JPH06258562A - レンズ保持装置 - Google Patents
レンズ保持装置Info
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- JPH06258562A JPH06258562A JP5070822A JP7082293A JPH06258562A JP H06258562 A JPH06258562 A JP H06258562A JP 5070822 A JP5070822 A JP 5070822A JP 7082293 A JP7082293 A JP 7082293A JP H06258562 A JPH06258562 A JP H06258562A
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- Japan
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- lens
- adhesive
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- held
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、レンズ保持装置において、レンズを
固定保持する際に歪やずれの発生を有効に回避して高い
精度で確実にレンズを保持する。 【構成】レンズ２をレンズ２の外周上面と押さえ金具１
１との間及びレンズ２の外周とレンズ枠３の内周面３Ａ
との間に、紫外線に強い弾性部材１２、１３を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持して紫
外線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ２及びレン
ズ枠３の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等
によつて生じるレンズ２の歪やずれ、面精度の歪等の弊
害を有効に回避することができ、かくして高い精度で確
実にレンズ２を固定保持し得る。
固定保持する際に歪やずれの発生を有効に回避して高い
精度で確実にレンズを保持する。 【構成】レンズ２をレンズ２の外周上面と押さえ金具１
１との間及びレンズ２の外周とレンズ枠３の内周面３Ａ
との間に、紫外線に強い弾性部材１２、１３を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持して紫
外線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ２及びレン
ズ枠３の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等
によつて生じるレンズ２の歪やずれ、面精度の歪等の弊
害を有効に回避することができ、かくして高い精度で確
実にレンズ２を固定保持し得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレンズ保持装置に関し、
例えば半導体集積回路製造用の露光装置のレンズを保持
するものに適用して好適なものである。
例えば半導体集積回路製造用の露光装置のレンズを保持
するものに適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路は一段と微細化の
方向で開発が進み、リソグラフイ工程においてより微細
化を実現する方法として、リソグラフイ光源の露光波長
を一段と短波長化することが提案されている。露光装置
の光源として波長 248〔nm〕のＫｒＦエキシマレーザが
採用され、今後はさらに短波長のＡｒＦエキシマレーザ
（波長 193〔nm〕）の使用が期待されている。
方向で開発が進み、リソグラフイ工程においてより微細
化を実現する方法として、リソグラフイ光源の露光波長
を一段と短波長化することが提案されている。露光装置
の光源として波長 248〔nm〕のＫｒＦエキシマレーザが
採用され、今後はさらに短波長のＡｒＦエキシマレーザ
（波長 193〔nm〕）の使用が期待されている。
【０００３】このような露光装置のレンズを固定保持す
るレンズ保持装置として、図３に示すような構成のもの
がある。このレンズ保持装置１はレンズ２を保持する形
状を有するレンズ枠３でなり、レンズ２がレンズ枠３に
接着剤４を用いて固定保持される。レンズ枠３はレンズ
２の外径に応じた内径部３Ａとレンズ２の一端面に応じ
た曲面でなるレンズ支持部３Ｂを有して形成されてい
る。また接着剤４としてはエポキシ系やシリコン系の接
着剤が使用されている。
るレンズ保持装置として、図３に示すような構成のもの
がある。このレンズ保持装置１はレンズ２を保持する形
状を有するレンズ枠３でなり、レンズ２がレンズ枠３に
接着剤４を用いて固定保持される。レンズ枠３はレンズ
