JP2000147526A - 基板の貼り合わせ方法とそれに用いる治具および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を位置ずれなく重ね合わせるのに併せ、
一定のギャップで貼り合わせられるようにする。 【解決手段】 基板１、２の少なくとも一方の基板２に
つき、その周辺部を第１の剛体の吸着面４ａにより吸着
固定するとともに、前記周辺部の内側部分を前記吸着面
４ａの内側にこの吸着面４ａと同一レベルで分散して配
した第２の剛体の支持面４ｂで支持し、基板１、２を支
持する支持治具４、３１の相対移動で、基板１、２どう
しを位置合わせしてから接着剤６を介し重ね合わせ、基
板１、２を支持治具４、３１間で、その少なくとも一方
に有した前記吸着面４ａおよび支持面４ｂの間の弾性体
１４を伴い加圧して、基板１、２を接着剤６により貼り
合わせることで、上記のような目的を達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パーソナルコンピ
ュータやテレビ受像機の画像表示パネルなどとして利用
される液晶表示装置を製造するのに好適な基板の貼り合
わせ方法と、これに用いる支持治具、および基板の貼り
合わせ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に液晶表示装置は、図５に示すよう
に対向配置された透光性材料からなる基板ａ、ｂを一定
の間隙を保って紫外線硬化型の接着剤ｃにより貼り合わ
せて、基板ａと基板ｂの間に枠状に配した接着剤ｃで囲
う領域のなかに液晶材料ｄを封入している。

【０００３】これを製造するのに、図６に示すように、
下基板ａの上の接着剤ｃで囲った領域に液晶材料ｄを滴
下させて所定の状態に満たし、その後上基板ｂを重ね合
わせてから、接着剤ｃを紫外線ランプｉからの紫外線の
照射により硬化させて貼り合わせ、液晶表示装置として
の液晶表示パネルを製造するいわゆる液晶滴下方法があ
り、従来、図７に示すような基板の貼り合わせ装置が用
いられている。

【０００４】これにつき説明すると、まず、図７の
（ａ）に示すように、表面に接着剤ｃを塗布されかつ液
晶材料ｄが滴下された下基板ａを、水平方向に移動可能
なテーブルｅの上に載置し、その周辺をテーブルｅ上で
複数の固定ピンｆでまわりから固定する。次いで、図７
の（ｂ）に示すように、複数のスペーサｇを下基板ａの
周辺部の複数箇所の上にその外まわりから、接着剤ｃに
接しない位置まで臨ませて配置した後、図７の（ｃ）に
示すように上基板ｂをスペーサｇの上に載せて、複数の
ガイドピンｈによりまわりから固定し、下基板ａをテー
ブルｅによって水平方向に移動させて、前記固定した上
基板ｂに対し位置決めする。この後、図７の（ｄ）に矢
印Ｆで示すように上基板ｂを上方から加圧し、この加圧
状態を保ってスペーサｇを抜き取り上基板ｂをガイドピ
ンｈに沿って下降させ下基板ａに接着剤ｃを介し重ね合
わせる。最後に図７の（ｅ）に示すように紫外線ランプ
ｉにより紫外線を照射して接着剤ｃを硬化させ下基板ａ
と上基板ｂとを接着剤ｃにより貼り合わせる。

