JPH0697215A - 小物品群付貼着シートおよびそれが使用される小物品のピックアップ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 貼着シートに貼着されている小物品の外形を
撮像装置によって鮮明に撮像できる小物品群付貼着シー
トを提供し、小物品のピックアップを正確に実施する。 【構成】 シート基材４の片面に粘着剤層５が塗布され
た粘着シート３に多数個のペレット２が間隔を置かれて
粘着されているペレット群付粘着シート１において、シ
ート基材４または粘着剤層５あるいは双方が、例えば白
色に着色されている。 【効果】 ペレット群付粘着シート１がピックアップ１
１の吸着面に保持され、上方に設備されている撮像装置
１８によってペレット２が撮像されるに際して、貼着シ
ート３が着色されているので、貼着シート３の裏面側に
配置するピックアップステージ１１上面の真空吸着溝１
２等が貼着シート３を通して投影されない。そのため、
ペレット２の外形が撮像装置１８によって鮮明に映し出
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、小物品のピックアップ
技術、特に、多数個の小物品が粘着シートの一主面に粘
着剤層を介して貼着されて成る小物品群付貼着シートか
ら小物品を画像認識を用いて特定してピックアップする
技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程において、
ダイシングされた半導体ペレット（以下、単にペレット
という。）を小物品群付貼着シートからピックアップし
て、リードフレーム等のような基板にボンディングする
などの際に利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程におけるペレット
ボンディング工程は、次のような工程を有している。す
なわち、半導体ウエハ（以下、単にウエハという。）に
伸縮性を有する粘着シートが貼着される工程と、ウエハ
が複数個のペレットに分断されるダイシング工程と、前
記ダイシングされて成るペレット群付貼着シートがその
粘着シートが引き延ばされた状態で、円形リング形状の
治具に保持される治具装着工程と、治具に保持された小
物品群付貼着シートにおける各ペレットが１個宛、粘着
シートから剥離されて順次ピックアップされるピックア
ップ工程とを有している。

【０００３】前記ピックアップ工程において、ペレット
のピックアップ方法が実施されるピックアップ装置は、
多数個のペレットが粘着シートに貼着されて成るペレッ
ト群付貼着シートを保持するシート保持ステージと、こ
のステージの上面に保持されたペレット群付貼着シート
の貼着シートを裏面側からペレットを突き上げるニード
ルとを備えている。前記シート保持ステージの上面に
は、ペレット群付貼着シートを真空吸着するための吸着
溝が複数条形成されており、この吸着溝は真空導入路が
接続されている。また、シート保持ステージにはニード
ルの挿通孔が上下方向に貫通して形成されている。

【０００４】このピックアップ工程において、ペレット
がニードルによって突き上げられ、この突き上げられた
ペレットはコレットによってピックアップされてリード
フレームまで移動されボンディングされる。すなわち、
突き上げられたペレットは、ニードルの真上に移動され
ているコレットにより真空吸着保持される。このペレッ
トを吸着保持したコレットは適当な移動装置によってリ
ードフレーム上まで移送されて、ペレットがリードフレ
ームにボンディングされる。

【０００５】コレットがペレットを吸着する際、コレッ
トがピックアップされるべきペレットの真上位置に配置
するように、コレットの移動装置は制御される。このコ
レットの位置を制御するために、ペレットの上方位置
に、ピックアップされるべきペレットを撮像する撮像装
置が配置されており、この撮像装置によって撮像された
ペレットの映像からペレットの位置を認識し、コレット
をピックアップされるべきペレットの真上位置に配置さ
せる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たペレットのピックアップ方法においては、ピックアッ
プされるべきペレットを撮像する際、次の問題がある。
すなわち、ペレット群付貼着シートにあって多数個のペ
レットを貼着している貼着シートの色は、透明か半透明
の淡青色であるため、粘着シートの裏面側に配置するシ
ート保持ステージの真空吸着溝やニードル孔が粘着シー
トの透明または半透明を通して投影され、それがペレッ
トの外形に重なる場合、ペレットの輪郭が不明確にな
り、ペレットの外形を正確に識別しにくいという問題が
ある。