２の外径に応じた内径部３Ａとレンズ２の一端面に応じ
た曲面でなるレンズ支持部３Ｂを有して形成されてい
る。また接着剤４としてはエポキシ系やシリコン系の接
着剤が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところがかかる構成の
露光装置においては、露光光が複数のレンズ群を通過す
る際に、レンズ２の外周すれすれに通過したり、回折光
がレンズ枠３に当たる場合がある。また露光装置におい
て、高解像力でかつ焦点深度を広く得る新しい照明方法
として、光源を斜めから照明する方法がある。文献（白
石他、ＳＰＩＥ vol.1674 optical/Laser Microlithogr
aphy V (1992)pp.741-752 ）等に示されているように、
この場合にはレチクルと呼ばれる露光装置における回路
パターン等の転写用のマスクにて回折された光の一部
が、レンズ枠３及びレンズ群を保持している鏡筒の内壁
に当たることになる。
露光装置においては、露光光が複数のレンズ群を通過す
る際に、レンズ２の外周すれすれに通過したり、回折光
がレンズ枠３に当たる場合がある。また露光装置におい
て、高解像力でかつ焦点深度を広く得る新しい照明方法
として、光源を斜めから照明する方法がある。文献（白
石他、ＳＰＩＥ vol.1674 optical/Laser Microlithogr
aphy V (1992)pp.741-752 ）等に示されているように、
この場合にはレチクルと呼ばれる露光装置における回路
パターン等の転写用のマスクにて回折された光の一部
が、レンズ枠３及びレンズ群を保持している鏡筒の内壁
に当たることになる。
【０００５】また露光装置の結像光学系においては、瞳
面と呼ばれる箇所に特殊なフイルタを挿入することによ
り、レチクルと焼き付け基板（通常ウエハでなる）間の
アライメントの精度向上や焦点深度を広げる等の目的に
用いる場合があるが、このようなフイルタを露光光が通
過する際、フイルタにより一部の光は散乱され、前述と
同様にレンズ枠３及びレンズ群を保持している鏡筒の内
壁に露光光の一部が当たることになる。
面と呼ばれる箇所に特殊なフイルタを挿入することによ
り、レチクルと焼き付け基板（通常ウエハでなる）間の
アライメントの精度向上や焦点深度を広げる等の目的に
用いる場合があるが、このようなフイルタを露光光が通
過する際、フイルタにより一部の光は散乱され、前述と
同様にレンズ枠３及びレンズ群を保持している鏡筒の内
壁に露光光の一部が当たることになる。
【０００６】このように露光光の一部がレンズ枠３及び
レンズ群を保持している鏡筒の内壁に当たる場合、エポ
キシ等の接着剤４を介してレンズ２をレンズ枠３に固定
保持していると、露光光の一部又は散乱光が接着剤４に
照射される。接着剤４は一般に高分子材料から形成さ
れ、ＫｒＦエキシマレーザ（波長 248〔nm〕）やＡｒＦ
エキシマレーザ（波長 193〔nm〕）のように短波長の光
照射で結合が切れ、接着機能が低下したり又はゴミの発
生源となるばかりでなく、照射によつて光が吸収されて
発熱して接着剤４の膨張が生じ、レンズ面の歪の原因と
なる問題があつた。
レンズ群を保持している鏡筒の内壁に当たる場合、エポ
キシ等の接着剤４を介してレンズ２をレンズ枠３に固定
保持していると、露光光の一部又は散乱光が接着剤４に
照射される。接着剤４は一般に高分子材料から形成さ
れ、ＫｒＦエキシマレーザ（波長 248〔nm〕）やＡｒＦ
エキシマレーザ（波長 193〔nm〕）のように短波長の光
照射で結合が切れ、接着機能が低下したり又はゴミの発
生源となるばかりでなく、照射によつて光が吸収されて
発熱して接着剤４の膨張が生じ、レンズ面の歪の原因と
なる問題があつた。
【０００７】また図３との対応部分に同一符号を付した
図４に示すように、接着剤３の経時変化によつて発生す
るレンズ２の浮き上がりを防止するため、押さえ金具６
を用いるレンズ保持装置５がある。この押さえ金具６は
レンズ２の曲面に応じたレンズ支持部６Ａを有し、外周
に形成されたねじ７によつてレンズ枠３にねじ込まれ
る。ところがこのレンズ保持装置５では、レンズ２の外
周近くの押さえ金具６と接触するレンズ２の表面と押さ
え金具６のレンズ支持部６Ａとの接触面の精度が必ずし
も完全でなく、通常は数点で接触し押さえ金具６による
圧力がレンズ２の表面に対して均一ではないために、レ
ンズ歪及びずれの原因になつてしまう問題があつた。
図４に示すように、接着剤３の経時変化によつて発生す
るレンズ２の浮き上がりを防止するため、押さえ金具６
を用いるレンズ保持装置５がある。この押さえ金具６は
レンズ２の曲面に応じたレンズ支持部６Ａを有し、外周
に形成されたねじ７によつてレンズ枠３にねじ込まれ
る。ところがこのレンズ保持装置５では、レンズ２の外
周近くの押さえ金具６と接触するレンズ２の表面と押さ
え金具６のレンズ支持部６Ａとの接触面の精度が必ずし
