KR20080099780A - 펠리클 수납 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 시트재를 성형한 것이면서 다른 보강체를 사용하지 않더라고 보관, 수송 중의 외력에 견디고, 내부에 수납된 펠리클로의 이물 부착을 방지하는 충분한 강성을 갖는 경량 또한 저비용의 펠리클 수납 용기를 제공하는 것을 과제로 한다.

이를 위해 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 그 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 장변과 이루는 각도가 30°이상 60°미만이며, 또한, 길이 50㎜ 이상의 직선 형상 또는 반경 40㎜ 이상의 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 또한, 용기 본체의 서로 평행한 2변이 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다.

펠리클 수납 용기

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클을 수납, 보관, 수송하는 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만 이 때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 짧게 포토마스크라고 함)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 구부려 버리기 때문에 전사된 패턴이 변형되거나 에지가 덜렁거리는 것으로 되는 이외에 하지가 검게 더러워지거나 하는 등, 치수, 품질, 외관 등이 손상된다는 문제가 있었다.

이 때문에 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계하게 된다.

일반적으로 펠리클은 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 내지 접착한다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리초산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.

그러나, 펠리클은 마스크에 부착한 후에는 이들이 형성하는 폐쇄 공간의 외부로부터 내부로의 이물 침입 저지 효과는 있지만 펠리클 자체에 이물이 부착되고, 또한 그것이 폐쇄 공간의 내부에 있는 경우에는 포토마스크로의 이물 부착을 방지하는 것은 곤란하다. 그 때문에 펠리클 자체에 높은 청정성이 요구되는 것은 물론, 보관, 수송에 사용하는 펠리클 수납 용기에도 그 청정성을 유지할 수 있는 성능이 강하게 요구된다. 구체적으로는 대전 방지 성능이 우수하여 마찰되었을 때에도 발진이 적은 재질, 펠리클 및 구성 부품간의 접촉을 최대한 방지하는 구조, 외력이 가해졌을 때의 변형을 방지할 수 있는 강성이 높은 구조라는 점이 요구된다.

펠리클 수납 용기는 통상, ABS, 아크릴 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형함으로써 제조된다. 이들 성형 방법이 이용되는 것은 표면이 평활하여 이물의 부착이나 발진의 우려가 적은 것, 일체 성형이기 때문에 이음매가 없어 발진이나 이물 침입의 우려가 적은 것, 복잡한 형상인 것도 용이하게 제조할 수 있는 것, 양산성이 우수하여 저비용화가 가능한 것이라는 메리트가 있기 때문이다.

반도체용이나 프린트 기판용의 펠리클의 수납 용기는 외형의 변 길이가 대체 로 200~300㎜ 전후이며, 이들은 통상, 사출 성형을 이용해서 제조된다. 상기한 바와 같이, 펠리클 수납 용기의 청정성을 유지하기 위해서 외력이 가해졌을 때에도 변형되기 어려운 고강성이 요구되지만 이들 변 길이가 200~300㎜인 펠리클 수납 용기에 있어서는 강성이 문제가 되는 일은 적다. 원래, 소형이며 강성을 확보하기 쉬운 것에 추가해서 사출 성형에서는 두께를 국소적으로 바꾸는 것이 용이하며, 요소에 두께가 있는 보강을 추가할 수 있기 때문이다.

한편, 주로 액정용 펠리클에 사용되는 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기는 일반적으로 ABS, 아크릴 등의 합성 수지 시트를 진공 성형한 것이 사용된다. 이것은 1개소 또는 수개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출 성형에서는 수지가 흐르는 거리가 너무 길기 때문에 제법적으로 곤란하기 때문이다.

진공 성형은 금형으로 가열한 수지 시트를 씌워서 진공 처리하는 것만으로 대형품도 용이하게 성형이 가능하다. 그러나, 진공 성형의 경우, 두께가 두꺼운 것을 성형할 수 없는 것, 리브인 정도의 보강은 할 수 있지만 기본적으로 동일한 판두께의 시트를 구부리는 것뿐이므로 고강성의 것을 만들기 어렵다는 문제가 있다.

