JP2000195877A - ダイシングシ―ト上のチップの分離方法及び分離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイシングシート上のチップの剥離状態を良
くすることができ、ダイシングシートから安定してチッ
プをピックアップできる分離方法及び分離装置を提供す
る。 【解決手段】 チップ３が貼付けられたダイシングシー
ト２１を引張状態で保持するシート保持機構５と、チッ
プ３の寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝２ａが形
成された吸着ステージ２と、チップ３をダイシングシー
ト２１から分離するときにダイシングシート２１を吸着
ステージ２に真空吸着するための真空吸引機構６とを備
え、前記吸着ステージ２によってダイシングシート２１
を真空吸着することにより、チップ３とダイシングシー
ト２１を分離してピックアップするようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ベアＩＣ実装にお
いて、ダイシングシートからＩＣチップを分離してこの
ＩＣチップをピックアップするダイボンダ、インナーリ
ードボンダ（ＩＬＢ）、ダイスピッカーなどの設備にお
いて利用されるダイシングシート上のチップの分離方法
及び分離装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のダイシングシート上のチップの分
離方法としては、突上げ針による分離方法が行われてい
る。

【０００３】従来のダイシングシート上のチップの分離
方法に使用される分離装置について、図１１に基づいて
説明する。

【０００４】図１１において、２１は分割状態にある多
数個のＩＣチップ３が貼付けられたダイシングシートで
あり、このダイシングシート２１は、エキスパンダ機構
を兼ねたダイシングシート保持機構５によって引張状態
に保持されている。

【０００５】このダイシングシート保持機構５は、ＸＹ
テーブル（図示略）によって平面方向に自在に移動され
るようになっている。

【０００６】また２０は、ダイシングシート２１の下方
からダイシングシート２１を吸着して固定し、ＩＣチッ
プ３を突き上げるための突上げ針１０を複数本保持する
突上げユニットである。さらに８は認識装置である。

【０００７】次に、ＩＣチップ３とダイシングシート２
１の分離及びＩＣチップ３のピックアップ動作につい
て、図１２に基づいて説明する。

【０００８】最初に認識装置８等を用いて、図１２の
（ａ）に示すように、ＩＣチップ３を突上げユニット２
０の所定の位置にセットする。次に図１２の（ｂ）に示
すように突上げ針１０が設定された値だけ突上げられ
て、ＩＣチップ３とダイシングシート２１とを分離す
る。

【０００９】その後、図１２の（ｃ）に示すように、中
央の１本の突上げ針１０だけが突上がり、図１２の
（ｄ）に示すように、ＩＣチップ３がピックアップツー
ル７に受け渡され、次の工程へ移行する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ベアＩＣ実
装においては、ダイシングシート２１からＩＣチップ３
を安定してピックアップしてツール７に受け渡され、次
の工程へ渡すことが要求されている。

【００１１】ところが、上記従来の突上げ針１０を用い
たＩＣチップ３とダイシングシート２１の分離方法によ
るＩＣチップ３のピックアップでは、複数本の突上げ針
１０の高さ調整が難しく、ＩＣチップ３の突上げ時に、
突上げ針１０の高さのバラツキによるＩＣチップ３の傾
きが発生し、ピックアップ時のＩＣチップ３の破損の原
因となるという問題があった。

【００１２】また、粘着力の弱いダイシングシート２１
では、突上げ時に、ダイシングシート２１とＩＣチップ
３が剥離して位置ずれが発生し、ピックアップ時のＩＣ
チップ３の破損の原因となるという問題があった。

【００１３】また、突上げ針１０の交換時の突上げ針１
０の高さ調整に手間がかかるという問題があった。

【００１４】本発明は、上記従来の問題を解消し、ＩＣ
チップとダイシングシートの剥離状態を良くすることが
でき、ダイシングシートから安定してＩＣチップをピッ
クアップできるダイシングシート上のチップの分離方法
及び分離装置を提供することを目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１発明のダイシングシート上のチップの分離方法
は、ダイシングシートに貼付けられたチップの寸法に対
応した複数の真空吸引可能な溝が形成された吸着ステー
ジによってダイシングシートを真空吸着することによ
り、チップとダイシングシートを分離してチップをピッ
クアップすることを特徴としている。

