JP6382298B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
リソグラフィ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6382298B2 JP6382298B2 JP2016504544A JP2016504544A JP6382298B2 JP 6382298 B2 JP6382298 B2 JP 6382298B2 JP 2016504544 A JP2016504544 A JP 2016504544A JP 2016504544 A JP2016504544 A JP 2016504544A JP 6382298 B2 JP6382298 B2 JP 6382298B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- reticle
- movement
- radiation
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70983—Optical system protection, e.g. pellicles or removable covers for protection of mask
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Description
:y)の差に基づいてもよい。代替的または追加的に、予測されるペリクル121のxおよびyの両方向の熱膨張が具体的使用のために(放射101の強度や周囲の動作温度などに基づいて)計算されてもよい。各方向に加えられる初期応力の差はしたがって、予測される熱膨張に基づいてこれを低減または最小化するように選択されてもよい。例えば、ペリクルに異なる方向に加えられる初期応力の差は、その方向の熱膨張の予測される差に比例してもよい。
(条項)
項目1.ペリクルアセンブリ又はダイナミックガスロック膜として使用する膜アセンブリを製造する方法であって、
膜の内部において第1方向に第1の量の張力と第2方向に第1の量より大きい第2の量の張力とを生じさせることを備え、
前記膜は、前記フレームに取り付けられている間、前記第1および第2方向に異なる張力下に維持されることを特徴とする方法。
項目2.前記第2方向は前記膜の長手軸と実質的に平行であり、前記第1方向は前記膜の短手軸と実質的に平行であることを特徴とする項目1に記載の方法。
項目3.前記第2方向は使用中の前記膜に入射する放射ビームのスキャン方向と実質的に垂直であり、前記第1方向は前記第1方向と実質的に垂直であることを特徴とする項目1または2に記載の方法。
項目4.前記膜に加えられる前記第1および第2の量の応力差は、使用中の前記膜に入射するスキャン放射ビームのアスペクト比に依存して選択されることを特徴とする項目1から3のいずれかに記載の方法。
項目5.前記膜に加えられる前記第1および第2の量の応力差は、使用中の前記膜に前記第1方向および前記第2方向に生じる熱膨張の差に依存して選択されることを特徴とする項目1から4のいずれかに記載の方法。
項目6.前記膜はペリクルとして用いられ、前記第1の量の応力と前記第2の量の応力の比率は実質的に1:13であることを特徴とする項目1から5のいずれかに記載の方法。
項目7.前記膜はダイナミックエアロック膜として用いられ、前記第1の量の応力と前記第2の量の応力の比率は実質的に1:3であることを特徴とする項目1から5のいずれかに記載の方法。
項目8.ペリクルアセンブリ又はダイナミックガスロック膜アセンブリとして用いられる装置であって、
フレームに取り付けられる膜を備え、前記取り付けられる膜が第1方向に第1の量の張力下にあり、第2方向に第1の量より大きい第2の量の張力下にあることを特徴とする装置。
項目9.前記第2方向は前記膜の長手軸と実質的に平行であり、前記第1方向は前記膜の短手軸と実質的に平行であることを特徴とする項目8に記載の装置。
項目10.前記第2方向は使用中の前記膜に入射する放射ビームのスキャン方向と実質的に垂直であり、前記第1方向は前記第1方向と実質的に垂直であることを特徴とする項目8または9に記載の装置。
項目11.前記第1および第2の量の応力差は、使用中の前記膜に入射するスキャン放射ビームのアスペクト比に実質的に比例することを特徴とする項目8から10のいずれかに記載の装置。
項目12.前記第1および第2の量の応力差は、使用中の前記膜に前記第1方向および前記第2方向に生じる熱膨張の差に実質的に比例することを特徴とする項目8から10のいずれかに記載の装置。
項目13.前記膜はペリクルであり、前記第1の量の応力と前記第2の量の応力の比率は実質的に1:13であることを特徴とする項目10から12のいずれかに記載の装置。
項目14.前記膜はダイナミックエアロック膜であり、前記第1の量の応力と前記第2の量の応力の比率は実質的に1:3であることを特徴とする項目8から12のいずれかに記載の装置。
Claims (19)
- リソグラフィ用のレチクルを保護する装置であって、
ペリクルと;少なくとも一つのアクチュエータと;を備え、
当該装置は、使用中、前記アクチュエータがレチクルに対する前記ペリクルの動きを生じさせるように構成され、前記ペリクルの動きが前記ペリクルの露光中に前記ペリクルが静止しないような振動性の動きであることを特徴とする装置。 - 当該装置は、前記少なくとも一つのアクチュエータが前記レチクルに対する前記ペリクルの周期的な動きを生じさせるように構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 当該装置は、少なくとも一つの周期が放射の局所露光に必要な時間周期内に完了するようなペリクルの動きを前記少なくとも一つのアクチュエータが生じさせるように構成されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 当該装置は、少なくとも一つの周期が放射の全領域露光に必要な時間周期内に完了するようなペリクルの動きを前記少なくとも一つのアクチュエータが生じさせるように構成されることを特徴とする請求項2または3に記載の装置。
- レチクルの上方にペリクルを支持するためのフレームをさらに備え、前記フレームが前記少なくとも一つのアクチュエータを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の装置。
- 前記フレームは、レチクル表面に取り付けるための第1フレーム部材と、前記ペリクルを支持するための第2フレーム部材と、を備え、
前記第1および第2フレーム部材は、可撓性部材、弾性部材または衝撃吸収部材の少なくとも一つにより接続されることを特徴とする請求項5に記載の装置。 - リソグラフィ装置のレチクルを保護する方法であって、
レチクルの放射露光中にレチクルの上方に支持されるペリクルの前記レチクルに対する動きを生じさせ、前記ペリクルの動きが前記ペリクルの露光中に前記ペリクルが静止しないような振動性の動きであることを備えることを特徴とする方法。 - 前記動きは、パッシブな動きであることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記動きは、周期的であることを特徴とする請求項7または8に記載の方法。