이러한 리브의 예는 용기 본체에 대해서는 예를 들면, 특허문헌1 등에 예시되어 있다.

종래 이용되어 온 보강용 리브는 도 4에 나타내는 바와 같은 기본적으로 외형의 대각선(44a, 44b)을 따라 설치된 X자형의 것이 주로 채용되어 왔다. 그러나, 이 서로 교차하는 X자형의 리브에서는 그 교차부(연속부)(49)가 존재함으로써 예 기(預期)에 반해서 비틀어짐 방향의 강성이 극도로 저하되고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 어느 한쪽의 대각선을 따라 트레이가 비틀어져 대정점(對頂点)이 가까워지도록 구부러져 버린다.

진공 성형법에 의해 제작된 이러한 리브는 본래적으로 리브의 종방향의 면에 의해 강성을 확보하는 것이지만 리브가 서로 교차하거나 접속(가지 분리)된 경우에는 그 교차(접속)된 다른 리브에 의해 이 종방향의 면이 절단되어 버리기 때문에 이 종방향의 면이 갖고 있는 강성이 저하되는 것으로 생각된다. 이 때문에, 상술한 강성의 저하·비틀어짐이 발생되는 것으로 생각된다. 그 뿐만 아니라 이 리브는 상대의 리브를 절단해서 효과를 없애버릴 뿐만 아니라 그 자체가 굴곡점(선)이 되어 변형의 정도를 크게 한다.

진공 성형법에 의해 제작된 이러한 리브에 있어서 교차부의 존재에 의해 강성이 저하되는 것은 시트가 구부러져 형성되어 있기 때문이다. 그리고, 이 리브는 상대의 리브를 절단해서 효과를 없애버릴 뿐만 아니라 그 자체가 굴곡점(선)이 되어 변형의 정도를 크게 한다.

그 때문에 리브만으로는 충분한 강성을 확보할 수 없고, 예를 들면, 특허문헌2에 나타내는 바와 같이, 별도의 보강체와 체결해서 강성을 확보하는 것도 행해지고 있었다. 그러나, 별도의 보강체를 이용한 경우, 강도적으로는 충분한 것이 얻어지지만 운용상에는 여러가지 문제가 발생된다.

그 가장 큰 것은 중량의 증가이며, 충분한 강성을 확보하기 위해서는 대부분의 경우에 있어서 용기 본체보다 보강체 쪽이 무거워진다. 그리고, 중량의 증가에 의해 곤포, 운반 등의 장소에 있어서 취급이 매우 불편해진다.

또한, 보강체 자체 뿐만 아니라 보강체를 용기 본체에 체결하기 위한 부품이 필요해지고 또한, 그것을 용기 본체에 장착하는 공정도 필요해지기 때문에 용기 본체만의 경우와 비교해서 비용이 대폭 증가한다. 또한, 이 밖에 보강체와 용기 본체의 간극의 세정이 곤란하다는 청정도에 관한 문제도 있다.

그러나, 지금까지는 보강체를 사용하지 않고 용기 본체만으로 충분한 강성을 갖도록 하는 펠리클 수납 용기의 강성 향상책은 존재하고 있지 않았다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2000-173887호 공보

[특허문헌2] 일본 특허공개 2006-267179호 공보

이상의 것으로부터 본 발명의 목적은 시트재를 성형한 것이면서 다른 보강체를 사용하지 않더라도 보관, 수송 중의 외력에 견디고, 내부에 수납한 펠리클로의 이물 부착을 방지하는 충분한 강성을 갖는 경량 또한 저비용의 펠리클 수납 용기를 제공하는 것에 있다.

본 발명은 펠리클을 탑재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 그 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 장변과 이루는 각도가 30°이상 60°미만이며, 또한, 길이 50㎜ 이상의 직선 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다(청구항 1).

또한, 상기 장변과 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 반경 40㎜ 이상의 원호 형상으로 형성하는 것을 특징으로 한다(청구항 2).

또한, 용기 본체의 서로 평행한 2변은 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다(청구항 3, 4).

