KR101056072B1 - 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 접착한 후, 외주 테두리 부위를 실링하고, 회로기판과 커버를 장착하여 엑스선 이미지 센서를 제작하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 대면적 엑스선 이미지 센서의 제조 공정에서의 불량발생율을 낮추고, 공정을 단순화 시켜 생산성을 높이는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법을 제공한다.
TFT, 신틸레이터, 합착, 실링, 조립
Description
본 발명은 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 접착한 후, 외주 테두리 부위를 실링하고, 회로기판과 커버를 장착하여 대면적 엑스선 이미지 센서를 제작하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 의료분야에서 일반적으로 사용되는 영상 진단 장치인 엑스선 촬영장치는 엑스선 발생부와 촬영판으로 이루어져 환자의 신체 일정 부위에 엑스선을 조사하여 뼈의 골절 여부 및 장기의 이상 여부 등을 검진하는 장치이다.
이때, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 엑스선 발생부와 촬영판 사이에 환자의 검진하고자 하는 신체부위를 위치시킨 상태에서 상기 엑스선 발생부에 의해 엑스선을 조사하면, 상기 촬영판을 통해 영상을 얻을 수 있는 구조로 이루어진다.
그러나, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 촬영판에서 촬영된 필름을 현상해야 하는 번거로움이 있었고, 여러 환자에 따른 필름을 보관, 관리하는 과정에서 많은 공간과 시간과 경비 및 인력이 필요한 문제점이 있었다.
따라서, 기존의 필름방식의 엑스선 촬영장치를 대체하는 기술로 DR(Digital Radiography)이라고 대표되는 엑스선 이미지 센서를 이용한 디지털 영상 진단 장치가 연구 진행되고 있다.
상기 디지털 영상 진단 장치는 디지털 방식으로 영상을 획득하는 장치로서, 엑스선을 디지털 센서에 조사하여 이를 전기적인 신호로 바꾸어서 영상을 획득하는 장치이다.
따라서, 상기 엑스선 이미지 센서는 디지털 영상 진단 장치의 핵심적인 기술로, 상기 디지털 센서의 성능에 따라 상기 디지털 영상 진단 장치에서 출력되는 영상의 질을 좌우하게 된다.
이러한 엑스선 이미지 센서는 주로 환자의 사지골절, 두부 및 흉부와 같은 광범위한 면적의 영상을 획득하게 되는데, 이로 인해 상기 디지털 센서는 대면적 엑스선 이미지 센서로 제조되어야 한다.
한편, 대면적 엑스선 이미지 센서의 제조 과정은 먼저, 신틸레이터 패널과 TFT 패널을 접착제를 이용하여 접착시킨 후, 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링하고, 회로기판 및 커버를 설치 또는 조립하는 과정으로 이루어진다.
이러한 대면적 엑스선 이미지 센서는 그 구조가 정밀하고 내구성이 약하여 작은 충격에도 민감하기 때문에 제조 과정에서 상당한 주의를 요하며, 상기의 제조 과정은 일반적으로 작업자에 의해 수동으로 진행되기 때문에, 제품의 완성도의 편차가 발생하고, 불량률이 높으며, 제조 시간 및 비용이 증가하여 공정성이 떨어지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점과 과거로부터 요청되어온 기술적 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 제조 과정에서 발생하는 불량을 억제하고, 내구성 및 완성도가 향상된 대면적 엑스선 이미지 센서의 제작 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 작업 과정에 대한 설비 및 공정을 단순화 하여 제조 시간 및 비용을 감소시킬 수 있는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성하는 제 1 단계, 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 제 1 지지 테이블에 위치시키는 제 2 단계, 기판 홀더에 신틸레이터 패널을 장착하는 제 3 단계, 상기 기판 홀더를 제 2 지지 테이블에 장착하는 제 4 단계, 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착하는 제 5 단계, 합착된 상 기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링하는 제 6 단계, 및 합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 조립 테이블에 고정하여 회로기판 및 커버를 장착하는 제 7 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1 단계는, 상기 TFT 패널 상에 스크린 프린트 부재를 위치시키는 제 1-1 단계, 상기 스크린 프린트 부재 상의 일측에 접착제를 위치시키는 제 1-2 단계, 상기 스크린 프린트 부재 상의 일측으로부터 타측까지 스퀴즈 바를 이동시켜 상기 접착제가 상기 스크린 프린트 부재를 통하여 상기 TFT 패널상에 도포되도록 접착층을 형성하는 제 1-3 단계, 및 상기 TFT 패널에서 스크린 프린트 부재를 분리시키는 제 1-4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 스크린 프린트 부재는, 망 구조의 마스크, 상기 마스크를 팽팽한 형태로 유지시키는 마스크 프레임, 및 상기 마스크 상에 위치하며 상기 TFT 패널상에 접착제가 도포되는 부위를 한정하는 