JPS6238468A - ペリクル装着装置 - Google Patents
ペリクル装着装置Info
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- JPS6238468A JPS6238468A JP60177010A JP17701085A JPS6238468A JP S6238468 A JPS6238468 A JP S6238468A JP 60177010 A JP60177010 A JP 60177010A JP 17701085 A JP17701085 A JP 17701085A JP S6238468 A JPS6238468 A JP S6238468A
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- Japan
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- pellicle
- mask
- frame
- mounter
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造プロセスにおいて使用されるマス
クへの塵埃付着を防止するペリクルをマスクへ装着する
ペリクル装着装置に関するものである。
クへの塵埃付着を防止するペリクルをマスクへ装着する
ペリクル装着装置に関するものである。
（従来の技術）
ペリクルとは半導体製造プロセスにおけるマスクへの塵
埃付着を防止するためのものであり、第６図に示される
ように、ペリクル膜１とフレーム２と粘着剤塗布部３と
から成っており、このペリクル膜１は薄い透明材料であ
り、例えば、サブミクロンから１／２ミルの厚みのニト
ロセルロースかマイラー材料である。
埃付着を防止するためのものであり、第６図に示される
ように、ペリクル膜１とフレーム２と粘着剤塗布部３と
から成っており、このペリクル膜１は薄い透明材料であ
り、例えば、サブミクロンから１／２ミルの厚みのニト
ロセルロースかマイラー材料である。
フレーム２は金属、例えばアルミ類、又はプラスチック
製で、内径１２０〜１５０ＩＩ１１、フレームの厚み２
〜３ＩｎＩ１１、高さ４〜６ＩＩＩＩＩ＋の丸型又は角
型に形成されている。粘着剤としては例えば、ＭＡＣＴ
ＡＣ粘着剤（スリーエム製）を用いることができ、厚み
約０．１１である。
製で、内径１２０〜１５０ＩＩ１１、フレームの厚み２
〜３ＩｎＩ１１、高さ４〜６ＩＩＩＩＩ＋の丸型又は角
型に形成されている。粘着剤としては例えば、ＭＡＣＴ
ＡＣ粘着剤（スリーエム製）を用いることができ、厚み
約０．１１である。
この粘着剤塗布部３が、第７図に示されるように、マス
ク４に固着されるようになっている。即ち、ペリクルＰ
＋、Ｐｇを洗浄した塵埃などの付着していないマスク４
に装着する。ペリクルＰ１、Ｐｚとマスク４は上記した
粘着剤塗布部３の粘着剤により接着されるようになって
いる。
ク４に固着されるようになっている。即ち、ペリクルＰ
＋、Ｐｇを洗浄した塵埃などの付着していないマスク４
に装着する。ペリクルＰ１、Ｐｚとマスク４は上記した
粘着剤塗布部３の粘着剤により接着されるようになって
いる。
このようにマスク４上にはペリクルＰ＋、Ｐｇを装着す
ることにより、第８図に示されるように、ペリクルＰ＋
、Ｐｇ上に塵埃５が付着したとＬ・てもディフォーカス
となリウエハ６には転写されることはない。
ることにより、第８図に示されるように、ペリクルＰ＋
、Ｐｇ上に塵埃５が付着したとＬ・てもディフォーカス
となリウエハ６には転写されることはない。
なお、第８図において、７はコンデンサレンズ、８は対
物レンズである。
物レンズである。
ところで、従来、この種のペリクル装着装置は、第９図
乃至第１１図に示されるような構成となっている。
乃至第１１図に示されるような構成となっている。
第９図は、従来のペリクル装着装置のセット準備状態断
面図、第１０図は第９図のＡ−Ａ ’矢視図、第１１図
は従来のペリクル装着装置によるペリクル装着前の状態
断面図である。
面図、第１０図は第９図のＡ−Ａ ’矢視図、第１１図
は従来のペリクル装着装置によるペリクル装着前の状態
断面図である。
図中、４はマスク、Ｐ＋、Ｐｇはベリタル、１１は基台
、１２はシリンダ、１２−１はブツシャ−１１３は下部
に設けられる第１のマウンタ、１４は上部に設けられる
第２のマウンタ、１５は枢支軸、１６はガイドピン、１
７は位置決めピン、１８はマウント固定アームである。
、１２はシリンダ、１２−１はブツシャ−１１３は下部
に設けられる第１のマウンタ、１４は上部に設けられる
第２のマウンタ、１５は枢支軸、１６はガイドピン、１
