CN101441405B - 防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件的收纳容器及收纳方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件用的防护薄膜组件收纳容器、及将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内的方法，特别是在大型防护薄膜组件中，可不使用隔离部而将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内。为达成上述目的，在防护薄膜框架的遮罩粘接剂侧端面的一部分上形成未涂布遮罩粘接剂的区域，将该未涂布区域载置于设置在防护薄膜组件收纳容器内部且由聚硅氧烷凝胶等材料所构成的防护薄膜框架支持部上，再来，利用可插入设置在防护薄膜框架侧面上的孔部内的固定销与固定销的保持机构将防护薄膜框架保持固定在防护薄膜组件收纳容器内。由于不使用隔离部也能保护粘接层，故无须设置隔离部。

Description

防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件的收纳容器及收纳方法

技术领域

本发明是关于一种在制造半导体装置、印刷基板或是液晶显示器等产品时作为防尘器使用的防护薄膜组件，特别是关于一种在制造液晶显示器时使用的大型防护薄膜组件。

背景技术

在LSI、超LSI等半导体或是液晶显示板等产品的制造中，是用光照射半导体晶圆或液晶用原板以制作形成图案，惟若此时所使用的光罩或初缩遮罩(以下仅称光罩)有灰尘附着的话，由于该灰尘会吸收光，使光弯曲，故除了会使转印的图案变形、使边缘变粗糙以外，还会使基底污黑，并损坏尺寸、品质、外观等。

因此，该等作业通常是在无尘室内进行，惟即使如此欲经常保持光罩清洁仍相当困难。于是，我们遂在光罩表面贴附作为防尘器用的防护薄膜组件后再进行曝光。此时，异物并非直接附着于光罩表面上，而是附着于防护薄膜组件上，故只要在微影步骤中将焦点对准光罩图案上，防护薄膜组件上的异物就不会对转印造成影响。

一般而言，该防护薄膜组件，是用透光性良好的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟系树脂等物质构成，对使用的光线透明的防护薄膜，并以铝、不锈钢、聚乙烯等物质构成防护薄膜组件框架，将该防护薄膜贴附粘着于该防护薄膜组件框架的上端面。接着，在防护薄膜组件框架的下端设置为装着于光罩上而由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙烯酸树脂等物质所构成的粘着层，以及保护粘着层的脱模层(隔离部)。接着，在保管、移送防护薄膜组件时，便隔着隔离部将防护薄膜组件载置于收纳容器上。

隔离部，通常是在PET树脂等厚度100～200μm左右的薄膜上涂布脱模剂，然后将薄膜切割加工成我们想要的形状所制成的。隔离部，除了很薄之外，其形状跟框架形状几乎一样呈框状，会变得像软性绳带，故清洗很困难，且在粘贴于遮罩粘接层等作业中的使用处理上也极不方便。

又，隔离部必须用没有接缝的整片原料片材制造。若有接缝等的高低差的话，形状会转印到粘贴的遮罩粘接层上，有可能会影响遮罩粘贴后的稳定性。因此，对于大型防护薄膜组件，特别是一边长度超过500mm的大型防护薄膜组件而言，除了片材制造困难之外，要完整地全面涂布好脱模剂也很困难，而且这样的隔离部在制造、取得上也不容易。

隔离部具有保护粘接剂的功能，在防护薄膜组件使用时便会被剥离然后丢弃。如果能省略隔离部的话，便能根本解决这些问题。通常防护薄膜组件的粘接剂是以向下侧(防护薄膜组件收纳容器侧)的方式收纳，惟为了省略隔离部，遂考量例如将粘接剂置于上侧而将防护薄膜的粘贴面侧置于下侧。然而，此时，防护薄膜内侧在防护薄膜组件收纳容器内变成朝向上方，这样的话最需要保护的部分反而变成有异物附着的危险，故并不适当。因此，目前尚无文献揭示一种在保存中不需要隔离部的防护薄膜组件以及防护薄膜组件收纳容器。

欲将防护薄膜组件固定在防护薄膜组件收纳容器内，通常，是利用容器本体与盖体挟持防护薄膜组件，惟亦有尝试利用固定销将防护薄膜框架固定于防护薄膜组件容器内者(参照专利文献1)。在此技术内容中，由于让固定销卡合于防护薄膜框架上，以将防护薄膜组件载置于容器本体上，故在专利文献1中隔离部实是不可欠缺的构件。

