KR970001694B1 - 페리클 접착장치 - Google Patents

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마사끼 스즈끼
켄타로 신고
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마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
다니이 아끼오
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Abstract

내용 없음.

Description

페리클 접착장치
제1도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 페리클 접착장치의 단면도.
제2도는 동 장치로부터 가공된 레티클 유리에 페리클 프레임을 접착한 것을 표시한 도면.
제3도는(a)는 본 발명의 일실시예에 있어서의 페리클 접착장치의 지지플레이트 및 튜브를 표시한 구성도.
제3도는(b)는 본 발명의 제2의 실시예에 있어서의 페리클 접착장치의 구성도.
제4도는 본 발명의 제3의 실시예에 있어서의 동 장치의 구성도.
제5도는 본 발명의 제4의 실시예에 있어서의 동 장치의 구성도.
제6도는 본 발명의 제5의 실시예에 있어서의 동 장치의 구성도.
제7도는 본 발명의 제6의 실시예에 있어서의 동 장치의 구성도.
제8도는 종래의 페리클 접착장치의 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 레티클 유리 2,3 : 페리클
4, 5 : 페리클 프레임 37, 38 : 탄성가압자
40, 41 : 그리스 또는 오일
본 발명은, 노광장치등에 사용하는 레티클 유리의 양면 또는 한쪽면에 페리클(pellicle)을 장착한 페리클 프레임을 가압접착하는 페리클 접착장치에 관한 것이다.
이하 도면을 참조하면서 종래의 페리클 접착장치에 대해서 설명한다. 제2도는, 본 발명의 대상이 되는 페리클 접착장치에 있어서 가공된 것의 도면이며, (1)은 레티클 유리, (2),(3)은 페리클, (4),(5)는 페리클 프레임, (20)은 접착제층이며, (22)는 페리클에 의해서 보호되는 레티클 패턴이다. 제8도는, 종래의 페리클 접착장치의 단면도이다. 제8도에 있어서, (1)은 레티클 유리, (2),(3)은 페리클이고, 페리클 프레임(4),(5)에 접착되어 있으며, 페리클 프레임(4),(5)은 가압자(7),(8)에 지지되어 있다. 또, (6)은 진공흡착구(9)로 진공흡착하고, 레티클 유리(1)를 지지하는 흡착브래킷이고 베어링(16)에 장착되어 있다.
또, (10)은 고정브랫킷이고 가압자(8)가 장착되어 있다. (11)은 가동브래킷이고 가압자(7)가 장착되어 있으며, 베어링(17)에 장착되어 있다. 베어링(16),(17)은, 안내레일(18)을 따라서 이동할 수 있다. (12)의 베어링은, 가동브랫킷(11)에 장착되어 있으며, 구면이음매(13)와 구면에서 접하고 있으며, 공기압 실린더(15)의 피스톤로드(21)에 고정되어 있다. 공기압 실린더(15)는, 브래킷(14)에 장착되어 있다. 또 고정브래킷(10), 브래킷(14), 안내레일(18)은 받침대(19)에 고정되어 있다. 또 (20)은 접착제층이다.
이상과 같이 구성된 종래의 페리클 접착장치에 대해서 이하 그 동작에 대해서 설명한다. 공기가 공기압 실린더(15)에 공급되므로서, 피스톤로드(21)가 좌측으로 이동하고, 구면이음매(13), 베어링(12), 가동브래킷(11)을 개재해서 베어링(17)이 안내레일(18)위를 좌측이로 이동한다. 페리클 프레임(4)은 레티클 유리(1)와 맞닿고, 흡착브래킷(6)을 압압해서 베어링(16)도 안내레일(18)위를 좌측 방향으로 이동하여 레티클 유리(1)는, 페리클 프레임(5)에 맞닿았다. 레티클 유리(1)는, 가압자(7),(8)에 의해 양쪽으로부터 압압되고, 페리클 프레임(4),(5)에 접착제층(20)에 의해서 가압접착된다.
