JPH0697214A - ピックアップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ペレット表面に異物が付着するのを防止し、
貼着シートからのペレットのピックアップを確実に実行
し、しかも、構成各部の精度を緩和する。 【構成】 多数個のペレット２が貼着された貼着シート
３がテーブル１１に、ペレット２を下側にして固定的に
保持され、その貼着シート３の一部分を突き下げるニー
ドル１３が設けられている。ニードル１３によって突き
下げられて貼着シート３から剥離されたペレット２は、
下方に配置されているコレット１６に自重により受け渡
されて真空吸着される。 【効果】 ペレット２表面が下向きに配置されるので、
異物が付着しにくい。ペレット２はニードル１３によっ
て突き下げられて下方に剥離されるため、自重によって
確実にコレット１６にピックアップされる。ペレット２
は自重によってコレット１６に到達できるため、コレッ
ト１６とニードル１３との間隔精度を緩和できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ピックアップ装置、特
に、貼着シートに多数個貼着されている小物品をその貼
着シートからピックアップする技術に関し、例えば、半
導体製造工程において、ダイシングされた半導体ペレッ
ト（以下、単にペレットという。）を貼着シートからピ
ックアップするのに利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、ダイシングさ
れたペレットを貼着シートからピックアップするピック
アップ装置は、タングステン針等からなる１本または複
数本のニードルが貼着シートに貼られたペレットを下方
から突き上げることにより、ペレットを貼着シートから
剥離させ、このニードルによって突き上げられたペレッ
トをニードルの上方位置に配置されている搬送コレット
によって上から真空吸着保持するように構成されてい
る。

【０００３】なお、ペレットを粘着シートからピックア
ップする技術を述べてある例として、株式会社リアライ
ズ社、昭和６１年９月５日発行「超ＬＳＩ工場最新技術
集成（第二編 最新プロセスと自動化）」の２５２頁〜
２５４頁や、株式会社工業調査会発行、「電子材料」１
９９０年１０月号別冊（超ＬＳＩ製造・試験装置ガイド
ブック）の９４頁〜９８頁がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のピック
アップ装置においては、ペレットをニードルによって下
方から突いて上方の搬送コレット位置まで持ち上げるよ
うに構成されているため、ニードルが搬送コレットの所
定位置まで突き上がるように、ニードルの突き上げ高さ
を厳密に調整する必要がある。この高さ調整はなかなか
難しく、手間がかかる。殊に、ニードルが複数本の場合
には、複数本全部のニードルの突き上げ高さが同一にな
るように調整する必要があるため、特に、その調整が難
しい面を備えている。

【０００５】そして、この高さ調整が適切になされない
場合には、例えば、次の不都合が招来される。ニードル
によってペレットが搬送コレットに突き当てられた場
合、ペレットに傷や欠け等を生じる。複数本のニードル
の突き上げ高さが均一に調整されていないと、傷や欠け
等の不良が発生する。

【０００６】また、従来のピックアップ装置において
は、ペレット表面が上向きに配置されているので、ペレ
ット表面に異物が付着し易い傾向がある。

【０００７】本発明の目的は、ペレット表面に異物が付
着するのを防止することができるとともに、ペレットを
粘着シートから確実にピックアップすることができ、し
かも、構成各部の精度の厳格性を緩和することができる
ピックアップ装置を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、多数個の小物品が一面に貼着さ
れている粘着シートから小物品を順次ピックアップする
ピックアップ装置において、前記貼着シートの周辺を前
記小物品が下側に配置された状態で固定的に保持する保
持手段と、前記保持手段に固定的に保持された貼着シー
トの一部分を上面側から下方に押圧してこのシート部分
に粘着されている小物品を貼着シートから離脱させる離
脱手段と、この離脱手段の下方に配置されており、貼着
シートから離脱された小物品を真空吸着して受け取るコ
レットとを備えていることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記した手段によれば、ピックアップ時、小物
品の表面は下向きに配置されているので、異物が付着し
にくい。

