KR100596025B1 - 펠리클 프레임용 지그어셈블리 - Google Patents

펠리클 프레임용 지그어셈블리 Download PDF

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Abstract

본 발명은 펠리클 프레임을 지그에 수직수평좌우 및 전후 방향에 맞도록 자동적으로 정밀 셋팅할 수 있어 가공 작업이 신속하면서도 용이하고, 펠리클 프레임의 규격이 바뀔 때마다 지그를 교체해야 하는 경우를 방지하며, 가공시 펠리클 프레임에 물성 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 펠리클 프레임용 지그어셈블리에 관한 것으로, 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공하는 가공장치의 작업대에 직립 설치되며 전면에는 복수개의 셋팅핀(25)이 수직 방향 또는 수평 방향의 일직선상에 배치된 지지블록(20)과, 블록 형상으로 이루어지며 상기 지지블록(20) 전면의 셋팅핀(25)과 대응되도록 수평 방향 또는 수직 방향의 일직선상에 복수개의 핀홀(32)이 형성되고 전면에는 펠리클 프레임(5)을 안착시켜 결합하기 위한 오목한 결합홈(34h,34v,36v,38v)이 형성된 지그(30)와, 상기 펠리클 프레임(5)을 지그(30)에 가압하여 고정하는 펠리클 프레임 고정수단(40,45)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
정밀, 셋팅, 물성, 지지블록, 지그, 고정수단

Description

펠리클 프레임용 지그어셈블리{Pellicle frame zig assembly}
도 1은 통상의 펠리클 프레임을 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 구성을 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 주요부를 펠리클 프레임의 작업대에 설치한 상태를 보여주는 사시도
도 4는 도 3의 지그에 펠리클 프레임을 결합한 상태를 보여주는 측단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20. 지지블록 25. 셋팅핀
30. 지그 32. 핀홀
본 발명은 펠리클 프레임용 지그어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 펠리클 프레임을 지그에 수직수평 및 전후 방향에 맞도록 자동적으로 정밀 셋팅할 수 있어 가공 작업이 신속하면서도 용이하고, 펠리클 프레임의 규격이 바뀔 때마다 지그를 교체해야 하는 경우를 방지하며, 가공시 펠리클 프레임에 물성 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 펠리클 프레임용 지그어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로, 펠리클(pellicle)은 반도체, LCD의 사진식각 공정에서 포토마스크(photo mask)나 레티클(reticle: 실리콘 웨이퍼에 LSI 회로를 정착시키기 위해 사용하는 원판) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염물질로부터 보호하기 위한 얇은 박판을 말한다. 이 펠리클은 테두리 형상의 펠리클 프레임에 부착된 후 다시 포토마스크나 레티클 위에 부착되어, 마스크와 레티클을 공정에 사용하는 도중 이물질이 발생되거나 부착되는 것을 막아줌으로써, 웨이퍼상의 패턴 형상화에 영향을 주지 않도록 한다.
이때, 패턴 형상화 공정을 수행할 때, 포토마스크나 레티클(이하, 포토마스크나 레티클을 편의상 피가공물이라 칭함)을 지지용 조오(jaw) 등으로 클램핑하여 정확한 위치에 정밀 셋팅할 필요가 있다. 따라서, 피가공물의 정밀 셋팅을 위하여 전공정에서 펠리클 프레임의 양측 측면부에 두 개의 기준홈을 형성한다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 펠리클 프레임(5)의 양측 측면부에 가공장치에 의해 각각 두 개의 기준홈(7)을 형성하고, 이 기준홈(7)에 맞추어 지지용 조오 등으로 펠리클 프레임(5)과 이에 부착된 피가공물을 정위치에 정밀 셋팅한 다음, 패턴 형상화 공정을 수행하게 된다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 패턴 형상화 공정 이전에 펠리클 프레임(5)의 규격표시나 제품 관리 등을 위하여 펠리클 프레임(5)의 일측 측면부에 고유마크(8)를 새기는 작업을 수행한다.
그리고, 포토마스크나 레티클과 같은 피가공물과 펠리클에 의해 펠리클 프레임(5)의 내부에 공간부가 형성되는데, 펠리클 프레임(5) 내부의 공간부의 온도가 상온보다 높아지면 펠리클이 볼록해지고 상온보다 낮아지면 펠리클이 수축되는데, 이렇게 펠리클이 일정한 상태로 유지되지 못하고 변형된 상태로 방치되면, 피가공물에 제대로 패턴이 형성되지 못하여 불량의 요인이 될 수 있다.
