JP2814785B2 - ペリクル接着装置 - Google Patents
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- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
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- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、露光装置等に使用する
レクチルガラスの両面または片面にペリクルを装着した
ペリクルフレームを加圧接着するペリクル接着装置に関
するものである。
レクチルガラスの両面または片面にペリクルを装着した
ペリクルフレームを加圧接着するペリクル接着装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下図面を参照しながら従来のペリクル
接着装置について説明する。図２は、本発明の対象とな
るペリクル接着装置において加工されたものの図であ
り、１はレクチルガラス、２，３はペリクル、４，５は
ペリクルフレーム、２０は接着剤層であり、２２はペリ
クルによって保護されるレクチルパターンである。図８
は、従来のペリクル接着装置の断面図である。図８にお
いて１はレクチルガラス、２，３はペリクルでペリクル
フレーム４，５に接着されており、ペリクルフレーム
４，５は加圧子７，８に保持されている。また、６は真
空吸着口９より真空吸着し、レクチルガラス１を保持す
る吸着ブラケットでベアリング１６に取付けてある。ま
た１０は固定ブラケットで加圧子８が取付けられてい
る。１１は可動ブラケットで加圧子７が取付けられてお
り、ベアリング１７に取付けてある。ベアリング１６，
１７は、ガイドレール１８に沿って移動することができ
る。１２の軸受けは、可動ブラケット１１に取付けられ
ており、球面ジョイント１３と球面で接しており、空気
圧シリンダ１５のピストンロッド２１に固定されてい
る。空気圧シリンダ１５は、ブラケット１４に取付けら
れている。また固定ブラケット１０，ブラケット１４，
ガイドレール１８は架台１９に固定されている。また２
０は接着剤層である。
接着装置について説明する。図２は、本発明の対象とな
るペリクル接着装置において加工されたものの図であ
り、１はレクチルガラス、２，３はペリクル、４，５は
ペリクルフレーム、２０は接着剤層であり、２２はペリ
クルによって保護されるレクチルパターンである。図８
は、従来のペリクル接着装置の断面図である。図８にお
いて１はレクチルガラス、２，３はペリクルでペリクル
フレーム４，５に接着されており、ペリクルフレーム
４，５は加圧子７，８に保持されている。また、６は真
空吸着口９より真空吸着し、レクチルガラス１を保持す
る吸着ブラケットでベアリング１６に取付けてある。ま
た１０は固定ブラケットで加圧子８が取付けられてい
る。１１は可動ブラケットで加圧子７が取付けられてお
り、ベアリング１７に取付けてある。ベアリング１６，
１７は、ガイドレール１８に沿って移動することができ
る。１２の軸受けは、可動ブラケット１１に取付けられ
ており、球面ジョイント１３と球面で接しており、空気
圧シリンダ１５のピストンロッド２１に固定されてい
る。空気圧シリンダ１５は、ブラケット１４に取付けら
れている。また固定ブラケット１０，ブラケット１４，
ガイドレール１８は架台１９に固定されている。また２
０は接着剤層である。
【０００３】以上のように構成された従来のペリクル接
着装置について以下その動作について説明する。空気が
空気圧シリンダ１５に供給されることにより、ピストン
ロッド２１が左方へ移動し、球面ジョイント１３，軸受
け１２，可動ブラケット１１を介してベアリング１７が
ガイドレール１８上を左方に移動する。ペリクルフレー
ム４はレクチルガラス１と当接し、吸着ブラケット６を
押してベアリング１６もガイドレール１８上を左方向に
移動しレクチルガラス１は、ペリクルフレーム５に当接