到此为止，遮罩粘接剂层涵盖防护薄膜框架整个宽度尚属一般情形，惟亦有文献尝试在防护薄膜框架的下端面设置沟部藉此让遮罩粘接剂层的宽度比防护薄膜框架的宽度更细(参照专利文献2)，在该沟部内形成粘接剂层(或防护薄膜用的粘接剂层)可避免粘接剂层因为表面张力而形成凸状，藉此提高表面的平坦性，但终归无法不使用隔离部。

亦有尝试设置宽度比防护薄膜框架的宽度更细的突出部藉此在防护薄膜框架上形成未涂布遮罩粘接剂的部分(参照专利文献3、专利文献4)。前者，是在从光罩剥离防护薄膜组件时将剥离工具卡合于防护薄膜框架中未涂布粘接剂的段部，故防护薄膜组件尚无法不使用隔离部，后者，是在隔离部上设置突出区域，将该突出部固定于防护薄膜组件收纳容器上以辅助我们从遮罩粘接层剥离隔离部，一样也无法不使用隔离部。

[专利文献1]日本特开2006-267178号公报

[专利文献2]日本特开2005-338722号公报

[专利文献3]日本特愿2006-135186

[专利文献4]日本特愿2007-286483号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

本发明的目的在于提供一种对于防护薄膜组件，特别是至少一边边长超过500mm的大型防护薄膜组件而言，即使不使用隔离部也不会造成任何障碍的防护薄膜组件以及防护薄膜组件收纳容器。

[解决问题的技术手段]

本发明的防护薄膜组件，是在防护薄膜框架中形成有粘贴在遮罩上所需的粘接剂层的那一面的一部分上形成未涂布遮罩粘接剂的区域，且在该防护薄膜框架的侧面上设置非贯通的孔部，我们可将固定销插入该孔部，让防护薄膜框架的上下端面不要接触到防护薄膜组件收纳容器。

又，本发明的防护薄膜组件收纳容器，其是由可载置防护薄膜组件的托盘与用来密闭该托盘的防护薄膜组件收纳面的上盖所构成，其特征为：该托盘上设有防护薄膜框架支持部，其以只接触设在防护薄膜框架上的未涂布遮罩粘接剂的区域的方式来支持防护薄膜组件，且该托盘上一并设有可保持固定销的固定销保持机构，以避免防护薄膜框架上下端面接触防护薄膜组件收纳容器。我们可从树脂、橡胶以及聚硅氧烷凝胶所构成的群组当中选出一种作为该防护薄膜框架支持部的材质，防护薄膜框架支持部宜具有抗静电性为佳。

再者，本发明的在防护薄膜组件收纳容器内保存防护薄膜组件的方法，是将形成于防护薄膜框架上的未涂布有遮罩粘接剂的区域载置于防护薄膜框架支持部上，且，将被保持在固定销保持机构上的固定销插入设置在防护薄膜框架侧面的固定销插入孔内，以在防护薄膜组件收纳容器内固定防护薄膜组件。

对照先前技术的效果

若依本发明，即使不使用隔离部，对于将防护薄膜组件收纳、保存于防护薄膜组件收纳容器内也不会有任何障碍，故除了能解决大型防护薄膜组件的隔离部其原料取得困难的问题之外，更能杜绝隔离部本身在输送中或剥离作业中产生尘屑的情况，从防止异物附着的观点来看效果显著。再者，除了节省隔离部本身的成本之外，更能省略洗净作业、粘贴作业等相关步骤，降低制造成本。

附图说明

图1是俯视图以及概略剖面图，表示利用本发明而将防护薄膜组件收纳于防护薄膜组件收纳容器内的状态。

图2是表示本发明的防护薄膜组件的说明图。

主要元件符号说明

11  防护薄膜框架

12  遮罩粘接层(遮罩粘接剂)

13  防护薄膜

14  防护薄膜组件收纳容器托盘

15  防护薄膜组件收纳容器盖体

16  固定销保持机构

17  固定销

18  框架支持部

21  防护薄膜框架

22  遮罩粘接剂层

23  薄膜粘接剂层

24  防护薄膜

a   (遮罩粘接剂)未涂布区域

b   (设置在防护薄膜框架11侧面上的)孔部

A-A 剖面线

B-B 剖面线

具体实施方式

以下，是就本发明实施最佳态样说明，惟本发明并非仅限于此。

图1是表示在将本发明的防护薄膜组件收纳于防护薄膜组件收纳容器内的状态下的俯视图以及概略剖面图。在防护薄膜框架11的遮罩粘接剂涂布侧端面的一部分上设置未涂布遮罩粘接剂12的区域a，以设置在防护薄膜组件收纳容器托盘14上的框架支持部18仅接触该粘接剂未涂布区域a的方式，将防护薄膜框架11载置于防护薄膜组件收纳容器托盘14上。