も完全でなく、通常は数点で接触し押さえ金具６による
圧力がレンズ２の表面に対して均一ではないために、レ
ンズ歪及びずれの原因になつてしまう問題があつた。
【０００８】さらに上述のように、レンズ２の外周部と
レンズ枠３の間に接着剤４を介してレンズ２を固定保持
しているため、露光装置の搬送時等に温度変化が生じた
場合には、レンズ２の材質とレンズ枠３の材質（金属で
なる）の線膨張係数が異なるり、この結果発生する応力
によるレンズ２の偏心歪を接着剤４では必ずしも防げな
い問題や、また接着剤４の硬化収縮によりレンズ２の面
精度に歪が生ずる問題もあつた。
レンズ枠３の間に接着剤４を介してレンズ２を固定保持
しているため、露光装置の搬送時等に温度変化が生じた
場合には、レンズ２の材質とレンズ枠３の材質（金属で
なる）の線膨張係数が異なるり、この結果発生する応力
によるレンズ２の偏心歪を接着剤４では必ずしも防げな
い問題や、また接着剤４の硬化収縮によりレンズ２の面
精度に歪が生ずる問題もあつた。
【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、レンズを固定保持する際に歪やずれの発生を有効に
回避して高い精度で確実にレンズを保持し得るレンズ保
持装置を提案しようとするものである。
で、レンズを固定保持する際に歪やずれの発生を有効に
回避して高い精度で確実にレンズを保持し得るレンズ保
持装置を提案しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、レンズ２をレンズ枠３に固定保持
するレンズ保持装置１０において、レンズ２をそのレン
ズ２の外周上面と押さえ金具１１との間及びレンズ２の
外周とレンズ枠３の内周面３Ａとの間に、紫外線に強い
弾性部材１２、１３を介して固定保持するようにした。
さらに本発明においては、レンズ２として、紫外線領域
のうち特に波長 300〔nm〕以下の光を用いた露光装置用
レンズを保持するようにした。
め本発明においては、レンズ２をレンズ枠３に固定保持
するレンズ保持装置１０において、レンズ２をそのレン
ズ２の外周上面と押さえ金具１１との間及びレンズ２の
外周とレンズ枠３の内周面３Ａとの間に、紫外線に強い
弾性部材１２、１３を介して固定保持するようにした。
さらに本発明においては、レンズ２として、紫外線領域
のうち特に波長 300〔nm〕以下の光を用いた露光装置用
レンズを保持するようにした。
【００１１】
【作用】レンズ２をレンズ２の外周上面と押さえ金具１
１との間及びレンズ２の外周とレンズ枠３の内周面３Ａ
との間に、紫外線に強い弾性部材１２、１３を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持し紫外
線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ２及びレンズ
枠３の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等に
よつて生じるレンズ２の歪やずれ、面精度の歪等の弊害
を有効に回避することができ、かくして高い精度で確実
にレンズ２を固定保持し得る。
１との間及びレンズ２の外周とレンズ枠３の内周面３Ａ
との間に、紫外線に強い弾性部材１２、１３を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持し紫外
線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ２及びレンズ
枠３の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等に
よつて生じるレンズ２の歪やずれ、面精度の歪等の弊害
を有効に回避することができ、かくして高い精度で確実
にレンズ２を固定保持し得る。
【００１２】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１３】図３及び図４との対応部分に同一符号を付
して示す図１において、１０は全体として波長 300〔n
m〕以下の紫外線を光源として用いる露光装置のレンズ
２を保持するレンズ保持装置を示し、レンズ２はその周
辺部を支持する環状のレンズ枠３と、同じく周辺部をレ
ンズ枠３に対して付勢する環状の押さえ金具１１により
保持されている。
して示す図１において、１０は全体として波長 300〔n
m〕以下の紫外線を光源として用いる露光装置のレンズ
２を保持するレンズ保持装置を示し、レンズ２はその周
辺部を支持する環状のレンズ枠３と、同じく周辺部をレ
ンズ枠３に対して付勢する環状の押さえ金具１１により
保持されている。
【００１４】この実施例の場合、レンズ２と押さえ金具
１１との間に環状に成形された多孔質スポンジ状金属１
２を介して、レンズ２をレンズ枠３のレンズ支持部３Ａ
に対して、ネジ７を用いて固定保持されている。またレ
ンズ２の外周とレンズ枠３の内周との間が同様の多孔質