する。レクチルガラス１は、加圧子７，８により両側か
ら押し付けられ、ペリクルフレーム４，５に接着剤層２
０にて加圧接着される。
着装置について以下その動作について説明する。空気が
空気圧シリンダ１５に供給されることにより、ピストン
ロッド２１が左方へ移動し、球面ジョイント１３，軸受
け１２，可動ブラケット１１を介してベアリング１７が
ガイドレール１８上を左方に移動する。ペリクルフレー
ム４はレクチルガラス１と当接し、吸着ブラケット６を
押してベアリング１６もガイドレール１８上を左方向に
移動しレクチルガラス１は、ペリクルフレーム５に当接
する。レクチルガラス１は、加圧子７，８により両側か
ら押し付けられ、ペリクルフレーム４，５に接着剤層２
０にて加圧接着される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造では、固定ブラケット１０，可動ブラケット
１１，吸着ブラケット６および加圧子７，８の部品製作
上の誤差や、ペリクルフレーム４，５，レクチルガラス
１の平面度および接着剤層２０の厚さのばらつきによる
誤差を吸収することができなかった。このために、レク
チルガラス１へのペリクルフレーム４，５の全周にわた
る完全な接着ができない問題があった。
ような構造では、固定ブラケット１０，可動ブラケット
１１，吸着ブラケット６および加圧子７，８の部品製作
上の誤差や、ペリクルフレーム４，５，レクチルガラス
１の平面度および接着剤層２０の厚さのばらつきによる
誤差を吸収することができなかった。このために、レク
チルガラス１へのペリクルフレーム４，５の全周にわた
る完全な接着ができない問題があった。
【０００５】そこで本発明は、これらの誤差を吸収し、
レクチルガラスとペリクルフレームを均一に加圧し接着
できるようにするものである。
レクチルガラスとペリクルフレームを均一に加圧し接着
できるようにするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のヘ゜リクル装着装置は、レチクルカ゛ラスの両面または
片面にヘ゜リクルフレ-ムを加圧接着するヘ゜リクル接着装置におい
て、前記ヘ゜リクルフレ-ムへの加圧力に比べ、加圧時変形に対す
る反力が、十分小さい弾性加圧子を前記ヘ゜リクルフレ - ム 全周に
わたって配し 、 この弾性加圧子に前記 ヘ゜リクルフレ - ム 全周に沿
って流体圧力を同時かつ均一に加える均圧手段を有する
ものである。
め、本発明のヘ゜リクル装着装置は、レチクルカ゛ラスの両面または
片面にヘ゜リクルフレ-ムを加圧接着するヘ゜リクル接着装置におい
て、前記ヘ゜リクルフレ-ムへの加圧力に比べ、加圧時変形に対す
る反力が、十分小さい弾性加圧子を前記ヘ゜リクルフレ - ム 全周に
わたって配し 、 この弾性加圧子に前記 ヘ゜リクルフレ - ム 全周に沿
って流体圧力を同時かつ均一に加える均圧手段を有する
ものである。
【０００７】
【作用】この技術的手段による作用は、ペリクルフレー
ム接着時に、ペリクルフレームに沿って弾性加圧子を介
して流体圧力が均一に加えられるようになり、この結
果、レクチルガラスとペリクルフレームを接合面で均一
に加圧し、均一に接着できるようになることである。
ム接着時に、ペリクルフレームに沿って弾性加圧子を介
して流体圧力が均一に加えられるようになり、この結
果、レクチルガラスとペリクルフレームを接合面で均一
に加圧し、均一に接着できるようになることである。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。図１は本発明によるペリクル接着装置の断面図であ
る。図１において、１はレクチルガラスで真空吸着口９
で真空吸着され吸着ブラケット２６に保持されている。
２，３はペリクルでペリクルフレーム４，５に接着され
ている。ペリクルフレーム４，５は、ペリクルフレーム
への加圧力に比べ加圧時変形に対する反力が十分小さい
弾性加圧子３７，３８に保持されている。また４０，４
１はグリスまたはオイル等の流体であり、弾性に十分に
富んだチューブ４２，４３に封入されており、図３ａに