【０００５】一方、図８に示すように下基板ａおよび上
基板ｂを一対の剛体の吸着定盤ｊ、ｋによって吸着固定
して取り扱い、これを貼り合わせる吸着固定方式も採用
されている。これにつき説明すると、真空容器ｌ内で作
業が行われる。まず、図８の（ａ）に示すように表面に
接着剤ｃで囲った領域に液晶材料ｄが滴下された下基板
ａを水平方向に移動できる下吸着定盤ｊの上に載置した
後、下吸着定盤ｊの上で複数の固定ピンｍによりまわり
から固定する。次いで、下吸着定盤ｊに対向する上吸着
定盤ｋにより上基板ｂを吸着固定して、下吸着定盤ｊの
上の下基板ａと上下に対向した配置とする。続いて、下
吸着定盤ｊを水平方向に移動させて下基板ａを上基板ｂ
に位置合わせする。その後、図８の（ｃ）に示すように
上吸着定盤ｋを垂直方向に下降させて、上基板ｂを下基
板ａに接着剤ｃを介して重ね合わせるとともに加圧す
る。最後に、図８の（ｄ）に示すように紫外線ランプｉ
により紫外線を照射して接着剤ｃを硬化させ、下基板ａ
と上基板ｂとを接着剤ｃにより最終的に貼り合わせる。
これによれば、一対の基板ａ、ｂの支持および取り扱い
の機構および作業の双方が簡略化する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記図７に示
す従来例では、上基板ｂをスペーサｇの上に載置したと
きに、上基板ｂはその自重により撓んで変形してしま
い、上基板ｂが下基板ａに対して水平方向に３μｍ以上
位置ずれしてしまう。その後下基板ａを載置したテーブ
ルｅを水平方向に移動させて下基板ａを上基板ｂに対し
位置決めした後、上基板ｂを下基板ａの上に加圧しなが
らスペーサｇを抜き取って双方を重ね合わせたとき、上
基板ｂの上記変形が解消される。このため、上基板ｂは
下基板ａとの前記位置決め位置から３μｍ以上位置ずれ
してしまい、下基板ａに形成されている電極パターンと
上基板ｂに形成されている画素との位置ずれの原因とな
り、正規の色が変化する画像不良が生じる。また、前記
位置ずれを３μｍ以下に矯正するために、上基板ｂが接
着剤ｃに接触した後に、下基板ａまたは上基板ｂを水平
方向に移動させる位置調整を行うと、接着剤ｃの剥離が
発生し、接着剤ｃと液晶材料ｄとの拡散混合により液晶
材料ｄの液晶特性が劣化する。このため、画像ムラの画
像不良となる。

【０００７】一方、図８に示す従来の吸着固定方式で
は、上基板ｂが剛体の上吸着定盤ｋにより吸着、固定さ
れているため、基板ｂの自重による変形はなく、図７の
従来例で問題になった基板ｂの平面方向への３μｍ以上
の位置ずれは発生しない。ところが、下基板ａおよび上
基板ｂは共に剛体の上下の吸着定盤ｊ、ｋに吸着、固定
した状態で加圧し接着剤ｃによる最終的な貼り合わせを
行うため、基板ａ、ｂとのなじみ性が悪く却って加圧時
の圧力を基板ａ、ｂに均等に付加できず、基板ａ、ｂ間
のギャップが不均一となり、これが原因で画像不良が発
生する。

【０００８】本発明の目的は、位置ずれなく重ね合わせ
るのに併せ、一定のギャップで貼り合わせられる、基板
の貼り合わせ方法と、それに用いる支持治具、および基
板の貼り合わせ装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するため、本発明の液晶表示装置の製造方法は、対向し
て配される一対の基板の少なくとも一方につき、その背
面の周辺部を第１の剛体の吸着面により吸着固定すると
ともに、前記周辺部の内側部分を前記吸着面吸着面と同
一レベルで分散して配した第２の剛体の支持面で支持し
た状態で、これら基板を少なくとも一方に前記吸着面お
よび支持面を有して支持する一対の支持治具の相対移動
により、各基板どうしを位置合わせしてから接着剤を介
し重ね合わせ、その後各基板を各支持治具間で前記吸着
面および支持面の間は弾性体を伴い加圧して、各基板を
前記接着剤により貼り合わせることを１つの特徴として
いる。

【００１０】これにより、一対の基板は、それぞれに対
応する支持手段によって支持され対向配置されるのに、
少なくとも一方が、第１の剛体の吸着面にて周辺部を吸
着固定されるので下向きに支持される上基板であっても
位置ずれしにくく自重による撓みも小さく抑えられて、
基板どうしを精度よく位置決めすることができ、しか
も、この基板は吸着固定される周辺部の内側部分が前記
吸着面の内側にこの吸着面と同一のレベルを持って分散
して配された第２の剛体の支持面によって各部を支持さ
れるので平面性をよく保って基板どうしが接着剤を介し
重ね合わされて、前記位置合わせ状態に狂いが生じない
し、第１の剛体の吸着面による吸着固定および第２の剛
体の支持面による支持は部分的なもので、前記吸着面と
その内側に分散して配された支持面との間の弾性部材に
より基板になじみ性よく均等に加圧力を及ぼして前記重
ね合わされた基板どうしを双方間の均等なギャップのも
とに接着剤を介し貼り合わせることができる。