【０００７】本発明の目的は、貼着シートに貼着されて
いる小物品の外形を撮像装置によって明確に認識するこ
とができる小物品群付貼着シートおよびその小物品のピ
ックアップ方法を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、適度な可撓性を有するシート基
材と、このシート基材の片面に塗布されている粘着剤層
とから成る粘着シートに、多数個の小物品が互いに離間
して配置されて前記粘着剤層を介して貼着されている小
物品群付貼着シートにおいて、前記貼着シートが前記小
物品の色と明度差が大きい色に着色されている小物品群
付貼着シートから前記小物品をピックアップする方法で
あって、前記小物品群付貼着シートの小物品が小物品群
付貼着シートの小物品側の撮像装置によって撮像される
とともに、この撮像に基づいて小物品が認識され、さら
に、この認識された小物品がコレットによって真空吸着
されてピックアップされる小物品のピックアップ方法に
おいて、前記撮像装置の撮像に基づいて小物品が認識さ
れるに際して、認識対象である小物品の色と、背景であ
る前記粘着シートとの着色との明度差によって小物品の
外形が認識されることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記した手段によれば、貼着シートが着色され
ているため、貼着シートの裏面側の物体が貼着シートを
通して投影されることがなくなる。その結果、貼着シー
トに貼着されている小物品の外形を明確に識別すること
が可能となる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるペレットのピ
ックアップ方法が実施されるピックアップ装置を示す要
部縦断面図、図２は図１の一部分を示す拡大平面図、図
３は本発明の一実施例であるペレット群付粘着シートを
示す平面図である。

【００１３】以下、本発明の一実施例であるペレットの
ピックアップ方法をペレットボンディング工程に適用し
た場合について説明する。

【００１４】本実施例において、本発明に係るペレット
のピックアップ方法が実施されるペレットのピックアッ
プ装置１０は、半導体装置の製造工程において、ダイシ
ングされた小物品としてのペレットを粘着シートから１
個宛、ピックアップするすように構成されており、小物
品群付貼着シートとしてのペレット群付粘着シート１
は、次のようにして製造されて構成されている。

【００１５】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。

【００１６】このようにして検査されたウエハには、シ
ート粘着工程において、粘着シート３がその裏面に粘着
される。粘着シート３は樹脂等のような伸縮性を有する
材料を用いられて、ウエハよりも大径の円形の薄膜形状
に形成されているシート基材４を備えており、このシー
ト基材４の片側主面には適当な粘着剤層５が塗布されて
形成されている。

【００１７】本実施例において、前記シート基材４はウ
エハの色と明度差が大きい色としての白色に着色されて
いる。この着色はシート基材４の製造時に材料に白色の
顔料等を混練することにより、簡単に施すことができ
る。

【００１８】続いて、ダイシング工程において、ウエハ
は各ペレット２に分断される。このとき、ウエハの裏面
に粘着されている粘着シート３は切断されないため、小
物品群としてのペレット２群はばらばらにならずに一群
にまとまった状態で、かつ、碁盤の目のように縦横に整
列された状態になっている。

【００１９】次いで、治具装着工程において、粘着シー
ト３の外周部にリング６が装着される（図３参照）。リ
ング６はステンレス鋼等のような剛性材料を用いられ
て、ウエハよりも大径の円形リング形状に形成されてい
る。粘着シート３はリング６の枠内に対向するように配
された後、径方向外向きに引き伸ばされ、その外周辺部
がリング６に固定される。このとき、粘着シート３の伸
びに伴って隣合うペレット２、２間が等間隔に離れるこ
とになる。

【００２０】ピックアップ装置１０は、このピックアッ
プ装置のワークとしてのペレット群付粘着シート（以
下、ワークということがある。）１を保持するためのピ
ックアップステージ１１を備えており、このステージ１
１の上面にはワーク１を真空吸着保持するための吸着溝
１２が複数条、後記するニードル孔１５の周りに同心円
状に形成されている。

【００２１】また、ピックアップステージ１１にはステ
ージ１１の一側面に開口して横方向に延びる真空導入孔
１３が形成されており、この真空導入孔１３から分岐し
て上方に延びている複数個の真空導入孔１４がそれぞれ
前記各吸着溝１２に接続している。真空導入孔１３は真
空パイプ等（図示せず）を介して真空源に接続されてい
る。

【００２２】したがって、ピックアップステージ１１の
上面は吸着面１７をなしており、真空導入孔１３、１４
および吸着溝１２を介して真空吸引されるように構成さ
れている。ピックアップステージ１１の中央部にはニー
ドル孔１５が上下方向に貫通するように形成されてお
り、このニードル孔１５にはニードル１６が上下動自在
に挿入されている。ニードル１６は図示しない駆動装置
により上下動されるようになっており、その下限位置で
はニードル孔１５内に格納されているが、その上限位置
においては、ピックアップステージ１１の上面である吸
着面１７から上方に突出するようになっている。

【００２３】ピックアップ装置１０にはさらに、リング
６に装着されているワーク１を保持するためのテーブル
（図示せず）が設備されており、このテーブルは保持し
たワーク１を図示しない駆動装置により、ピックアップ
ステージ１１の上面に対して、ＸＹＺ方向に移動し得る
ように構成されている。