７は位置決めピン、１８はマウント固定アームである。
ペリクルｐｉ、ｐｇは第１のマウンタ１３．第２のマウ
ンタ１４にセットする。
ンタ１４にセットする。
ここで、マスク４はガイドピン１６により位置決めされ
る。
る。
ペリクルＰｇは真空バキュームにより第１のマウンタ１
３に固定される。ペリクルＰ２及びマスク４をセットし
た後、第２のマウンタ１４を第９図に示される基台１１
に設けられる枢支軸１５を中心に回動させ、このマウン
タ１４の下面を位置決めピン１７により位置決めし、マ
ウンタ固定アーム１日をセットすることにより、第１１
図に示されるように第２のマウンタ１４は基台１１に固
定される。このようにして、ペリクル装着の準備は終了
する。
３に固定される。ペリクルＰ２及びマスク４をセットし
た後、第２のマウンタ１４を第９図に示される基台１１
に設けられる枢支軸１５を中心に回動させ、このマウン
タ１４の下面を位置決めピン１７により位置決めし、マ
ウンタ固定アーム１日をセットすることにより、第１１
図に示されるように第２のマウンタ１４は基台１１に固
定される。このようにして、ペリクル装着の準備は終了
する。
この状態で、ペリクル装着装置はシリンダ１２の駆動に
よりプッシャー１２−１が上昇すると、第１のマウンタ
１３とペリクルＰｔが押し上げられる。
よりプッシャー１２−１が上昇すると、第１のマウンタ
１３とペリクルＰｔが押し上げられる。
この状態でプッシャー１２−１が上昇し続けることによ
り、第１２図に示されるように、ペリクルＰ。
り、第１２図に示されるように、ペリクルＰ。
、Ｐ２はその接着剤塗布部がマスク４と当接し、ペリク
ルＰ＋、Ｐｇはマスク４に接着される。プッシャー１２
−１の上昇距離及び接着圧力は可変にすることができる
。また、シリンダ１２及びプッシャー１２−１の位置は
第１０図に示されるように、ペリクルＰ、の中心線に位
置するように配設される。
ルＰ＋、Ｐｇはマスク４に接着される。プッシャー１２
−１の上昇距離及び接着圧力は可変にすることができる
。また、シリンダ１２及びプッシャー１２−１の位置は
第１０図に示されるように、ペリクルＰ、の中心線に位
置するように配設される。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記構成の装置では、ペリクルＰ２のフ
レームの高さが全周にわたって一定にならない。つまり
、機械加工によりフレームの高さが、例えば、±０．１
− 程度が生じるので、第１２図に示されるように、
フレームの左側の高さｌい右側の高さＩｔ−とバラツキ
が生じる。すると、プッシャー１２−１はマウンタ１３
を水平状態にして押し上げるため、ペリクルＰ２のフレ
ームの高さにバラツキがあると、第１２図に示されるよ
うに、ペリクルＰ２のマスク４にペリクルのフレームを
全周にわたり確実に密着状態に接着するのは困難である
。密着しないと、ペリクルＢとマスク４との間にすき間
が生じ、このすき間から塵埃等が侵入するといった問題
があった。・ これを回避するために、無理にペリクルＰｔをマスク４
に密着状態に接着しようとしてプッシャー１２−１のプ
レス圧を高くすると、マスク４は石英製であり、破損す
る恐れがある。
レームの高さが全周にわたって一定にならない。つまり
、機械加工によりフレームの高さが、例えば、±０．１
− 程度が生じるので、第１２図に示されるように、
フレームの左側の高さｌい右側の高さＩｔ−とバラツキ
が生じる。すると、プッシャー１２−１はマウンタ１３
を水平状態にして押し上げるため、ペリクルＰ２のフレ
ームの高さにバラツキがあると、第１２図に示されるよ
うに、ペリクルＰ２のマスク４にペリクルのフレームを
全周にわたり確実に密着状態に接着するのは困難である
。密着しないと、ペリクルＢとマスク４との間にすき間
が生じ、このすき間から塵埃等が侵入するといった問題
があった。・ これを回避するために、無理にペリクルＰｔをマスク４
に密着状態に接着しようとしてプッシャー１２−１のプ
レス圧を高くすると、マスク４は石英製であり、破損す
る恐れがある。
本発明は、上記問題点を除去し、塵埃等が侵入すること
のない、信顛性の高いペリクル装着が可能なペリクル装
着装置を提供することを目的とする。
のない、信顛性の高いペリクル装着が可能なペリクル装
着装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記問題点を解決するために、ペリクルをマ
スクに押し当てるプッシャーをペリクルのフレームの端
面に複数配設するようにしたものである。
スクに押し当てるプッシャーをペリクルのフレームの端
面に複数配設するようにしたものである。
（作用）
本発明によれば、複数に配設されたプッシャーにより、