【００１１】従って、前記貼り合わせを、上下に対向し
て配した下基板として、その上表面に接着剤で囲って液
晶材料を配したものを用いると液晶を封入した液晶表示
装置を製造することができるが、製造した液晶表示装置
において、従来のような、一対の基板の位置ずれがな
く、重ね合わせ後の接着剤と接した状態での位置ずれ調
整が不要で、基板間のギャップの不均一がないので、従
来生じていた画像不良を解消することができる。

【００１２】また、前記基板の重ね合わせ、および貼り
合わせは真空雰囲気中で行うと、基板間や液晶材料中に
空気が混入するのを防止でき好適である。さらに、接着
剤は紫外線硬化型のものを用いると液晶材料など他に熱
影響しにくいので好適である。

【００１３】このような基板の貼り合わせには、例え
ば、基板の背面の周辺部を吸着面で吸着固定する剛体よ
りなる枠部と、前記周辺部の内側部分を前記吸着面吸着
面と同一レベルで分散して支持するように配した剛体よ
りなる棒部と、枠部と棒部との間に設けられて吸着面で
吸着固定した基板を剛体の基台平面でバックアップして
加圧する弾性体とを備えた支持治具を用いる。

【００１４】これによって、１つの支持治具により、基
板の周辺部を剛体よりなる枠部の吸着面で吸着固定する
とともに基板の周辺部の内側部分は吸着面の内側に分散
して配された剛体よりなる棒部の支持面により支持して
平面性を確保した状態で１つの基板を取り扱い、上記方
法での、他の基板との対向配置、位置決め、接着剤を介
した重ね合わせ、および弾性体による加圧を伴う前記接
着剤での貼り合わせが一連に行える。しかも、弾性体を
伴う加圧は剛体の基台平面でバックアップして行うので
基板の平面性は損なわれない。

【００１５】弾性体および基台が、枠部の内側の凹部の
内周に外周が嵌まり合い、かつ、棒部の外周に各部の逃
げ穴が嵌まり合っている構成では、剛体の平面でバック
アップした弾性体による加圧が、一体物により簡易に行
え、しかも、基板の吸着固定される周辺部の内側の部分
のうち、分散して配された支持面で支持されている部分
を除く全域に同時にかつ均等に加圧力を及ぼすことがで
きる。

【００１６】本発明の液晶表示装置の製造装置は、基板
の背面の周辺部を吸着面で吸着固定する剛体よりなる枠
部と、前記周辺部の内側部分を前記吸着面吸着面と同一
レベルで分散して支持するように配した剛体よりなる棒
部と、枠部と棒部との間に設けられて吸着面で吸着固定
した基板を剛体の基台平面でバックアップして加圧する
弾性体とを備えた支持治具を一対対向配置し、この一対
の支持治具を吸着面に平行な向きに相対移動させてそれ
らが吸着固定した基板どうしを位置合わせする位置合わ
せ手段と、この一対の支持治具を吸着面に直角に相対移
動させてそれらが吸着固定した基板どうしを重ねて貼り
合わせる貼り合わせ手段とを備えたことを１つの特徴と
している。

【００１７】これにより、上記のような特徴ある支持治
具を用いた液晶表示装置の製造が自動的に確実に短時間
で達成することができる。真空容器を備えて前記一対の
支持治具を収容し、真空雰囲気中で適宜働かせることに
より、貼り合わせる基板間や封入する液晶材料中に空気
が混入するようなことを防止することができる。

【００１８】本発明のそれ以上の目的および特徴は以下
の詳細な説明と図面の記載によって明らかになる。本発
明の各特徴は、可能な限りにおいて、それ単独で、ある
いは種々な組み合わせで複合して用いることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の基板の貼り合わせ
方法、これに用いる支持治具、および基板の貼り合わせ
装置に係る実施の形態について、幾つかの実施例ととも
に図１〜図４を参照しながら説明し、本発明の理解に供
する。

