KR20200070123A - 레티클 용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레티클 용기에 관한 것으로서, 상기 레티클 용기는 위쪽 커버 및 아래쪽 커버로 구성되며, 레티클 용기 가장 자리에는 여러 개의 식별 모듈이 설치되어 있어, 사용자는 신속하게 레티클 용기의 사용 상태와 그 번호를 알 수 있다. 그리고 본 발명인 레티클 용기 안에는 지탱 장치, 홀딩 장치, 잠금 모듈 등 여러 가지 특별히 설계된 구조물이 있다. 이러한 설계에 따라 본 발명인 레티클 용기는 밀폐 환경을 유지하는 상태에서 레티클 탑재에 필요한 다양한 구조물과 조건을 충족시킨다.

Description

레티클 용기{Reticle container}
본 발명은 레티클 용기, 특히 다양한 조절 가능한 부위를 구비함으로써 레티클 탑재, 운송 또는 전송 편리성과 안정성을 제고할 수 있는 레티클 용기에 관한 것이다.
반도체 산업의 제조공정에서 레티클은 매우 중요한 역할을 담당한다. 기존의 노광공정이나 식각 기술, 심지의 근래의 극자외선 노광공정(Extreme ultraviolet lithography, EUVL)에 이르기까지 모두 레티클을 사용하지 않을 수 없다.
반도체와 직접 또는 간접적 관련이 있는 산업 중에서, 광전 관련 산업 역시 매우 중요한 부분이다. 큰 사이즈의 패널을 제조할 때, 공정상 사용되는 레티클의 사이즈도 패널의 사이즈에 따라 변한다. 과학기술이 계속 발전하고 있다는 전제 하에, 현재 패널 산업에서 제조할 수 있는 패널의 사이즈는 점점 커지고 있으며, 이와 함께 제조공정에서 필요한 레티클의 사이즈도 같이 커지고 있다.
프로세서나 칩 등을 제조하는 반도체 산업과는 달리, 패널 산업에서 사용하는 레티클의 사이즈는 800mm에서 960mm까지 달할 수 있기 때문에, 기존의 소형 레티클 포드로는 전송 혹은 저장을 할 수 없다. 따라서, 특별 규격의 큰 사이즈의 레티클 포드를 사용해야 한다.
하지만, 레티클 포드에 탑재되는 레티클의 사이즈가 이렇게 큰 상황에서, 동반되는 관성운동 역시 더욱 심하게 발생한다. 그리고 이렇게 거대한 사이즈의 레티클을 운반하거나 전송하는 과정에서 운송 정밀도가 부족한 문제로 인해 레티클 용기의 흔들림, 부딪침, 혹은 파열이 발생할 수 있으며, 심지어 레티클 용기 전체가 기울어져 넘어질 가능성도 발생한다. 이로 인해 더 나아가서는 큰 사이즈의 레티클의 손상을 초래하게 된다.
각기 다른 운송 및 저장 조건에 대해 여러 패널 또는 반도체 제조업체의 운송 규격도 일치하지 않는 경우가 많다. 예를 들어, 어떤 제조공장의 운송 과정에서는 좌우 흔들림이 발생할 수 있고, 또 다른 제조공장에서는 위 아래로 이동할 수도 있어 큰 사이즈의 레티클이 움직이거나 긁힘 현상이 발생하는 경우가 있다. 따라서 여러 제조공장에 사용되는 레티클 용기에 대한 요구 사양이 각기 다를 수 있기 때문에 현재의 기술로 볼 때, 기존의 레티클 용기는 이 문제를 극복하기엔 어려움이 있다.
본 발명은 상기 언급된 종래 기술의 문제점을 해결할 수 있는 레티클 용기를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 레티클 용기에는 여러 개의 조립 장치, 그리고 위쪽 커버 및 아래쪽 커버를 포함하며, 위쪽 커버와 아래쪽 커버가 서로 닫혀서 측면 가장자리를 형성한다.
위쪽 커버에는 첫째 왼쪽 덮임 부위 및 첫째 오른쪽 덮임 부위가 제공되며, 첫째 왼쪽 덮임 부위는 첫째 왼쪽 연결구역을 통해서 조립 장치 중 한 개에 연결 및 고정되고, 첫째 오른쪽 덮임 부위는 둘째 왼쪽 연결구역을 통해서 첫째 왼쪽 덮임 부위와 연결된 조립 장치에 연결 및 고정된다.
이와 유사하게 아래쪽 커버에는 둘째 왼쪽 덮임 부위 및 둘째 오른쪽 덮임 부위가 제공된다. 둘째 왼쪽 덮임 부위는 둘째 왼쪽 연결구역을 통해서 다른 조립 장치에 연결 및 고정되고, 둘째 오른쪽 덮임 부위는 둘째 오른쪽 연결구역을 통해서 둘째 왼쪽 덮임 부위와 연결된 조립 장치에 연결 및 고정된다.
