KR100796343B1 - 펠리클 프레임용 내경 고정지그 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 펠리클 프레임용 내경 고정지그를 제공하고자 하는 것으로, 본 발명은 판형상의 베이스(10)와, 상기 베이스(10)의 중앙부에 일체화된 내경삽입블록(20)과, 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 볼트(35)를 통해 고정되며 그 외곽부는 상기 내경삽입블록(20)의 상면 외측으로 돌출되도록 된 고정판(30)을 포함하여 구성되며, 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에 펠리클 프레임(5)을 삽입하고, 상기 고정판(30)을 볼트(35)에 의해 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 고정하여 상기 고정판(30)의 외곽부에 의해 상기 펠리클 프레임(5)을 고정하도록 된 것을 특징으로 하여, 주요 부품수를 줄여 경제성면에서 유리하고, 펠리클 프레임의 내경에 스크래치가 발생되는 것을 줄일 수 있고, 절삭장치로 펠리클 프레임의 외경을 가공할 때 베이스가 같이 마모되어 손상되는 것을 방지하는 등의 효과를 제공한다.

내경삽입블록, 완충스페이서, 스크래치, 마모

Description

펠리클 프레임용 내경 고정지그{Inner jig for pellicle frame}

도 1은 본 발명의 일 실시예의 분해 사시도

도 2는 도 1의 사용 상태를 보여주는 단면도

도 3은 본 발명의 다른 실시예의 사시도

도 4는 도 3의 사용 상태를 보여주는 평단면도

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 사시도

도 6은 도 5의 사용 상태를 보여주는 평단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10. 베이스 20. 내경삽입블록

30. 고정판 35. 볼트

40. 완충스페이서

본 발명은 펠리클 프레임용 내경 고정지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 주요 부품수를 줄여 경제성면에서 유리한 등의 효과를 갖는 펠리클 프레임용 내경 고정지그에 관한 것이다.

일반적으로, 펠리클(pellicle)은 반도체, LCD의 사진식각 공정에서 포토마스크(photo mask)나 레티클(reticle: 실리콘 웨이퍼에 LSI 회로를 정착시키기 위해 사용하는 원판) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염물질로부터 보호하기 위한 얇은 박판을 말한다. 이 펠리클은 테두리 형상의 펠리클 프레임에 부착된 후 다시 포토마스크나 레티클 위에 부착되어, 마스크와 레티클을 공정에 사용하는 도중 이물질이 발생되거나 부착되어 웨이퍼상의 패턴 형상화에 영향을 주는 것을 막아주는 역할을 한다.

이때, 펠리클 프레임은 사각틀 형상으로 구성된 것으로, 펠리클 프레임의 중요한 기술적 요건은 빛이 난반사되지 않도록 스크래치 없는 정밀한 표면을 제공하는 것이다. 따라서, 펠리클 프레임의 외경(외곽, 또는 외부 둘레)을 가공한 후 내경(내곽, 또는 구멍의 내부)을 가공하게 된다.

그러나, 경우에 따라서는 펠리클 프레임의 내경을 먼저 가공한 후 외경을 가공하는 것이 생산성이나 응력을 감소시키는 면에서 유리할 수 있는 것이다.

내경은 박판을 밀링 머신에서 일정 두께로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀 가공되어 이루어진다.

외경은 펠리클 프레임을 머시닝 센터의 작업대에 고정하고 펠리클 프레임의 내부모서리를 고정한 후 가공되는데, 이 때 펠리클 프레임을 작업대에 고정하는 지 그가 필요하다.

본 발명은 주요 부품수를 줄여 경제성면에서 유리한 등의 효과를 갖는 펠리클 프레임용 내경 고정지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 펠리클 프레임의 내경에 스크래치가 발생되는 경우를 줄일 수 있고, 절삭장치로 펠리클 프레임의 외경을 가공할 때 펠리클 프레임과 마주하는 베이스가 같이 마모되어 손상되는 것을 방지하도록 된 펠리클 프레임용 내경 고정지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적을 구현하기 위한 본 발명에 의하면, 판형상의 베이스(10)와, 상기 베이스(10)의 중앙부에 일체화된 내경삽입블록(20)과, 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 볼트(35)를 통해 고정되며 그 외곽부는 상기 내경삽입블록(20)의 상면 외측으로 돌출되도록 된 고정판(30)을 포함하여 구성되며, 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에 펠리클 프레임(5)을 삽입하고, 상기 고정판(30)을 볼트(35)에 의해 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 고정하여 상기 고정판(30)의 외곽부에 의해 상기 펠리클 프레임(5)을 고정하도록 된 것을 특징으로 한다.