그러나, 상기와 같은 구조에서는, 고정브래킷(10), 가동브래킷(11), 흡착브래킷(6) 및 가압자(7),(8)의 부품제작상의 오차나, 페리클 프레임(4),(5), 레티클 유리(1)의 평면도 및 접착제층(20)의 두께의 불균일에 의한 오차를 흡수할 수 없었다. 이때문에, 레티클 유리(1)에의 페리클 프레임(4),(5)의 전체둘레를 걸친 완전한 접착을 할 수 없는 문제가 있었다.
그래서 본 발명은, 이들의 오차를 흡수하고, 레티클 유리와 페리클 프레임을 균일하게 가압하여 접착할 수 있도록 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 페리클 접착장치는, 페리클 프레임에의 가압력에 비해, 가압시 변형에 대한 반발력이 충분히 작은 탄성가압자와 페리클 프레임 전체둘레를 따라서 탄성가압자를 개재해서 유체압력을 균일하게 가하는 균일 가압수단을 가진 것이다.
이 기술적 수단에 의한 작용은, 페리클 프레임 접착시에, 페리클 프레임을 따라서 탄성가압자를 개재해서 유체압력이 균일하게 가해지도록 되고, 이결과, 레티클 유리와 페리클 프레임을 접합면에서 균일하게 가압하고, 균일하게 접착할 수도 있도록 되는 것이다.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조해서 설명한다. 제1도는 본 발명에 의한 페리클 접착장치의 단면도이다. 제1도에 있어서, (1)은 레티클 유리이고, 진공흡착구(9)에서 진공흡착되어 흡착브래킷(26)에 지지되어 있다. (2),(3)은 페리클이고 페리클 프레임(4),(5)에 접착되어 있다. 페리클 프레임(4),(5)은, 페리클 프레임에의 가압력에 비해 가압시 변형에 대한 반발력이 충분히 작은 탄성가압자(37),(38)에 지지되어 있다. 또 (40),(41)은 윤활유 또는 오일등의 유체이며, 탄성에 충분히 풍부한 튜브(42),(43)에 봉입되어 있어, 제3도 (a)에 표시한 바와 같이 페리클 프레임 둘레위를 따라서 지지플레이트(44)와 (45) 및 (46)과 (47)의 사이에 판홈에서 유지되어 있다. 또, 탄성가압자(37),(38)는 지지플레이트(44),(46)에서 접동가능하게 지지되어 있으며, 직접 튜브(42),(43)에 접하고 있다. 또, 지지플레이트(47)는 브래킷(48)에 장착되어 있고, 마찬가지로 지지플레이트(45)는 브래킷(49)에 장착되어 있다. 흡착브래킷(26), 브래킷(49)는 각각 베어링(53),(54)에 장착되어 있으며, 베어링(53),(54)은, 안내레일(56)위를 이동할 수 있다. 베어링(50)은, 브래킷(49)에 장착되어 있고, 구면이음매(51)와 구면에서 접하고 있다. 또, 구면이음매(51)는, 공기압 실린더(52)의 피스톤로드(58)에 고정되어 있다. 공기압 실린더(52)는, 브래킷(55)에 장착되어 있다. 브래킷(48),(55), 안내레일(56)은, 받침대(57)에 고정되어 있다.
이상과 같이 구성된 본 발명에 의한 페리클 접착장치에 대해서 이하 그 동작에 대해서 설명한다. 공기가 공기압 실린더(52)에 공급되면, 피스톤로드(58)가 좌측으로 이동하고, 구면이음매(51), 베어링(5), 브래킷(49)을 개재해서 베어링(54)이 안내레일(56)위를 좌측으로 이동하며, 페리클 프레임(4)이 레티클 유리(1)와 맞닿고, 흡착브래킷(26)을 압압해서 베어링(53)이 안내레일(56)위를 좌측방향으로 이동한다. 레티클 유리(1)는, 페리클 프레임(5)에 맞닿는다. 레티클 유리(1)에는, 탄성가압자(37),(38)를 개재해서 튜브(42),(43) 내부의 유체(40),(41)에 의한 유체압력을 전체 둘레를 따라서 균일하게 받는 페리클 프레임(4),(5)이 압압되어 접착제층(20)에 의해 균일하게 접착된다.
다음에, 본 발명의 제2의 실시예에 대해서 제3도를 참조해서 설명한다.