【００１６】また、吸着ステージを加熱源で加熱しなが
らダイシングシートを真空吸着するように構成すると好
適である。

【００１７】更に、チップとダイシングシートを分離し
てチップをピックアップするときに、吸着ステージに設
けた突上げ針によってチップを突き上げるように構成す
ることが好ましい。

【００１８】第２発明のダイシングシート上のチップの
分離方法は、ダイシングシートに貼付けられたチップの
寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された上
下移動可能なブロックを備えた吸着ステージによってダ
イシングシートを前記ブロックで持ち上げた状態で真空
吸着することにより、チップとダイシングシートを分離
してチップをピックアップすることを特徴としている。

【００１９】また、吸着ステージを加熱源で加熱しなが
らダイシングシートを真空吸着するように構成すると好
適である。

【００２０】更に、チップとダイシングシートを分離し
てチップをピックアップするときに、ブロックでダイシ
ングシートを持ち上げてから、ブロックに設けた突上げ
針によってチップを突き上げるように構成することが好
ましい。

【００２１】第１発明のダイシングシート上のチップの
分離装置は、チップが貼付けられたダイシングシートを
引張状態で保持するシート保持機構と、チップの寸法に
対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された吸着ステ
ージと、チップをダイシングシートから分離するときに
ダイシングシートを吸着ステージに真空吸着するための
真空吸引機構とを備えていることを特徴としている。

【００２２】また、吸着ステージを加熱する加熱源を備
えていると好適である。

【００２３】更に、吸着ステージに、ピックアップ時に
チップを突き上げるための突上げ針を備えていることが
好ましい。

【００２４】第２発明のダイシングシート上のチップの
分離装置は、チップが貼付けられたダイシングシートを
引張状態で保持するシート保持機構と、チップの寸法に
対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された上下移動
可能なブロックを備えた吸着ステージと、チップをダイ
シングシートから分離するときにダイシングシートを吸
着ステージに真空吸着するための真空吸引機構とを備え
ていることを特徴としている。

【００２５】また、吸着ステージを加熱する加熱源を備
えていると好適である。

【００２６】更に、ブロックに、ピックアップ時にチッ
プを突き上げるための突上げ針を備えていることが好ま
しい。

【００２７】第１発明のダイシングシート上のチップの
分離方法と分離装置によると、チップの寸法に対応した
吸着ステージの溝の中に、ダイシングシートを真空吸着
によって引込み、チップとダイシングシート間の貼付け
による保持力を低下させ、チップをピックアップするこ
とによって、ダイシングシートからチップを安定した状
態でピックアップし、次の工程へ渡すことができる。

【００２８】しかも、吸着ステージにはチップの寸法に
対応した複数の溝が形成され、この溝が対応するチップ
の分離に適するようにダイシングシートを吸着変形させ
ることができるので、従来のように品種対応のための突
き上げ針の高さ調整を品種交換毎に行なう必要がなくな
り、吸着ステージ交換時の調整作業を行うことができ
る。

【００２９】また、吸着ステージを加熱源で加熱しなが
らダイシングシートを真空吸着するものでは、加熱源で
加熱することによって、ダイシングシートは変形し易く
なり、吸着ステージによるダイシングシートの吸着変形
が効果的に行われる。

【００３０】更に、チップとダイシングシートを分離し
てピックアップするときに、突上げ針によって、チップ
を突上げてピックアップするものでは、突上げ針でチッ
プの下面を突上げてピックアップするので、真空吸着だ
けではチップとダイシングシートが剥離し難い場合にも
チップのピックアップを確実に行うことができる。

【００３１】第２発明のダイシングシート上のチップの
分離方法と分離装置によると、ダイシングシートに貼付
けられたチップの寸法に対応した複数の溝が形成された
ブロックを備えた吸着ステージによって、ダイシングシ
ートを前記ブロックで持ち上げた状態で真空吸着するよ
うにしたので、第１発明に比較してダイシングシートの
吸着変形をより一層大とすることができ、ダイシングシ
ートからチップをより一層分離し易くすることができ
る。そして、第１発明と同様、ダイシングシートからチ
ップを安定した状態でピックアップし、次の行程へ渡す
ことができると共に、吸着ステージ交換時の調整作業を
容易に行うことができる。