(발명의 효과)

본 발명에 의하면 보강체를 사용하지 않더라도 용기 본체의 강성, 특히는 비틀어짐 방향의 강성을 현저하게 높일 수 있어 경량 또한 고강성의 펠리클 수납 용기를 저비용으로 얻을 수 있다.

본 발명은 한 변이 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기에 대해서 적용한 경우에 특히 효과가 크다. 그러나, 이 크기에 한정되는 것은 아니고, 수지의 시트재를 성형한 펠리클 수납 용기이면 한 변이 200㎜라는 소형인 것이라도 적용할 수 있다. 소형인 것에서는 강성의 문제는 적지만 구조에 의해 강성을 보다 높일 수 있으면 시트 두께를 얇게 할 수 있어 대형인 것과 마찬가지로 경량화, 비용 저감이 가능해진다.

이하, 본 발명의 펠리클 수납 용기의 실시형태를 첨부 도면에 기초해서 설명한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기(본체)의 2예를 나타내는 개략 설명도, 도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 4는 종래 이용되어 온 용기 본체의 리브 구조의 일례를 나타내는 개략 설명도, 도 5는 도 4의 용기 본체의 모서리부를 들어올렸을 때의 변형의 형태를 나타낸 것이다.

종래의 용기 본체(도 4)에 있어서 비틀어짐 방향으로 외력이 가해진 경우, 예를 들면, 모서리부(47)를 상방으로 들어올리고자 하는 힘이 가해진 경우(도 5), 이 용기 본체는 대각선(44b)으로 구부러지려고 한다. 이 때, 본래는 이 비틀어짐 변형에 리브(43b)가 대항한다고 생각되어 있었지만 교차하는 리브(43a)에 의해 이 리브(43b)가 교차 위치(49)에서 절단되어 있기 때문에 충분한 저항력을 발휘할 수 없는 것을 알 수 있었다.

또한, 교차하는 리브(43a)는 대각선(44b)과 거의 일치하고 있기 때문에 이 리브(43a) 자체가 가장 굴곡되기 쉬워져 도 5에 나타내는 바와 같이, 변형의 기점이 되어 버린다. 그러나, 이 리브(43a)를 삭제해 버리면 비틀어짐 방향 이외의 강성 저하를 초래하고, 또한, 용기 본체 전체의 평면도가 악화된다는 문제가 있다.

본 발명은 이 점을 감안해서 이루어진 것이며, 본 발명자는 여러가지의 형상을 시작(試作)해서 비교 검토한 결과, 용기의 강성 향상에는 비틀어짐 변형시의 굴곡점을 없애는 것에 추가해서 특히는 외주부의 강성 향상이 중요한 것을 발견하여 본 발명을 완성시켰다.

도 3에 있어서 용기 본체(31) 상에는 펠리클(도시하지 않음)이 탑재되고, 덮개체(32)에 의해 덮여 있다. 그리고, 덮개체와 용기 본체는 점착 테이프 등(도시하지 않음)에 의해 밀봉 고정하거나 클립(33) 등의 체결구에 의해 고정된다.

용기 본체(31), 덮개체(32)는 합성 수지 시트를 이용해서 진공 성형법에 의해 제작된다. 진공 성형법에 한정되지 않고, 예를 들면, 수지판재의 접착에 의해 제작할 수도 있지만 청정도, 양산성의 면에서 진공 성형법에 의해 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 덮개체, 용기 본체의 재질은 아크릴, ABS, PVC 등의 수지로부터 적당하게 선택할 수 있지만 대전에 의한 이물 부착을 저감하기 위해서 대전 방지 재료를 사용하는 것이 바람직하다.

그리고, 덮개체는 내부를 확인하기 쉽게 하기 위해서 투명 또는 반투명인 것, 용기 본체는 부착된 이물을 확인하기 쉽도록 흑색인 것이 바람직하다.

덮개체(32)는 용기 본체(31)의 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰지도록 되어 있고, 이 간극은 외부로부터의 이물 침입을 방지하기 위해서 가능한 한 좁게 할 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 끼워 맞춤 형태는 도시의 예에 한정되지 않는다.