상기 측면 가장자리에는 최소한 한 개의 식별 제어 모듈이 설치되고, 위쪽 커버와 아래쪽 커버의 안쪽 네 개의 각은 홀딩 구역을 구성하며, 아래쪽 커버의 안쪽을 에워싼 가장자리는 지탱구역을 구성한다.
본 발명에 대한 상기 간략한 설명의 목적은 본 발명의 여러 양상과 기술적 특성에 대해 기본적인 설명을 제공하는 것일 뿐, 그에 대한 자세한 설명이 아니다. 따라서, 그 목적은 본 발명의 핵심적 또는 중요한 요소를 특별히 열거하거나 본 발명의 범위를 한정 짓는 것이 아니라 다만 간단 명료한 방식으로 본 발명의 개념을 소개하는 것일 뿐이다.
본 발명에 따라 상기 언급된 종래 기술의 문제점을 해결할 수 있는 레티클 용기가 제공된다.
도 1은 본 발명에 따른 실시예의 바깥 모양의 구조를 나타내는 도이다.
도 2 본 발명에 따른 실시예의 위쪽 커버의 구조를 나타내는 도이다.
도 3 본 발명에 따른 실시예의 내부 구조를 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명에 따른 실시예의 아래쪽 커버의 구조를 해체한 것을 나타내는 도이다.
도 5는 본 발명에 따른 실시예의 홀딩 구역과 지탱구역을 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명에 따른 실시예의 잠금 모듈 구조를 나타내는 도이다.
도 7은 본 발명에 따른 실시예의 볼트 구조를 나타내는 도이다.
도 8은 본 발명에 따른 실시예의 홀딩 장치의 설치를 나타내는 도이다.
도 9는 본 발명에 따른 실시예의 홀딩 장치의 구조를 나타내는 도이다.
도 10은 본 발명에 따른 실시예의 지탱 장치 구조를 나타내는 도이다.
도 11은 본 발명에 따른 실시예의 다른 지탱 장치 구조를 나타내는 도이다.
도 12는 본 발명에 따른 실시예의 지지 장치와 가교 장치의 구조를 나타내는 도이다.
본 발명의 기술적 특징과 실용적인 효능에 대해 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해 아래의 구체적인 실시예를 도면과 함께 제시하여 다음과 같이 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 도 1은 본 발명에 따른 실시예의 바깥 모양의 구조를 나타내는 도면이며, 도 2는 본 발명에 따른 실시예의 위쪽 커버의 구조를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 실시예의 내부 구조를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 도 1에는 본 발명 실시예의 레티클 용기(10)가 표시되어 있다. 도 1에서 알 수 있듯이, 본 실시예의 레티클 용기(10)에는 위쪽 커버(100) 및 아래쪽 커버(200)가 있으며, 이 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)가 서로 닫혀서 측면 가장자리가 있는 레티클 용기(10)를 형성한다. 도 2를 참조하면, 도 2에서는 위쪽 커버(100)를 주요 예시로 하지만 아래쪽 커버(200)도 사실상 유사한 구조를 지닌다. 도 2에서 알 수 있듯이, 본 실시예에서, 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200) 둘 다 여러 개의 조립 장치(300)가 연결되어 구성된 것이다. 본 실시예에서는 조립 장치(300)가 두 개 있으며, 한 개는 위쪽 커버(100)에 설치되고 나머지 한 개는 아래쪽 커버(200)에 설치된다. 본 실시예의 조립 장치(300)는 앞 뒤 두 개의 접합판(301)이 주요 버팀대(302)에 설치되어 구성된다. 물론 기타 가능한 실시예에서 조립 장치(300)를 일체 성형된 구조물로 설계하여도 된다. 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
본 실시예에서, 접합판(301)은 레티클 용기(10)의 측면 가장자리에 위치한다. 도 2에서 알 수 있듯이, 본 실시예의 위쪽 커버(100)는 첫째 왼쪽 덮임 부위(101)와 첫째 오른쪽 덮임 부위(102)가 서로 연결하여 형성된다. 첫째 왼쪽 덮임 부위(101)는 첫째 왼쪽 연결구역(1011)을 통해서 조립 장치(300)에 연결 및 고정되고, 첫째 오른쪽 덮임 부위(102)는 둘째 왼쪽 연결구역(1021)을 통해서 첫째 왼쪽 덮임 부위(101)와 연결된 동일한 조립 장치(300)에 연결 및 고정된다.