상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에는 복수개의 완충스페이서(40)가 구비되어, 상기 완충스페이서(40)가 상기 펠리클 프레임(5)의 내경에 접촉되어 상기 펠리클 프레임(5)의 내경이 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에서 이격되도록 하는 것을 특징으로 한다.

상기 완충스페이서(40)는 일자형으로 구성되어 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에 상하 방향으로 설치된 것을 특징으로 한다.

상기 베이스(10)의 중앙부에는 상기 내경삽입블록(20)의 외측부에 위치되도록 단차부(12)가 형성되고, 상기 단차부(12)에 의해 상기 베이스(10)의 외곽부에 상대적으로 낮은 오목홈부(14)가 형성되며, 상기 단차부(12)에 상기 펠리클 프레임(5)의 저면이 지지되어 상기 오목홈부(14)로부터 이격되도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 도 1은 본 발명의 일 실시예의 분해 사시도, 도 2는 도 1의 사용 상태를 보여주는 단면도, 도 3은 본 발명의 다른 실시예의 분해 사시도, 도 4는 도 3의 사용 상태를 보여주는 단면도이다. 이를 참조하면, 본 발명은 사각 판형상의 베이스(10) 중앙부 상면에 구비된 내경삽입블록(20)과, 이 내경삽입블록(20)의 상면에 고정되는 고정판(30)으로 구성된다.

상기 내경삽입블록(20)은 사각틀 형상의 펠리클 프레임(5)이 끼워지도록 육면체 형상으로 구성된 것으로, 상기 베이스(10)의 중앙부 상면에 일체로 성형된다. 미설명 부호 21a는 볼트공이다.

상기 고정판(30)은 내경삽입블록(20)의 상면에 밀착 결합되는 사각판 형상으 로 구성된다. 고정판(30)은 내경삽입블록(20)의 상면 면적보다 큰 사이즈로 제작되어, 볼트(35)에 의해 내경삽입블록(20)의 상면에 결합되었을 때 고정판(30)의 외곽부가 내경삽입블록(20)의 둘레부 외측으로 더 돌출된다. 미설명 부호 31a는 볼트(35)가 통과되는 구멍이다.

이러한 구성의 본 발명에 의하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 내경삽입블록(20)의 둘레부에 복수개의 펠리클 프레임(5)을 적재하고, 볼트(35)에 의해 내경삽입블록(20)의 상면에 고정판(30)을 체결하여 고정하면, 고정판(30)의 외곽부에 의해 최상측 펠리클 프레임(5)의 상면이 눌려져 고정되며, 이러한 상태에서 머시닝 센터에서 복수개의 펠리클 프레임(5)의 외경(즉, 바깥쪽면)을 고속회전하는 절삭기구 등으로 한꺼번에 가공할 수 있게 된다.

따라서, 본 발명은 펠리클 프레임(5)의 내경을 지지하는 부품이 단일의 내경삽입블록(20)으로만 구성되므로, 구성이 비교적 간소화되며, 이로 인해 제작이 신속 용이하면서도 제품 코스트를 절감할 수 있는 등 여러 모로 효율적이다. 아울러, 복수개의 펠리클 프레임(5)을 적재하여 한꺼번에 가공할 수 있으므로, 가공 작업도 효율적으로 이루어질 수 있다.

한편, 도 3과 도 4, 도 5 및 도 6은 본 발명의 다른 실시예를 보여주는 도면이다. 이를 참조하면, 내경삽입블록(20)의 둘레부에 복수개의 완충스페이서(40)가 구비된다. 이 완충스페이서(40)는 막대 또는 돔의 형상으로 제작된 것으로, 내경삽입블록(20)의 상하 방향으로 배치된다. 바람직하게, 내경삽입블록(20)을 합성수지로 성형하여 완충스페이서(40)가 일체로 내경삽입블록(20)의 둘레부에 일체로 성형 한다. 또한, 완충스페이서(40)는 내경삽입블록(20)에서 펠리클 프레임(5)의 내경 스크래치 방지용으로 상하 방향으로 요철 모양으로 형성될 수 있다. 이때, 요철의 크기와 모양은 제품(즉, 펠리클 프레임(5))의 크기에 따라 변동될 수 있다.