그리고, 용기 본체(31) 및 덮개체(32)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 장변의 외주부(13)와 단변의 외주부(14)의 접속부는 장변과 이루는 각도(a)가 30~60°이며, 또한, 길이(L)가 50㎜ 이상으로 되는 직선 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 이 직선 접속 대신에 도 2에 나타내는 바와 같이, 원호 형상으로 접속하는 것도 좋지만, 이 때는 이 반경(R)을 40㎜ 이상으로 하는 것이 필요하다.

종래의 펠리클 수납 용기에서도 이 부분을 원호 접속으로 하는 예는 존재했지만 통상, 그 반경은 5~20㎜ 정도였다.

이러한 형상으로 함으로써 비틀어질 때에 있어서의 외주 장단변 접속부로의 응력 집중이 분산되어 이 부분이 굴곡점으로 되는 것이 방지된다. 그 결과, 비틀어질 때의 변형량이 작아진다.

또한, 도 1 중의 AA 단면도에 나타내는 바와 같이, 용기 본체의 서로 평행한 2변이 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다. 단차의 높이 방향의 치수(c)나 깊이 방향의 치수(d)는 용기 본체의 크기나 외주부의 높이 치수(b)의 크기에 따라 적당히 설계하면 좋지만 대체로 c는 b의 1/2전후, d는 10~30㎜ 정도인 것이 적당하다. 이 단차는 적어도 서로 평행한 2변에 있으면 효과가 있지만 가장 바람직하게는 외주 전체 둘레에 걸쳐 연속해서 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 단차의 단수는 도 1에서는 2단의 예를 나타내고 있지만 3단 등 기타 단수라도 좋고, 주변의 치수나 끼워 맞춰지는 클립의 디자인 등에 맞춰서 결정하면 좋다.

이 단차는 외주부의 강성을 전체적으로로 높일 수 있고, 또한 비틀어질 때의 변형도 억제한다. 또한, 취급시의 손가락 걸기가 좋아져 핸들링성이 향상되는 것 외에 덮개체와의 클립 체결에 이용한 경우, 용기 본체 하면에 클립이 돌출되지 않는다는 이점이 있다.

또한, 도 1 및 도 2의 예에서는 용기 본체의 중앙면 내에는 리브를 설치하고 있지 않지만 물론, 여기에 여러가지 형의 리브를 설치해서 본 발명과 조합하는 것도 가능하며, 적절한 형상의 리브와 조합한 경우에는 강성이 더 높은 용기를 얻을 수 있다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.

[실시예1]

대전 방지 ABS(흑색){도레이(주)제 상품명: 토요락파렐}의 시트재를 이용해서 진공 성형법에 의해 도 7에 나타내는 형상의 용기 본체(71) 및 이것과 끼워 맞춰지는 덮개체(도시하지 않음)를 제작했다. 덮개체와 끼워 맞춰진 상태는 도 3과 같이 된다. 이 용기의 크기는 외형 890×690㎜, 높이 38㎜, 시트의 두께는 5㎜로 했다. 그리고, 외주 장변(73), 단변(74)의 접속부 형상은 장변과 이루는 각도(a)= 45°, 길이(L)= 70㎜로 했다. 또한, 외주에는 연속된 단차를 형성하고, 그 치수는 외주부의 높이(b)= 38㎜, 단차의 높이(c)= 20㎜, 깊이(d)= 15㎜로 했다.

그리고, 이 용기 본체에 펠리클을 고정하기 위해서 수납하는 펠리클의 위치 에 맞춰서 PPS제의 고정핀(75) 및 ABS제의 핀 홀더(76)를 볼트(도시하지 않음)에 의해 부착했다. 핀(75)은 핀 홀더(76) 안에 삽입 유지되지만 잠금 기구에 의해 탈착이 가능한 구조로 되어 있다. 핀(75)의 선단은 펠리클(77)의 측면에 형성된 지그 구멍(도시하지 않음)에 삽입 가능한 구조로 되어 있고, 펠리클 프레임과의 접촉면에는 발진 방지를 위해서 링상의 불소 고무 완충재{듀폰엘라스토머(주)제, 상품명: 바이톤}(도시하지 않음)를 부착했다. 그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(77)을 탑재하고, 핀(75)에 의해 고정했다.