위에 설명한 바와 마찬가지로, 본 실시예의 아래쪽 커버(200)에도 둘째 왼쪽 덮임 부위(201)와 둘째 오른쪽 덮임 부위(202)가 있다. 둘째 왼쪽 덮임 부위(201) 역시 둘째 왼쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음, 첫째 왼쪽 연결구역[1011]의 구조를 참고할 수 있음)을 통해서 또 다른 조립 장치(300)에 연결 및 고정되고, 둘째 오른쪽 덮임 부위(202)는 둘째 오른쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음, 첫째 오른쪽 연결구역[1021]의 구조를 참고할 수 있음)을 통해서 둘째 왼쪽 덮임 부위(201)와 연결된 조립 장치(300)에 연결 및 고정된다.
위의 설명을 종합하면, 본 발명에 따른 실시예의 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)가 완성되고 더 나아가서 레티클 용기(10)를 형성한다. 도 3에 표시된 바와 같이, 도 3에서 본 발명 실시예의 레티클 용기(10)의 측면 가장자리에 최소한 한 개의 식별 제어 모듈(400)이 설치된 것을 볼 수 있다. 여기서 도 5를 우선 참조하면, 도 5는 본 발명 실시예의 홀딩 구역과 지탱구역을 나타내는 도면이다. 도 5에 표시된 바와 같이, 도 5는 아래쪽 커버(200)를 실례로 사용한다. 하지만 본 실시예의 위쪽 커버(100)나 아래쪽 커버(200)의 안쪽은 똑같거나 상응하는 기능성 구역(예를 들어, 홀딩 구역 S, 지탱구역 R)으로 설계할 수 있으며, 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 도 5에 표시된 바와 같이, 본 실시예의 레티클 용기(10) 아래쪽 커버(200)의 안쪽 네 개의 각은 홀딩 구역 S를 구성하며, 안쪽을 에워싼 가장자리는 지탱구역 R를 구성한다.
본 실시예에서, 아래쪽 커버(200)의 용도는 주로 레티클 용기(10)를 평평하게 놓을 때, 레티클이 이동하는 것을 방지하는 동시에 균등하게 레티클의 중량을 지탱하는 목적에 사용된다. 본 실시예의 레티클 용기(10)는 큰 사이즈의 레티클(즉 패널 산업에서 사용하는 레티클로서 사이즈가 800mm에서 960mm까지 될 수 있기 때문에 큰 사이즈의 레티클이라 함)을 담기 때문에 중량이 비교적 크다. 운반이나 저장할 때는 쉽게 관성작용의 영향을 받아 레티클 용기의 흔들림, 부딪침, 혹은 파열이 발생할 수 있으며, 심지어 전체 레티클 용기(10)가 기울어져 넘어질 가능성도 발생한다. 그러므로 본 실시예는 특별히 레티클 용기(10)의 아래쪽 커버(200)의 안쪽(위쪽 커버[100]의 대응하는 위치에도 상응하는 기능성 구역을 동시에 설치할 수 있음) 네 개의 각이 구성하는 구역을 홀딩 구역 S라고 정의하고, 안쪽을 에워싼 가장자리가 구성하는 구역을 지탱구역 R로 정의하여 관련 부품을 설치하는데 사용하여 큰 사이즈의 레티클과 연관된 문제를 해결한다.
도 3 내지 도 5를 함께 참조하면, 도 4는 본 발명에 따른 실시예의 아래쪽 커버의 구조를 해체한 것을 나타내는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 레티클 용기(10)의 측면 가장자리에는 최소한 한 개의 식별 제어 모듈(400)이 설치된다. 더 나아가서, 동시에 첫째 왼쪽 덮임 부위(101), 첫째 오른쪽 덮임 부위(102), 둘째 왼쪽 덮임 부위(201), 그리고 둘째 오른쪽 덮임 부위(202), 심지어 모든 부위가 조합된 후 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)의 개별적 상태 및 사용 상태에 있는 레티클 용기(10) 내부의 매개 변수(습도, 청결도 등 포함)를 제어하기 위해, 첫째 왼쪽 덮임 부위(101), 첫째 오른쪽 덮임 부위(102), 둘째 왼쪽 덮임 부위(201), 그리고 둘째 오른쪽 덮임 부위(202)에 최소한 한 세트의 식별 제어 모듈(400)을 설치할 수 있다.
본 실시예에서, 각각의 식별 제어 모듈(400)에는 거치 홈(401), 식별 부품(402), 제어 장치(403), 그리고 덮개(404)가 있다. 이 중에서, 거치 홈(401)에는 제어기(403)을 수용할 수 있는 틈이 있다. 식별 부품(402)은 레티클 용기(10) 측면 가장자리의 거치 홈(401)과 인접한 곳에 설치된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서, 식별 부품(402)은 무선전파 태그(RFID Tag)이기 때문에 보호 덮개(4021)로 덮인 후 아래쪽 커버(200) 내부에 보호된다. 제어기(403)에는 소형 모니터가 들어 있어 레티클 용기(10) 내부의 매개 변수(예를 들어 습도, 청결도 등)를 현시하는데 사용된다. 상기 레티클 용기(10) 내부의 매개 변수(예를 들어 습도, 청결도 등)의 판독 수치는 계기나 레티클용기(10) 내부의 센서 측정으로부터 올 수 있으며, 무선통신 방식으로 측정된 매개 변수 결과가 제어기(403)에 전송 및 현시되어 관련 작업자는 즉시 레티클 용기(10)의 현재 상태에 대해 알 수 있게 된다.