【００２４】ニードル１６の上方位置にはテレビカメラ
等から構成されている撮像装置１８が設備されており、
この撮像装置１８はニードル１６によってピックアップ
されるべきペレット２を撮映するように構成されてい
る。

【００２５】撮像装置１８には図示しない認識装置が電
気的に接続されており、この認識装置は撮像装置１８の
撮像信号に基づいて、ペレット２の位置等を認識するよ
うに構成されている。この認識装置の認識結果により、
ペレット２に不良品であることを示すマークが付されて
いるか否か、あるいは、ペレット２に欠けがあるか否か
等が識別され、さらにペレット２の位置が認識される。

【００２６】ピックアップされるべきペレット２の位置
が認識されると、その認識結果はコレット１９のコント
ローラ（図示せず）に送信されるように構成されてお
り、このコントローラの指令によってコレット１９は、
適当な移動装置（図示せず）により、ピックアップされ
るべきペレット２の真上位置へ移動して配置されるよう
に構成されている。

【００２７】ペレット２の真上位置に配置されたコレッ
ト１９は、ニードル１６によって突き上げられたペレッ
ト２を上から真空吸着保持し得るように構成されてい
る。そして、ペレット２を吸着保持したコレット１９は
適当な移動装置（図示せず）により、ペレット２を移送
すべき位置まで移動されるように構成されている。

【００２８】次に、ペレットのピックアップ方法を説明
する。ワーク１がピックアップステージ１１の吸着面１
７に適正にアライメイントされて配置されると、図示外
の真空源が作動されて、ピックアップステージ１１の真
空導入孔１３、１４および吸着溝１２を介して、粘着シ
ート３の裏面がピックアップステージ１１の吸着面１７
に真空吸着される。

【００２９】ワーク１がピックアップステージ１１の上
面に吸着保持されると、上方に配置されている撮像装置
１８がニードル１６によってピックアップされるべきペ
レット２を撮映する。この撮像装置１８の撮像信号に基
づいて認識装置が前記ペレット２に不良品のマークが付
されているか否か、あるいは、欠けがあるか否かを認識
し、不良品の場合はその認識結果により、真空源がオフ
され、ワーク１が適宜移動されて、次のピックアップす
べきペレット２がニードル１６の上方位置に対向配置さ
れた後、真空源が作動されてワーク１が吸着面１７に吸
着され、ペレット２が撮像装置１８によって撮映され
る。

【００３０】ペレット２が良品であると、ペレット２の
外形からペレット２の位置が認識装置によって認識さ
れ、その認識結果はコレット１９のコントローラに送信
され、コントローラの指令によってコレット１９が適当
な移動装置により、ピックアップされるべきペレット２
の真上位置へ移動して配置される。

【００３１】ところで、前記したペレットの外形認識作
業において、ペレット２を撮像装置１８によって撮映す
る際、従来はワーク１における粘着シート３が透明ある
いは半透明の淡青色に構成されているため、粘着シート
３の裏面側に位置するピックアップステージ１１の吸着
溝１２やニードル孔１５が粘着シート３を通して投影さ
れて、ペレット２の外形（輪郭）が不鮮明に映し出され
てしまう。その結果、撮像装置１８に接続された認識装
置によるペレット２の外形についての認識が不能ないし
は不適正になり、コレット１９によるピックアップが不
能ないしは不適正になる。

【００３２】しかし、本実施例においては、ワーク１に
おける粘着シート３のシート基材４が白色に着色されて
いるため、ピックアップステージ１１の吸着溝１２やニ
ードル孔１５が粘着シート３を通して投影されず、ま
た、粘着シート３の白色がペレット２とのコントラスト
を強める結果、ペレット２の外形（輪郭）が鮮明に映し
出される。このため、認識装置は撮像によってペレット
２の外形を明確に認識することができる。

【００３３】続いて、ニードル１６が上昇されると、粘
着シート３はピックアップステージ１１の吸着面１７に
吸着保持されているため、シート基材４のニードル１６
により突かれた部分のみがニードル１６により突き破ら
れることになる。

【００３４】シート基材４がニードル１６により突き破
られると、シート基材４の表面に粘着剤層５によって粘
着されているペレット２のみが、ニードル１６によりシ
ート基材４から剥離されて持ち上げられる。このとき、
ニードル１６により突かれた位置のシート基材４の周囲
の部分は、ピックアップステージ１１により吸着保持さ
れているため、連れ上がりすることはない。