【００３２】また、吸着ステージを加熱源で加熱しなが
らダイシングシートを真空吸着するものでは、加熱源で
加熱することによって、ダイシングシートは変形し易く
なり、吸着ステージによるダイシングシートの吸着変形
が効果的に行われる。

【００３３】更に、チップとダイシングシートを分離し
てピックアップするときに、突上げ針によってチップを
突上げてピックアップするものでは、突上げ針でチップ
の下面を突上げてピックアップするので、真空吸着だけ
ではチップとダイシングシートが剥離し難い場合にもチ
ップのピックアップを確実に行うことができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るダイシングシ
ート上のチップの分離方法と分離装置の実施の形態につ
いて、図を参照しつつ説明する。

【００３５】図１は本発明の第１実施形態を示す概略斜
視図、図２は第１実施形態の動作状態を示す説明図、図
３は吸着ステージの溝の形状を示す概略斜視図、図４は
吸着ステージの溝の形状を示す概略縦断面図である。
尚、前記した従来例と同様な部材には同一符号を付して
説明する。

【００３６】第１実施形態のダイシングシート上のチッ
プ分離装置は、図１に示すように、突上げユニット１の
吸着ステージ２の上面にＩＣチップ３のチップ寸法に対
応した複数の溝２ａが形成されている。各溝２ａは吸引
通路２ｂに連通し、真空源６によって真空吸引可能な状
態となっている。

【００３７】更に吸着ステージ２を加熱するヒータ等の
加熱源４と、ダイシングシート２１を引張状態に保持す
るシート保持機構５と、ダイシングシート２１を真空吸
着するための真空源６と、ＩＣチップ３をピックアップ
し、上下移動するピックアップツール７と、ＩＣチップ
３の位置を認識する認識カメラ８が設けられている。

【００３８】ピックアップツール７は、図１に示すＸ、
Ｙ、Ｚ方向に移動可能であり、又真空吸着によってＩＣ
チップ３をピックアップできるように構成されている。

【００３９】次に、上記構成の分離装置によるダイシン
グシート上のＩＣチップ３の分離及びピックアップ方法
について、図１、図２に基づいて説明する。

【００４０】シート保持機構５に保持されたダイシング
シート２１上のＩＣチップ３は、認識カメラ８によって
位置を算出されつつ移動せしめられ、図２の（ａ）に示
すように、突上げユニット１の上方の所定のピックアッ
プ位置に位置決めされる。

【００４１】次に、図２の（ｂ）に示すように、ダイシ
ングシート２１が吸着ステージ２によって真空吸着さ
れ、チップ３の裏面のダンシングシート２１が吸着ステ
ージ２の複数の溝２ａの中に引き込まれる。

【００４２】このようにして、ダイシングシート２１が
吸着ステージ２の複数の溝２ａに引き込まれ、吸着変形
することによって、ＩＣチップ３からダイシングシート
２１が剥がれて分離し、次いで図２の（ｃ）に示すよう
に、ピックアップツール７によってＩＣチップ３がピッ
クアップされ、次の工程に移行する。

【００４３】このように、第１実施形態によれば、ＩＣ
チップ３のチップ寸法に対応した吸着ステージ２の複数
の溝２ａの中に、ダイシングシート２１を真空吸着によ
り引込み、ＩＣチップ３とダイシングシート２１間の貼
付けによる保持力を低下させ、ピックアップツール７で
ＩＣチップ３をピックアップすることによって、安定し
た状態でＩＣチップ３をピックアップすることができ
る。

【００４４】また、吸着ステージ２は溝２ａの加工によ
って寸法が決まり、従来の突上げ針のように、ＩＣチッ
プ３の品種に対応させるため、品種交換毎に、高さ調整
を行う必要がなく、調整作業が容易になるという効果が
得られる。

【００４５】更に、吸着ステージ２を加熱源４で加熱す
ることによって、ダイシングシート２１は変形し易くな
り、ＩＣチップ３とダイシングシート２１の分離状態が
良くなり、分離するまでの時間が短くなることにより、
タクトアップの効果が得られる。