【００２０】本実施の形態の基板貼り合わせ方法は、例
えば、図２の（ａ）〜（ｅ）に示すように、対向して配
される一対の基板１、２を接着剤６により貼り合わせて
液晶材料５を封入して液晶表示装置Ａを製造する場合の
一例である。しかし、本発明はこれに限られることはな
く、板部材を高精度に貼り合わせる各種の場合に適用し
て有効である。

【００２１】本実施の形態では、基板１、２のそれぞれ
につき、周辺部１ａ、２ａを枠状をした剛体の吸着面３
ａにより図２の（ａ）、（ｂ）に示すように吸着固定す
るとともに、前記周辺部１ａ、２ａの内側部分１ｂ、２
ｂを前記吸着面３ａの内側にこの吸着面３ａと同一レベ
ルで分散して配した剛体の支持面３ｂで支持した状態
で、これら基板１、２を支持する吸着面３ａ、４ａおよ
び支持面３ｂ、４ｂを持った各支持手段３、４により、
各基板１、２どうしを位置合わせしてから、図２の
（ｃ）に示すように各基板１、２の間に液晶材料５を挟
み込むように重ねて後、図２の（ｄ）に示すように各基
板１、２をその背面から前記吸着面３ａ、４ａおよび支
持面３ｂ、４ｂの間にある弾性体１４により加圧して、
図２の（ｅ）に示す接着剤６の紫外線照射などによる硬
化処理を経て各基板１、２をその周辺部１ａ、２ａ間で
接着剤６により貼り合わせて、接着剤６は紫外線ランプ
１０からの紫外線照射によって硬化させて貼り合わせを
終え、図２の（ｅ）に示すように各基板１、２間に液晶
材料５を封入した液晶表示装置Ａを製造する。しかし、
接着剤６の種類によっては別の硬化処理を採用してもよ
いし、特別な硬化処理が要らない場合もある。

【００２２】前記のように貼り合わせる一対の基板１、
２は、それぞれに対応する支持治具３、４によって吸着
支持され対向配置されるのに、剛体であるが枠状の吸着
面３ａ、４ａにて周辺部１ａ、２ａを吸着固定されるの
で、図２に示すように上下に対向配置される場合の上向
きに支持される下基板１はもとより、下向きに支持され
自重で撓みやすい上基板２であっても吸着固定された周
辺部は位置ずれしにくくその内側部分の撓みも極く小さ
く抑えられるので、精度よく位置合わせすることができ
る。しかも、基板１、２は吸着固定される周辺部１ａ、
２ａの内側部分１ｂ、２ｂが前記吸着面３ａ、４ａの内
側にこの吸着面３ａ、４ａと同一のレベルを持って分散
して配された支持面３ｂ、４ｂによって各部が支持され
るので、一対の基板１、２は平面性をよく保たれて、前
記位置合わせに狂いなく接着剤６を介し重ねられ、接着
剤と接した基板を移動させるような位置調整を行わなく
ても、基板１、２どうしの位置合わせ精度を確保するこ
とができる。

【００２３】その後、一対の基板１、２どうしを加圧し
て接着剤６により貼り合わせて、液晶表示装置Ａを得る
のに、剛体の吸着面３ａ、４ａによる吸着固定および支
持面３ｂ、４ｂによる支持は部分的なもので、前記吸着
面３ａ、４ａとその内側に分散して配された支持面３
ｂ、４ｂとの間の弾性体１４により基板１、２になじみ
性よく均等に加圧力を及ぼして前記重ね合わされた基板
１、２どうしを双方間の均等なギャップのもとに接着剤
６を介し貼り合わせることができる。従って、製造した
液晶表示装置Ａにおいて、基板１、２の位置ずれ、重ね
合わせ後の接着剤６と接した状態で移動させる位置ずれ
調整、ギャップの不均一に起因した画像不良を解消する
ことができる。