따라서, 펠리클 프레임(5)의 다른 측면부에 벤트홀(9)을 형성하여, 이 벤트홀(9)을 통해 공기가 유입 또는 유출되도록 함으로써, 펠리클을 일정한 상태로 유지시킬 수 있다. 즉, 펠리클이 팽창하면, 펠리클 프레임(5)의 벤트홀(9)을 통하여 펠리클 프레임(5) 내부의 공기가 외부로 배출되고, 펠리클이 수축되면, 벤트홀(9)을 통하여 펠리클 프레임(5)의 내부로 공기가 유입됨으로서, 펠리클을 원상태로 유지시킬 수 있다.
이처럼 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공하는 작업에 대해 설명하면, 먼저, 가공장치의 작업대의 절삭날 하측에 수직 설치된 지지블록의 전방에 지그를 장착하고, 지그 전방의 오목한 결합홈에 펠리클 프레임(5)을 끼운 다음, 지그의 전방에서 푸시블록에 의해 펠리클 프레임(5)을 가압 고정한다. 이어서, 가공장치의 절삭날을 회전시켜 펠리클 프레임(5)의 일측 측면부에 두 개의 오목한 기준홈(7)과 고유번호(8)를 형성하고, 아울러, 펠리클 프레임(5)의 측면부에 벤트홀(9)을 형성한다.
그런데, 종래에는 펠리클 프레임(5)을 셋팅할 때, 펠리클 프레임(5)이 수직수평 및 전후 방향에 맞게 정밀 세팅되도록 조절해야 하는데, 이러한 셋팅 작업이 불편할 뿐만 아니라 작업 시간이 많이 소요되는 등의 문제점이 있었다. 또한, 종래 에는 펠리클 프레임(5)의 규격이 바뀔 때마다 그 규격에 맞는 지그(30)를 일일이 교체해야 하는 번거로움이 있었으며, 펠리클 프레임(5)을 지그에 설치할 때 펠리클 프레임(5)을 눌러주는 푸시블록과 지지블록 사이에 손이 끼어서 손에 부상을 입는 등의 안전사고가 발생될 위험이 있었다. 그리고, 가공 후 펠리클 프레임(5)을 지그(30)에서 이탈시키는 작업이 다소 불편한 문제점이 있었다.
아울러, 종래에는 가공중에 펠리클 프레임(5)의 내측면에 스크래치가 많이 생겨 제품 불량이 많이 발생되는 문제점이 있었으며, 스크래치를 줄이도록 설계할 경우에는 가공장치에 의해 펠리클 프레임(5)의 측면부에 기준홈(7)을 형성할 때의 힘에 의해 하측으로 응력이 작용하여, 이 응력에 의해 펠리클 프레임(5)이 휘어지는 등의 물성 변화가 초래되는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 펠리클 프레임을 수직수평 및 전후 방향에 맞게 자동적으로 정밀 세팅하여 가공 작업이 신속하고 용이하며, 펠리클 프레임의 규격이 바뀔 때마다 지그를 교체해야 하는 불편을 감수하지 않아도 되며, 가공시 펠리클 프레임에 물성 변화가 발생되는 것을 방지하여 펠리클 프레임의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구성의 펠리클 프레임용 지그어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의하면, 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공하는 가공장치의 작업대에 직립 설치되며 전면에는 복수개의 셋팅핀(25)이 수직 방향 또는 수평 방향의 일직선상에 배치된 지지블록(20)과, 블록 형상으로 이루어지며 상기 지지블록(20) 전면의 셋팅핀(25)과 대응되도록 수평 방향 또는 수직 방향의 일직선상에 복수개의 핀홀(32)이 형성되고 전면에는 펠리클 프레임(5)을 안착시켜 결합하기 위한 오목한 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된 지그(30)와, 상기 펠리클 프레임(5)을 지그(30)에 가압하여 고정하는 펠리클 프레임 고정수단(40,45)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 도 2는 본 발명의 구성을 보여주는 사시도, 도 3은 본 발명의 주요부를 펠리클 프레임의 작업대에 설치한 상태를 보여주는 사시도, 도 4는 도 3의 지그에 펠리클 프레임을 결합한 상태를 보여주는 측단면도이다. 도면에 의하면, 본 발명은 지지블록(20)과 지그(30) 및 펠리클 프레임 고정수단(40,45)으로 구성된다.