【００４６】尚、吸着ステージ２の上面に形成される複
数の溝２ａの形状は、対応するＩＣチップ３を分離する
ために適切な凹凸状の吸着変形をダイシングシート２１
に与えるに適したものにすればよく、例えば図３に示す
ように、（ａ）の同心円形状、（ｂ）の直線並列形状、
（ｃ）の格子形状等の様々な形状とすることができ、溝
２ａの幅、本数、深さも任意に決定することができる。

【００４７】また、図４に示すように、溝２ａの断面形
状も、（ａ）のＶ字溝、（ｂ）のＵ字溝、（ｃ）の四角
溝等の様々な形状とすることができる。

【００４８】図５は第２実施形態のダイシングシート上
のチップの分離装置の概略斜視図、図６はその分離装置
によるダイシングシートからＩＣチップを分離してピッ
クアップするときの動作を示す説明図である。尚、上記
した第１実施形態の分離装置と同一部材、同一箇所につ
いては同じ符号を付して説明を省略する。

【００４９】この第２実施形態の分離装置では、吸着ス
テージ２にピックアップツール７と同期動作可能な突上
げ針１０を設けている。

【００５０】次にその動作について説明すると、図６の
（ａ）に示すようにダイシングシート２１上のＩＣチッ
プ３は、ピックアップ位置に位置決めされる。次いで図
６の（ｂ）に示すように、ダイシングシート２１が吸着
ステージ２によって真空吸着され、ＩＣチップ３の裏面
のダイシングシート２１が吸着ステージ２の複数の溝２
ａの中に引き込まれ後に、図６の（ｃ）に示すように、
ピックアップツール７とＩＣチップ３の間隔を一定に保
持した状態で、ピックアップツール７の上昇と同期して
突上げ針１０がＩＣチップ３の下面を突き上げてピック
アップする。

【００５１】このように、吸着ステージ２によるダイシ
ングシート２１の真空吸着だけでは、ＩＣチップ３とダ
イシングシート２１が剥離しにくいダイシングシート２
１の場合にも、突上げ針１０によって、ＩＣチップ３の
ダイシングシート２１に対する分離とピックアップを確
実に行うことができる。

【００５２】尚、突上げ針１０の本数は、１本でも複数
本でも使用可能である。

【００５３】図７は第３実施形態のダイシングシート上
のチップの分離装置の概略斜視図、図８は第３実施形態
の分離装置によるダイシングシートからＩＣチップを分
離してピックアップするときの動作を示す説明図であ
る。尚、上記した第１実施形態の分離装置と同一部材、
同一箇所については同じ符号を付して説明を省略する。

【００５４】この第３実施形態の分離装置では、吸着ス
テージ２の内側に複数の真空吸引可能な溝２ａが形成さ
れたブロック３０を上下動可能に配設している。

【００５５】次にその動作について説明すると、図８の
（ａ）に示すようにダイシングシート２１上のＩＣチッ
プ３は、ピックアップ位置に位置決めされる。次いで図
８の（ｂ）に示すように、吸着ステージ２の内側の複数
の溝２ａが形成されたブロック３０が所定寸法だけ持ち
上がる。次に図８の（ｃ）に示すように、ダイシングシ
ート２１が、ブロック３０の吸引通路２ｂ及び吸着ステ
ージ２の内周とブロック３０の外周との間の吸引通路２
ｃを通じての真空源６による真空吸引作用を受けて、真
空吸着され、ＩＣチップ３の裏面のダイシングシート２
１がブロック３０の複数の溝２ａの中に引き込まれ、吸
着変形する。

【００５６】このようにして、ダイシングシート２１が
ブロック３０の複数の溝２ａに引き込まれることによっ
て、ＩＣチップ３からダイシングシート２１が剥がれて
分離し、図８の（ｄ）に示すようにピックアップツール
７によってＩＣチップ３がピックアップされ、次の工程
に移行する。

【００５７】この第３実施形態の分離装置によれば、所
定寸法持ち上がったブロック３０の複数の溝２ａの中
に、ダイシングシート２１を真空吸着により引込み、Ｉ
Ｃチップ３とダイシングシート２１間の貼付けによる保
持力を低下させ、ピックアップツール７でＩＣチップ３
をピックアップすることによって、安定した状態でＩＣ
チップ３のピックアップを行うことができる。