示す如くペリクルフレーム周上に沿って保持プレート４
５と４５および４６と４７の間に掘った溝で保持されて
いる。また、弾性加圧子３７，３８は保持プレート４
４，４６で摺動可能に保持されており、直接チューブ４
２，４３に接している。また、保持プレート４７はブラ
ケット４８に取付けてあり、同様に保持プレート４５は
ブラケット４９に取付けられている。吸着ブラケット２
６，ブラケット４９はそれぞれベアリング５３，５４に
取付けられており、ベアリング５３，５４は、ガイドレ
ール５６上を移動することができる。軸受け５０は、ブ
ラケット４９に取付けてあり、球面ジョイント５１と球
面で接している。また、球面ジョイント５１は、空気圧
シリンダ５２のピストンロッド５８に固定されている。
空気圧シリンダ５２は、ブラケット５５に取付けられて
いる。ブラケット４８，５５，ガイドレール５６は、架
台５７に固定されている。
る。図１は本発明によるペリクル接着装置の断面図であ
る。図１において、１はレクチルガラスで真空吸着口９
で真空吸着され吸着ブラケット２６に保持されている。
２，３はペリクルでペリクルフレーム４，５に接着され
ている。ペリクルフレーム４，５は、ペリクルフレーム
への加圧力に比べ加圧時変形に対する反力が十分小さい
弾性加圧子３７，３８に保持されている。また４０，４
１はグリスまたはオイル等の流体であり、弾性に十分に
富んだチューブ４２，４３に封入されており、図３ａに
示す如くペリクルフレーム周上に沿って保持プレート４
５と４５および４６と４７の間に掘った溝で保持されて
いる。また、弾性加圧子３７，３８は保持プレート４
４，４６で摺動可能に保持されており、直接チューブ４
２，４３に接している。また、保持プレート４７はブラ
ケット４８に取付けてあり、同様に保持プレート４５は
ブラケット４９に取付けられている。吸着ブラケット２
６，ブラケット４９はそれぞれベアリング５３，５４に
取付けられており、ベアリング５３，５４は、ガイドレ
ール５６上を移動することができる。軸受け５０は、ブ
ラケット４９に取付けてあり、球面ジョイント５１と球
面で接している。また、球面ジョイント５１は、空気圧
シリンダ５２のピストンロッド５８に固定されている。
空気圧シリンダ５２は、ブラケット５５に取付けられて
いる。ブラケット４８，５５，ガイドレール５６は、架
台５７に固定されている。
【０００９】以上のように構成された本発明によるペリ
クル接着装置について以下その動作について説明する。
空気が空気圧シリンダ５２に供給されると、ピストンロ
ッド５８が左方へ移動し、球面ジョイント５１，軸受け
５０，ブラケット４９を介してベアリング５４がガイド
レール５６上を左方へ移動し、ペリクルフレーム４がレ
クチルガラス１と当接し、吸着ブラケット２６を押して
ベアリング５３がガイドレール５６上を左方向へ移動す
る。レクチルガラス１は、ペリクルフレーム５に当接す
る。レクチルガラス１には、弾性加圧子３７，３８を介
してチューブ４２，４３の内部の流体４０，４１による
流体圧力を全周に沿って均一に受けたペリクルフレーム
４，５が押しつけられ接着剤層２０により均一に接着さ
れる。
クル接着装置について以下その動作について説明する。
空気が空気圧シリンダ５２に供給されると、ピストンロ
ッド５８が左方へ移動し、球面ジョイント５１，軸受け
５０，ブラケット４９を介してベアリング５４がガイド
レール５６上を左方へ移動し、ペリクルフレーム４がレ
クチルガラス１と当接し、吸着ブラケット２６を押して
ベアリング５３がガイドレール５６上を左方向へ移動す
る。レクチルガラス１は、ペリクルフレーム５に当接す
る。レクチルガラス１には、弾性加圧子３７，３８を介
してチューブ４２，４３の内部の流体４０，４１による
流体圧力を全周に沿って均一に受けたペリクルフレーム
４，５が押しつけられ接着剤層２０により均一に接着さ
れる。
【００１０】次に本発明の第２の実施例について図３を
参照して説明する。図３ｂは、チューブ４２の両端に栓
６０を設け、栓６０でグリスまたはオイル４０を封入し
ており、近似的にペリクルフレーム全周に沿ってはわせ