【００１２】また、ニードル、高圧エア、あるいは高圧
水により、貼着シートの一部分が上面側から下方に押圧
されると、小物品が貼着シートから剥離され、小物品は
自重により下方のコレットに受け渡される。このよう
に、剥離された小物品は自重により下方のコレットに受
け渡されるため、例えば、ニードルの突き下げ位置を厳
密に設定する必要がなくなり、ニードルを突き上げる従
来方式の場合に比較して、ニードルの位置調整が容易で
ある。また、貼着シートからのペレットの離脱方向が下
方向（重力方向）であるため、ニードル、高圧エア、あ
るいは高圧水によって貼着シートからペレットを確実か
つ容易に離脱させることができる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるピックアップ
装置を示す縦断面図、図２は図１の状態からニードルユ
ニットが下降して貼着シート押さえ面が貼着シートを押
接している状態を示す図、図３は図２の状態でニードル
ユニットからニードルが突き出してペレットを貼着シー
トから剥離した状態を示す図である。

【００１４】本実施例において、本発明に係るピックア
ップ装置１０は、半導体製造工程において、ダイシング
されたペレットを貼着シートから１個宛、ピックアップ
するように構成されている。このピックアップ装置１０
におけるワークとしてのペレット付貼着シート（以下、
ワークということがある。）１は、次のようにして構成
されている。

【００１５】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。

【００１６】このようにして検査されたウエハには、シ
ート貼着工程において、貼着シート３がその裏面に貼着
される。貼着シート３は、樹脂等のような伸縮性を有す
る材料を用いられてウエハよりも大径の薄膜形状に形成
されているシート基材４を備えており、このシート基材
４の片側主面に適当な貼着材が塗布されて貼着材層５が
形成されている。

【００１７】続いて、ダイシング工程において、ウエハ
は小物品としての各ペレット２に分断される。このと
き、ウエハの裏面に貼着されている貼着シート３はダイ
シングによって切断されないため、ペレット２群はばら
ばらにならずに一群にまとまった状態になっている。

【００１８】次いで、治具装着工程において、貼着シー
ト３の外周部にリング６が装着される。リング６はステ
ンレス鋼等のような剛性材料が用いられて、ウエハより
も大径の円形リング形状に形成されている。貼着シート
３はリング６の枠内に対向するように配された後、径方
向外向きに引き伸ばされ、その外周辺部がリング６に固
定される。このとき、貼着シート３の伸びに伴って隣合
うペレット２、２間が離れることになる。

【００１９】ピックアップ装置１０は、リング６が装着
されているワーク１を保持するテーブル１１を備えてお
り、このテーブル１１は保持したワーク１を図示しない
駆動装置によりＸＹＺθ方向に移動し得るように構成さ
れている。

【００２０】テーブル１１の上方にはニードルユニット
１２が配置されている。ニードルユニット１２には離脱
手段としての４本のニードル１３が収納されている。ま
た、ニードルユニット１２の下底面は凸状球面に形成さ
れて貼着シート押さえ面１４を形成している。各ニード
ル１３は縦向きに配置され、ペレット２を均等に突くこ
とができるように各ニードル１３間は適宜の間隔をおい
て四方に分散されて配置されており、ニードルユニット
１２内に上下方向に形成されている各ガイド孔１５内に
上下動自在に挿入されている。

【００２１】各ニードル１３は図示しない駆動装置によ
り上下動されるようになっており、その上限位置ではガ
イド孔１５内に格納されるが、その下限位置においては
貼着シート押さえ面１４から下方に突出するようになっ
ている。また、ニードルユニット１２は図示しない駆動
装置により上下方向に移動し得るように構成されてい
る。

【００２２】ニードル１３の真下にはコレット１６が設
けられており、このコレット１６はニードル１３により
突き下げられたペレット２を下から真空吸着保持し得る
ように構成されている。また、コレット１６は下端部が
垂直面内を回動可能に支持されているとともに、図示し
ない駆動装置により１８０度回動操作されるように構成
されている。そして、コレット１６は１８０度回動した
後、真空吸着保持を解除することにより、ペレット２を
トレー１７の所定位置に落下させて収納させるように構
成されている。

【００２３】次に作用を説明する。リング６が装着され
ているワーク１がペレット２を下側にした状態でテーブ
ル１１に保持され、適正にアライメントされると、図２
に示されているように、ニードルユニット１２が下降さ
れ、その下底面の貼着シート押さえ面１４がワーク１の
貼着シート３を押接する。貼着シート押さえ面１４は凸
状球面に形成されているため、貼着シート３は凸状球面
に沿って下方に湾曲した状態になる。