スポンジ状金属１３を介して固定保持されている。
１１との間に環状に成形された多孔質スポンジ状金属１
２を介して、レンズ２をレンズ枠３のレンズ支持部３Ａ
に対して、ネジ７を用いて固定保持されている。またレ
ンズ２の外周とレンズ枠３の内周との間が同様の多孔質
スポンジ状金属１３を介して固定保持されている。
【００１５】この多孔質スポンジ状金属１２、１３は、
図２に示すように、上部から見て環状に成形されてい
る。多孔質スポンジ状金属１２、１３としては、金属ワ
イヤをメリヤス状に編んで偏平に波付けしてメツシユ状
とした後、金型により圧縮成形して環状に形成され、例
えば日本発条株式会社から発売されているメツシユばね
が用いられている。
図２に示すように、上部から見て環状に成形されてい
る。多孔質スポンジ状金属１２、１３としては、金属ワ
イヤをメリヤス状に編んで偏平に波付けしてメツシユ状
とした後、金型により圧縮成形して環状に形成され、例
えば日本発条株式会社から発売されているメツシユばね
が用いられている。
【００１６】このようにすれば、波長 300〔nm〕以下の
紫外線の光が、レンズ枠３に照射されても多孔質スポン
ジ状金属１２、１３は劣化することなく、かつ発熱した
場合においても多孔質であるため熱の発散が容易に行わ
れ、レンズ２及び鏡筒への熱の拡散を減少できる。
紫外線の光が、レンズ枠３に照射されても多孔質スポン
ジ状金属１２、１３は劣化することなく、かつ発熱した
場合においても多孔質であるため熱の発散が容易に行わ
れ、レンズ２及び鏡筒への熱の拡散を減少できる。
【００１７】またレンズ２は押さえ金具１１をねじ込む
ことにより固定保持されており、レンズ２の外周面と押
さえ金具１１のレンズ支持部１１Ａとの間に多孔質スポ
ンジ状金属１２を介しているため、押さえ金具１１によ
るレンズ２の外周面に加わる圧力が均一となり、レンズ
面の圧力による歪が低減されずれも有効に回避すること
ができる。
ことにより固定保持されており、レンズ２の外周面と押
さえ金具１１のレンズ支持部１１Ａとの間に多孔質スポ
ンジ状金属１２を介しているため、押さえ金具１１によ
るレンズ２の外周面に加わる圧力が均一となり、レンズ
面の圧力による歪が低減されずれも有効に回避すること
ができる。
【００１８】またレンズ２の外周とレンズ枠３の間に多
孔質スポンジ状金属１３を入れているために、レンズ系
の雰囲気の温度変化によるレンズ２の材質とレンズ枠３
の材質の線膨張率の違いによつて発生するレンズ２とレ
ンズ枠３との間の圧力による歪が多孔質スポンジ状金属
１３で有効に吸収され、レンズ２の歪やずれを未然に回
避することができる。
孔質スポンジ状金属１３を入れているために、レンズ系
の雰囲気の温度変化によるレンズ２の材質とレンズ枠３
の材質の線膨張率の違いによつて発生するレンズ２とレ
ンズ枠３との間の圧力による歪が多孔質スポンジ状金属
１３で有効に吸収され、レンズ２の歪やずれを未然に回
避することができる。
【００１９】以上の構成によれば、レンズ２を固定保持
する際に接着剤を使用せず、レンズ２と押さえ金具１１
との間及びレンズ２とレンズ枠３との間に、それぞれ多
孔質スポンジ状金属１２及び１３を入れて、レンズ２を
固定保持するようにしたことにより、レンズ２を固定保
持する際に歪やずれの発生を有効に回避して高い精度で
確実にレンズ２を保持し得るレンズ保持装置１０を実現
できる。
する際に接着剤を使用せず、レンズ２と押さえ金具１１
との間及びレンズ２とレンズ枠３との間に、それぞれ多
孔質スポンジ状金属１２及び１３を入れて、レンズ２を
固定保持するようにしたことにより、レンズ２を固定保
持する際に歪やずれの発生を有効に回避して高い精度で
確実にレンズ２を保持し得るレンズ保持装置１０を実現
できる。
【００２０】なお上述の実施例においては、レンズと押
さえ金具との間及びレンズとレンズ枠との間に多孔質ス
ポンジ状金属を挟んでレンズを固定した場合について述
べたが、挟む部材は多孔質スポンジ状金属に限らず、紫
外線に強い弾性部材を挟んでレンズを固定保持するよう
にしても良い。因に、紫外線に強い部材として金属の他
にフツ素やアクリル等の繊維やゴム等の樹脂があり、樹
脂等についてはその弾性を利用し、繊維については丸め
る等の加工を施して多孔質スポンジ状金属と同様に弾性
を有するようにすれば、上述の実施例と同様の効果を実
現できる。
さえ金具との間及びレンズとレンズ枠との間に多孔質ス
ポンジ状金属を挟んでレンズを固定した場合について述
べたが、挟む部材は多孔質スポンジ状金属に限らず、紫
外線に強い弾性部材を挟んでレンズを固定保持するよう
にしても良い。因に、紫外線に強い部材として金属の他
にフツ素やアクリル等の繊維やゴム等の樹脂があり、樹
脂等についてはその弾性を利用し、繊維については丸め
る等の加工を施して多孔質スポンジ状金属と同様に弾性
を有するようにすれば、上述の実施例と同様の効果を実
現できる。