본 실시예에서, 제어기(403)에는 최소한 한 개의 접합 장치(405)가 설치되며, 거치 홈(401)에 설치된 최소한 한 개의 접합 구멍(406)에 끼워진다. 마지막으로 도 4에서처럼, 덮개(404)와 거치 홈(401)의 틈이 닫혀서 제어기(403)를 보호한다.
본 실시예에서 채택한 보호 커버(4021)와 덮개(404)는 둘 다 스프링 스냅 또는 임의의 스냅 방식으로 설계할 수 있으며, 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 이외에, 본 실시예에는 레티클 용기(10)의 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)가 수직으로 운송될 때 큰 사이즈의 무거운 레티클로 인해 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)가 서로 분리되는 위험이 발생하는 것을 방지하기 위해, 레티클 용기(10)의 측면 가장자리에는 여러 개의 스냅 잠금 부위(407)가 설치됨으로써(본 실시예에서는 한쪽에 두 개), 위쪽 커버(100)와 아래쪽 커버(200)를 밀접하게 닫는데 사용하도록 구성된다. 이는 밀폐효과 이외에, 레티클 용기(10) 구조의 안정성도 또한 강화한다.
다음으로 도 5와 도 6을 같이 참조하면, 도 6은 본 발명에 따른 실시예의 잠금 모듈 구조를 나타내는 도면이다. 도 6은 도 2의 첫째 왼쪽 연결구역(1011), 첫째 오른쪽 연결구역(1021), 그리고 도 2에는 도시되지 않았지만 유사한 구조인 아래쪽 커버(200)의 둘째 왼쪽 연결구역과 둘째 오른쪽 연결구역이 어떻게 여러 개의 잠금 모듈(500)을 통해서 고정되는지 세부 구조를 설명한다.
자세히 설명하자면, 본 실시예의 첫째 왼쪽 연결구역(1011), 첫째 오른쪽 연결구역(1021), 둘째 왼쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음), 그리고 둘째 오른쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음)에는 각각 여러 개의 잠금 모듈(500)이 설치된다. 각각의 잠금 모듈(500)에는 볼트(501)와 관통 잠금 장치(504)가 있으며, 관통 잠금 장치(504)는 레티클 용기(10) 바깥에서 조립 장치(300)의 주요 버팀대(302)를 관통한 후 볼트(501)에 고정된다. 우선 도 5를 참조하면, 첫째 왼쪽 연결구역(1011), 첫째 오른쪽 연결구역(1021), 둘째 왼쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음), 그리고 둘째 오른쪽 연결구역(도면에 표시되지 않았음)은 실질적으로 두 종류의 돌출부위로 이루어 졌는데, 그 중 하나는 주요 돌출 부위 M으로서 수직 관통하는 방식으로 첫째 왼쪽 연결구역(1011), 첫째 오른쪽 연결구역(1021), 둘째 왼쪽 연결구역(도면에 도시되지 않음), 그리고 둘째 오른쪽 연결구역(도면에 도시되지 않음)에 설치된다. 각각의 주요 돌출 부위 옆에는 여러 개의 사이드 돌출 부위 W가 설치된다. 본 실시예에서, 날개 모양의 사이드 돌출 부위 W는 주요 돌출 부위 M의 구조를 안정적으로 고정시키는 것 이외에, 사이드 돌출 부위 W가 주요 돌출 부위 M과 연결하는 지점은 잠금 모듈(500)이 설치되는 위치이다.
도 7을 참조하면, 도 7은 본 발명에 따른 실시예의 볼트 구조를 나타내는 도면이다. 도 5 내지 도 7까지 함께 참조하면 알 수 있듯이, 본 실시예의 잠금 모듈(500)의 볼트(501)는 주요 돌출 부위 M과 사이드 돌출 부위 W의 물리 구조에 맞게 위치가 고정됨으로써 설치시 보호 기능을 갖는다. 본 실시예의 볼트(501)는 볼트 잠금 컬럼(502), 밀폐 홈(503a), 그리고 최소한 한 개의 위치 고정 날개 홈(503b)으로 구성된다. 볼트 잠금 컬럼(502)에는 나사 날 구멍(5021)이 있다. 밀폐 홈(503a)은 볼트 잠금 컬럼(502) 바닥의 둘레에 설치된다. 최소한 한 개의 위치 고정 날개 홈(503b)은 밀폐 홈(503a) 바깥 가장자리에 설치된다.