이에 의하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 완충스페이서(40)에 의해 펠리클 프레임(5)의 내경이 내경삽입블록(20)의 둘레부에서 이격된 상태로 고정되므로, 펠리클 프레임(5)의 내경에 스크래치가 발생되는 것을 최소화할 수 있다.

즉, 펠리클 프레임(5)의 내경이 내경삽입블록(20)의 둘레부에 모두 접촉되면, 펠리클 프레임(5)의 내경에 많은 스크래치가 발생될 우려가 있다. 그런데, 본 발명에서는 완충스페이서(40)에 의해 펠리클 프레임(5)의 내경이 내경삽입블록(20)의 둘레부에서 이격되어 내경삽입블록(20)과 펠리클 프레임(5)의 내경이 접촉되는 부분을 최소화할 수 있으므로, 스크래치가 발생되는 것을 최소화할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 상기 베이스(10)의 중앙부에 내경삽입블록(20)의 외측부에 위치되도록 단차부(12)가 형성되고, 이 단차부(12)에 의해 베이스(10)의 외곽부 상면에 상대적으로 낮은 오목홈부(14)가 형성되어, 상기 단차부(12)에 의해 펠리클 프레임(5)의 저면이 지지되어 베이스(10)의 외곽 오목홈부(14)로부터 상측으로 이격된다.

이에 따라, 머시닝 센터에서 회전하는 절삭기구에 의해 펠리클 프레임(5)의 외경을 가공할 때, 절삭기구에 의해 베이스(10)가 같이 마모되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 최하측 펠리클 프레임(5)의 저면이 베이스(10) 중앙부의 단차부(12)에 의해 베이스(10) 외곽의 오목홈부(14)에서 소정 거리 이격된 상태로 고정되어, 절 삭기구에 의해 펠리클 프레임(5)의 외경을 가공할 때 절삭기구가 베이스(10)(즉, 오목홈부(14))에 닿지 않기 때문에, 가공중에 베이스(10)가 함께 마모되어 손상되는 것을 방지할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 점이 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

이상에서와 같은 본 발명에 의하면, 펠리클 프레임의 내경을 지지하는 부품이 단일의 내경삽입블록으로만 구성되어, 구성이 비교적 간소화되고, 제작이 신속 용이하면서도 제품 코스트를 절감할 수 있는 등의 효과가 있다. 그리고, 복수개의 펠리클 프레임을 한꺼번에 가공할 수 있으므로, 가공 작업도 효율적이다.

또한, 본 발명은 완충스페이서에 의해 펠리클 프레임의 내경이 내경삽입블록의 둘레부에서 이격되어 내경삽입블록과 펠리클 프레임의 내경이 접촉되는 부분을 최소화할 수 있으므로, 펠리클 프레임의 내경에 스크래치가 발생되는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 펠리클 프레임의 저면이 베이스에서 소정 거리 이격된 상태로 고정되므로, 절삭기구에 의해 펠리클 프레임의 외경을 가공할 때 베이스가 함께 마모되어 손상되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (4)

1. 판형상의 베이스(10)와, 상기 베이스(10)의 중앙부에 일체화된 내경삽입블록(20)과, 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 볼트(35)를 통해 고정되며 그 외곽부는 상기 내경삽입블록(20)의 상면 외측으로 돌출되도록 된 고정판(30)을 포함하여 구성되며, 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에 펠리클 프레임(5)을 삽입하고, 상기 고정판(30)을 볼트(35)에 의해 상기 내경삽입블록(20)의 상면에 고정하여 상기 고정판(30)의 외곽부와 베이스(10) 사이에 상기 펠리클 프레임(5)을 고정하도록 된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 내경 고정지그.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에는 복수개의 완충스페이서(40)가 구비되어, 상기 완충스페이서(40)가 상기 펠리클 프레임(5)의 내경에 접촉되어 상기 펠리클 프레임(5)의 내경이 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에서 이격되도록 하는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 내경 고정지그.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 완충스페이서(40)는 일자형으로 구성되어 상기 내경삽입블록(20)의 외측 둘레부에 상하 방향으로 설치된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 내경 고정지그.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 베이스(10)의 중앙부에는 상기 내경삽입블록(20)의 외측부에 위치되도록 단차부(12)가 형성되고, 상기 단차부(12)에 의해 상기 베이스(10)의 외곽부 상면에 상대적으로 낮은 오목홈부(14)가 형성되며, 상기 단차부(12)에 상기 펠리클 프레임(5)의 저면이 지지되어 상기 오목홈부(14)로부터 이격되도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임용 내경 고정지그.

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