【００２１】また上述の実施例においては、本発明を波
長 300〔nm〕以下の紫外線領域の光を光源とする露光装
置のレンズを保持する場合について述べたが、本発明に
よる光の波長はこれに限らず、波長 300〔nm〕以上の光
を用いる露光装置のレンズを固定保持する場合に使用し
ても良く、さらに露光装置用レンズに限らず、種々の光
学装置のレンズを固定保持する場合に広く適用して好適
なものである。
長 300〔nm〕以下の紫外線領域の光を光源とする露光装
置のレンズを保持する場合について述べたが、本発明に
よる光の波長はこれに限らず、波長 300〔nm〕以上の光
を用いる露光装置のレンズを固定保持する場合に使用し
ても良く、さらに露光装置用レンズに限らず、種々の光
学装置のレンズを固定保持する場合に広く適用して好適
なものである。
【００２２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、レンズの
固定保持を接着剤を使用せずに、レンズをレンズの外周
上面と押さえ固定金具との間及びレンズの外周とレンズ
枠の内周面との間に、紫外線に強い弾性部材を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持して紫
外線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ及びレンズ
枠の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等によ
つて生じるレンズの歪やずれ、面精度の歪等の弊害を有
効に回避することができ、かくして高い精度で確実にレ
ンズを固定保持し得るレンズ保持装置を実現できる。
固定保持を接着剤を使用せずに、レンズをレンズの外周
上面と押さえ固定金具との間及びレンズの外周とレンズ
枠の内周面との間に、紫外線に強い弾性部材を介して固
定保持するようにしたことにより、接着剤で保持して紫
外線が照射された際に接着剤の劣化やレンズ及びレンズ
枠の線膨張係数の差、さらには接着剤の硬化収縮等によ
つて生じるレンズの歪やずれ、面精度の歪等の弊害を有
効に回避することができ、かくして高い精度で確実にレ
ンズを固定保持し得るレンズ保持装置を実現できる。
【図１】本発明によるレンズ保持装置の一実施例を示す
略線断面図である。
略線断面図である。
【図２】図１のレンズ保持装置における多孔質スポンジ
状金属の形状を示す平面図である。
状金属の形状を示す平面図である。
【図３】従来のレンズ保持装置の説明に供する略線断面
図である。
図である。
【図４】図３のレンズ保持装置にレンズ押さえ金具を付
加した構成を示す略線断面図である。
加した構成を示す略線断面図である。
１、５、１０……レンズ保持装置、２……レンズ、３…
…レンズ枠、４……接着剤、６、１１……押さえ金具、
７……ねじ、１２、１３……多孔質スポンジ状金属。
…レンズ枠、４……接着剤、６、１１……押さえ金具、
７……ねじ、１２、１３……多孔質スポンジ状金属。
Claims (2)
- 【請求項１】レンズをレンズ枠に固定保持するレンズ保
持装置において、 前記レンズを該レンズの外周上面と押さえ金具との間及
び前記レンズの外周と前記レンズ枠の内周面との間に、
紫外線に強い弾性部材を介して固定保持するようにした
ことを特徴とするレンズ保持装置。 - 【請求項２】前記レンズとして、紫外線領域のうち特に
波長 300〔nm〕以下の光を用いた露光装置用レンズを保
持するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のレ
ンズ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5070822A JPH06258562A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | レンズ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5070822A JPH06258562A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | レンズ保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258562A true JPH06258562A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13442661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5070822A Pending JPH06258562A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | レンズ保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258562A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5600495A (en) * | 1993-12-16 | 1997-02-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Structure for attaching scanning optical system |