【００２４】続いて、図３に示されているように、ニー
ドルユニット１２から４本のニードル１３が下降され、
貼着シート押さえ面１４から下方に突出する。これによ
り、貼着シート３のニードル１３により突かれた部分は
ニードル１３により突き破られ、この突き破られた貼着
シート３下面のペレット２が、ニードル１３によって貼
着シート３から剥離される。このとき、貼着シート押さ
え面１４が凸状球面に形成されていることにより、ニー
ドル１３に突き下げられるペレット２は最も下に位置す
るため、周りのペレット２群が連れ下がりすることがな
い。

【００２５】このようにして、ニードル１３により突き
下げられて貼着シート３から剥離されたペレット２は、
自重によりその真下に待機されているコレット１６に受
け渡されてコレット１６に真空吸着保持される。

【００２６】ペレット２を吸着保持したコレット１６は
１８０度回動してペレット２を反転させ、その真下に配
置されているトレー１７の所定位置にペレット２を真空
吸着保持を解除して受け渡す。

【００２７】その後、コレット１６は１８０度回動して
ニードル１３の真下位置に配置され、次回のピックアッ
プ作動に待機する。また、ペレット２をコレット１６か
ら受け取ったトレー１７は、図示しない駆動装置によっ
てＸ方向またはＹ方向に１ピッチ送られて、次回の受け
渡し作動に待機する。

【００２８】他方、ニードル１３が上昇されてニードル
ユニット１２内に引き込められ、かつ、ニードルユニッ
ト１２が上昇されると、テーブル１１がＸＹＺ方向に適
宜移動され、次回にピックアップすべきペレット２がニ
ードル１３の真下に対向配置される。

【００２９】以降、前記作動が繰り返されることによ
り、貼着シート３からペレット２が１個宛、ピックアッ
プされて行く。

【００３０】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ワーク１がペレット２を下側に配置された状態で、
テーブル１１に保持されるので、ペレット２の表面が下
向きになり、ペレット２の表面に異物が付着するのを防
止することができる。

【００３１】 ペレット２はニードル１３により突き
下げられて貼着シート３から剥離され、自重によりその
真下に待機されているコレット１６に受け渡される。こ
のように、ペレット２は自重によりコレット１６に受け
渡されるため、ニードル１３の突き下げ位置を厳密に設
定する必要はなく、ニードル１３を突き上げる従来方式
の場合に比較して、ニードル１３の位置調整が容易であ
る。したがって、ピックアップ装置の構成各部の精度の
厳格性を緩和することができるとともに、ピックアップ
作業全体としての作業能率を高めることができる。

【００３２】 また、貼着シート３からのペレット２
の離脱方向が下方向（重力方向）であるため、ニードル
１３がペレット２を突くことにより貼着シート３からペ
レット２を確実かつ容易に離脱させることができる。

【００３３】図４は本発明の別の実施例２であるピック
アップ装置１０Ａを示す縦断面図で、高圧エアユニット
が下降して貼着シートを押接している状態を示す。

【００３４】本実施例２が実施例１と相違する点は、ペ
レット２を貼着シート３から離脱させる離脱手段とし
て、ニードルを使用する代わりに、高圧エアが使用され
ている点である。

【００３５】すなわち、高圧エアユニット２０は、高圧
エアユニット２０の下底面に前記実施例１と同様に凸状
球面に形成されている貼着シート押さえ面２１を有して
いる。高圧エアユニット２０の内部には離脱手段として
の複数本の高圧エア供給路２２が上下方向に形成されて
おり、この高圧エア供給路２２は一方で図示されていな
い空気圧縮源に接続されているとともに、他方で貼着シ
ート押さえ面２１に開口されている。また、高圧エアユ
ニット２０は図示しない駆動装置により上下方向に移動
し得るように構成されている。

【００３６】次に、前記構成に係る本実施例２のピック
アップ装置の作用を説明する。ワーク１１がペレット２
が下側に配置された状態でテーブル１１に保持される
と、高圧エアユニット２０が下降される。ワーク１は、
高圧エアユニット２０の貼着シート押さえ面２１によっ
て押接されて、貼着シート３は凸状球面に沿って下方に
湾曲した状態になる。

【００３７】この状態で、高圧エアユニット２０の高圧
エア供給路２２から高圧エアが貼着シート３の上面に噴
出され、高圧エアの圧力により貼着シート３からペレッ
ト２を剥離させる。剥離されたペレット２は前記実施例
１と同様に、その真下に待機されているコレット１６に
自重により受け渡されて、コレット１６に真空吸着保持
される。