상기 설명된 구조를 통해서 볼트(501)가 아래로 닫힐 때, 밀폐 홈 (503a)은 첫째 층의 밀폐 구조를 형성할 수 있으며, 주요 돌출 부위 M의 모양에 맞추어 밀폐 효과를 달성한다. 본 실시예에서 위치 고정 날개 홈(503b)은 두 개이며, 서로 일직선을 이룬다. 볼트(501)를 설치할 때, 일직선을 이루는 위치 고정 날개 홈(503b)은 직선상의 주요 돌출 부위 M에 스냅식으로 끼워진다. 이는 설치 상의 어려움을 감소하는 것 이외에 밀폐 홈(503a)과 위치 고정 날개 홈(503b)이 이동하는 것을 방지하여 레티클 용기(10)의 밀폐 효과가 감소하는 위험을 줄인다.
본 실시예에서, 볼트(501)가 우선 설치된 다음, 관통 잠금 장치(504)가 레티클 용기(10)의 바깥에서 안으로 향해 관통하여 고정시킨다. 그리고 도 6에 도시된 바와 같이, 관통 잠금 장치(504)의 맨 위에는 반경이 보다 작은 나사 날 컬럼(5041)이 있으며, 이 나사 날 컬럼(5041)을 통해 볼트 잠금 컬럼(502)의 나사 날 구멍(5021)에 돌림식으로 끼워져서, 더욱 안정적인 고정 효과를 달성한다. 본 실시예에서, 레티클 용기(10) 바깥 한쪽에 노출된 관통 잠금 장치(504)는 깔때기 모양을 하여 전체 레티클 용기(10)의 표면의 평평함과 밀폐 정도에 도움을 준다.
다음으로 도 5, 도 8, 및 도 9를 함께 참조하면, 도 8은 본 발명에 따른 실시예의 홀딩 장치의 설치를 나타내는 도면이고, 도 9는 본 발명에 따른 실시예의 홀딩 장치의 구조를 나타내는 도면이다. 우선 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 레티클 용기(10) 아래쪽 커버(200)의 안쪽 네 개의 각이 구성한 구역을 홀딩 구역 S로 정의한다. 도 8에 도시된 바와 같이, 홀딩 홈 G가 있어 홀더(600)를 설치할 수 있다. 본 실시예의 홀더(600)는 여러 개의 형식으로 각각의 홀더 구역 S에 설치되는데, 그 목적은 큰 사이즈의 레티클의 네 개의 모서리를 안정적으로 하는데 있으며, 레티클이 이동하는 것을 예방하는 전제하에 충분한 지탱력을 제공한다.
본 실시예에서, 홀더(600)에는 본체(도면에 도시되지 않음, 탄성 본체에 묻혀 있음), 최소한 한 개의 막대형 지지 장치(601), 탄성 본체(602), 그리고 최소한 한 개의 고정 구멍(603)이 있다. 이 중 최소한 한 개의 막대형 지지 장치(601)는 지지 본체(도면에 도시되지 않음, 탄성 본체에 묻혀 있음)에 설치되며, 탄성 본체(602)에는 최소한 한 개의 막대형 지지 장치(601)의 수량과 같은 최소한 한 개의 구멍(6021)이 있다. 이를 통해서, 탄성 본체(602)는 지지 본체를 피복하고 각각의 막대형 지지 장치(601)가 구멍(6021)을 초과하여 위로 일정 거리 연장되게 한다. 그리고 최소한 한 개의 고정 구멍(603)은 지지 본체(도면에 도시되지 않음, 탄성 본체에 묻혀 있음)와 탄성 본체(602)에 동시에 설치된다. 본 실시예에서, 최소한 한 개의 고정 구멍(603)은 홀더(600)의 바닥이나 좌우 양쪽 끝에 설치될 수 있으며, 홀더(600)를 홀딩 홈 G에 고정시키는데, 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
다음으로 도 4, 도 5, 및 도 10 내지 도 12까지를 함께 참조하면, 도 10은 본 발명에 따른 실시예의 지탱 장치 구조를 나타내는 도면이고, 도 11은 본 발명에 따른 실시예의 다른 지탱 장치 구조를 나타내는 도면이며, 도 12는 본 발명에 따른 실시예의 지지 장치와 가교 장치의 구조를 나타내는 도이다.
도 4에서는 지탱 장치(700b)의 설치 위치를 나타낸다. 그리고 도 5의 위치를 참조하면 알 수 있듯이, 지탱 장치(700b)는 오른쪽의 지탱구역 R에 설치된다. 본 실시예는 레티클 용기(10)가 큰 사이즈의 레티클 포드이기 때문에 여러 가지 운송 또는 저장 상태(예를 들어 수평 또는 수직으로 놓는 것)를 고려한 것이며, 실제로 사용할 때는 레티클 용기(10) 내의 부품들을 지탱하는데 필요한 높낮이와 위치는 다를 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 레티클 용기(10) 내의 각각의 지탱구역 R에는 서로 간에 일정한 간격이 있는 여러 개의 지탱점 RP가 설치되며, 이 여러 개의 지탱점 RP는 여러 개의 지탱 장치(700a 또는 700b)와 연결된다. 다시 말해서, 본 발명의 의도에 기초하여, 지탱 장치(700a 또는 700b)의 설치 위치는 자유롭게 조절될 수 있으며, 지탱해야 하는 중량을 서로 지원하거나 위치의 높낮이를 조절하는 기술도 포함된다.