| JP2006039319A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レンズ保持機構、及びレンズ枠体 |
| WO2006034957A1 (de) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Halterung für eine linse mit einem elastischen mittel zwischen linse un halterung |
| US7944633B2 (en) | 2009-07-28 | 2011-05-17 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Lens holder for alignment of stacked lens module and manufacturing method thereof |
| US7944630B2 (en) | 2009-06-30 | 2011-05-17 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Lens holder for stacked lens module and manufacturing method thereof |
| US7957081B2 (en) | 2008-03-11 | 2011-06-07 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Optical glass lens set and manufacturing method thereof |
-
1993
- 1993-03-05 JP JP5070822A patent/JPH06258562A/ja active Pending
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
| US5600495A (en) * | 1993-12-16 | 1997-02-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Structure for attaching scanning optical system |
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| WO2006034957A1 (de) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Halterung für eine linse mit einem elastischen mittel zwischen linse un halterung |
| DE102004048064B4 (de) * | 2004-09-30 | 2017-11-30 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskopobjektiv mit einer Halterung für eine Linse |
| US7957081B2 (en) | 2008-03-11 | 2011-06-07 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Optical glass lens set and manufacturing method thereof |
| US7944630B2 (en) | 2009-06-30 | 2011-05-17 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Lens holder for stacked lens module and manufacturing method thereof |
| US7944633B2 (en) | 2009-07-28 | 2011-05-17 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Lens holder for alignment of stacked lens module and manufacturing method thereof |
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