ペリクルのフレームはその全端面が均一にマスクに押し
当てられ密着状態で接着されることになり、ペリクル内
への塵埃等の侵入を防止することができる。
ペリクルのフレームはその全端面が均一にマスクに押し
当てられ密着状態で接着されることになり、ペリクル内
への塵埃等の侵入を防止することができる。
（実施例）
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明に係るペリクル装着装置の断面図、第２
図はべりタル装着前の状態説明図、第３図は第２図のＢ
−Ｂ ’矢視図である。第４図は本発明に係るマウンタ
の斜視図、第５図はべりタルが装着されたマスクの斜視
図である。
図はべりタル装着前の状態説明図、第３図は第２図のＢ
−Ｂ ’矢視図である。第４図は本発明に係るマウンタ
の斜視図、第５図はべりタルが装着されたマスクの斜視
図である。
本発明においては、ペリクルの接着塗布部が全面にわた
ってマスクに密着するようにマウンタ、シリンダ及びブ
ツシャ−の配置を工夫した点を特徴としている。
ってマスクに密着するようにマウンタ、シリンダ及びブ
ツシャ−の配置を工夫した点を特徴としている。
まず、このブツシャ−の構成について説明する。
本発明に係る第１のマウンタ１９の下部には１例えば、
空気圧によって駆動される複数のシリンダが設けられ、
それらのシリンダには、該シリンダにバネ１２ａを介し
て連結するブツシャ−を有している。そして、第１のマ
ウンタ１９の下面の中央部に位置し、このマウンタ１９
を全体的に水平状態にして押し上げるブーシャー１２−
１の外にペリクルＰ２のフレーム２の下端面に当接する
ように複数のプッシャーを配設する。
空気圧によって駆動される複数のシリンダが設けられ、
それらのシリンダには、該シリンダにバネ１２ａを介し
て連結するブツシャ−を有している。そして、第１のマ
ウンタ１９の下面の中央部に位置し、このマウンタ１９
を全体的に水平状態にして押し上げるブーシャー１２−
１の外にペリクルＰ２のフレーム２の下端面に当接する
ように複数のプッシャーを配設する。
この実施例においては、第３図に示されるように、ペリ
クルＰ２のフレーム２の端面に対応するように８個のブ
ツシャ−１２−２〜１２−９を配設する。
クルＰ２のフレーム２の端面に対応するように８個のブ
ツシャ−１２−２〜１２−９を配設する。
一方、前記したマウンタ１９は、例えばアルミ製のブロ
ックであり、第４図に示されるように、その底部には前
記したブツシャ−１２−２〜１２−９が対応して挿入さ
れる穴１９−２〜１９−９が穿設される。
ックであり、第４図に示されるように、その底部には前
記したブツシャ−１２−２〜１２−９が対応して挿入さ
れる穴１９−２〜１９−９が穿設される。
次に、この装置の動作について説明する。
まず、第２図に示されるように、従来の装置と同様にプ
ッシャー１２−１により、マウンタ１９及びペリクルｐ
ｇを押し上げていき、第１図に示されるように、ペリク
ルＰ＋、Ｐｉをマスク４に接着する。
ッシャー１２−１により、マウンタ１９及びペリクルｐ
ｇを押し上げていき、第１図に示されるように、ペリク
ルＰ＋、Ｐｉをマスク４に接着する。
そこで、プッシャー１２−１はマスク４ヘペリクルＰ、
のフレームをプレスした状態を保持しておき、次に、プ
ッシャー１２−２がペリクルの対応するフレームの端面
を、例えば、１秒間プレスする。
のフレームをプレスした状態を保持しておき、次に、プ
ッシャー１２−２がペリクルの対応するフレームの端面
を、例えば、１秒間プレスする。
ブツシャ−１２−２がプレスを終了すると、次に、ブツ
シャ−１２−３が同時にペリクルの対応するフレーム２
の端面を１秒間プレスする。以下、同様に順次、ブツシ
ャ−１２−４からブツシャ−１２−９まで動作させる。
シャ−１２−３が同時にペリクルの対応するフレーム２
の端面を１秒間プレスする。以下、同様に順次、ブツシ
ャ−１２−４からブツシャ−１２−９まで動作させる。
このように、ペリクルのフレームの端面の全周にわたり
、多点でプレスする。
、多点でプレスする。
このようにしてペリクルＰは第５図に示されるようにマ
スク４に装着されることになる。即ち、フレームの高さ
が１１と１．で異なる場合にも複数のブツシャ−による
多点プレスにより、ペリクルＰをマスク４上に確実に密
着状態に装着することができる。
スク４に装着されることになる。即ち、フレームの高さ
が１１と１．で異なる場合にも複数のブツシャ−による
多点プレスにより、ペリクルＰをマスク４上に確実に密
着状態に装着することができる。
その他の点については、従来のペリクル装着装置の構成
と同様であり、重複するので説明は省略する。
と同様であり、重複するので説明は省略する。