【００２４】液晶表示装置Ａを製造するのに、従来同様
図２に示すように、前記基板１、２を上下に対向して配
し、そのときの下基板１に、上表面に接着剤６で囲って
液晶材料５を滴下などして配したものを用いるのが、液
晶材料５の供給および保持において作業手順が簡単にな
るなど好適である。また、前記基板１、２の重ね合わ
せ、および貼り合わせは、図２に示すような真空容器２
３による真空雰囲気中で行うと、基板１、２間、特に液
晶材料５中に空気が混入するのを防止しやすく好適であ
る。さらに、接着剤６は紫外線硬化型のものを用いるの
が液晶材料５など他に熱などの影響を及ぼさないで硬化
させられるので好適である。

【００２５】このような液晶表示装置の製造操作には、
例えば図１、図２に示すような支持治具３、４を用い
る。この支持治具３、４は図１に示すように、図２に示
す基板１、２の背面の周辺部１ａ、２ａを枠状の吸着面
３ａ、４ａで吸着固定する剛体の枠部１１と、前記吸着
面３ａ、４ａの内側に分散して配され図２に示す基板
１、２の前記周辺部１ａ、１ｂの内側部分１ｂ、２ｂを
吸着面３ａ、４ａと同じレベルで支持する支持面３ｂ、
４ｂを端部に持った剛体の棒部１２と、枠部１１と棒部
１２との間に設けられて、図２に示すように吸着面３
ａ、４ａで吸着固定した基板１、２を剛体の基台１３の
平面１３ａでバックアップして、吸着面３ａ、４ａと支
持面３ｂ、４ｂとの間で加圧する弾性体１４とを備えて
いる。

【００２６】これによって、支持治具３、４により、基
板１、２の周辺部１ａ、２ａを枠状の吸着面３ａ、４ａ
で吸着固定するとともに基板１、２の周辺部１ｂ、２ｂ
の内側部分は吸着面３ａ、４ａの内側に分散して配され
た支持面３ｂ、４ｂにより支持して平面性を確保した状
態で、それぞれ対応する１つの基板１、２を取り扱い、
上記方法での基板１、２どうしの、対向配置、位置決
め、接着剤６を介した重ね合わせ、および弾性体１４に
よる加圧を伴う前記接着剤６での貼り合わせの作業が一
連に行える。しかも、弾性体１４による加圧は剛体の基
台１３の平面１３ａでバックアップして行うので基板
１、２の平面性は損なわない。

【００２７】図１、図２に示すように、弾性体１４およ
び基台１３が、枠部１１の内側の凹部１５の内周に外周
が嵌まり合い、かつ、棒部１２の外周に各部の逃げ穴１
６が嵌まり合うようにしている。このようにすると、剛
体の平面１３ａでバックアップした弾性体１４による加
圧が、一体物により簡易に行え、しかも、基板１、２の
吸着固定される周辺部１ａ、２ａの内側の部分１ｂ、２
ｂのうちの分散して配された支持面３ｂ、４ｂで支持さ
れている部分を除く全域に同時にかつ均等に加圧力を及
ぼすことができる。棒部１２は枠部１１および凹部１５
を形成した金属製の剛体物に、金属製の剛体物としての
棒部を後付けたものとするのが製作しやすく好適であ
る。後付けの仕方は無理嵌め、ねじ込み、溶接などによ
る接合、接着、その他の各種の手法を採用することがで
きる。枠部１１と棒部１２とによる吸着面３ａ、４ａと
支持面３ｂ、４ｂとのレベル合わせは、それらを組み合
わせた後すり合わせなどして行えば精度を得やすい。し
かし、どのようにして行ってもよい。また、枠部１１お
よび棒部１２を一体形成してもよい。

【００２８】１つの実施例データを示すと、３７０ｍｍ
×４７０ｍｍのサイズの基板１、２を貼り合わせるの
に、枠部１１の外周は基板１、２の外周位置と同じか、
それよりも外側に張り出しているのが好適であるが、内
周は３５０ｍｍ×４５０ｍｍと基板１、２の外周よりも
小さくして吸着面３ａ、４ａを形成し、基板１、２の周
辺部１ａ、２ａと対向する部分に図１に示すような吸着
溝１７、あるいはこれに代わる吸着穴を設け、これら吸
着溝１７や吸着穴を通じて基板１、２を吸着固定できる
ようにする。従って、これら吸着溝１７や吸着穴は吸引
経路１８を通じて図示しない吸引源に接続され、図２に
示すような電磁バルブ１９の開閉によって吸着および吸
着解除を行うようにする。