도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 두 종류의 지탱 장치(700a 또는 700b)로 구성된다. 이 중에서 한 종류의 지탱 장치(700a)의 모양은 비교적 정사각형이고 다른 한 종류의 지탱 장치(700b)의 모양은 비교적 직사각형이다. 본 실시예의 지탱 장치(700a 또는 700b)는 지탱 컬럼(701)과 조절 및 고정 부위(703)로 구성된다. 이 중에서 지탱 컬럼(701)에는 상단 접속 구역(702)이 있다. 이 상단 접속 구역(702)은 나사 구멍 또는 플러그 구멍으로서 다른 부품이 고정될 수 있도록 하는 설계이며, 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 조절 및 고정 부위(703)는 지탱 컬럼(701) 바닥에 설치된다. 이 조절 및 고정 부위(703)는 상기 여러 개의 지탱점 RP와 떼어낼 수 있는 방식으로 결합된다. 도 12에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 필요할 경우 여러 개의 지탱 컬럼(701) 사이에 있는 상단 접속 구역(702)은 더 나아가서 최소한 한 개의 지지 장치(704)를 통해서 최소한 한 개의 가교 장치(705)와 연결될 수 있다.
본 실시예에서 지지 장치(704)의 바닥은 나사 날 모양으로 설계되고 맨 윗부분은 기어 모양의 나사 캡으로 설계되어 사용자가 쉽게 돌릴 수 있도록 한다. 본 실시예에서, 지지 장치(704)의 나사 캡은 둥그런 구조를 취하며, 이를 통해 지지 장치(704)가 큰 사이즈의 레티클과 접촉되는 면적을 감소하여 긁힘 발생을 줄인다.
이에 근거하여 본 실시예는 임의로 지지 장치(704)의 높낮이를 조절하여 여러 종류의 큰 사이즈 레티클의 높낮이 요구에 적응할 수 있다. 가교 장치(705)는 지지 장치(704)가 통과하도록 한 후 상단 접속 구역(702)과 연결한다. 가교 장치(705)는 중량을 가교 장치(705)와 연결되는 여러 개의 지탱 장치(700a 또는 700b)에 분산시키는 것 외에, 지지 장치(704)가 일정 정도로 꽉 조여지면, 각각의 지지 장치(704)의 높낮이 정도가 같도록 제한한다. 또한 가교 장치(705)가 첫째 왼쪽 덮임 부위(101)와 첫째 오른쪽 덮임 부위(102)를 가로지를 경우, 레티클 용기(10)를 더욱 안정적으로 유지하는 효능이 있다.
본 발명에서 상기 실시예들은 일부 예시일 뿐이며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변경이 가능할 것이며, 이러한 것들은 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
10 레티클 용기
100 위쪽 커버
101 첫째 왼쪽 덮임 부위
1011 첫째 왼쪽 연결구역
102 첫째 오른쪽 덮임 부위
1021 첫째 오른쪽 연결구역
200 연결구역
201 둘째 왼쪽 덮임 부위
202 둘째 오른쪽 덮임 부위
300 조립 장치
301 접합판
302 주요 버팀대
400 식별 제어 모듈
401 거치 홈
402 식별 부분
4021 보호 커버
403 제어 장치
404 덮개
405 접합 장치
406 접합 구멍
407 스냅 잠금 부위
500 잠금 모듈
501 볼트
502 볼트 잠금 컬럼
5021 나사 날 구멍
503a 밀폐 홈
503b 위치 고정 날개 홈
504 관통 잠금 장치
5041 나사 날 컬럼
600 홀더
601 막대형 지지 장치
602 탄성 본체
6021 구멍
603 고정용 구멍
700a 지탱 장치
700b 지탱 장치
701 지탱 컬럼
702 상단 접속 구역
703 조절 및 고정 부위
704 지지 장치
705 가교 장치
M 주요 돌출 부위
W 사이드 돌출 부위
G 홀딩 홈
S 홀딩 구역
R 지탱구역
RP 지탱점

Claims (10)

  1. 여러 개의 조립 장치, 위쪽 커버 및 아래쪽 커버를 포함하는 레티클 용기에 있어서,
    위쪽 커버는 첫째 왼쪽 연결구역을 통해서 상기 조립 장치 중 하나에 연결 및 고정되는 첫째 왼쪽 덮임 부위, 및 둘째 왼쪽 연결구역을 통해서 상기 첫째 왼쪽 덮임 부위와 연결된 조립 장치에 연결 및 고정되는 첫째 오른쪽 덮임 부위를 구비하고,
    아래쪽 커버는 둘째 왼쪽 연결구역을 통해서 상기 다른 조립 장치에 연결 및 고정되는 둘째 왼쪽 덮임 부위, 및 둘째 오른쪽 연결구역을 통해서 상기 둘째 왼쪽 덮임 부위와 연결된 조립 장치에 연결 및 고정되는 둘째 오른쪽 덮임 부위를 구비하며,
    상기 위쪽 커버와 아래쪽 커버는 서로 닫혀서 측면 가장자리를 형성하고,
    상기 측면 가장자리에는 최소한 한 개의 식별 제어 모듈이 설치되며, 위쪽 커버와 아래쪽 커버의 안쪽 네 개의 각이 홀딩 구역을 구성하고, 아래쪽 커버의 안쪽을 에워싼 가장자리는 지탱구역을 구성하는 레티클 용기.