그리고, 용기 본체를 수평한 정반 상에 두고, 용기 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 수㎜의 비틀어짐 변형이 확인되었지만 탑재된 펠리클은 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 특별히 변화는 보여지지 않았다. 또한, 핀(75)을 인출하여 펠리클(77)의 핀(75)이 삽입되어 있던 지그 구멍을 관찰했지만 특별히 오염은 보여지지 않았다. 그리고, 이 용기 본체의 중량은 3.2㎏이었다.

[실시예2]

상기 실시예1과 마찬가지로 해서 대전 방지 ABS(흑색)의 시트재를 이용해서 진공 성형법에 의해 도 8에 나타내는 형상의 용기 본체(81) 및 이것과 끼워 맞춰지는 덮개체(도시하지 않음)를 제작했다. 덮개체와 끼워 맞춰진 상태는 도 3과 같이 되지만 용기 본체(81) 중앙에 저면으로부터의 높이 20㎜의 리브(83, 84)가 설치되어 있는 것 외에는 실시예1과 완전히 동일한 형상이다. 여기에서, 이 리브의 형상 은 비틀어질 때에 굴곡점으로 되지 않도록 비틀어짐 방향으로 대항하면서도 구부러지는 대각선 상에 배치하지 않고, 또한 리브끼리가 교차해서 서로를 절단하는 일이 없도록 배려되어 있다.

이 펠리클 수납 용기에 대해서 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(87)을 탑재하고, 핀 홀더(86) 안에 삽입 고정된 핀(85)에 의해 고정했다.

그리고, 용기 본체를 수평한 정반 상에 두고, 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 거의 비틀어짐 변형은 확인되지 않고, 또한, 탑재된 펠리클도 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 특별히 변화는 보여지지 않았다. 또한, 핀(85)을 인출해서 펠리클(87)의 핀(85)이 삽입되어 있던 지그 구멍을 관찰했지만 특별히 오염은 보여지지 않았다. 그리고, 이 용기 본체의 중량은 3.2㎏이었다.

[비교예1]

상기 실시예와 마찬가지로 해서, 진공 성형법에 의해 도 9에 나타내는 형상의 펠리클 수납 용기 본체(91)를 제작하고, 고정핀(94) 및 핀 홀더(95)를 부착했다. 그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(96)을 탑재하고, 핀(94)에 의해 고정했다.

평가로서 상기 실시예와 마찬가지로, 이 용기 본체를 수평으로 정치(靜置)한 후, 본체의 1개소의 코너부를 조금 상방으로 들어올려 보았다. 그러면, 이 용기 본체는 리브(93)를 따라 크게 도 5와 같이 구부러짐이 발생되었다. 이 때, 탑재되어 있던 펠리클(96)을 관찰하면 이 방향(대각선 방향)으로 용기 본체의 변형과 동일한 구부러짐이 발생되고, 펠리클막의 일부에는 주름이 발생되어 있었다. 또한, 펠리클(96)의 지그 구멍으로부터 핀(94)을 뽑은 결과, 지그 구멍 내에는 핀이 강하게 마찰되어 발생된 이물이 형광등하에서도 바로 알 수 있을 정도로 다수 부착되어 있고, 이것은 청정도 유지의 점에서 전혀 허용할 수 없는 것이었다.

[비교예2]

상기 실시예1, 2, 비교예1과 마찬가지로 해서, 진공 성형법에 의해 도 6에 나타내는 형상의 펠리클 수납 용기 본체(61)를 제작하고, 고정핀(62) 및 핀 홀더(63)를 부착했다. 또한, 이 용기 본체의 외측에는 보강을 위해서 6000계 알루미늄 합금의 막대상 보강체(65, 66)(폭 40㎜×두께 5㎜)를 日자형으로 조합하고, ABS 수지제의 핀 홀더(63), 보강체 고정구(64) 및 용기 본체(61)와 볼트(도시하지 않음)에 의해 단단히 체결해서 용기 본체를 완성시켰다.

