KR100579802B1 - 펠리클 프레임용 내경 고정 지그 - Google Patents

Abstract

본 발명은 펠리클 프레임용 박판을 가공하는데 사용하는 펠리클 프레임용 내경 고정 지그에 관한 것으로, 중앙에 받침부(3)가 고정되는 고정부(1)와, 고정부(1)의 상부에 놓여지고 양측모서리에는 누름턱(12)이 형성된 누름막대(10)로 구성되어 고정부(1)의 받침부(3)의 외측에 펠리클 프레임(2)이 위치되면 누름막대(10)를 고정부(1)위에 볼트(5)로 고정하여 펠리클 프레임(2)의 내부모서리는 누름막대(10)의 누름턱(12)에 의해서 고정된다.

펠리클 프레임, 누름막대, 지그

Description

펠리클 프레임용 내경 고정 지그{Fixing jig for the inner portion of pellicle frame}

도1은 본 발명의 펠리클 프레임의 내경 고정 지그를 도시하는 분해도

도2는 도1에 도시된 본 발명의 내경 고정 지그의 조립상태를 도시하는 단면도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 고정부 2: 펠리클 프레임 3: 받침부

5: 볼트 10: 누름막대 12: 누름턱

본 발명은 펠리클 프레임용 박판을 가공하는데 사용하는 펠리클 프레임용 내경 고정 지그에 관한 것이다.
펠리클 프레임은 반도체나 LCD 회로등 집적회로를 형성하기위한 첨단 기술과 관련된 것이다.
집적회로를 만들기 위하여 통상적으로 노광기술을 사용하며, 노광기술은 간단히 핵심을 기술을 설명하면 빛을 이용하여 사진 원판에서 사진을 형성하는 것이다. 이러한 일연의 과정에 관련된 기술을 빛을 일정하게 노출 시킨다고 하여 노광기술이라고 칭하는 것이다.
일반적인 사진의 제작에서 미세한 먼지는 사진을 만드는데 미치는 영향이 작을 수 있으나 집적회로를 만드는데 있어서는 차원이 다른 현상이 발생하는 것이다.
원판에 부착된 먼지는 원판에 형성된 미세한 회로에 부착되어 끊어져 있어야할 부분에 연결된 것으로 나타나게 되므로 사진에 나타나는 회로 역시 연결된 불량으로 형성되게 되는 것이다.
이러한 불량이 형성되는 것을 막기 위하여 초점을 형성을 빗나가도록 형성하는 것입니다. 먼지가 부착되는 부분을 원판과 이격시켜 사진에 형성되는 상에 될 수 있는 대로 퍼지도록 하는 것으로, 이는 사진을 찍을 때에 사진 찍는 대상은 명확히 형상이 형성되나 카메라와 사진 찍는 대상 중간에 있던 나뭇가지가 형상이 퍼져 밝기에 만 영향을 미치는 것과 같은 원리와 동일한 것이다.
따라서 사진원판에 부착하고 막을 형성하여 일정한 간격을 유지하도록 하는 일종의 스페이서 역할을 하는 것이 펠리클 프레임이며, 펠리클 프레임에 투명한 막을 부착하여 먼지가 원판에 직접적으로 부착하는 것을 방지하는 것이다.
펠리클 프레임의 크기는 원판의 크기에 따라 다르게 형성되는 것이고 높이 또한 노광장치에 따라 핀트를 벗어나기에 적합도록 일정한 높이가 달라진다.
펠리클 프레임의 중요한 기술적 요건은 빛이 난반사되지 않도록 스크래치 없는 정밀한 표면과 펠리클 막을 부착하여도 휘어지지 않는 강도와 온도와 습도의 변화에도 변형이 되지 않아야하며, 잔류 응력이 형성되어 있지 않아야하는 것이고, 펠리클 프레임에 존재하는 잔류 응력은 일정한 기간이 지나면서 펠리클 프레임이 뒤틀리게 하므로 원판에 부착을 할 수 없는 상태로 변형하게 되는 불량품이 되는 것이기 때문이다.
잔류응력의 중요성은 생산할 당시에는 양품으로 생산이 되었으나 존재하는 응력으로 인하여 차츰 시간이 경과하면서 변형을 하게 되므로 제품을 사용할 때에는 불량품으로 변하여 있는 경우가 일어나게 되는 원인인 것으로, 펠리클 프레임을 가공하는 중에 응력이 가해지지 않도록 세심한 주의를 기울여야하는 것이다.

