JPH04148547A - 半導体ペレットのピックアップ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェハーリング等のウェハー支持枠に張られ
た有機樹脂シートの表面に貼着された半導体ペレットを
、吸着コレットを使って前記有機樹脂シートから剥離し
て取り上げる半導体ペレットのピックアップ方法に関す
るものである。

［従来の技術］ 一般に、半導体ペレット（以下、ペレットと略記する）
の製造に際しては、ウェハー支持枠に張られた有機樹脂
シート（以下、シートと略記する）にウェハーを貼着し
、この貼着状態でウェハーを複数個のペレットに分割し
、このペレッ、トを吸１コレット等にてシートから１個
ずつピックアップしたのち、リードフレームまたは基板
またはペレットの特性検査用ステージ等に移送供給する
。

そして、これまで、シート上のペレットのピックアップ
方法としては、第３図に示すものが知られている。

この第３図に示した従来の方法の場合は、まず、第３図
（ａ）に示すように、シート４の上に貼着されたペレッ
ト３に対して画像認識等により位置の検出を行い、さら
に、ピックアップ時の吸着コレット１１の中心位置がペ
レット３の中心位置に一致するように、シート４が張ら
れているウェハー支持枠を保持しているテーブルを駆動
して、ペレット３の位置修正を行う。そして、ペレット
３の位置修正後に、吸着コレット１１をペレット３の上
面まで下降させる。

次いで、第３図（ｂ）に示すように、突き上げ針支持枠
１６に設けられた吸引孔１７からの吸引によってシート
４を支持枠１６に吸着させる。そして、吸着コレット１
１に設けられた吸引孔１２にて吸引をおこなってペレッ
ト３を吸着する。

次いで、第３図（Ｃ）に示すように、シート４の下面の
突き上げ針５を上昇させると同時に吸着コレット１１を
上昇させることにより、ペレット３をシート４から剥離
する。

次いで、第３図（ｄ）に示すように、さらに吸着コレッ
ト１１を引き上げるとともに、突き上げ針１５を引き下
げることで、ピックアップ処理を完了する。

ここに、突き上げ針１５は、ペレット３の外径寸法や構
成材料、さらには厚み寸法に応じて、本数と先端形状が
選定されて設けられる。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、一般に、前述した従来のペレットのピックア
ップ方法では、ペレット３のシート４がらの剥離を確実
なものとするために、前記突き上げ針１５の先端部を細
く、かつ、鋭く尖った形状にする必要があり、しかも、
鋭く尖った形状にしたがために耐久性が低下しないよう
に、突き上げ針１５の材質を非常に硬いものにしなけれ
ばならない。

ところが、ピックアップするペレットが著しく微小また
は薄いペレットである場合（例えば、シリコンダイオー
ドやトランジスタ、あるいはサイリスタ、あるいは発光
ダイオードやホール素子などのペレット）には、前述し
た従来のピックアップ方法でピックアップした差異に、
鋭利な突き上げ針１５により、ペレット３の裏面に傷ま
たは割れが発生することがあった。

また、製造後の寿命試験に前述のピックアップ方法を用
いた場合、ペレット製造時には傷や割れが見られなくて
も、ピックアップ時にペレットの内部に損傷を与え、そ
れか原因で、ペレットの寿命を著しく短くすることもあ
った。

また、第３図（Ｃ）で説明した技術において、吸着フレ
ット１１の上昇タイミングが突き上げ針１５の上昇タイ
ミングより遅れた場合には、突き上げ針１５が必要以上
の力でペレット３に当たるためにペレット３に損傷が生
じる虞れがあり、また、吸着コレット１１の上昇タイミ
ングが突き上げ針１５の上昇タイミングより早かった場
合には、船釣に吸着コレット１１の真空吸着力がシート
４の粘着力よりも弱いために、ペレット３が吸着コレッ
ト１１から離れ、ピックアップをミスする虞れがある。

従って、従来の方法では、吸着コレット１１の上昇タイ
ミングを非常な高精度に制御をしなければならず、その
ために製作コストが高価になるという問題があった。

そしてまた、シート４上の粘着力にばらつきがあるため
、ペレット３とシート４との間の接着力カヘレット３の
接着面全域に均一でなくなり、突き上げ針１５がペレッ
ト３の中央を突き上げたとしても、突き上げ針１５の突
き上げによってペレット３に傾きが生じ、そのために、
ピックアップのミスが発生することもあった。

また、シート４上の粘着力にばらつきがあるために各ペ
レットの接着強度にばらつきが生じ、接着強度が設定以
上に高いために通常のピックアップ動作でピックアップ
できないものが発生することもあった。