제3도(b)는, 튜브(42)의 양끝에 마개(60)를 설치하여, 마개(60)로 윤활유 또는 오일(40)을 봉입하고 있으며, 유사하게, 페리클 프레임 전체둘레를 따라서 맞추어진 것이다. 제3도(b)의 튜브(42)의 배치에 있어서도 제3도(a)의 이음매가 없는 튜브(42)의 배치와 거의 동일한 균일가압효과가 얻어진다.
또 본 발명의 제3의 실시예에 대해서 제4도를 참조해서 설명한다. 제4도에 있어서, (4)는 페리클 프레임, (62)는 페리클 프레임에의 가압력에 비해, 가압시 변형에 대한 반발력이 충분히 작은 탄성가압자, (63)은 시트형상의 탄성체, (64)는 시일제, (65)는 윤활유 또는 오일등의 유제이다. 또, (66),(67)은 지지플레이트이다.
제4도의 지지플레이트(66),(67)는, 제1도에 있어서의 지지플레이트(44),(45) 및 (46),(47)에 상당한다. 페리클 프레임(4)은, 탄성가압자(62), 시트형상의 탄성체(63)를 개재해서 유체압력을 전체둘레를 따라서 균일하게 받고, 레티클 유리에 균일하게 접착된다.
또 본 발명의 제4의 실시예에 대해서 제5도를 참조해서 설명한다. 제5도에 있어서, (4)는 페리클 프레임, (72)는 탄성가압제, (73)은 (72)의 탄성가압자 전체둘레를 따라서 접착되어 있는 탄성시일재, (74)는 시일재, (75)는 윤활유 또는 오일등의 유체이다. 또 (76),(77)은, 지지플레이트이고 제1도의 지지플레이트 (44),(45) 및 (46),(47)에 상당한다. 페리클 프레임(4)은, 탄성가압자(72)를 개재해서 유체압력을 전체둘레를 따라서 받아, 레티클 유리에 균일하게 접착된다.
또 본 발명의 제5의 실시예에 대해서 제6도를 참조해서 설명한다. 제6도에 있어서, (4)는 페리클 프레임, (82)는 탄성가압자, (83)은 시트형상의 탄성체이고, 페리클 프레임(4)의 전체둘레를 따라서 돌출한 부분(84)를 가진 구조를 하고 있으며, (86),(87)은 지지플레이트이다. (86),(87)의 지지플레이트는, 제1도에 있어서의 지지플레이트(44),(45) 및 (46),(47)에 상당한다. 페리클 플레임(4)은, 탄성가압자(82) 및 시트형상의 탄성체(83)를 개재해서 전체둘레를 따라서 균일하게 유체압력을 받아 레티클 유리에 균일하게 접착된다.
또 본 발명의 제6의 실시예에 대해서 제7도를 참조해서 설명한다. 제7도(b)에 있어서, (4)는 페리클 프레임, (92)는 탄성가압자, (93)은 복수의 실린더와 피스톤, (94)는 시일재, (95)는 윤활유 및 오일등의 유체, (96),(97)은 지지플레이트이고, 제1도에 있어서의 지지플레이트(44),(45) 및 (46),(47)에 상당한다. 또 실린더와 피스톤(93)은, 제7도(a)에 표시한 바와 같이 페리클 프레임(4)의 전체둘레를 따라서 배치되어 있다. 페리클 프레임(4)은, 탄성가압자(92) 및 실린더와 피스톤(93)을 개재해서 전체둘레를 따라서 균일하게 유체압력을 받아 레티클 유리에 균일하게 접착된다.
그외의 실시예로서, 가압자의 한쪽을 제8도의 가압자(8)와 같은 종래대로 하고, 다른쪽을 제1도의 탄성 가압자(37)와 같은 본 발명에 의한 균일가압기구로 하는데 있어서도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또, 탄성가압자의 유체가 받는 압력 면적을 임으로 분포시켜, 임의의 가압분포를 부여할 수 있다.
이상과 같이 페리클 접착장치에 있어서 페리클 프레임에의 가압력에 비해, 가압시 변형에 대한 반발력이 충분히 작은 탄성가압자와 페리클 프레임 전체둘레를 따라서 탄성가압자를 개재해서 유체압력을 균일하게 가하는 균일가압기구를 설정하므로서, 브래킷, 탄성가압자등의 부품제작상의 오차나, 페리클 프레임, 레티클 유리등의 평면도와 접착제층의 두께의 불균일의 오차를 흡수하여, 레티클 유리와 페리클 프레임을 균일하게 접착할 수 있다.

