으로 분리된다.

그리고, 반송 롤러(33)를 회전 구동시키면, 목적으로 하는 트레이(1)만을 취출할 수 있다.

이상, 실시예에 있어서 본 발명의 구체예를 상세히 설명했지만, 이들은 예시에 지나지 않고, 특허청구의 범위를 한정하는 것은 아니다. 특허청구의 범위에 기재된 기술에는, 이상에서 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다.

예컨대, 실시예에 있어서의 외부 프레임(2)의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합방법이나 접합 개소, 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합방법이나 접합 개소는, 탑재하는 판형상물(31)의 크기나 중량에 맞추어서, 적절히 변경할 수 있다.

또한, 외부 프레임(2)의 형상이나, 수지블록(8)의 형상이나 배치를, 작용 효과를 손상시키지 않는 범위에 있어서, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명의 매엽반송용 트레이는, 박형 표시장치의 유리기판 등의 판형상물을 수용, 반송하는 트레이로서, 트레이로부터 판형상물로의 오염의 방지, 현장에서의 조립이 가능하고, 조립해서 사용할 때까지의 부재의 운반, 보관의 공간의 절약이 요청되는 모든 산업분야에 이용할 수 있다.

삭제

청구항2에 기재된 매엽반송용 트레이에 의하면, 청구항1의 효과에 추가로, 이와 같이 가로대의 평탄한 부착부와, 외부 프레임의 내측평탄부 사이에서 접합되므로, 접합을 쉽게 할 수 있다.

청구항3에 기재된 매엽반송용 트레이에 의하면, 청구항2의 효과에 추가로, 각각의 부품은 따로따로의 직선상의 부재로 되고, 각각 통합해서, 가지고 들어갈 수 있고, 운반·조립까지의 보관 공간을 대폭적으로 절약할 수 있다.

Claims

삭제
외부 프레임 사이에 가로대를 걸쳐서 가설함으로써 공작물 적재부를 형성하는 매엽반송용 트레이로서, 상기 가로대의 양단을 접합함과 아울러 그 접합 개소를 공작물 적재부의 외측에 설치하고, 상기 외부 프레임은 상하에 평탄부를 구비한 구조로 하고, 가로대는 평탄부로부터 상방으로 돌출하는 돌출부를 갖는 구성으로 하고, 이 돌출부의 상방을 공작물 적재부로 하고, 상기 외부 프레임의 하방의 평탄부와 상기 가로대의 평탄부를 겹쳐서, 상기 외부 프레임과 상기 가로대를 접합하도록 한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
제2항에 있어서, 4개의 부재의 상방의 평탄부를 코너 부분에서 접합함으로써 외부 프레임을 형성하고, 이렇게 해서 접합된 외부 프레임의 코너 부분의 인접하는 부재의 하방의 평탄부를 경사지게 걸쳐져 가설되는 코너 가로대로 접합한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.