일반적으로, 펠리클 프레임 박판은 알루미늄 소재의 박판을 3 내지 5 mm 두께로 가공하고 외경(외곽, 또는 외부 둘레)을 가공한 후 내경(내곽, 또는 구멍의 내부)을 가공한다.

그러나, 경우에 따라서는 펠리클 프레임의 내경을 먼저 가공한 후 외경을 가공하는 것이 생산성이나 응력을 감소시키는 면에서 유리할 수 있는 것이다.

내경은 박판을 밀링 머신에서 일정 두께로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀 가공되어 이루어진다.

외경은 펠리클프레임을 머시닝 센터의 작업대에 고정하고 펠리클 프레임의 내부모서리를 고정한 후 가공되는데, 이 때 펠리클 프레임을 작업대에 고정하는 지그가 필요하다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 요구에 부응하여 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부와 고정부의 상부에서 받침부 주위에 위치되는 다수개의 누름막대로 구성되는 펠리클 프레임용 내경 고정 지그를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 내경 고정 지그는 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부와, 상기 고정부의 중앙에 일정 간격으로 고정되는 사각 막대형의 다수개의 받침부와, 펠리클 프레임이 받침부의 외측에 위치되면 펠리클 프레임과 받침부사이에는 고정되는 다수개의 누름막대로 구성된다.

본 발명의 누름막대는 양측모서리에 누름턱이 형성된다.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1에는 본 발명의 펠리클 프레임용 내경 고정 지그가 분해도로서 도시된다.

머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(1)는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 사각 막대형의 다수개의 받침부(3)가 일정 간격으로 고정된다.

각각의 받침부(3)는 볼트에 의해서 고정부(1)위에 고정된다.

펠리클 프레임(2)은 사각테의 형상을 가지며, 중앙에는 사각형 구멍이 형성된다. 펠리클 프레임(2)은 받침부(3)의 외측에 위치되며 펠리클 프레임(2)과 받침부(3)사이에는 다수개의 누름막대(10)가 볼트(5)에 의해서 고정부(1)에 고정된다.

누름막대(10)를 볼트(5)에 의해서 고정부(1)에 장착될 때 균일한 힘을 가하여 압력 게이지를 사용하면 소재의 잔류응력을 분산시켜 펠리클 프레임(2)의 뒤틀림을 방지할 수 있다.

누름막대(10)의 양측모서리에는 누름턱(12)이 형성된다.

도2는 도1에 도시된 본 발명의 내경 고정 지그의 조립상태가 단면도로서 도시된다.

받침부(3)는 고정부(1)의 상면에 형성된 볼트공에 볼트(5)에 의해서 고정되어 있다.

본 발명의 펠리클 프레임용 내경 고정 지그를 사용하려면, 펠리클 프레임(2)을 고정부(1)의 받침부(3)주위에 위치시키고 받침부(3)와 펠리클 프레임(2)사이에 누름막대(10)를 볼트(5)로 고정시킨다.

다수개의 누름막대(10)는 받침부(3)와 펠리클 프레임(2)을 누름턱(12)에 의해서 고정시킨다.

상기에 언급된 받침부(3)와 누름막대(10)는 펠리클 프레임의 크기에 따라 사용하는 숫자를 조정할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 펠리클 프레임용 내경 고정 지그는 펠리클 프레임의 알루미늄 소재의 형상 가공시 뒤틀림을 방지하고 요구하는 치수의 균일성과 양호한 평행도 및 평판도를 갖게하며 가공시 공구와 소재의 마찰로 인한 진동을 최소화하여 표면 조도 상태를 개선시키는 효과를 제공한다.

Claims (2)

1. 삭제
2. 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(1)와,

   상기 고정부(1)의 중앙에 일정 간격으로 고정되는 사각 막대형의 다수개의 받침부(3)와,

   펠리클 프레임(2)이 받침부(3)의 외측에 위치되면 펠리클 프레임(2)과 받침부(3)사이에는 고정되는 다수개의 누름막대(10)로 구성되고,

   상기 누름막대(10)는 양측모서리에 누름턱(12)이 형성되게 구성되며,

   상기 누름막대(10)의 양측 누름턱(12)이 상기 받침부(3)와 펠리클 프레임(2)을 동시에 눌러서 상기 고정부(1)에 펠리클 프레임(2)을 고정하도록 된 펠리클 프레임용 내경 고정 지그.

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