  2. 제 1항에 있어서,
    틈이 있는 거치 홈,
    상기 측면 가장자리 위에 거치 홈과 인접한 곳에 설치되는 식별 부품,
    상기 틈을 통해서 거치 홈에 거치되는 제어기, 및
    상기 틈에 닫히는 덮개를 포함하는 식별 제어 모듈을 구비한 레티클 용기.
  3. 제 2항에 있어서,
    최소한 한 개의 접합 장치가 설치되어 상기 거치 홈에 설치되는 최소한 한 개의 접합 구멍에 끼워지는 제어기를 구비한 레티클 용기.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 첫째 왼쪽 연결구역, 첫째 오른쪽 연결구역, 둘째 왼쪽 연결구역, 및 둘째 오른쪽 연결구역에는 각각 여러 개의 잠금 모듈이 설치되며, 각각의 잠금 모듈에는 볼트, 및 레티클 용기 외부에서 조립 장치를 관통한 후 볼트에 고정되는 관통 잠금 장치가 포함되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  5. 제 4항에 있어서,
    나사 날 구멍이 있는 볼트 잠금 컬럼,
    볼트 잠금 컬럼 바닥의 둘레에 설치되는 밀폐 홈, 및
    밀폐 홈 바깥 가장자리에 설치되는 최소한 한 개의 위치 고정 날개 홈이 포함되는 볼트를 구비하는 레티클 용기.
  6. 제 5항에 있어서,
    관통 잠금 장치의 맨 위에는 나사 날 컬럼이 설치되어 상기 나사 날 구멍에 돌림식으로 끼워지는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  7. 제 1항에 있어서,
    지지 본체,
    상기 지지 본체에 설치되는 최소한 한 개의 막대형 지지 장치,
    최소한 한 개의 구멍이 있으며, 상기 지지 본체를 피복하고 상기 막대형 지지 장치가 구멍을 초과하여 위로 일정 거리 연장되게 하는 탄성 본체, 및
    상기 지지 본체 및 탄성 본체에 설치되는 최소한 한 개의 고정 구멍이 포함되는 홀딩 장치가 최소한 한 개 설치되는 홀딩 구역을 구비하는 레티클 용기.
  8. 제 1항에 있어서,
    서로 간에 일정한 간격이 있는 여러 개의 지탱점이 설치되며, 이러한 여러 개의 지탱점은 여러 개의 지탱 장치와 연결되는 지탱구역이 있는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  9. 제 8항에 있어서,
    상단 접속 구역이 있는 지탱 컬럼, 및
    상기 지탱 컬럼 바닥에 설치되고 상기 여러 개의 지탱점과 떼어낼 수 있는 방식으로 결합되는 조절 및 고정 부위가 포함되는 지탱 장치를 구비하는 레티클 용기.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 여러 개의 지탱 장치 사이의 여러 개의 상단 접속 구역은 최소한 한 개의 지지 장치를 통해서 최소한 한 개의 가교 장치와 연결되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI760062B (zh) * 2020-05-14 2022-04-01 家登精密工業股份有限公司 提供有保持銷組件之光罩盒及固持光罩的方法
TWD211778S (zh) * 2020-09-22 2021-05-21 家登精密工業股份有限公司 光罩盒

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09328188A (ja) * 1996-06-12 1997-12-22 Hitachi Ltd 基板の収納ケース
US20050279666A1 (en) * 2003-06-18 2005-12-22 Chien-Sung Deng Folding container
JP2007230633A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Fujitsu Ltd 電子部品収納容器
JP2007329439A (ja) * 2006-05-12 2007-12-20 Miraial Kk レチクルケース
KR20100104345A (ko) * 2009-03-17 2010-09-29 세양전자 주식회사 엘씨디 레티클 케이스
KR101056072B1 (ko) * 2009-03-20 2011-08-10 주식회사바텍 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법
KR20140007555A (ko) * 2012-07-09 2014-01-20 (주)Sy이노베이션 레티클 케이스
KR20140045024A (ko) * 2012-10-08 2014-04-16 임유섭 플렉시블 표시장치
JP2014201320A (ja) * 2013-04-02 2014-10-27 株式会社ジェイ・イー・ジェイ 収納ケース
KR20150061418A (ko) * 2013-11-27 2015-06-04 엘지전자 주식회사 후면 커버 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1120955A (en) * 1914-02-09 1914-12-15 Homer V Martin Expansible box.