상기 지지블록(20)은 사각블록 형태로 구성된다. 이때, 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공하기 위한 가공장치의 절삭날(2)은 작업대의 상측에 회전 및 좌우 이송 가능하게 설치되는데, 상기 지지블록(20)이 절삭날(2) 하측의 작업대에 수직 방향으로 직립 설치된다. 이 지지블록(20)은 도시 안된 볼트에 의해 작업대에 수직 방향으로 설치된다.
또한, 지지블록(20)의 전방에는 두 개의 셋팅핀(25)이 수직 방향 또는 수평 방향의 일직선상에 배치된다. 바람직하게, 두 개의 셋팅핀(25)이 수평 방향의 일직선상에 배치된다. 이때, 셋팅핀(25)은 두 개이지만, 두 개 이상이 될 수도 있다.
상기 지그(30)는 사각 블록 형태로 이루어진 것으로, 지그(30)의 배면에는 지지블록(20)의 셋팅핀(25)과 대응되는 두 개의 핀홀(32)이 수직 방향 또는 수평 방향의 일직선상에 형성된다. 바람직하게, 두 개의 핀홀(32)이 수평 방향의 일직선상에 형성된다. 이 두 개의 핀홀(32)을 지지블록(20) 전방의 셋팅핀(25)에 맞추어 끼움으로써, 지지블록(20)의 전방에 지그(30)를 장착할 수 있다. 도 2와 도 3의 부호 31a는 지지블록(20)의 전면에 지그(30)를 체결하는 볼트이다. 또한, 지그(30)의 전면에는 펠리클 프레임(5)을 끼워서 결합하도록 된 오목한 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된다. 그리고, 지그(30)는 가공장치의 절삭날(2)과 마주하는 상단 측면부에 관통홈(31)이 형성되고, 이 관통홈(31)은 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v) 중에서 결합홈(34h)와 연통된다. 이로 인해, 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36ㅗ,38ㅗ,34v,36v,38v)에 끼웠을 때, 가공장치의 절삭날(2)이 펠리클 프레임(5)의 측면부에 접촉될 수 있다.
상기 펠리클 프레임 고정수단(40,45)은 유압 또는 공압장치로 이루어진 실린더 작동수단에 연결되어 이 작동수단에 의해 전방의 실린더로드(42)가 지그(30)의 전방에서 회전 및 전후진 가능하도록 구비된 실린더(40)와, 상기 실린더로드(42)에 교차되는 방향으로 장착된 푸시로드(45)로 구성된다. 부호 41a와 41b는 유압 또는 공압라인을 도시한 것이다. 그리고, 실린더(40)의 실린더로드(42)를 전후진 및 회전 가능하게 하는 실린더(40)의 내부 구조는 공지의 구성이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이러한 구성의 본 발명에 의하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지지블록(20) 전방의 두 개의 셋팅핀(25)에 지그(30)의 핀홀(32)을 맞추어 끼워서 지그(30)를 지지블록(20)의 전방에 결합하고, 지그(30) 전면의 오목한 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 펠리클 프레임(5)을 끼운 다음, 실린더 작동수단에 의해 실린더(40)를 작동시키면, 실린더로드(42)가 회전하면서 지그(30) 방향으로 후퇴된다. 그러면, 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼워진 펠리클 프레임(5)의 전방을 푸시로드(45)가 눌러서 고정한다. 이러한 상태에서 가공장치의 절삭날(2)을 지그(30) 상단 측면부의 관통홈(31)을 통해 하강시켜 회전시킴으로써, 펠리클 프레임(5)의 측면부 외측에 도 1에 도시된 기준홈(7)과 고유번호 및 벤트홀을 형성한다.
이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 지지블록(20) 전방의 셋팅핀(25)에 지그(30)의 핀홀(32)을 맞추어 끼우기만 하면, 지그(30) 전방의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 결합되는 펠리클 프레임(5)의 수직방향(Y) 위치와 수평방향(X) 위치 및 전후방(Z) 위치를 자동적으로 정밀 셋팅할 수 있으므로, 펠리클 프레임(5)의 셋팅 작업이 매우 용이하면서도 셋팅 시간이 줄어들어 작업 시간이 단축될 수 있는 등의 효과가 있다.