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、シートか
らペレットを剥離する処理時における傷や割れ等の損傷
の発生を防止することができ、しかも、シート上の粘着
力のばらつき等に起因したピックアップミスの発生を防
止することができ、さらにピックアップ装置の製作コス
トの低減を図ることもできる半導体ペレットのピックア
ップ方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明に係る半導体ペレットのピックアップ方法は、吸
着コレットを使って有機樹脂シートに貼着された半導体
ペレットを前記有機樹脂シートから剥離して取り上げる
方法である。

具体的には、前記吸着コレットの前記半導体ペレットを
吸引するための吸引孔の周囲には前記半導体ペレットの
側面に当接させる剥離用側壁部を装備しておく。

そして、前記半導体ペレットをピックアップする時には
、吸着コレットと有機樹脂シートとの間に相対移動を与
えることによって前記有機樹脂シートに貼着された半導
体ペレットの側面を前記剥離用側壁部で有機樹脂シート
の貼着面に沿って押し出して、半導体ペレットを有機樹
脂シートから剥離させる。

［作用コ 本発明に係る半導体ペレットのピックアップ方法は、吸
着コレットと有機樹脂シートとの間に有機樹脂シートの
貼着面に沿った相対移動を生じさせることによって、半
導体ペレットを有機樹脂シートから剥離させるもので、
半導体ペレットの有機樹脂シートからの剥離に突き上げ
針を使用しないため、ピックアップする半導体ペレット
が微小で薄いものであっても、有機樹脂シートからの剥
離処理時における傷や割れ等の損傷の発生を防止するこ
とができる。

しかも、本発明の方法では、吸着コレットからの吸引力
と突き上げ針で剥離を行う従来の場合と比較して、半導
体ペレットに負担をかけずに強大な剥離力を得ることが
でき、有機樹脂シートにおける粘着力にばらつきがあっ
たとしても、半導体ペレットに損傷を与えることなく確
実に半導体ペレットを剥離させて吸着コレットに吸着さ
せることができて、有機樹脂シート上の粘着力のばらつ
きに起因したピックアップミスの発生を防止することが
できる。

また、突き上げ針を使用していないため、吸着コレット
の上昇タイミングの制御を簡易にすることができ、これ
によって、ピックアップ装置の製作コストの低減を図る
こともできる。

［実施例］ 第１図（ａ）〜（ｅ）は、本発明に係る半導体ペレット
のピックアップ方法の一実施例における処理手順を示し
た模式図である。

この一実施例の半導体ペレット（以下、ペレットと略記
する）のピックアップ方法は、吸着コレットｌを使って
有機樹脂シート（以下、シートと略記する）４に貼着さ
れたペレット３を前記シート４から剥離して取り上げる
もので、吸着コレットｌの構造や機能を改善するととも
に、従来の突き上げ針を廃止し、さらに、突き上げ針の
廃止に伴って、突き上げ針支持枠の代わりにシート吸引
枠６を装備することにより達成される。

前記吸着コレット１には、前記シート４に貼着されたペ
レット３に向けて進退する進退移動機能と、前記シート
４の貼着面（シート４の表面）に沿って移動する平行移
動機能とを装備している。

また、吸着コレット１の前記ペレット３を吸引するため
の吸引孔２の周囲には、前記ペレット３の側面３ａに当
接させる剥離用側壁部１ａが装備されている。

前記吸引孔２が開孔するコレット１の吸着面１ｂは、平
滑でかつペレット３よりも大きく設定されている。

前記剥離用側壁部１ａは、前記吸着面１ｂの周縁からペ
レット側に突出したもので、突出長Ｈが、ペレット３の
高さ寸法りよりも太き（設定されている。なお、前記剥
離用側壁部１ａは、ペレット３の側面３ａに面接触する
形状とされている。

従って、前記剥離用側壁部１ａと吸着面１ｂとによって
、ペレット３よりも容積の大きなペレット収容空間１ｃ
が確保されている。

なお、前記剥離用側壁部１ａは、ペレット３の側面３ａ
に面接触する形状とされている。吸着コレット１の先端
部の寸法や形状は、ペレット３の外径寸法や構成材料、
さらには厚み寸法に応じて、設定されることは言うまで
もない。

前記シート吸引枠６は、吸着フレット１でシ−ト４上の
ペレット３をピックアップする際にシート４を吸着によ
り固定しておくもので、シート４の裏面に当接する平坦
な土壁部６ａには、シート吸着用の吸引孔７が設けられ
ている。　土壁部６ａにおける前記吸引孔７の位置は、
シート４上のペレット３の位置に重ならないように設定
されている。