- 少なくとも一つの周期が局所露光に必要な時間周期内に完了することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 少なくとも一つの周期が全領域露光に必要な時間周期内に完了することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記動きは、前記ペリクルを支持するメッシュにより生じる影がレチクルのパターン面にて受ける放射の強度分布に及ぼす影響を実質的に低減させるように適合されることを特徴とする請求項7から11のいずれかに記載の方法。
- リソグラフィのためのレチクルアセンブリであって、
入射する放射ビームにパターンを付すのに適したパターン面を有するレチクルと;
少なくとも前記パターン面の上に保持されるペリクルと;
少なくとも一つのアクチュエータと;を備え、
当該レチクルアセンブリは、前記アクチュエータが前記パターン面に対する前記ペリクルの動きを生じさせるように構成され、前記ペリクルの動きが前記ペリクルの露光中に前記ペリクルが静止しないような振動性の動きであることを特徴とするレチクルアセンブリ。 - 約5nmから約20nmの波長を有する放射ビームを用いてレチクルアセンブリからのパターンを基板上に投影するように構成され、前記レチクルアセンブリが請求項13に記載のレチクルアセンブリであることを特徴とするリソグラフィ装置。
- レチクルの上方にペリクルを支持するためのペリクルフレームを備え、前記ペリクルフレームが、使用中、レチクルに対するペリクルの動きが生じるように構成され、前記ペリクルの動きが前記ペリクルの露光中に前記ペリクルが静止しないような振動性の動きであることを特徴とするペリクルアセンブリ。
- 誘起される前記動きは、前記レチクルに対する前記ペリクルの周期的な動きであることを特徴とする請求項15に記載のペリクルアセンブリ。
- レチクルの上方にペリクルを支持するためのペリクルフレームを備え、前記フレームは少なくとも一つのアクチュエータを備え、前記アクチュエータが前記ペリクルの前記動きを生じさせるように構成されることを特徴とする請求項15または16に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記ペリクルフレームは、前記レチクルの表面に取り付けるための第1フレーム部材と、前記ペリクルを支持するための第2フレーム部材と、を備え、
前記第1および第2フレーム部材は、可撓性部材、弾性部材または衝撃吸収部材の少なくとも一つにより接続されることを特徴とする請求項15から17のいずれかに記載のペリクルアセンブリ。 - 二つのアクチュエータを備え、各アクチュエータが他方のアクチュエータと直交する方向にペリクルの振動を生じさせるように構成されることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361805592P | 2013-03-27 | 2013-03-27 | |
US61/805,592 | 2013-03-27 | ||
US201361884386P | 2013-09-30 | 2013-09-30 | |
US61/884,386 | 2013-09-30 | ||
PCT/EP2014/054190 WO2014154452A1 (en) | 2013-03-27 | 2014-03-04 | Lithographic apparatus |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018144958A Division JP6630790B2 (ja) | 2013-03-27 | 2018-08-01 | リソグラフィ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016514854A JP2016514854A (ja) | 2016-05-23 |
JP6382298B2 true JP6382298B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
ID=50272589
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016504544A Expired - Fee Related JP6382298B2 (ja) | 2013-03-27 | 2014-03-04 | リソグラフィ装置 |
JP2018144958A Expired - Fee Related JP6630790B2 (ja) | 2013-03-27 | 2018-08-01 | リソグラフィ装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018144958A Expired - Fee Related JP6630790B2 (ja) | 2013-03-27 | 2018-08-01 | リソグラフィ装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10139725B2 (ja) |
JP (2) | JP6382298B2 (ja) |
KR (1) | KR20150136523A (ja) |
NL (1) | NL2012362A (ja) |
TW (1) | TWI621909B (ja) |
WO (1) | WO2014154452A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018194854A (ja) * | 2013-03-27 | 2018-12-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI658321B (zh) * | 2013-12-05 | 2019-05-01 | 荷蘭商Asml荷蘭公司 | 用於製造一表膜的裝置與方法,以及一表膜 |
JP6261004B2 (ja) * | 2014-01-20 | 2018-01-17 | 信越化学工業株式会社 | Euv用ペリクルとこれを用いたeuv用アセンブリーおよびその組立方法 |
CN111458973B (zh) * | 2014-11-17 | 2024-02-09 | Asml荷兰有限公司 | 表膜框架附接设备 |
US10712657B2 (en) | 2015-07-17 | 2020-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Method for manufacturing a membrane assembly |
KR20180072786A (ko) * | 2015-10-22 | 2018-06-29 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치를 위한 펠리클 제조 방법, 리소그래피 장치를 위한 펠리클 장치, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 펠리클 처리 장치, 및 펠리클 처리 방법 |