한편, 상기 지그(30) 전면의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)은 상대적으로 규격이 다른 제1결합홈(34h,34v)과 제2결합홈(36h,36v) 및 제3결합홈(38h,38v)으로 이루어진다. 또한, 제1결합홈(34h,34v)은 제1수평결합홈(34h)의 양측에 하측으로 한 쌍의 제1수직결합홈(34v)이 연장되어 구성되고, 제2결합홈(36h,36v)은 제2수평결합홈(36h)의 양측에 한 쌍의 제2수직결합홈(36v)이 하측으로 연장되어 구성되며, 제3결합홈(38h,38v)은 제3수평결합홈(38h)의 양측에 한 쌍의 제3수직결합홈(38v)이 하측으로 연장되어 구성된다. 이로 인해, 제1결합홈(34h,34v)과 제2결합홈(36h,36v) 및 제3결합홈(38h,38v)의 한 쌍의 수직결합홈(34v,36v,38v) 사이의 거리는 이웃한 한 쌍의 수직결합홈(34v,36v,38v) 사이의 거리와 상대적으로 다르게 형성된다. 이에 따라, 좌우 거리가 상대적으로 짧은 작은 규격의 펠리클 프레임(5)은 제1결합홈(34h,34v)에 끼우면 되고, 좌우 거리가 상대적으로 긴 큰 규격의 펠리클 프레임(5)은 제2결합홈(36h,36v) 또는 제3결합홈(38h,38v)에 끼우면 된다.
따라서, 본 발명은 펠리클 프레임(5)의 규격이 다르더라도, 지그(30)의 전면에 형성된 각각의 제1결합홈(34h,34v)이나 제2결합홈(36h,38h) 또는 제3결합홈(38h,38v)에 규격에 맞는 펠리클 프레임(5)을 끼워서 설치하기만 하면 되기 때문에, 종래와 달리 펠리클 프레임(5)의 규격에 맞추어 지그(30)를 일일이 교체해야 하는 번거로움이 없다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그(30)의 관통홈(31)은 가로 방향으로 연속되도록 연장된 형상으로 구성되어, 펠리클 프레임(5)의 가공 작업이 보다 수월하게 이루어질 수 있도록 한다.
즉, 펠리클 프레임(5)의 일측면부의 외측에 두 개의 기준홈(7)을 형성하는데, 펠리클 프레임(5)의 규격에 따라 기준홈(7) 사이의 거리도 달라지며, 이로 인해, 지그(30)도 펠리클 프레임(5) 규격에 맞는 것을 사용해야 하지만, 본 발명의 경우, 지그(30)의 관통홈(31)이 가로 방향으로 길게 연장된 형상으로 이루어져서, 지그(30)를 규격에 맞는 것으로 교체하지 않고 하나의 지그(30)에 의해 펠리클 프레임(5)에 거리가 다른 기준홈(7)을 형성할 수 있기 때문에, 펠리클 프레임(5) 가 공 작업이 보다 쉽게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 펠리클 프레임(5) 고정수단(40,45)의 푸시로드(45)는 펠리클 프레임(5)과 접촉되는 부분에 완충부재(47)가 장착되어 구성된다. 이로 인해, 푸시로드(45)가 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 클램핑할 때 충격력이 완충부재(47)에 흡수되어 보다 부드럽게 클램핑 작업이 이루어진다.
즉, 푸시로드(45)는 실린더 작동장치의 유압 또는 공압에 의해 순간적으로 신속하게 전후진되는 실린더로드(42)에 장착되어, 실린더로드(42)가 후진하여 푸시로드(45)가 펠리클 프레임(5)을 클램핑할 때 순간적으로 펠리클 프레임(5)에 충격력이 가해질 수 있는데, 푸시로드(45)에 구비된 완충부재(47)가 이러한 충격력을 흡수하므로, 펠리클 프레임(5) 클램핑 작업이 보다 부드럽게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 푸시로드(45)에는 길이 방향으로 장공 형태의 가이드공(55)이 형성되고, 상기 실린더로드(42) 전단부에는 푸시로드(45)의 전방에서 가이드공(55)의 둘레벽에 걸려지는 체결부재(58)가 나사식으로 결합된다.
이에 따라, 체결부재(58)를 풀어서 장공 형태의 가이드공(55)을 따라 푸시로드(45)를 실린더로드(42)의 교차되는 방향으로 이동시켜 다른 규격의 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 클램핑할 수 있으므로, 펠리클 프레임(5) 셋팅 작업이 더 수월해질 수 있다.
또한, 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)의 깊이는 펠리클 프레임(5)의 전후방 너비의 절반에 해당하는 깊이로 형성되어, 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼워진 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공장치의 절삭날(2)에 의해 가공할 때, 상기 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)의 측벽부가 펠리클 프레임(5)의 가공면 하측을 받쳐준다.
이와 같이 구성함으로써, 펠리클 프레임(5)의 내측면에 스크래치가 발생되는 것을 최소화하면서도 펠리클 프레임(5) 가공시의 응력에 의해 펠리클 프레임(5)이 휘어지는 등의 물성 변화를 방지할 수 있다.
즉, 펠리클 프레임(5)의 각 기준홈(7)은 펠리클 프레임(5)의 전후 너비의 정중앙부에 형성하도록 되어 있는데, 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 너무 깊이 끼우면, 펠리클 프레임(5)의 내측면에 스크래치가 그만큼 많이 생길 수 있으며, 반대로, 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 너무 적게 끼우면, 가공장치의 절삭날(2)에 의해 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공할 때의 힘에 의해 하측으로 작용하는 응력에 의해 펠리클 프레임(5)의 휘어지는 등의 물성 변화가 초래될 수 있다.
그런데, 본 발명의 경우, 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)의 깊이가 펠리클 프레임(5)의 전후방 너비의 절반에 해당하는 깊이로 형성되어, 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼워진 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공장치의 절삭날(2)에 의해 가공하여 기준홈(7)을 형성할 때, 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)의 측벽부가 펠리클 프레임(5)의 가공면 하측을 받쳐준다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명은 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 적당한 깊이로 삽입하도록 구성되어, 펠리클 프레임(5)을 가공장치의 절삭날(2)에 의해 가공할 때, 펠리클 프레임(5)의 내측면에 스크래치가 많이 발생되는 것을 방지함은 물론, 가공장치의 절삭날(2)에 의해 하측으로 힘이 작용하더라도 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v) 벽면이 펠리클 프레임(5)의 기준홈(7)이 형성되는 면의 반대면인 하측을 받쳐주기 때문에, 외부 응력에 의해 펠리클 프레임(5)이 휘어지는 등의 물성 변화가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 지그(30)의 전면에는 상기 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된 부분의 외측(즉, 지그(30)의 전면 하측)에 상대적으로 높이가 낮은 단차부(35)가 형성된다. 이에 따라, 펠리클 프레임(5)의 상측 부분을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼웠을 때, 펠리클 프레임(5)의 하측 부분은 지그(30)의 상대적으로 낮은 단차부(35)로 그대로 노출되어, 작업자가 펠리클 프레임(5)을 파지할 수 있는 공간을 더 많이 확보하도록 하며, 이로 인해, 펠리클 프레임(5)을 가공한 후 지그(30)에서 펠리클 프레임(5)을 보다 용이하게 이탈시킬 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명에 의하면, 이때, 본 발명은 지지블록(20) 전방의 셋팅핀(25)에 지그(30)의 핀홀(32)을 맞추어 끼우기만 하면, 지그(30) 전방의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 결합되는 펠리클 프레임(5)의 수직수평 위치 및 전후방 위치를 자동적으로 정밀하게 셋팅할 수 있으므로, 펠리클 프레임(5)의 셋팅 작업이 매우 용이하고 펠리클 프레임(5) 셋팅 시간이 줄어들어 작업 시간이 단축될 수 있는 등의 장점이 있다. 