再者，为了防止运送途中防护薄膜组件在防护薄膜组件收纳容器内移动，遂利用固定销17与保持机构16将收纳在防护薄膜组件收纳容器内的防护薄膜框架11固定住。该固定销17前端设有橡胶等弹性体(未经图示)，且可插入设置在防护薄膜框架11侧面上的孔部b内。如是，遮罩粘接层12便可在不接触到防护薄膜组件收纳容器托盘14的情况下被保持、固定在防护薄膜组件收纳容器内。因此，便无须再利用隔离部保护遮罩粘接层12，而可省略隔离部这个构件。

在此，防护薄膜组件的固定方法，以上述将固定销插入框架的方法为最佳，惟并非仅限于此，例如，亦可使用在防护薄膜框架的侧面或防护薄膜粘贴层侧端面用保持具等构件压抵夹钳的方法。

然后，就支持该防护薄膜组件收纳容器托盘14上的防护薄膜框架的粘接剂涂布侧端面的框架支持部18的材质而言，为了避免损伤防护薄膜框架表面，并减少与防护薄膜框架磨擦时所产生的尘屑，宜使用树脂比较好。树脂材质只要具有不易产生尘屑的适当硬度，且可对表面实施平滑加工即可，例如，可使用聚醯亚胺、聚醯胺、PEEK、PTFE、POM等材质。

又，只要表面平滑的话，该材质也可以用橡胶类，例如，NBR、EPR、氨基甲酸乙酯、FKM等。然而，该材质更宜使用聚硅氧烷凝胶为佳。由于弹性系数比橡胶更低，且表面有若干粘性，故鲜少在输送中因为振动而与防护薄膜框架磨擦，大幅降低产生尘屑的可能。

又，更宜在该等树脂或橡胶中混入碳或金属(粉)等各种导电性物质，使其具有抗静电性。以防止在输送中或从防护薄膜组件收纳容器取出时使防护薄膜组件带静电，降低因为静电而导致异物附着或防护薄膜组件粘时对遮罩图案造成静电性损坏的可能。

然后，对防护薄膜框架支持部18的安装位置、数量或形状而言，图1的实施例中是设置了8个地方，惟我们可根据收纳的防护薄膜框架或收纳容器的形状适当设置之。基本上，只要即使因为输送中的振动等原因导致防护薄膜框架移动也能够确保遮罩粘接层12与防护薄膜组件收纳容器托盘14以及防护薄膜框架支持部18之间的间隙即可。

[实施例]

以下，说明本发明的实施例，惟本发明并非仅限于此。

以下述方式制作如图2所示的防护薄膜组件。首先，利用机械加工将5000系列的铝合金切削制成长边外尺寸1600mm、短边外尺寸1500mm、高度5.8mm、宽度13mm的防护薄膜框架21，并在其表面实施黑色氧皮铝处理。用纯水将该防护薄膜框架洗净，待干燥之后，用甲苯稀释硅氧粘接剂(信越化学工业(股)制，商品名KR—3700)，再用3轴正交涂布机进行涂布，制作出遮罩粘接剂层22。又，遮罩粘接剂层22的剖面形状形成宽度4mm、高度1.5mm的半圆形。此时，由于防护薄膜框架的宽度为13mm而遮罩粘接剂层的宽度为4mm，故外侧形成宽度9mm的未涂布区域。

再来，先用甲苯稀释硅氧粘接剂(信越化学工业(股)制，商品名KR—3700)，然后，涂布于该防护薄膜框架上并待其干燥后形成厚度0.1mm的防护薄膜粘接剂层23，之后加热到130℃使其硬化。然后，在尺寸大小为1600×1700mm且表面经过研磨而相当平滑的矩形石英基板上以模涂法涂布氟树脂(旭硝子股份有限公司制，商品名：Cytop)，待溶媒干燥后，从石英基板剥除所形成的薄膜，便可制得厚度4μm的防护薄膜24。然后，将该防护薄膜粘贴于该防护薄膜框架上，用切割器将外侧不需要的薄膜切除掉，便制得防护薄膜组件。