【００２９】加圧用の弾性体１４は厚さが１〜３ｍｍ程
度のシリコーン系シートで金属製で剛体の基台１３でバ
ックアップして用いる。棒部１２は直径３ｍｍ、長さ３
０ｍｍ程度である。基台１３および弾性体１４のそれぞ
れには、棒部１２と嵌まり合う直径４ｍｍ程度の逃げ穴
１６が設けられ、棒部１２の邪魔なく進退して基板１、
２をその背面から加圧できるようにする。

【００３０】このような支持治具３、４を用いて液晶表
示装置Ａを前記方法のようにして製造する本実施の形態
の基板の貼り合わせ装置としては、図２に示すように、
一対の支持治具３、４を上下に対向させて設置し、これ
ら支持治具３、４を駆動機構２１ａにより吸着面３ａ、
４ａに平行な向きに相対移動させてそれらが吸着固定し
た基板１、２どうしを位置合わせする位置合わせ手段２
１と、これら支持治具３、４を吸着面３ａ、４ａに直角
な向きに駆動機構２２ａにより相対移動させてそれらが
吸着固定した基板１、２どうしを重ねて貼り合わせる貼
り合わせ手段２２と、各支持治具３、４において、基台
１３を凹部１５内で進退させて前記加圧および加圧解除
を行う加圧手段２６とを備えている。位置合わせ手段２
１は一方の支持治具４に働かせ、加圧手段２６は他方の
支持治具３に働かせて、位置合わせおよび貼り合わせの
ための２つの動きを支持治具３、４に分担させている。
これによって構造が簡略化するし、動作も確実になる。
しかし、これに限られることはなく、支持治具３、４は
位置合わせおよび貼り合わせのために相対移動させられ
ればよい。

【００３１】これにより、上記のような特徴ある支持治
具３、４を用いた液晶表示装置Ａの製造が所定のプログ
ラムに従い自動的に確実に短時間で達成することがで
き、図２に示すように前記一対の支持治具３、４を真空
雰囲気中で働かせる真空容器２３を備えていると、貼り
合わせる基板１、２の間、特に液晶材料４中に空気が混
入するようなことを防止しやすい。

【００３２】このような装置でのさらに具体的な基板
１、２の貼り合わせ操作、つまり、液晶表示装置Ａの製
造操作について以下説明する。まず、図２の（ａ）、
（ｂ）に示すように、基板１、２はその周辺部分１ａ、
２ａが、支持治具３、４の枠状の吸着面３ａ、４ａで吸
着固定される。このとき吸着面３ａ、４ａに開口してい
る吸着溝１７や吸着穴の全域が吸引源からの吸引経路１
８を通じた吸引により減圧されていて、吸着面３ａ、４
ａの全周、全域で平面を保って吸着固定する。従って、
上向きに吸着固定される基板１はもとより、下向きに吸
着固定される基板２でも吸着固定された周辺部１ａ、２
ａは容易に移動せず３μｍ以上位置ずれするようなこと
が防止され自重による撓みも極く小さく抑えられる。し
かも、各基板１、２の周辺部１ａ、２ａの内側の部分１
ｂ、２ｂは、吸着面３ａ、４ａの内側に分散して配され
た各棒部１２の支持面３ｂ、４ｂによって吸着面３ａ、
４ａと同一レベルに支持されるので、基板１、２は所定
の平面度をよく確保される。

【００３３】一方、下基板１は支持治具３に吸着された
状態では、支持治具３の上で複数の固定ピン２４によっ
て周辺をまわりから固定されている。このときの基板
１、２の間隔は１つの実施例データとして５ｍｍ程度離
れるように設定される。続いて、真空容器２３内を真空
吸引源に接続して真空引きした後、支持治具４の側を垂
直に下降させて上基板２を下基板１の上に近接させる。
このときの基板１、２の近接間隔は、１つの実施例デー
タとして０．２ｍｍ〜１ｍｍ程度である。この近接状態
で、基板１、２の端部に形成されたマーカーを目安にし
て、支持治具３の平面方向の位置合わせを行うことによ
り、位置合わせしやすく、しかも精度を得やすくしてい
る。