たものである。図３ｂのチューブ４２の配置であっても
図３ａの継ぎ目のないチューブ４２の配置とほぼ同じ均
一加圧効果が得られる。
参照して説明する。図３ｂは、チューブ４２の両端に栓
６０を設け、栓６０でグリスまたはオイル４０を封入し
ており、近似的にペリクルフレーム全周に沿ってはわせ
たものである。図３ｂのチューブ４２の配置であっても
図３ａの継ぎ目のないチューブ４２の配置とほぼ同じ均
一加圧効果が得られる。
【００１１】さらに本発明の第３の実施例について図４
を参照して説明する。図４において、４はペリクルフレ
ーム、６２はペリクルフレームへの加圧力に比べ、加圧
時変形に対する反力が十分小さい弾性加圧子、６３はシ
ート状の弾性体、６４はシール材、６５はグリスまたは
オイル等の流体である。また、６６，６７は保持プレー
トである。図４の保持６６，６７は、図１における保持
プレート４４，４５および４６，４７に相当する。ペリ
クルフレーム４は、弾性加圧子６２，シート状の弾性体
６３を介して流体圧力を全周に沿って均一に受け、レク
チルガラスに均一に接着される。
を参照して説明する。図４において、４はペリクルフレ
ーム、６２はペリクルフレームへの加圧力に比べ、加圧
時変形に対する反力が十分小さい弾性加圧子、６３はシ
ート状の弾性体、６４はシール材、６５はグリスまたは
オイル等の流体である。また、６６，６７は保持プレー
トである。図４の保持６６，６７は、図１における保持
プレート４４，４５および４６，４７に相当する。ペリ
クルフレーム４は、弾性加圧子６２，シート状の弾性体
６３を介して流体圧力を全周に沿って均一に受け、レク
チルガラスに均一に接着される。
【００１２】さらに本発明の第４の実施例について図５
を参照して説明する。図５において、４はペリクルフレ
ーム、７２は弾性加圧体、７３は７２の弾性加圧子全周
に沿って接着してある弾性シール材、７４はシール材、
７５はグリスまたはオイル等の流体である。また７６，
７７は、保持プレートで図１の保持プレート４４，４５
および４６，４７に相当する。ペリクルフレーム４は、
弾性加圧子７２を介して流体圧力を全周に沿って受け、
レクチルガラスに均一に接着される。
を参照して説明する。図５において、４はペリクルフレ
ーム、７２は弾性加圧体、７３は７２の弾性加圧子全周
に沿って接着してある弾性シール材、７４はシール材、
７５はグリスまたはオイル等の流体である。また７６，
７７は、保持プレートで図１の保持プレート４４，４５
および４６，４７に相当する。ペリクルフレーム４は、
弾性加圧子７２を介して流体圧力を全周に沿って受け、
レクチルガラスに均一に接着される。
【００１３】さらに本発明の第５の実施例について図６
を参照して説明する。図６において、４はペリクルフレ
ーム、８２は弾性加圧子、８３はシート状の弾性体で、
ペリクルフレーム４の全周に沿って突出した部分８４を
持つ構造をしており、８６，８７は保持プレートであ
る。８６，８７の保持プレートは、図１における保持プ
レート４４，４５および４６，４７に相当する。ペリク
ルフレーム４は、弾性加圧子８２およびシート状の弾性
体８３を介して全周に沿って均一に流体圧力を受けレク
チルガラスに均一に接着される。
を参照して説明する。図６において、４はペリクルフレ
ーム、８２は弾性加圧子、８３はシート状の弾性体で、
ペリクルフレーム４の全周に沿って突出した部分８４を
持つ構造をしており、８６，８７は保持プレートであ
る。８６，８７の保持プレートは、図１における保持プ
レート４４，４５および４６，４７に相当する。ペリク
ルフレーム４は、弾性加圧子８２およびシート状の弾性
体８３を介して全周に沿って均一に流体圧力を受けレク
チルガラスに均一に接着される。
【００１４】つらに本発明の第６の実施例について図７
を参照して説明する。図７ｂにおいて、４はペリクルフ
レーム、９２は弾性加圧子、９３は複数のシリンダとピ
ストン、９４はシール材、９５はグリスまたはオイル等
の流体、９６，９７は保持プレートで図１における保持
プレート４４，４５および４６，４７に相当する。また
シリンダとピストン９３は、図７ａに示す如くペリクル