另外，图1的防护薄膜组件收纳容器，是对厚度5mm的黑色抗静电ABS树脂(TORY股份有限公司制，商品名：Toyolacparel)利用真空成型法进行成型，以制作出防护薄膜组件收纳容器托盘14。又，同样地，使用厚度5mm的透明抗静电ABS树脂(TORY股份有限公司制，商品名：Toyolacparel)，利用真空成型法制作出防护薄膜组件收纳容器盖体15。在防护薄膜组件收纳容器托盘14上让ABS树脂射出成型所制得的固定销17与固定销保持机构16嵌合于设置在防护薄膜框架外侧侧面上的夹具孔部b内，调整好位置之后便接合固定。再接下来，在防护薄膜组件收纳容器托盘14上，于接触防护薄膜框架11中未涂布遮罩粘接剂的区域a的8个位置上，设置由聚硅氧烷凝胶(信越化学工业(股)制，商品名：KE1056)制成的直径8mm、厚度4mm的框架支持部18。

在无尘室内用纯水将该防护薄膜组件收纳容器洗净，待干燥之后，收纳该防护薄膜组件并用固定销17以及固定销保持机构16固定防护薄膜组件。

进行评价的方式如下，将收纳了防护薄膜组件的防护薄膜组件收纳容器垂直立起并在保持1分钟之后回复水平的动作进行3次，并在无尘室的暗房内对防护薄膜组件的异物附着状况进行检查。结果，附着在防护薄膜组件上的异物未见增加。又，接触框架支持部18的位置上也未发现有异物附着的痕迹，当然，遮罩粘接层上也完全未发现有接触痕迹等的瑕疵。

若依本发明，即使不用隔离部也能保护粘接层，故能制得在保存中不需要隔离部的防护薄膜组件以及防护薄膜组件收纳容器，因此，特别是大型防护薄膜组件的隔离部原料取得困难这个问题能够获得解决，此外也不会发生在输送中或隔离部的剥离作业中隔离部本身产生尘屑的问题，从防止异物附着的观点来看效果优异，再者，除了节省隔离部本身的成本之外，更能减少洗净作业、粘贴作业等相关步骤的成本，故能降低整体制造成本。由于本发明能够达到上述各种效果，故在产业上的利用价值极高。

Claims (5)

1.一种不使用隔离部的防护薄膜组件，其特征为：

在防护薄膜框架中，在形成有粘贴在遮罩上所需的粘接剂层的面内的一部分上，形成未涂布遮罩粘接剂的区域；

且在该防护薄膜框架的侧面上设置非贯通的孔部，固定销能够插入该孔部，以防护薄膜框架的上下端面不接触防护薄膜组件收纳容器的方式固定该防护薄膜组件。

2.一种不使用隔离部的防护薄膜组件收纳容器，其由可载置防护薄膜组件的托盘与用来密封该托盘的防护薄膜组件收纳面的上盖所构成，其特征为：

在该托盘上设有防护薄膜框架支持部，该防护薄膜框架支持部以仅接触形成于防护薄膜框架上的未涂布遮罩粘接剂的区域的方式来支持着防护薄膜组件；

且在该托盘上设有固定销保持机构，该固定销保持机构中设置固定销，该固定销可让防护薄膜框架上下端面不接触到防护薄膜组件收纳容器地固定该防护薄膜框架。

3.如权利要求2所述的不使用隔离部的防护薄膜组件收纳容器，其中：

该防护薄膜框架支持部的材质是从树脂、橡胶以及聚硅氧烷凝胶所构成的群组中选出之一种。

4.如权利要求2或3所述的不使用隔离部的防护薄膜组件收纳容器，其中：

该防护薄膜框架支持部具有抗静电性。

5.一种在防护薄膜组件收纳容器内保存不使用隔离部的防护薄膜组件的方法，其特征为：

将形成于防护薄膜框架上的未涂布遮罩粘接剂的区域载置于防护薄膜框架支持部上；且

将设置于固定销保持机构的固定销插入设于防护薄膜框架侧面上的固定销插入孔，以防护薄膜框架的上下端面不接触防护薄膜组件收纳容器的方式，将防护薄膜组件固定于防护薄膜组件收纳容器内。

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