以下、図面に基ついて、一実施例における処理手順を説
明する。

まず、第１図（ａ）に示すように、シート４の上に貼着
されたペレ・ノド３に対して画像認識等により位置の検
出を行い、さらに、ピ・ノクア・ノブ時の吸着コレット
１の中心位置がペレ・ソト３の中心位置に一致するよう
に、シート４が張られて０るウェハー支持枠を保持して
いるテーブルを駆動して、ペレット３の位置修正を行う
。そして、ペレ、。

ト３の位置修正後に、吸着コレ・ノド１をベレ、ット３
の上面まで下降させる。

次いで、第１図（ｂ）に示すように、吸引枠６に設けら
れた吸引孔７からの吸引によってシート４を吸引枠６に
吸着させる。そして、吸着コレット１に設けられた吸引
孔２からの吸引を開始して、コレット内部を真空にする
。

次いで、第１図（Ｃ）に矢印（イ）で示すように、吸着
コレット１の平行移動機能を働かせて、吸着コレット１
をシート４に沿って平行移動させ、吸着コレット１の前
記剥離用側壁部１ａをペレット３の側面３ａに当接させ
、さらに吸着コレット１をシート４に沿って平行移動さ
せることにより、シート４とペレット３との間に滑りを
生じさせて、ペレット３をシート４から剥離させる。

シート４から剥離したペレット３は、既にコレット内部
が真空状態にあることから、第１図（ｄ）に示すように
、速やかに吸着コレット１の吸着面１ｂに吸着される。

次いで、第１図（ｅ）に示すように、吸着コレット１を
引き上げることで、ピックアップ処理が完了する。

以上に説明した一実施例のピックアップ方法は、吸着コ
レット１とシート４との間にシート４の貼着面に沿った
相対移動を生じさせることによって、ペレット３をシー
ト４から剥離させるもので、ペレット３の７−ト４から
の剥離に突き上げ針を使用しないため、ピックアップす
るペレットか微小で薄いものであっても、シート４から
の剥離処理時における傷や割れ等の損傷の発生を防止す
ることができる。

しかも、一実施例の方法では、コレットからの吸引力で
剥離を行う従来の場合と比較して、ペレ、。

ト３に負担をかけずに強大な剥離力を得ることができ、
シート４における粘着力にばらつきがあったとしても、
ペレット３に損傷を与えることな（確実にペレットを剥
離させてコレット１に吸着させることができて、シート
４上の粘着力のばらつきに起因したピックアップミスの
発生を防止することができる。

また、突き上げ針を使用していないため、コレ・ノド１
の上昇タイミングの制御を簡易にすることができ、これ
によって、ピックアップ装置の製作コストの低減を図る
こともできる。

第２図（ａ）〜（ｅ）は、本発明に係るピックアップ方
法の他の実施例における処理手順を示した模式図である
。

この他の実施例のピックアップ方法では、吸着コレット
ｌでシート４上のペレット３をピックアップする際にシ
ート４を吸着により固定しておくシート吸引枠６に突き
上げ棒８を装備した点が、前述の一実施例の場合と異な
っている。

前記突き上げ棒８は、従来の突き上げ針とは異なり、先
端部はペレット３の大きさに相応した平坦面にされてい
る。

この突き上げ棒８は、吸着コレット１をシート４に対し
てシート４の貼着面に沿って相対移動させてペレット３
を剥離させる場合に、ペレット３の剥離をより容易にす
る働きをする。

第２図（ａ）〜（ｅ）に従って、他の実施例における処
理を説明する。

まず、第２図（ａ）に示すように、シート４の上に貼着
されたペレット３に対して画像認識等により位置の検出
を行い、さらに、ピックアップ時の吸着コレット１の中
心位置がペレット３の中心位置に一致するように、シー
ト４が張られているウェハー支持枠を保持しているテー
ブルを駆動して、ペレット３の位置修正を行う。そして
、ペレット３の位置修正後に、吸着コレット１をペレッ
ト３の上面まで下降させる。なお、突き上げ棒８は、そ
の先端面を吸引枠６の上端面に一致させた状態に保って
おく。

次いで、第２図（ｂ）に示すように、吸引枠６に設けら
れた吸引孔７からの吸引によってシート４を吸引枠６に
吸着させる。そして、吸着コレ９．ト１に設けられた吸
引孔２からの吸引を開始して、コレット内部を真空にす
る。

次いで、第２図（Ｃ）に示すように、吸着コレ・ット１
の平行移動機能を働かせて、吸着コレ・ノド１をシート
４に沿って平行移動させ、吸着コレット１の前記剥離用
側壁部１ａをペレ・ノド３の側面３ａに当接させ、さら
に吸着コレットｌをシート４に沿って平行移動させるこ
とにより、シート４とペレット３との間に滑りを生じさ
せて、ペレット３をシート４から剥離させる。