【００３５】このようにしてニードル１６により突き上
げられたペレット２は、その真上に待機されているコレ
ット１９に吸着保持されるとともに、ニードル１６の下
降作動に伴って、コレット１９に受け渡される。

【００３６】このようにしてペレット２を受け渡された
コレット１９は適当な移動装置によって、ニードル１６
の真上位置からリードフレームのタブ等の所定位置に移
動され、ペレットをタブ等の所定位置にボンディングす
る。その後、コレット１９はニードル１６によって突き
上げられるべきペレット２の真上位置に前記と同様にし
て移動され、次のピックアップ作動が実施される。

【００３７】以降、前記作動が繰り返されることによ
り、ワーク１における粘着シート３からペレット２が１
個宛ピックアップされて、リードフレームのタブにボン
ディングされて行く。

【００３８】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ペレット２が貼着されている粘着シート３のシート
基材４が白色に着色されていることにより、撮像装置１
８によってピックアップされるべきペレット２を撮映す
る際、ピックアップステージ１１の上面におけるシート
吸着溝１２やニードル孔１５が粘着シート３を通して投
影されないので、ペレット２の外形（輪郭）が鮮明に映
し出され、その結果、ピックアップされるべきペレット
２の外形を認識装置によって明確に認識することができ
る。

【００３９】 ピックアップされるべきペレット２の
外形を明確に認識することにより、ペレット２の基準位
置を正確に認識することができるため、そのペレット２
を常に適正な位置や姿勢でコレットによってピックアッ
プすることができ、その結果、コレットはピックアップ
したペレットをリードフレームに適正な位置や姿勢をも
ってボンディングすることができる。

【００４０】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４１】例えば、粘着シートの色は白色が最も好ま
しいが、黄色等、ペレットの色と識別し易い他の色に着
色してもよい。

【００４２】また、粘着シートの着色はシート基材に施
すに限らず、粘着シートの粘着剤に着色を施してもよ
く、また両者に施しても勿論よい。ちなみに、シート基
材の着色は、シート基材の内部あるいは表面に施せばよ
い。

【００４３】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットのピックアップ技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、微小な電子
部品や電子機器等のような小物品が複数個、粘着シート
に貼着されている小物品群付貼着シートの小物品の外形
を認識する技術全般に適用することができる。

【００４４】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４５】多数個の小物品が粘着剤層を介して貼着シ
ート基材の片面に貼着されて成る小物品群付貼着シート
において、前記貼着シートが着色されていることによ
り、貼着シートの裏面側の物体が貼着シートを通して投
影されなくなるため、貼着シート上の小物品の外形を撮
像装置によって鮮明に撮像することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるペレットのピックアッ
プ方法が実施されるピックアップ装置を示す要部縦断面
図である。

【図２】図１の一部分を示す拡大平面図である。

【図３】本発明の一実施例であるペレット群付粘着シー
トを示す平面図である。

【符号の説明】

１…ペレット群付粘着シート（小物品付粘着シート）、
２…ペレット（小物品）、３…貼着シート、４…シート
基材、５…粘着剤層、６…リング、１０…ピックアップ
装置、１１…ピックアップステージ、１２…吸着溝、１
３、１４…真空導入孔、１５…ニードル孔、１６…ニー
ドル、１７…吸着面、１８…撮像装置、１９…コレッ
ト。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 適度な可撓性を有するシート基材と、こ
   のシート基材の片面に塗布されている粘着剤層とから成
   る粘着シートに、多数個の小物品が互いに離間して配置
   されて前記粘着剤層を介して貼着されている小物品群付
   貼着シートにおいて、 前記貼着シートが前記小物品の色と明度差が大きい色に
   着色されていることを特徴とする小物品群付貼着シー
   ト。
2. 【請求項２】 前記着色がシート基材に施されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載の小物品群付貼着シー
   ト。
3. 【請求項３】 前記着色が粘着剤に施されていることを
   特徴とする請求項１に記載の小物品群付貼着シート。
4. 【請求項４】 請求項１に記載された小物品群付貼着シ
   ートが使用される小物品のピックアップ方法であって、 前記小物品群付貼着シートの小物品が小物品群付貼着シ
   ートの小物品側の撮像装置によって撮像されるととも
   に、この撮像に基づいて小物品が認識され、さらに、こ
   の認識された小物品がコレットによって真空吸着されて
   ピックアップされる小物品のピックアップ方法におい
   て、 前記撮像装置の撮像に基づいて小物品が認識されるに際
   して、認識対象である小物品の色と、背景である前記粘
   着シートとの着色との明度差によって小物品の外形が認
   識されることを特徴とする小物品のピックアップ方法。