그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(67)을 탑재하고, 고정핀(62)에 의해 고정했다.

그리고, 상기 실시예, 비교예1과 마찬가지로 해서, 용기 본체를 수평한 정반상에 두고, 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 거의 비틀어짐 변형은 확인되지 않고, 또한, 탑재된 펠리클도 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 외관상도 특별히 문제는 확인되지 않았다. 그리고, 고정핀(62)을 펠리클(67)의 지그 구멍으로부터 뽑아서 암실 내의 할로겐 램프에 의해 관찰했지만 지그 구멍 주변은 완전히 청정한 상태였다.

이 용기 본체의 중량은 4.2㎏이었다.

본 발명에 의하면 수지의 시트재로 경량이고 또한 강성을 갖는 대형의 펠리클 수납 용기를 형성할 수 있고, 또한, 성형에 있어서도 간이한 제법을 채용할 수 있으므로 대형 펠리클 용기를 저렴하게 대량으로 공급할 수 있어 펠리클을 이용하는 기술 분야에 공헌하는 바가 크다.

도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.

도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 변형예를 평면 방향에서 본 개략 설명도이다.

도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.

도 4는 종래 이용되어 온 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 리브 구조의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.

도 5는 종래 이용되어 온 펠리클 수납 용기의 용기 본체에 있어서의 변형의 형태를 나타낸 사시 설명도이다.

도 6은 종래 이용되어 온 알루미늄제 보강체를 이용한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.

도 7은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일실시예를 나타내는 개략 설명도이다.

도 8은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일실시예를 나타내는 개략 설명도이다.

도 9는 종래 이용되어 온 리브 구조를 이용한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

11: 펠리클 수납 용기 본체 12: 펠리클 탑재대

13: 외주(장변) 14: 외주(단변)

a: 외주 접속부의 변이 장변과 이루는 각도 L: 외주 접속부의 변의 길이

21: 펠리클 수납 용기 본체 22: 펠리클 탑재대

23: 외주(장변) 24: 외주(단변)

R: 외주 접속부의 반경 31: 펠리클 수납 용기 본체

32: 덮개체 33: 클립

41: 펠리클 수납 용기 본체 42: 펠리클 탑재대

43a, 43b: 리브

44a, 44b: 용기 본체 외형에 기초한 대각선

45, 46, 47, 48: 용기 본체 코너부 49: 리브의 교차점

61: 펠리클 수납 용기 본체 62: 펠리클 고정핀

63: 핀 홀더 64: 보강체 고정구

65: 알루미늄 합금제 보강체(짧은 것) 66: 알루미늄제 보강체(긴 것)

67: 펠리클 71: 펠리클 수납 용기 본체

72: 펠리클 탑재대 73: 외주(장변)

74: 외주(단변) 75: 펠리클 고정핀

76: 핀 홀더 77: 펠리클

81: 펠리클 수납 용기 본체 82: 펠리클 탑재대

83: 리브 84: 리브

85: 펠리클 고정핀 86: 핀 홀더

87: 펠리클 91: 펠리클 수납 용기 본체

92: 펠리클 탑재대 93: 리브

94: 펠리클 고정핀 95: 핀 홀더

96: 펠리클

Claims (4)

1. 펠리클을 탑재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 상기 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서: 상기 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 이들의 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 장변과 이루는 각도가 30°이상 60°미만이며, 또한 길이 50㎜ 이상의 직선 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
2. 펠리클을 탑재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 상기 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서: 상기 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 이들의 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 반경 40㎜ 이상의 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
3. 펠리클을 탑재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 상기 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 수지의 시트재를 성형한 펠리클 수납 용기에 있어서: 상기 용기 본체의 서로 평행한 2변은 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 2단 이상의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 용기 본체의 서로 평행한 2변은 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 2단 이상의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.

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