なお、突き上げ棒８は、吸着コレット１の平行移動によ
ってペレット３が若干量滑って、剥離用側壁部１ａが突
き上げ棒８の上方に位置した時に、適量だけ上昇させる
と良い。

剥離用側壁部１ａが突き上げ棒８の上方に位置した時に
、突き上げ棒８を上昇させる場合には、突き上げ棒８の
先端がシート４を介して吸着コレット１の剥離用側壁部
１ａの下面に当接しているため、突き上げ棒８と吸着コ
レット１との上下方向の相対位置関係を維持し易く、突
き上げ棒８が必要以上に上昇してペレット３が突き上げ
棒８と吸着コレットｌとに挟まれるといった不都合の発
生を回避することができる。

なお、突き上げ棒８の上昇させる寸法は、ペレット３の
厚み程度が望ましい。

シート４から剥離したペレット３は、既にコレット内部
が真空状態にあることから、第２図（ｄ）に示すように
、速やかに吸着コレット１の吸着面ｌｂに吸着される。

次いで、第２図（ｅ）に示すように、吸着コレット１を
引き上げるとともに、突き上げ棒８を下降させて元の状
態にすることで、ピックアップ処理が完了する。

以上の他の実施例の場合では、前述の一実施例と同様の
効果が得られるだけでなく、シート４からのペレット３
の剥離をさらに容易にすることができる。

なお、以上の実施例では、シート４と吸着コレット１と
をシート４の貼着面に沿って相対移動させるために、吸
着コレット１をシート４に対して平行移動可能にしたが
、吸着コレット１を定位置まで下降させた後に静止させ
ておいて、吸着コレット１に対してシート４側を平行移
動させるようにしても良い。

また、吸着コレラ）１の剥離用側壁部１ａの形状は、前
述の実施例に限定するものではなく、ペレット３の形状
等に合わせて、適宜設計変更することができる。

［発明の効果コ 以上の説明から明らかなように、本発明に係る半導体ベ
レットのピックアップ方法は、吸着コレットと有機樹脂
シートとの間に有機樹脂シートの貼着面に沿った相対移
動を生じさせることによって、半導体ペレットを有機樹
脂シートから剥離させるもので、半導体ペレットの有機
樹脂シートからの剥離に突き上げ針を使用しないため、
ピックアップする半導体ペレットが微小で薄いものであ
っても、有機樹脂シートからの剥離処理時における傷や
割れ等の損傷の発生を防止することができる。

しかも、本発明の方法では、吸着コレットからの吸引力
で剥離を行う従来の場合と比較・して、半導体ペレット
に負担をかけずに強大な剥離力を得ることができ、有機
樹脂シートにおける粘着力にばらつきがあったとしても
、半導体ペレットに損傷を与えることなく確実に半導体
ペレットを剥離させて吸着コレットに吸着させることが
できて、有機樹脂シート上の粘着力のばらつきに起因し
たピックアップミスの発生を防止することができる。

また、突き上げ針を使用していないため、吸着コレット
の上昇タイミングの制御を簡易にすることができ、これ
によって、ピックアップ装置の製作コストの低減を図る
こともできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における処理手順の説明図、
第２図は本発明の他の実施例における処理手順の説明図
、第３図は従来の半導体ペレットのピックアップ方法の
説明図である。 １・・・・・・吸着コレット、１ａ・・・・・・剥離用
側壁部、１ｂ・・・・・・吸着面、ＩＣ・・・・・・収
容空間、２・・・・・・吸引孔、３・・・・・・ペレッ
ト、３ａ・・・・・・側面、４・・・・有機樹脂シート
、６・・・・・・シート吸引枠、６ａ・・・・・・上壁
部、７・・・・・・吸引孔、８・・・・・突き上げ棒。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 吸着コレットを使って有機樹脂シートに貼着された半導
   体ペレットを前記有機樹脂シートから剥離して取り上げ
   る半導体ペレットのピックアップ方法であつて、 前記吸着コレットの前記半導体ペレットを吸引するため
   の吸引孔の周囲には前記半導体ペレットの側面に当接さ
   せる剥離用側壁部を装備しておき、前記半導体ペレット
   をピックアップする時には、吸着コレットと有機樹脂シ
   ートとの間に相対移動を与えることによって前記有機樹
   脂シートに貼着された半導体ペレットの側面を前記剥離
   用側壁部で有機樹脂シートの貼着面に沿って押し出して
   、半導体ペレットを有機樹脂シートから剥離させること
   を特徴とする半導体ペレットのピックアップ方法。