Claims (8)

  1. 받침대와, 받침대에 설치되어서, 제1의 가압차를 개재하여 제1의 페리클 프레임을 지지하는 제1의 고정브래킷과, 제2의 고정브래킷으로 받침대에 설치된, 가압작동기와, 받침대에 설치된 가이드레일위를 이동가능하고, 제2의 가압자를 개재하여 제2의 페리클 프레임을 지지하고, 상기 가압작동기의 작동단이 결합된 이동브래킷과, 상기 제1의 가압자와, 상기 제2의 가압자와의 사이에, 제1의 페리클 프레임과, 페티클 유리와, 제2의 페리클 프레임을 설치하여, 제1의 페리클 프레임과 레티클 유리와, 제2의 페리클 프레임을 접착하는 페리클 접착장치에 있어서, 제1의 고정브래킷과 제1의 가압자와의 사이와, 이동브래킷과 제2의 가압자와의 사이의 쌍방 또는 일방에, 유체를 사용한 균일압력기구를 구비하여, 제1과 제2의 가압자쌍방 또는 일방이 탄성을 지니고, 레티클 유리와 제1 및 제2의 페리클 프레임의 평면도 오차합에 상당하는 양의 가압자의 변형에 필요한 힘이 프레임 전체에 대한 가압력보다도 작은 것을 특징으로 하는 페리클 접착장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 페리클 접착장치는, 받침대와, 받침대에 설치되어서, 제1의 가압자를 개재하여 레티클 유리를 지지하는 제1의 고정브래킷과, 제2의 고정브래킷으로 받침대와 설치된, 가압작동기와, 받침대에 설치된 가이드레일위를 이동가능하고, 제2의 가압자를 개재하여 페리클 프레임을 지지하고, 상기 가압 작동기의 작동단이 결합된 이동브래킷과, 상기 제1의 가압자와, 상기 제2의 가압자와의 사이에, 레티클 유리와, 페리클 프레임을 설치하여 레티클 유리와, 페리클 프레임을 접착하는 페리클 접착장치로 이루어지고, 상기 제1의 고정브래킷과 제1의 가압자와의 사이, 상기 이동브래킷과 제2의 가압자와의 사이의 쌍방 또는 일방에, 유체를 사용한 균일압력기구를 구비하여, 제1과 제2의 가압자의 쌍방 또는 일방이 탄성을 지녀 레티클 유리와 페리클 프레임의 평면도 오차의 합에 상당하는 양의 가압자의 변형에 필요한 힘이 페리클 프레임 전체에 대한 가압력보다도 작은 것을 특징으로 하는 페리클 접착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체를 사용한 균일압력기구와, 상기 제1의 고정브래킷과 이동브래킷에 둘려 있는 홈과, 이것에 끼워넣어진 내부에 유체를 채운 탄성튜브와, 이것에 접하는 가압자로 이루어지는 페리클 접착장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체를 사용한 균일압력기구가, 상기 제1의 고정브래킷과 이동브래킷에 돌려 있는 홈과, 홈내부에 채워진 유체와, 홈을 덮는 시일상 탄성체와, 이것에 접하는 가압자로 이루어지는 페리클 접착장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체를 사용한 균일압력기구가, 상기 제1의 고정브래킷과 이동브래킷에 둘려 있는 홈과, 홈의 내부에 채워진 유체와, 이것에 접하는 탄성시일재로 접착지지된 가압자로 이루어지는 페리클 접착장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체를 사용한 균일압력기구가, 상기 제1의 고정브래킷과 이동브래킷에 돌려 있는 홈과, 홈의 내부에 채워진 유체와, 홈을 덮는 가압자에 접하는 돌기부를 지닌 시일상 탄성체와, 가압자로 이루어지는 페리클 접착장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체를 사용한 균일압력기구가, 상기 제1의 고정브래킷과 이동브래킷과의 내부에 둘려 있는 홈과, 홈의 내부에 채워진 유체와, 홈에 따라서 배치되어 일단을 가압자에 접하고 타단을 홈의 내부 유체에 접하는 복수의 실린더와 피스톤으로 이루어지는 페리클 접착장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유체의 균일압력을 받는 수압면적을 임의로 분포시켜, 가압자가 패리클 프레임을 외주에 연해 가압하는 힘의 강도를 임의로 분포시킬 수 있는 페리클 접착장치.
KR1019920017387A 1991-09-27 1992-09-24 페리클 접착장치 KR970001694B1 (ko)

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