DE102015221209A1 (de) * | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Baugruppe mit einem Schutzelement und optische Anordnung damit |
JP6516665B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2019-05-22 | 信越化学工業株式会社 | Euvリソグラフィー用ペリクルに適した接着剤とこれを用いたペリクル |
NL2017667A (en) * | 2015-11-03 | 2017-05-23 | Asml Netherlands Bv | A method for manufacturing a membrane assembly |
CA3008050A1 (en) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | Asml Netherlands B.V. | A membrane assembly |
CA3008474A1 (en) | 2015-12-14 | 2017-06-22 | Asml Netherlands B.V. | A membrane for euv lithography |
US10928722B2 (en) | 2015-12-18 | 2021-02-23 | Asml Netherlands B.V. | Method of manufacturing a membrane assembly for EUV lithography, a membrane assembly, a lithographic apparatus, and a device manufacturing method |
KR20230023066A (ko) * | 2016-04-25 | 2023-02-16 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | Euv 리소그래피를 위한 멤브레인 |
US10527956B2 (en) | 2017-03-24 | 2020-01-07 | Nikon Corporation | Temperature controlled heat transfer frame for pellicle |
KR102310124B1 (ko) | 2017-03-28 | 2021-10-08 | 삼성전자주식회사 | 극자외선 노광용 펠리클, 포토마스크 조립체 및 펠리클의 제조 방법 |
KR20200015766A (ko) * | 2017-06-15 | 2020-02-12 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 펠리클 및 펠리클 조립체 |
KR20210065113A (ko) * | 2018-09-28 | 2021-06-03 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 시스템 및 방법 |
NL2024075B1 (en) * | 2018-11-16 | 2020-08-19 | Asml Netherlands Bv | A pellicle for euv lithography |
KR102266786B1 (ko) * | 2018-12-19 | 2021-06-21 | 주식회사 에스앤에스텍 | 판면에 주름부를 구비한 펠리클 |
WO2021246187A1 (ja) * | 2020-06-04 | 2021-12-09 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付露光原版、露光方法、半導体の製造方法及び液晶表示板の製造方法 |
KR20230135595A (ko) * | 2021-02-02 | 2023-09-25 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치, 어셈블리 및 방법 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4131363A (en) | 1977-12-05 | 1978-12-26 | International Business Machines Corporation | Pellicle cover for projection printing system |
US4737387A (en) | 1986-07-07 | 1988-04-12 | Yen Yung Tsai | Removable pellicle and method |
JPH09204039A (ja) * | 1996-01-25 | 1997-08-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル枠保持具 |
US6317479B1 (en) * | 1996-05-17 | 2001-11-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray mask, and exposure method and apparatus using the same |
JP3149830B2 (ja) | 1997-11-05 | 2001-03-26 | 日本電気株式会社 | ペリクル膜の洗浄方法 |
US6264773B1 (en) * | 1998-09-01 | 2001-07-24 | Mark Damian Cerio | Apparatus and method for temporary and permanent attachment of pellicle frame to photomask substrate |
US6197454B1 (en) * | 1998-12-29 | 2001-03-06 | Intel Corporation | Clean-enclosure window to protect photolithographic mask |
KR20040001790A (ko) | 2002-06-28 | 2004-01-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 펠리클 간격조절장치 |
JP3713497B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2005-11-09 | 株式会社東芝 | ペリクル構造体の姿勢制御機構及び露光方法 |
US7456932B2 (en) | 2003-07-25 | 2008-11-25 | Asml Netherlands B.V. | Filter window, lithographic projection apparatus, filter window manufacturing method, device manufacturing method and device manufactured thereby |