US1344408A (en) * 1918-11-07 1920-06-22 Thomas W King Combined dress-suit case and locker
US2907487A (en) * 1957-07-01 1959-10-06 Harrington Susie Expansible containers
US4079835A (en) * 1976-12-30 1978-03-21 Ici Americas Inc. Enclosed shipping container for rolls
US4585122A (en) * 1985-01-28 1986-04-29 Racal Data Communications, Inc. Secure housing arrangement for electronic apparatus
JPH01161372U (ko) * 1988-04-28 1989-11-09
US5251749A (en) * 1991-10-28 1993-10-12 Knight Eric A Multiple media storage container and system
SE470257B (sv) * 1992-05-19 1993-12-20 4Space Co Ltd Förvaringsbehållare av takboxtyp
US6030060A (en) * 1998-07-22 2000-02-29 Drake; Leo O. Adjustable circuit card storage device
US6311858B1 (en) * 2000-04-25 2001-11-06 Joe Csiszar Adjustable length, modular storage device
US20070205135A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-06 Goldman David A Construction Jobsite Product Packaging Arrangement
KR20080001571A (ko) * 2006-06-29 2008-01-03 주식회사 에스앤에스텍 마스크 컨테이너
CN101169593B (zh) * 2006-10-25 2011-06-15 家登精密工业股份有限公司 金属光刻掩膜盒
CN201352302Y (zh) * 2008-03-24 2009-11-25 家登精密工业股份有限公司 光罩盒
TWI384322B (zh) * 2008-08-07 2013-02-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 光罩盒之承載盒及其緩衝定位裝置
WO2011032568A1 (de) * 2009-09-15 2011-03-24 Tts Tooltechnic Systems Ag & Co. Kg Behälteranordnung
TWI414464B (zh) * 2011-01-11 2013-11-11 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有固定結構之極紫外光光罩儲存傳送盒
US8844739B2 (en) * 2011-12-22 2014-09-30 Susan M. Holey Food storage container
CN202956584U (zh) * 2012-12-07 2013-05-29 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 光罩定位结构及光罩盒
JP2014193738A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Sekisui Plastics Co Ltd パネル搬送用容器
CN203246858U (zh) * 2013-05-06 2013-10-23 金东纸业（江苏）股份有限公司 具有支撑结构的传输引导装置
CN204003906U (zh) * 2014-08-08 2014-12-10 贵州航天精工制造有限公司 一种密封自锁螺母组件
US9884702B1 (en) * 2016-06-20 2018-02-06 Rosemarie Burns Ski equipment case
CN106337999B (zh) * 2016-11-21 2018-03-27 日立电梯（广州）自动扶梯有限公司 拼接油盘结构及自动人行道
CN106864932A (zh) * 2017-04-26 2017-06-20 芜湖久恒包装科技有限公司 一种全程监控的可拼接式周转箱
CN206704791U (zh) * 2017-04-26 2017-12-05 孙平波 一种防膨胀式塑料收纳箱
CN206842003U (zh) * 2017-06-27 2018-01-05 周亮 一种铝木靶材箱

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09328188A (ja) * 1996-06-12 1997-12-22 Hitachi Ltd 基板の収納ケース
US20050279666A1 (en) * 2003-06-18 2005-12-22 Chien-Sung Deng Folding container
JP2007230633A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Fujitsu Ltd 電子部品収納容器
JP2007329439A (ja) * 2006-05-12 2007-12-20 Miraial Kk レチクルケース
KR20100104345A (ko) * 2009-03-17 2010-09-29 세양전자 주식회사 엘씨디 레티클 케이스
KR101056072B1 (ko) * 2009-03-20 2011-08-10 주식회사바텍 대면적 엑스선 이미지 센서 제작 방법
KR20140007555A (ko) * 2012-07-09 2014-01-20 (주)Sy이노베이션 레티클 케이스
KR20140045024A (ko) * 2012-10-08 2014-04-16 임유섭 플렉시블 표시장치
JP2014201320A (ja) * 2013-04-02 2014-10-27 株式会社ジェイ・イー・ジェイ 収納ケース
KR20150061418A (ko) * 2013-11-27 2015-06-04 엘지전자 주식회사 후면 커버 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

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