유제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 접착제는 실리콘인 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 기판 홀더는, 기판을 올려놓는 본체, 및 상기 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치를 포함하고, 상기 고정장치는 상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되는 기판 고정 클립, 상기 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 기판 홀더의 본체에는 상기 제 2 지지 테이블에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가 위치하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 5 단계는 진공 챔버 내에서 수행되는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 5 단계는, 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 접착층이 형성된 TFT 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 제 5-1 단계, 및 상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 TFT 패널에 부착하는 제 5-2 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 6 단계는, 상기 TFT 패널 및 상기 신틸레이터 패널을 합착하는 제 6-1 단계, 상기 TFT 패널의 테두리 부위에 제 1 경화성 물질로 댐을 형성하는 제 6-2 단계, 상기 제 1 경화성 물질을 경화시키는 제 6-3 단계, 상기 TFT 패널에 형성된 댐 안쪽으로 제 2 경화성 물질을 디스펜싱하는 제 6-4 단계, 및 상기 제 2 경화성 물질을 경화시키는 제 6-5 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1 경화성 물질은 실리콘인 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 2 경화성 물질은 에폭시 수지인 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 6-5 단계 이후, 상기 제 2 경화성 물질의 외부로 드러나는 면을 실리콘 층으로 감싸는 제 6-6 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 조립 테이블은 베이스, 및 패널을 고정시키며, 상기 베이스 상에서 회전할 수 있도록 회전축으로 연결되는 패널 고정 프레임을 포함하고, 상기 기판 고정 프레임의 외측과 상기 베이스 일부 부위를 체결하여 상기 기판 고정 프레임을 상기 베이스 상에서 수평 상태로 고정시키는 수평 잠금장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 패널 고정 프레임은, 내측에 개구가 형성되는 액자 프레임 형상의 프레임 본체, 상기 본체의 내측 방향으로 돌출되어, 상기 패널의 하면 모서리 부위를 지지하여 상기 패널을 안착시키는 복수 개의 제 1 패널 지지부, 상기 본체의 내측 방향으로 돌출되어, 상기 패널의 상면 모서리 부위를 지지하여 상기 패널을 고정시키는 복수 개의 제 2 패널 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
본 발명의 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법은 공정 중의 불량 발생율을 억제하고, 내구성 및 완성도가 향상된 대면적 엑스선 이미지 센서를 제작할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명의 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법은 작업 과정에 대한 설비 및 공정을 단순화 하여 제조 시간 및 비용을 감소시키는 효과를 제공한다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 대면적 엑스선 이미지 센서의 제작방법의 흐름도가 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 먼저 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 합착시키기 위한 접착제를 TFT 패널 도포하여 접착층을 형성(S100)시킨다. 그 후, 진공 챔버 내에 구비된 제 1 지지 테이블에 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 위치시킨다(S200). 또한, 패널을 장착할 수 있는 구조의 기판 홀더에 상기 신틸레이터 패널을 장착(S300)하고, 상기 기판 홀더를 상기 진공 챔버 내부에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착(S400)한다. 그 다음, 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널을 상기 TFT 패널의 접착층 상에 위치시킨 후 상기 기판 홀더와 상기 신틸레이 터 패널을 분리시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착(S500)시킨다.
그리고, 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링(S600)하여 수분이나 이물질이 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 접착 부위에 침투하는 것을 방지한다.
마지막으로, 상기 합착된 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 조립 테이블에 고정하여 회로기판, 외부연결단자, 및 커버 등의 부품을 장착(S700)하여 대면적 엑스선 이미지 센서를 완성시킨다.
도 2에는 도 1의 TFT 패널에 접착층을 형성하는 과정에 관한 모식도가 도시되어 있고, 도 3에는 도 2의 스크린 프린트 부재의 평면 모식도가 도시되어 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 먼저 TFT 패널(100) 상에 스크린 프린트 부재(300)를 위치시킨 후 상기 스크린 프린트 부재(300)상의 일측에 접착제(150)를 위치시킨다. 여기서 패널 합착을 위한 접착제(150)는 다양한 재료가 사용될 수 있으며, 예를 들어 실리콘이 바람직하게 사용될 수 있다.
그 후, 상기 스크린 프린트 부재(300)의 일측으로부터 타측까지 스퀴즈 바(340)를 이동시켜 상기 스크린 프린트 부재(300)상의 접착제(150)를 평탄화시킨다. 상기 평탄화된 접착제(150)는 상기 스크린 프린트 부재(300)의 마스크(310)를 통과하여 상기 TFT 패널(100)의 상면에 도포되어 접착층(152)을 형성한다. 그리고, 상기 스크린 프린트 부재(300)를 상기 TFT 패널(100)과 분리하면 상기 TFT 패널(100)상에 접착층(152)이 형성된 상태로 상기 스크린 프린트 부재(300)가 분리되게 된다. 상기 스크린 프린트 부재(300)의 마스크(310)를 통과한 접착제(150)는 표면이 대체적으로 균일하나, 상기 마스크(310)를 통과하는 과정 또는 상기 스크린 프린트 부재(300)를 상기 TFT 패널(100)에서 분리하는 과정에서 약간의 균일하지 않을 수 도 있다. 그러나 접착제(150)의 점도 및 퍼짐성에 의해 소정의 시간이 지나면 표면이 평탄화 된다.
도 4에는 대면적 패널의 합착에 관한 과정이 모식적으로 도시되어 있다. 도 4의 과정은 도 2의 과정 이후 TFT 패널(100)과 신틸레이터 패널(200)을 합착하는 과정으로서, 먼저 TFT 패널(100)상에 형성된 접착층(152)의 테두리 부위에 소정의 점성을 가지는 경화성 물질로 댐(160)을 형성시킨다. 상기 경화성 물질로 형성된 댐(160)은 시간이 흐르면서 좌 우로 퍼지게 된다. 그리고, 신틸레이터 패널(200)의 테두리 부위에 양면 테이프(170)를 부착시켜 상기 TFT 패널(100)과 상기 신틸레이터 패널(200)을 합착시킨 후, 상기 경화성 물질로 형성된 댐(160)을 경화시킨다.
상기 양면 테이프(170) 및 상기 경화성 물질로 이루어진 댐(160)을 포함시키는 구조는 상기 TFT 패널(100)과 상기 신틸레이터 패널(200)의 접착력을 향상시키고, 상기 TFT 패널(100)과 상기 신틸레이터 패널(200)의 접착면에 공기, 수분 등의 이물질이 침투되지 않도록 실링하는 역할을 제공한다.
상기 경화성 물질은 상기 접착제보다 점성도가 높은 실리콘을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 열 또는 UV에 의해 경화되는 경화성 물질을 사용하는 것이 바람직하며, 이 때, 열 또는 UV에 의해 상기 경화성 물질을 경화시키는 과정이 추가로 포함될 수 있다.
도 5 및 도 6에는 도 1의 신틸레이터 패널이 장착되는 기판 홀더의 상부 및 하부 구조가 나타난 사시도들이 도시되어 있고, 도 7에는 신틸레이터 패널이 장착된 기판 홀더의 사시도가 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 기판 홀더(400)는 본체(410) 및 고정장치를 포함하는 구조로 이루어진다. 상기 본체(410)는 신틸레이터 패널을 올려놓을 수 있도록, 상기 신틸레이터 패널(200)보다 넓은 크기의 판상형 부재로 이루어진다. 상기 고정장치는 수직 탄성부(420), 수평 탄성부(430), 및 기판 고정 클립(440)을 포함하며, 상기 수직 탄성부(420)는 상기 기판 고정 클립(440)에 수직 방향으로 탄력을 인가하여 상기 본체(410)의 상면 테두리 부위에 밀착되도록 한다. 또한, 상기 수평 탄성부(430)는 상기 기판 고정 클립(440)이 상기 본체(410)의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가한다.
따라서, 상기 본체(410) 상에 신틸레이터 패널(200)을 올려놓은 후, 상기 수평 탄성부(430)의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립(440)이 상기 본체(410)의 내측으로 수평 이동하면서 상기 기판 고정 클립(440)의 일부가 상기 신틸레이터 패널(200)의 테두리 부위상에 위치하게 되고, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립(440)이 상기 신틸레이터 패널(200)의 테두리 부위(210)를 수직으로 압박한다.
상기 본체(410)에서, 상기 신틸레이터 패널(200)이 고정되는 면의 반대측 면에는 이동 손잡이(470)가 위치하며, 따라서 상기 기판 홀더(400)를 용이하게 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 기판 홀더(400)에 상기 신틸레이터 패널(200)이 고정된 상태, 또는 고정되어 있지 않은 상태에서 상기 기판 홀더(400)를 다른 위치로 이동 시키는 작업이 용이해진다.
또한, 상기 본체(410)에는 상기 기판 홀더(400)를 진공 챔버의 제 2 지지 테이블에 장착시키기 위한 장착 홈 또는 장착 나사(480)가 위치하며, 상기 제 2 지지 테이블에는 상기 장착 홈 또는 장착 나사(480)에 대응하는 장착 나사 또는 장착 홈을 형성시켜서 상기 제 2 지지 테이블에 상기 기판 홀더(400)가 안정적으로 장착되게 하는 구조를 이룬다.
도 8에는 도 1의 실링 과정에 관한 모식도가 도시되어 있다.
도 8을 참조하면, TFT 패널(100)과 신틸레이터 패널(200)이 합착된 구조에서, TFT 패널(100)의 외곽 테두리 부위에 제 1 경화성 물질(210)로 댐을 형성시킨다. 그 후, 상기 TFT 패널(100)에 형성된 댐(210) 안쪽으로 제 2 경화성 물질(220)을 디스펜싱한다.
상기 제 1 경화성 물질(210) 및 상기 제 2 경화성 물질(220)은 특별히 한정되지 않고 다양하게 사용될 수 있으며, 예를 들어, 제 1 경화성 물질(210)로서 실리콘이 사용될 수 있고, 제 2 경화성 물질(220)로서 에폭시 수지가 사용될 수 있다. 상기 실리콘은 실온 또는 소정의 온도에서 경화되는 물질이고, 상기 에폭시 수지는 UV(ultraviolet)에서 경화되는 물질이다.
따라서 실리콘으로 댐을 형성시킨 후, 실온 또는 소정의 온도에서 경화시킨 다음, 에폭시 수지를 디스펜싱 하여 상기 댐 안쪽을 에폭시 수지로 채운 후, UV를 이용한 에폭시 수지의 경화 과정이 수행될 수 있다.
또한, 상기 에폭시 수지는 상기 댐의 안쪽에 채워진 후 경화되며, 이러한 과 정 후의 에폭시 수지는 단단하게 경화된 구조로서 외력이 가해질 경우 쉽게 파손되는 위험이 있으므로, 도 9과 같이 에폭시 수지의 외부로 드러난 부위 상에 완충 마감재(230)를 씌움으로써 외력에 대한 내구성을 향상시킨 구조가 사용될 수 도 있다.
도 10 및 도 11에는 기판 조립 테이블의 사시도 및 평면도가 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 기판 조립 테이블(500)은 베이스(510) 및 기판 고정 프레임(520)을 포함한다.
상기 기판 고정 프레임(520)은 기판의 형상에 대응하여 내측에 개구가 형성된 액자 프레임 형상의 프레임 본체(522), 및 상기 프레임 본체(522)에 장착되며 기판을 고정하는 복수 개의 제 1 기판 지지부(524) 및 제 2 기판 지지부(526)를 포함한다.
상기 제 1 기판 지지부(524)는 그것의 일측이 상기 프레임 본체(522)에 고정되고 타측이 상기 프레임 본체(522)의 내측으로 돌출되어 기판의 하면 모서리 부위를 지지한다. 상기 제 2 기판 지지부(526)는 상기 프레임 본체(522) 상에서 상기 프레임 본체(522)의 내측 또는 외측 방향으로 이동할 수 있는 구조로서, 상기 제 2 기판 지지부(526)가 상기 프레임 본체(522)의 내측 방향으로 이동하였을 때 상기 제 2 기판 지지부(526)의 일부가 상기 기판의 상면 모서리 부위상에 위치하게 되어 상기 기판이 제 1 기판 지지부(524) 및 제 2 기판 지지부(526)에 의해 고정되고, 상기 제 2 기판 지지부(526)가 상기 프레임 본체(522)의 외측 방향으로 이동하였을 때 상기 기판의 상면 모서리에 대한 고정이 해제된다. 또한, 필요에 따라, 제 1 기판 지지부가 상기 프레임 본체(522) 상에서 상기 프레임 본체(210)의 내측 또는 외측 방향으로 이동할 수 있는 구조를 이룰 수 있다.
상기 기판 고정 프레임(520)의 외측과 상기 베이스(510) 내측은 상기 기판 고정 프레임(520)이 상기 베이스(510) 상에서 회전할 수 있도록 회전축(530)으로 연결된다. 또한, 상기 기판 고정 프레임(520)의 외측과 상기 베이스(510)의 일부 부위를 체결하여 상기 기판 고정 프레임(520)을 수평 상태로 고정시키는 수평 잠금장치(540)가 구비된다.
이러한 기판 조립 테이블(500)을 사용하여 대면적 엑스선 이미지 센서의 조립 작업을 수행하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 기판 고정 프레임(520)을 수평 잠금장치(540)를 사용하여 수평 고정 상태로 고정시킨다. 그리고, 제 2 기판 지지부(526)가 상기 기판 고정 프레임(520)의 외측으로 이동한 상태에서 실링 과정이 완료된 TFT 패널 및 신틸레이터 패널이 합착된 기판을 상기 제 1 기판 지지부(524)에 안착시킨 후, 상기 제 2 기판 지지부(526)를 상기 기판 고정 프레임(520)의 내측으로 이동시켜 상기 TFT 패널 및 신틸레이터 패널이 합착된 기판을 상기 기판 고정 프레임(520)에 고정시킨다. 그 후, 다음 상기 기판의 일측면에 관한 조립 작업을 수행한다. 상기 기판의 일측면에 관한 조립 작업이 완료되면 상기 수평 잠금장치(540)를 해제하여 상기 기판 고정 프레임(520)을 180도 회전시킨 후 다시 상기 수평 잠금장치(540)를 체결하여 상기 기판 고정 프레임(520)을 수평 상태로 고정시킨다. 그 후 상기 기판의 타측면에 관한 조립 작업을 수행하고, 상기 조립 작업이 완료되면 상기 기판 지지부들의 고정을 해제하여 상기 기판 조립 테이블(500)에서 상기 기판을 분리한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 대면적 엑스선 이미지 센서의 제작방법의 흐름도이다;
도 2는 도 1의 TFT 패널에 접착층을 형성하는 과정에 관한 모식도이다;
도 3은 도 2의 스크린 프린트 부재의 평면 모식도이다;
도 4는 대면적 패널의 합착에 관한 과정의 모식도이다;
도 5 및 도 6은 도 1의 신틸레이터 패널이 장착되는 기판 홀더의 상부 및 하부 구조가 나타난 사시도들이다;
도 7은 신틸레이터 패널이 장착된 기판 홀더의 사시도이다;
도 8은 도 1의 실링 과정에 관한 모식도이다;
도 9는 도 8의 과정 이후 완충 마감재를 부가한 구조의 모식도이다;
도 10 및 도 11은 기판 조립 테이블의 사시도 및 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : TFT 패널 150 : 접착제
160 : 댐 170 : 양면 테이프
200 : 신틸레이터 패널 210 : 제 1 경화성 물질
220 : 제 2 경화성 물질 230 : 완충 마감재
300 : 스크린 프린트 부재 310 : 마스크
340 : 스퀴즈 바 400 : 기판 홀더
440 : 기판 고정 클립 480 : 장착 나사
500 : 기판 조립 테이블 520 : 기판 고정 프레임
530 : 회전축 540 : 수평잠금장치
Claims (14)
- TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성하는 제 1 단계;상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 제 1 지지 테이블에 위치시키는 제 2 단계;기판 홀더에 신틸레이터 패널을 장착하는 제 3 단계;상기 기판 홀더를 제 2 지지 테이블에 장착하는 제 4 단계;상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착하는 제 5 단계;합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링하는 제 6 단계; 및합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 조립 테이블에 고정하여 회로기판 및 커버를 장착하는 제 7 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 단계는,상기 TFT 패널 상에 스크린 프린트 부재를 위치시키는 제 1-1 단계;상기 스크린 프린트 부재 상의 일측에 접착제를 위치시키는 제 1-2 단계;상기 스크린 프린트 부재 상의 일측으로부터 타측까지 스퀴즈 바를 이동시켜 상기 접착제가 상기 스크린 프린트 부재를 통하여 상기 TFT 패널상에 도포되도록 접착층을 형성하는 제 1-3 단계; 및상기 TFT 패널에서 스크린 프린트 부재를 분리시키는 제 1-4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 스크린 프린트 부재는,망 구조의 마스크;상기 마스크를 팽팽한 형태로 유지시키는 마스크 프레임; 및상기 마스크 상에 위치하며 상기 TFT 패널상에 접착제가 도포되는 부위를 한정하는 유제;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 접착제는 실리콘인 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판 홀더는,기판을 올려놓는 본체; 및상기 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치;를 포함하고.상기 고정장치는상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부;상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되는 기판 고정 클립; 및상기 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 기판 홀더의 본체에는 상기 제 2 지지 테이블에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가 위치하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 5 단계는 진공 챔버 내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 5 단계는:상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 접착층이 형성된 TFT 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 제 5-1 단계; 및상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 TFT 패널에 부착하는 제 5-2 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서의 제작방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 6 단계는,상기 TFT 패널 및 상기 신틸레이터 패널을 합착하는 제 6-1 단계;상기 TFT 패널의 테두리 부위에 제 1 경화성 물질로 댐을 형성하는 제 6-2 단계;상기 제 1 경화성 물질을 경화시키는 제 6-3 단계;상기 TFT 패널에 형성된 댐 안쪽으로 제 2 경화성 물질을 디스펜싱하는 제 6-4 단계; 및상기 제 2 경화성 물질을 경화시키는 제 6-5 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 경화성 물질은 실리콘인 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 2 경화성 물질은 에폭시 수지인 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 6-5 단계 이후, 상기 제 2 경화성 물질의 외부로 드러나는 면을 실리콘 층으로 감싸는 제 6-6 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 조립 테이블은베이스;패널을 고정시키며, 상기 베이스 상에서 회전할 수 있도록 회전축으로 연결되는 패널 고정 프레임; 및상기 기판 고정 프레임의 외측과 상기 베이스 일부 부위를 체결하여 상기 기판 고정 프레임을 상기 베이스 상에서 수평 상태로 고정시키는 수평 잠금장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 패널 고정 프레임은,내측에 개구가 형성되는 액자 프레임 형상의 프레임 본체;상기 본체의 내측 방향으로 돌출되어, 상기 패널의 하면 모서리 부위를 지지하여 상기 패널을 안착시키는 복수 개의 제 1 패널 지지부; 및상기 본체의 내측 방향으로 돌출되어, 상기 패널의 상면 모서리 부위를 지지하여 상기 패널을 고정시키는 복수 개의 제 2 패널 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법.
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