JP2005062634A (ja) | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクルマウンタ及びペリクルのフォトマスクへの装着方法 |
US7264853B2 (en) * | 2003-08-26 | 2007-09-04 | Intel Corporation | Attaching a pellicle frame to a reticle |
WO2005029183A2 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-31 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and apparatus for protecting a reticle used in chip production from contamination |
JP2005195992A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクル装着治具、ペリクル装着方法及びペリクル装着構造並びにペリクル |
DE102008041436A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches Membranelement |
JP2011034020A (ja) | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JP2011158585A (ja) | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびペリクルの製造方法 |
JP5817976B2 (ja) | 2011-08-01 | 2015-11-18 | 株式会社ブイ・テクノロジー | マイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置 |
JP5854511B2 (ja) * | 2012-10-16 | 2016-02-09 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルおよびペリクルの貼付け方法 |
JP6382298B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2018-08-29 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
-
2014
- 2014-03-04 JP JP2016504544A patent/JP6382298B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-03-04 US US14/775,249 patent/US10139725B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-03-04 KR KR1020157030955A patent/KR20150136523A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-03-04 WO PCT/EP2014/054190 patent/WO2014154452A1/en active Application Filing
- 2014-03-04 NL NL2012362A patent/NL2012362A/en not_active Application Discontinuation
- 2014-03-21 TW TW103110765A patent/TWI621909B/zh not_active IP Right Cessation
-
2018
- 2018-08-01 JP JP2018144958A patent/JP6630790B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018194854A (ja) * | 2013-03-27 | 2018-12-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150136523A (ko) | 2015-12-07 |
JP2016514854A (ja) | 2016-05-23 |
WO2014154452A1 (en) | 2014-10-02 |
NL2012362A (en) | 2014-09-30 |
US20160033860A1 (en) | 2016-02-04 |
JP2018194854A (ja) | 2018-12-06 |
US10139725B2 (en) | 2018-11-27 |
TWI621909B (zh) | 2018-04-21 |
JP6630790B2 (ja) | 2020-01-15 |
TW201443554A (zh) | 2014-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6630790B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
JP6882420B2 (ja) | 基板ホルダ及び基板ホルダ製造方法 | |
KR102068146B1 (ko) | 리소그래피 장치 및 방법 | |
JP5535194B2 (ja) | リソグラフィ装置、デバイス製造方法、クリーニングシステム、およびパターニングデバイスをクリーニングする方法 | |
JP4455491B2 (ja) | 放射ビームから粒子をフィルタ除去するように動作可能なフィルタ・システムを提供する方法、フィルタ・システム、装置、及びフィルタ・システムを含むリソグラフィ装置 | |
TWI605313B (zh) | 用於微影裝置之投影系統、鏡及輻射源 | |
JP6487519B2 (ja) | リソグラフィ装置用の汚染トラップ | |
TWI490663B (zh) | 微影裝置及器件製造方法 | |
JP4446996B2 (ja) | 放射システムおよびリソグラフィ装置 | |
TWI598697B (zh) | 用於微影裝置的基板支撐件及微影裝置 | |
JP2016522568A (ja) | 支持構造、その温度を制御する方法、及びそれを含む装置 | |
JP5572113B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
CN102859443A (zh) | 用于装载衬底的方法和设备 | |
JP2022515489A (ja) | リソグラフィ装置内の粒子をその場で除去するための装置および方法 | |
JP2018513419A (ja) | リソグラフィ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160316 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6382298 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |