KR200422733Y1 - 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그 - Google Patents

Abstract

본 고안은 페리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 페리클 프레임의 사이즈에 따라 페리클 프레임과 접촉하여 지지하는 지지부재를 교환이 가능하고, 페리클 프레임의 내경 가공을 위한 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그에 관한 것이다.

본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그는 페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서, 상부측이 단이 진 안착부가 형성되어 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 베이스와, 상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 각각이 착탈가능하게 설치되는 복수의 가압바와, 상기 각각의 가압바의 상면에 접촉하여 상기 가압바에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압바가 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

페리클 프레임, 고정지그

Description

페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그{SEPARATE TYPE FIXING JIG FOR PROCESSING OF PELLICLE FRAME}

도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 단면도

도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 사시도

도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 클램프 11 나사수단

12 접촉바 13 가압바

14 가이드 핀 20 페리클 프레임 박판

30 베이스 100 고정지그

본 고안은 페리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공 하고자 하는 페리클 프레임의 사이즈에 따라 페리클 프레임과 접촉하여 지지하는 지지부재를 교환이 가능하고, 페리클 프레임의 내경 가공을 위한 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그에 관한 것이다.

일반적으로 IC, LSI 등의 직접회로의 제조 및 액정 표시판의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시용 원판에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 포토마스크와 레티클에는 노광되는 패턴 상에 분진 등의 이물질이 부착되거나, 포토마스크와 레티클 상에 이물질이 부착되어 노광 시에 이물질의 그림자가 투영되는 것을 방지하기 위해 펠리클을 장착하여 노광한다.

즉, 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다.

이러한 시스템은 통상적으로 표면에 형성되는 불투명 및 투명 영역의 패턴(pattern)이 있는 투명기판을 갖는 포토마스크 또는 초점판(이후, 마스크라 함), 마스크를 통하여 웨이퍼에 가시 광선 또는 UV와 같은 방사에너지의 비임(beam)을 접속시키기 위한 조사(illuminating)장치, 웨이퍼 상 또는 LCD회로나 PDP 회로 상에 마스크 패턴의 초점이 맞은 영상을 형성하는 광학장치 및 마스크의 표면상에 초점이 맞지 않도록 먼지 입자의 영상을 유지시키는 작용을 하는 것이다.

펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시키는 표면상에서 분산될 것이다.

결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다.

상기와 같은 페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것이다.

상기 내경가공에 있어서, 페리클 프레임용 박판을 작업 테이블에 고정하고, 상기 박판의 외부 모서리측면 일부를 고정한 후 가공되는데, 이때 페리클 프레임용 박판을 작업대에 고정하는 부재를 필요로 한다.

본 고안은 상기와 같은 필요성에 의해 고안된 것으로서, 페리클 프레임의 내경을 가공하기 위해 페리클 프레임용 박판을 고정하기 위한 페리클 프레임 가공용 분리형 지그를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

특히, 사각형상의 페리클 프레임을 가공하기 위해 각각의 긴변 및 짧은변에 각각 접촉하여 고정하도록 하여 고정력이 향상된 페리클 프레임 가공용 분리형 지그를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그는 페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서, 상부면에 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 안착부가 형성된 베이스와, 상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 각각이 착탈가능하게 설치되는 복수의 가압바와, 상기 각각의 가압바의 상면에 접촉하여 상기 가압바에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압바가 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그에서 상기 복수의 클램프는, 상기 가압바의 상면에 접촉하는 접촉바와, 상기 접촉바의 상부에서 접촉바를 관통하여 베이스에 체결되는 나사부재를 포함하며, 상기 나사부재를 이용하여 접촉바가 가압바에 압력을 가하도록 하는 특징을 포함한다.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그에서 상기 베이스에는 상기 접촉바의 설치위치를 가이드 하고, 상기 나사부재에 의해 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가할 때 접촉바의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀이 더 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그에서 상기 안착부는, 관통구멍과, 상기 구멍의 상단부에 형성된 안착턱을 포함하고, 상기 페리클 프레임 용 박판은 상기 안착턱에 안착되는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면 1 내지 도면 3을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 대하여 설명한다.

도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 단면도이고, 도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 사시도이며, 도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면이다.

먼저, 도 1을 참조하여 그 구조에 대해서 설명하면 다음과 같다.

본 실시예의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그(100)는 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 베이스(30)와, 상기 베이스(30)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 일부와 접촉하여 외부의 압력에 의해 상기 페리클 프레임용 박판(20)을 고정하기 위한 복수의 가압바(13)와, 상기 복수의 가압바(13)에 압력을 가하기 위한 복수의 클램프(10)를 포함한다.

상기 베이스(30)는 중앙부분에 구멍(31)이 형성되고, 상기 구멍(31)의 상단부에는 페리클 프레임용 박판(20)을 안착하기 위한 안착턱(32)이 더 형성되어 있다. 상기 구멍(31)은 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 내경의 가공시 별도의 공구가 원활히 이동하기 위해 형성된 것이다. 본 실시예에서는 구멍을 예로 하여 설명하나 상기 별도의 공구의 이동에 제한을 미치지 않을 정도의 홈이 형성되어도 무방하다.

또한, 상기 베이스(30)에는 상기 접촉바(12)의 설치위치를 가이드 하고, 상 기 나사부재(11)에 의해 접촉바(12)가 가압바(13)에 압력을 가할 때 접촉바(12)의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀(14)이 더 설치된다.

상기 가압바(13)는 도 2에 도시된 바와 같이 일정 형상의 봉형상으로서 하부의 일부에 걸림턱(13b)이 형성되어 있고, 상부면의 일부는 경사면(13a)이 형성되어 있다. 상기 경사면(13a)에 의하여 내경 가공을 위한 별도의 공구의 삽입 시 간섭을 받지 않는다.

도 2에 도시된 바와 같이 가압바(13)는 베이스(30)의 상부면에 위치하여 상기 베이스(30)의 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 외부측을 상기 걸림턱(13b)이 접촉하는 것이다.

상기 클램프(10)는 상기 가압바(13)의 상부면에 접촉하는 접촉바(12)와, 상기 접촉바(12)의 상부에서 관통하여 베이스(30)에 체결되는 나사부재(11)를 포함한다. 따라서, 상기 나사부재(11)를 조임으로서 접촉바(12)가 가압바(13)를 강하게 누르도록 하여 가압바(13)에 의해 베이스(30)의 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)을 고정하게 된다.

이때, 상기 가이드핀(14)에 의해 접촉바(12)의 기울어짐이 방지된다. 즉, 나사부재(11)의 조임력에 의해 접촉바(12)가 기울어짐이 발생할 수 있으나, 상기 가이드핀(14)에 의해 기울어짐이 방지되는 것이다.

또한, 상기 가이드핀(14)은 상기 베이스(30)에 미리 설치되어 있는 것으로서, 상기 접촉바(12)의 설치위치를 안내한다.

본 실시예에서 사각형상의 페리클 프레임을 가공함을 일예로 하여 설명하였 으나 이에 한정되는 것은 아니다. 특히 상기 각각의 가압바(13)가 일체형이 아닌 분리형으로 구비되어 있어, 다양한 사이즈의 페리클 프레임을 제조하기 위한 박판 및 베이스에 호환이 가능한 장점이 있다.

상기와 같은 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그는 페리클 프레임용 박판을 작업대에 견고하게 고정시켜 내경을 가공하려 할 때 견고한 지지에 의한 내경 가공작업의 효율성을 향상시키는 장점이 있다.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지는 각각의 가압바가 일체형이 아닌 분리형으로 구비되어 있어, 다양한 사이즈의 페리클 프레임을 제조하기 위한 페리클 프레임용 박판 및 베이스에 호환이 가능한 장점이 있다.

앞에서 설명된 본 고안의 일실시예는 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (4)

1. 페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서,

   상부면에 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 안착부가 형성된 베이스와,

   상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 각각이 착탈가능하게 설치되는 복수의 가압바와,

   상기 각각의 가압바의 상면에 접촉하여 상기 가압바에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압바가 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그.
2. 제1항에 있어서,

   상기 복수의 클램프는,

   상기 가압바의 상면에 접촉하는 접촉바와,

   상기 접촉바의 상부에서 접촉바를 관통하여 베이스에 체결되는 나사부재를 포함하며,

   상기 나사부재를 이용하여 접촉바가 가압바에 압력을 가하도록 하는 특징을 포함하는 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그.
3. 제2항에 있어서,

   상기 베이스에는 상기 접촉바의 설치위치를 가이드 하고, 상기 나사부재에 의해 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가할 때 접촉바의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀이 더 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 분리형 고정지그.
4. 제3항에 있어서,

   상기 안착부는,

   관통구멍과, 상기 구멍의 상단부에 형성된 안착턱을 포함하고,

   상기 페리클 프레임용 박판은 상기 안착턱에 안착되는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그.

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