なお、上記実施例においては、（１）ペリクルは四角形
としているが丸形であってもよい、（２）ブツシャ−の
配置はべりタルの形状に合わせて配置することができる
０例えば、光量の場合は円周状に配置することができる
。（３）プッシャーの数は８個に限定されるものではな
く、適宜増減することができる。（４）ブツシャ−の駆
動源は空気圧によるシリンダに限定さるものではなく、
プランジャ形の電磁装置を用いるようにしてもよい。
としているが丸形であってもよい、（２）ブツシャ−の
配置はべりタルの形状に合わせて配置することができる
０例えば、光量の場合は円周状に配置することができる
。（３）プッシャーの数は８個に限定されるものではな
く、適宜増減することができる。（４）ブツシャ−の駆
動源は空気圧によるシリンダに限定さるものではなく、
プランジャ形の電磁装置を用いるようにしてもよい。
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ペリク
ルのフレームの一端面における接着剤塗布部をマスクへ
押圧してペリクルをマスクへ装着するペリクル装着装置
において、前記フレームの他端面に対応して複数のプッ
シャーを配設し、前記ペリクルを多点押圧するようにし
たので、マスクに対してペリクルのフレームの接着剤塗
布部の全端面を押圧することができ、ペリクルをマスク
へ密着状態に確実に接着させることができ、マスク上へ
の塵埃の侵入を防止することができる。
ルのフレームの一端面における接着剤塗布部をマスクへ
押圧してペリクルをマスクへ装着するペリクル装着装置
において、前記フレームの他端面に対応して複数のプッ
シャーを配設し、前記ペリクルを多点押圧するようにし
たので、マスクに対してペリクルのフレームの接着剤塗
布部の全端面を押圧することができ、ペリクルをマスク
へ密着状態に確実に接着させることができ、マスク上へ
の塵埃の侵入を防止することができる。
従って、本発明は、歩留まりのよい、信鯨性の高いウェ
ハの製造に寄与するところ大である。
ハの製造に寄与するところ大である。
第１図は本発明に係るペリクル装着装置の断面図、第２
図はべりタル装着前の状態説明図、第３図は第２図のＢ
−Ｂ’矢視図、第４図は本発明に係るマウンタの斜視図
、第５図はべりタルが装着されたマスクの斜視図、第６
図はべりタルの断面図、第７図はべりタル装着状態側面
図、第８図はべりタルの使用態様説明図、第９図は従来
のペリクル装着装置の準備状態断面図、第１０図は第９
図のＡ−Ａ ’矢視図、第１１は従来のペリクル装着装
置によるペリクル装着前の状態断面図、第１２図は従来
のペリクル装着装置の問題点説明図である。 Ｐ＋、Ｐｉ・・・ペリクル、ｌ・・・ペリクル膜、２・
・・フレーム、３・・・粘着剤塗布部、４・・・マスク
、５・・・塵埃、６・・・ウェハ、７・・・コンデンサ
レンズ、８・・・対物レンズ、１１・・・基台、１２・
・・シリンダ、１２−１〜１２−９・・・プッシャー、
１３．１９・・・第１のマウンタ、１４・・・第２のマ
ウンタ、１５・・・枢支軸、１６・・・ガイドビン、１
７・・・位置決めビン、１８・・・マウンタ固定アーム
。
図はべりタル装着前の状態説明図、第３図は第２図のＢ
−Ｂ’矢視図、第４図は本発明に係るマウンタの斜視図
、第５図はべりタルが装着されたマスクの斜視図、第６
図はべりタルの断面図、第７図はべりタル装着状態側面
図、第８図はべりタルの使用態様説明図、第９図は従来
のペリクル装着装置の準備状態断面図、第１０図は第９
図のＡ−Ａ ’矢視図、第１１は従来のペリクル装着装
置によるペリクル装着前の状態断面図、第１２図は従来
のペリクル装着装置の問題点説明図である。 Ｐ＋、Ｐｉ・・・ペリクル、ｌ・・・ペリクル膜、２・
・・フレーム、３・・・粘着剤塗布部、４・・・マスク
、５・・・塵埃、６・・・ウェハ、７・・・コンデンサ
レンズ、８・・・対物レンズ、１１・・・基台、１２・
・・シリンダ、１２−１〜１２−９・・・プッシャー、
１３．１９・・・第１のマウンタ、１４・・・第２のマ
ウンタ、１５・・・枢支軸、１６・・・ガイドビン、１
７・・・位置決めビン、１８・・・マウンタ固定アーム
。
Claims (1)
- ペリクルのフレームの一端面における接着剤塗布部をマ
スクへ押圧してペリクルをマスクへ装着するペリクル装
着装置において、前記フレームの他端面に対応して複数
のプッシャーを配設し、前記ペリクルを多点押圧するよ