또한, 펠리클 프레임(5)의 규격에 따라 펠리클 프레임(5)을 일일이 교체하지 않고 하나의 지그(30)로 작업할 수 있으므로, 지그(30) 교체에 따른 번거로움 등을 해소하는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 펠리클 프레임(5)을 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 적당한 깊이로 삽입하도록 구성되어, 펠리클 프레임(5)을 가공장치의 절삭날(2)에 의해 가공할 때, 펠리클 프레임(5)의 내측면에 스크래치가 많이 발생되지 않으면서도 펠리클 프레임(5) 가공시의 응력에 의해 펠리클 프레임(5)이 휘어지는 등의 물성 변화가 발생되는 것을 방지하므로, 펠리클 프레임(5)의 품질을 보장할 수 있다. 아울러, 상기 지그(30)의 전면에 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된 부분의 외측(즉, 지그(30)의 전면 하측)에 상대적으로 높이가 낮은 단차부(35)가 형성되어, 작업자가 펠리클 프레임(5)을 파지할 수 있는 공간을 더 많이 확보하도록 하기 때문에, 펠리클 프레임(5)을 가공작업 후 지그(30)에서 펠리클 프레임(5)을 보다 용이하게 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
그리고, 펠리클 프레임(5)을 지그(30)에 고정하기 위해 푸시로드(45)가 순간적으로 후진할 때, 푸시로드(45)와 지그(30) 사이에 작업자의 손이 끼어서 부상을 입는 경우를 방지하므로, 작업 안전도를 높일 수 있는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공하는 가공장치의 작업대에 직립 설치되며 전면에는 복수개의 셋팅핀(25)이 수직 방향 또는 수평 방향의 일직선상에 배치된 지지블록(20)과, 블록 형상으로 이루어지며 상기 지지블록(20) 전면의 셋팅핀(25)과 대응되도록 수평 방향 또는 수직 방향의 일직선상에 복수개의 핀홀(32)이 형성되고 전면에는 펠리클 프레임(5)을 안착시켜 결합하는 오목한 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된 지그(30)와, 상기 펠리클 프레임(5)을 지그(30)에 가압하여 고정하는 펠리클 프레임 고정수단(40,45)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 프레임 고정수단(40,45)은 전단부의 실린더로드(42)가 실린더 작동장치에 의해 상기 지그(30)의 전방에서 회전 및 전후진 가능하도록 된 실린더(40)와, 상기 실린더로드(42)에 교차되는 방향으로 장착되어 상기 실린더로드(42)의 작동에 따라 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼워진 펠리클 프레임(5)의 전방을 눌러서 고정하는 푸시로드(45)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)은 서로 직각 방향으로 교차되어 연통되는 수평결합홈(34h,36h,38h)과 수직결합홈(34v,36v,38v)으로 구성되고, 상기 수평결합홈(34h,36h,38h) 또는 수직결합홈(34v,36v,38v)은 서로 나란한 한 쌍의 홈으로 구성되며, 상기 한 쌍의 수평결합홈(34h,36h,38h) 또는 수직결합홈(34v,36v,38v) 사이의 거리는 이웃한 한 쌍의 수평결합홈(34h) 또는 수직결합홈(34v,36v,38v) 사이의 거리와 상대적으로 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 지그(30)는 가공장치의 절삭날(2)과 마주하는 측면부에 상기 수평결합홈(34v,36v,38v)과 연통되는 절취홈(31)이 형성되어 구성되고, 상기 절취홈(31)은 상기 지그(30)의 가로 방향 또는 세로 방향으로 연속되도록 연장된 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 푸시로드(45)는 펠리클 프레임(5)과 접촉되는 부분에 완충부재(47)가 장착되어 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 푸시로드(45)에는 길이 방향으로 장공 형태의 가이드공(55)이 형성되고, 상기 실린더로드(42) 전단부에는 푸시로드(45)의 전방에서 가이드공(55)의 둘레벽에 걸려지는 체결부재(58)가 나사식으로 결합된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 지그(30)의 결합홈(34h,36h,38h34v,36v,38v)의 깊이는 펠리클 프레임(5)의 전후방 너비의 절반에 해당하는 깊이로 형성되며, 상기 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)에 끼워진 펠리클 프레임(5)의 측면부를 가공장치의 절삭날(2)에 의해 가공할 때, 상기 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)의 측벽부가 펠리클 프레임(5)의 가공면 하측을 받쳐주도록 된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 지그(30)의 전면에는 상기 결합홈(34h,36h,38h,34v,36v,38v)이 형성된 부분의 외측에 상대적으로 높이가 낮은 단차부(35)가 형성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 지그어셈블리.
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