フレーム４の全周に沿って配置されている。ペリクルフ
レーム４は、弾性加圧子９２およびシリンダとピストン
９３を介して全周に沿って均一に流体圧力を受けレクチ
ルガラスに均一に接着される。
を参照して説明する。図７ｂにおいて、４はペリクルフ
レーム、９２は弾性加圧子、９３は複数のシリンダとピ
ストン、９４はシール材、９５はグリスまたはオイル等
の流体、９６，９７は保持プレートで図１における保持
プレート４４，４５および４６，４７に相当する。また
シリンダとピストン９３は、図７ａに示す如くペリクル
フレーム４の全周に沿って配置されている。ペリクルフ
レーム４は、弾性加圧子９２およびシリンダとピストン
９３を介して全周に沿って均一に流体圧力を受けレクチ
ルガラスに均一に接着される。
【００１５】その他の実施例として、加圧子の一方を図
８の加圧子８の如き従来通りとし、他方を図１の弾性加
圧子３７の如き本発明による均一気圧機構とすることに
よっても同様の効果を得ることができる。また、弾性加
圧子の流体受圧面積を任意に分布させ、任意の加圧分布
を与えることができる。
８の加圧子８の如き従来通りとし、他方を図１の弾性加
圧子３７の如き本発明による均一気圧機構とすることに
よっても同様の効果を得ることができる。また、弾性加
圧子の流体受圧面積を任意に分布させ、任意の加圧分布
を与えることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のようにペリクル接着装置において
ペリクルフレームへの加圧力に比べ、加圧時変形に対す
る反力が十分小さい弾性加圧子とペリクルフレーム全周
に沿って弾性加圧子を介して流体圧力を均一に加える均
一加圧機構を設けることにより、ブラケット，弾性加圧
子等の部品製作上の誤差や、ペリクルフレーム，レクチ
ルガラス等の平面度と接着剤層の厚さのばらつきの誤差
を吸収し、レクチルガラスとペリクルフレームを均一に
接着することができる。
ペリクルフレームへの加圧力に比べ、加圧時変形に対す
る反力が十分小さい弾性加圧子とペリクルフレーム全周
に沿って弾性加圧子を介して流体圧力を均一に加える均
一加圧機構を設けることにより、ブラケット，弾性加圧
子等の部品製作上の誤差や、ペリクルフレーム，レクチ
ルガラス等の平面度と接着剤層の厚さのばらつきの誤差
を吸収し、レクチルガラスとペリクルフレームを均一に
接着することができる。
【図１】本発明の一実施例におけるペリクル接着装置の
断面図
断面図
【図２】同装置より加工されたレクチルガラスにペリク
ルフレームを接着したものを示す図
ルフレームを接着したものを示す図
【図３】（ａ）本発明の一実施例におけるペリクル接着
装置の保持プレートおよびチューブを示す構成図 （ｂ）本発明の第２の実施例におけるペリクル接着装置
の構成図
装置の保持プレートおよびチューブを示す構成図 （ｂ）本発明の第２の実施例におけるペリクル接着装置
の構成図
【図４】本発明の第３の実施例における同装置の構成図
【図５】本発明の第４の実施例における同装置の構成図
【図６】本発明の第５の実施例における同装置の構成図
【図７】本発明の第６の実施例における同装置の構成図
【図８】従来のペリクル接着装置の構成図
１ レクチルガラス ２，３ ペリクル ４，５ ペリクルフレーム ３７，３８ 弾性加圧子 ４０，４１ グリスまたはオイル
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03F 1/14 H01L 21/30 502
Claims (1)
- 【請求項１】 レチクルカ゛ラスの両面または片面にヘ゜リクルフレ-ム
を加圧接着するヘ゜リクル接着装置において、前記ヘ゜リクルフレ-ム
への加圧力に比べ、加圧時変形に対する反力が、十分小さ
い弾性加圧子を前記ヘ゜リクルフレ - ム 全周にわたって配し 、 この
弾性加圧子に前記 ヘ゜リクルフレ - ム 全周に沿って流体圧力を同
時かつ均一に加える均圧手段を有するヘ゜リクル接着装置
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