うにしたことを特徴とするペリクル装着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177010A JPS6238468A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペリクル装着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177010A JPS6238468A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペリクル装着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238468A true JPS6238468A (ja) | 1987-02-19 |
Family
ID=16023585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177010A Pending JPS6238468A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペリクル装着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238468A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0588358A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ペリクル接着装置 |
| US6599856B1 (en) | 1999-10-21 | 2003-07-29 | Tennex Corporation | Formed activated carbon and process for producing the same |
| JP2007010697A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Lasertec Corp | ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 |
| US7615108B2 (en) | 2007-06-11 | 2009-11-10 | Mahle Filter Systems Japan Corp. | Canister |
| US7906078B2 (en) | 2002-06-18 | 2011-03-15 | Osaka Gas Co., Ltd. | Adsorbent of latent-heat storage type for canister and process for producing the same |
| JP2011085831A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Toppan Printing Co Ltd | ペリクル貼付装置およびペリクル貼付方法、ペリクル付マスク |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP60177010A patent/JPS6238468A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0588358A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ペリクル接着装置 |
| US6599856B1 (en) | 1999-10-21 | 2003-07-29 | Tennex Corporation | Formed activated carbon and process for producing the same |
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| JP2007010697A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Lasertec Corp | ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 |
| JP4608638B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2011-01-12 | レーザーテック株式会社 | ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 |
| US7615108B2 (en) | 2007-06-11 | 2009-11-10 | Mahle Filter Systems Japan Corp. | Canister |
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