【００５８】更に、ブロック３０が所定寸法持ち上がっ
た状態で、ダイシングシート２１が真空吸着されるの
で、ＩＣチップ３の外周部分が予めダイシングシート２
１から剥離された状態で分離され、ＩＣチップ３のダイ
シングシート２１からの分離が容易になされる効果を得
られる。

【００５９】また、ブロック３０は溝２ａの加工によっ
て寸法が決まり、従来の突上げ針のように、ＩＣチップ
３の品種に対応させるため品種交換毎に、高さ調整を行
う必要がなく、調整作業が容易になるという効果が得ら
れる。

【００６０】更に、吸着ステージ２を加熱源４で加熱し
てもよく、このように加熱することによって、ダイシン
グシート２１は変形し易くなり、ＩＣチップ３とダイシ
ングシート２１の分離状態が良くなり、分離するまでの
時間が短くなることにより、タクトアップの効果が得ら
れる。

【００６１】図９は第４実施形態のダイシングシート上
のチップの分離装置の概略斜視図、図１０は第４実施形
態の分離装置によるダイシングシートからＩＣチップを
分離してピックアップするときの動作を示す説明図であ
る。尚、上記した第３実施形態の分離装置と同一部材、
同一箇所については同じ符号を付して説明を省略する。

【００６２】この第４実施形態の分離装置では、ブロッ
ク３０にピックアップツール７と同期動作可能な突上げ
針１０を設けている。

【００６３】次にその動作について説明すると、図１０
の（ａ）に示すようにダイシングシート２１上のＩＣチ
ップ３は、ピックアップ位置に位置決めされる。次いで
図１０の（ｂ）に示すように、ダイシングシート２１が
ブロック３０で所定寸法持ち上げられた後、図１０の
（ｃ）に示すように真空吸着され、ＩＣチップ３の裏面
のダイシングシート２１がブロック３０の複数の溝２ａ
の中に引き込まれ後に、図１０の（ｄ）に示すように、
ピックアップツール７とＩＣチップ３の間隔を一定に保
持した状態で、ピックアップツール７の上昇と同期して
突上げ針１０がＩＣチップ３の下面を突き上げてピック
アップする。

【００６４】このように、吸着ステージ２によるダイシ
ングシート２１の真空吸着だけでは、ＩＣチップ３とダ
イシングシート２１が剥離しにくいダイシングシート２
１の場合にも、突上げ針１０によって、ＩＣチップ３の
ダイシングシート２１に対する分離とピックアップを確
実に行うことができる。

【００６５】尚、突上げ針１０の本数は、１本でも複数
本でも使用可能である。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
吸着ステージあるいはブロックに複数の溝を設けてダイ
シングシートを真空吸着することにより、チップとダイ
シングシートの剥離状態を良くすることができ、ダイシ
ングシートから安定した状態でチップをピックアップで
きる。

【００６７】また、ブロックが所定寸法持ち上がった状
態で、ダイシングシートが真空吸着されるものでは、チ
ップの外周部分が予めダイシングシートから剥離された
状態で分離され、チップのダイシングシートからの分離
がさらに容易になされる効果を得られる。

【００６８】更に、吸着ステージあるいはブロックは、
その溝の加工によって寸法が決まり、従来の突上げ針の
ように、チップの品種に対応させるため品種交換毎に、
高さ調整を行う必要がなく、調整作業が容易になるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の分離装置の概略斜視図
である。