【００３８】次いで、コレット１６は１８０度回動され
て下向きにされ、この下向きの状態で真空吸着保持が解
除されることにより、真下に配置されているトレー１７
にペレット２が受け渡される。

【００３９】本実施例２によれば、前記実施例１の効果
に加えて、次の効果を得ることができる。

【００４０】 ニードルがペレットを直接突くのと比
べて、ペレット２に傷等が付きにくい利点を備えてい
る。

【００４１】 ニードルでペレットを突く場合は、貼
着シート３の貼着材５等がニードルの先端に付着してそ
れがペレット２に付着することがあるが、高圧エアによ
る場合はペレット２と非接触のため、この問題を生じな
い。

【００４２】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４３】例えば、前記実施例１では複数本のニード
ルによってペレットをピックアップする例を示したが、
１本のニードルによってペレットをピックアップするよ
うに構成することもできる。

【００４４】また、前記実施例２においては高圧エアを
吹きつけてペレットを貼着シートから離脱させる例を示
したが、高圧エアに代えて高圧純水を使用するように構
成することもできる。高圧純水によれば、前記実施例２
よりも大きな力でペレットを押圧して剥離させることが
できる。

【００４５】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットのピックアップ技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、微少な電子
部品や電子機器等のような小物品の貼着シートからのピ
ックアップ技術全般に適用することができる。

【００４６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４７】多数個の小物品が貼着シートの一面に貼着
されており、その貼着シートの周辺を前記小物品が下側
に配置された状態で固定保持する手段と、前記保持手段
に固定保持された貼着シートの一部分を上面側から下方
に押圧してこのシート部分の小物品を貼着シートから離
脱させる手段と、この離脱手段の下方に配置されており
貼着シートから離脱された小物品を吸着して受け取るコ
レットとを備えることにより、小物品の表面が下向きに
なるため、小物品に異物が付着するのを抑制することが
でき、また、貼着シートからペレットは下方（重力方
向）に剥離されるため、ペレットを確実にピックアップ
することができるとともに、構成各部の精度の厳格性を
緩和させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるピックアップ装置を示
す縦断面図である。

【図２】図１の状態からニードルユニットが下降して貼
着シート押さえ面が貼着シートを押接している状態を示
す図である。

【図３】図２の状態でニードルユニットからニードルが
突き出してペレットを貼着シートから剥離した状態を示
す図である。

【図４】本発明の別の実施例であるピックアップ装置を
示す縦断面図であり、高圧エアユニットが下降して貼着
シートを押接している状態を示す。

【符号の説明】

１…ワーク、２…ペレット（小物品）、３…貼着シー
ト、４…シート基材、５…貼着材層、６…リング、１
０、１０Ａ…ピックアップ装置、１１…テーブル、１２
…ニードルユニット、１３…ニードル（離脱手段）、１
４…貼着シート押さえ面、１５…ガイド孔、１６…コレ
ット、１７…トレー、２０…高圧エアユニット、２１…
貼着シート押さえ面、２２…高圧エア供給路（離脱手
段）。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数個の小物品が一面に貼着されている
   粘着シートから小物品を順次ピックアップするピックア
   ップ装置において、 前記貼着シートの周辺を前記小物品が下側に配置された
   状態で固定的に保持する保持手段と、前記保持手段に固
   定的に保持された貼着シートの一部分を上面側から下方
   に押圧してこのシート部分に粘着されている小物品を貼
   着シートから離脱させる離脱手段と、この離脱手段の下
   方に配置されており、貼着シートから離脱された小物品
   を真空吸着して受け取るコレットとを備えていることを
   特徴とするピックアップ装置。
2. 【請求項２】 前記小物品を貼着シートから離脱させる
   離脱手段が、貼着シートの一部分を上面側から下方に突
   いて貼着シートから小物品を離脱させるニードルを備え
   ていることを特徴とする請求項１記載のピックアップ装
   置。
3. 【請求項３】 前記小物品を貼着シートから離脱させる
   離脱手段が、貼着シートの一部分の上面側に高圧エアを
   噴出する高圧エア供給路を備えていることを特徴とする
   請求項１記載のピックアップ装置。
4. 【請求項４】 前記小物品を貼着シートから離脱させる
   離脱手段が、貼着シートの一部分の上面側に高圧水を噴
   出する高圧水供給路を備えていることを特徴とする請求
   項１記載のピックアップ装置。