【図２】第１実施形態の分離装置によるダイシングシー
トからチップを分離してピックアップするときの動作
を、（ａ）〜（ｃ）に順に示す説明図である。

【図３】吸着ステージの溝の各種形状を（ａ）〜（ｃ）
に示す概略斜視図である。

【図４】吸着ステージの溝の各種断面形状を（ａ）〜
（ｃ）に示す概略縦断面図である。

【図５】第２実施形態の分離装置の概略斜視図である。

【図６】第２実施形態の分離装置によるダイシングシー
トからチップを分離してピックアップするときの動作
を、（ａ）〜（ｃ）に順に示す説明図である。

【図７】第３実施形態の分離装置の概略斜視図である。

【図８】第３実施形態の分離装置によるダイシングシー
トからチップを分離してピックアップするときの動作
を、（ａ）〜（ｄ）に順に示す説明図である。

【図９】第４実施形態の分離装置の概略斜視図である。

【図１０】第４実施形態の分離装置によるダイシングシ
ートからチップを分離してピックアップするときの動作
を、（ａ）〜（ｄ）に順に示す説明図である。

【図１１】従来の分離装置の概略斜視図である。

【図１２】従来の分離装置によるダイシングシートから
ＩＣチップを分離してピックアップするときの動作を、
（ａ）〜（ｄ）に順に示す説明図である。

【符号の説明】

２ 吸着ステージ ２ａ 溝 ３ チップ（ＩＣチップ） ４ 加熱源 ５ シート保持機構 ６ 真空源 １０ 突上げ針 ２１ ダイシングシート ３０ ブロック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 健治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 仕田 智 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 那須 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 金山 真司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5F047 FA08

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイシングシートに貼付けられたチップの
   寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された吸
   着ステージによってダイシングシートを真空吸着するこ
   とにより、チップとダイシングシートを分離してチップ
   をピックアップすることを特徴とするダイシングシート
   上のチップの分離方法。
2. 【請求項２】吸着ステージを加熱源で加熱しながらダイ
   シングシートを真空吸着することを特徴とする請求項１
   に記載のダイシングシート上のチップの分離方法。
3. 【請求項３】チップとダイシングシートを分離してチッ
   プをピックアップするときに、吸着ステージに設けた突
   上げ針によってチップを突き上げることを特徴とする請
   求項１又は２に記載のダイシングシート上のチップの分
   離方法。
4. 【請求項４】ダイシングシートに貼付けられたチップの
   寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された上
   下移動可能なブロックを備えた吸着ステージによって、
   ダイシングシートを前記ブロックで持ち上げた状態で真
   空吸着することにより、チップとダイシングシートを分
   離してチップをピックアップすることを特徴とするダイ
   シングシート上のチップの分離方法。
5. 【請求項５】吸着ステージを加熱源で加熱しながらダイ
   シングシートを真空吸着することを特徴とする請求項４
   に記載のダイシングシート上のチップの分離方法。
6. 【請求項６】チップとダイシングシートを分離してチッ
   プをピックアップするときに、ブロックでダイシングシ
   ートを持ち上げてから、ブロックに設けた突上げ針によ
   ってチップを突き上げることを特徴とする請求項４又は
   ５に記載のダイシングシート上のチップの分離方法。
7. 【請求項７】チップが貼付けられたダイシングシートを
   引張状態で保持するシート保持機構と、チップの寸法に
   対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された吸着ステ
   ージと、チップをダイシングシートから分離するときに
   ダイシングシートを吸着ステージに真空吸着するための
   真空吸引機構とを備えていることを特徴とするダイシン
   グシート上のチップの分離装置。
8. 【請求項８】吸着ステージを加熱する加熱源を備えてい
   ることを特徴とする請求項７に記載のダイシングシート
   上のチップの分離装置。
9. 【請求項９】吸着ステージに、ピックアップ時にチップ
   を突き上げるための突上げ針を備えていることを特徴と
   する請求項７又は８に記載のダイシングシート上のチッ
   プの分離装置。
10. 【請求項１０】チップが貼付けられたダイシングシート
    を引張状態で保持するシート保持機構と、チップの寸法
    に対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された上下移
    動可能なブロックを備えた吸着ステージとチップをダイ
    シングシートから分離するときにダイシングシートを吸
    着ステージに真空吸着するための真空吸引機構とを備え
    ていることを特徴とするダイシングシート上のチップの
    分離装置。
11. 【請求項１１】吸着ステージを加熱する加熱源を備えて
    いることを特徴とする請求項１０に記載のダイシングシ
    ート上のチップの分離装置。
12. 【請求項１２】ブロックに、ピックアップ時にチップを
    突き上げるための突上げ針を備えていることを特徴とす
    る請求項１０又は１１に記載のダイシングシート上のチ
    ップの分離装置。