【００３４】この位置合わせが終了し、真空容器２３内
が所定の真空度に達した後に、支持治具４をさらに下降
させて図２の（ｃ）に示すように上基板２を下基板１に
接着剤６を介し重ね合わせる。次いで、図２の（ｄ）に
示すように各支持治具３、４の枠部１１の凹部１５内に
ある弾性体１４が基台１２とともに加圧手段２６により
進出させられて、基板１、２の背面に接近していき、１
つの実施例データを示すと０．２ｋｇ／ｃｍ² の圧力で
加圧し、基板１、２間のギャップが目標値に達するまで
１０〜６０秒程度加圧を続ける。

【００３５】その後、加圧および吸着を解除し、真空容
器２３内の大気に開放して、接着剤６を介し重ね合わせ
た基板１、２を取り出し、図２の（ｅ）に示すように紫
外線ランプ１０により紫外線を照射して接着剤６の硬化
を図り基板１、２の液晶材料４を封入した貼り合わせが
終了し、液晶表示装置Ａが得られる。

【００３６】このように、基板１、２を吸着面３ａ、４
ａにより周辺部１ａ、２ａを吸着固定し、しかも支持面
３ｂ、４ｂによる支持も併せ平面度を確保できる状態
で、接着剤６を介し重ね合わせて加圧し、貼り合わせる
ため、貼り合わせ時の位置ずれが発生しにくい。また、
剛体の枠部１１で吸着固定したまま弾性体１４で加圧す
るため、圧力が均等に付加でき、基板１、２の間のギャ
ップにバラツキが発生しにくくなる。

【００３７】なお、棒部１２の端面が形成する支持面３
ｂ、４ｂは図３の（ａ）に示すように所定の半径のアー
ルなどによる丸みのある形状にすると、基板１、２の周
辺部１ａ、２ａの内側部分１ｂ、２ｂの各部を部分的に
支持するのに傷を付けにくい利点がある。もっとも、楕
円体形状など丸みがあれば、他の形状でもよいのは勿論
である。また、図３の（ｂ）に示すように枠部１１の内
周に突起２７などのガイド部を設けて、弾性体１４をバ
ックアップする基台１３の進退移動を案内するようにす
ると、弾性体１４による基板１、２の加圧がスムーズで
偏りない動きにて、より均等により安定して達成するこ
とができる。

【００３８】また、支持治具３、４のうちの少なくとも
一方が、前記枠状の吸着面３ａ、４ａとその内側に分散
して配された各支持面３ｂ、４ｂ、およびそれら吸着面
３ａ、４ａと各支持面３ｂ、４ｂとの間の弾性体１４お
よび基台１３を持ったものとし、他方は単なる支持定盤
に形成しても、図４に示す実施例のように基板１、２の
うちの自重による撓みが生じて変形し、位置ずれが生じ
る、例えば基板２を下向きに支持する支持治具４の側に
吸着固定方式を採用し、他の側を通常の定盤型の支持治
具３１で支持しても基板１、２を位置ずれやギャップの
不均一なく貼り合わせ、画像不良のない液晶表示装置Ａ
を製造することができる。

【００３９】また、上記実施の形態および実施例は、液
晶表示装置の製造に関してだけ説明したが、本発明はこ
れに限らず、光ディスクなど板状部材を貼り合わせる用
途に用いて有効である。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、一対の基板を前記平面
性が確保された状態で対向させて、位置ずれなく接着剤
を介し重ね合わせて、重ね合わせ後の位置調整を不要と
し、しかも、双方間のギャップを均一に保って貼り合わ
せることができ、これによって、液晶表示装置を製造す
るような場合でも、位置ずれ、重ね合わせ後の接着剤と
接触した状態での位置ずれ調整、ギャップの不均一に起
因した画像不良を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における吸着治具の構成を
示す斜視図である。

【図２】図１に示す吸着治具を用いて液晶表示装置を製
造する本発明の実施の形態に係る方法および装置を示
し、その（ａ）は下基板を例にした吸着固定状態を示す
断面図、その（ｂ）は吸着固定した一対の基板を真空容
器内で上下に対向させた状態を示す断面図、その（ｃ）
は一対の基板を重ね合わせた状態を示す断面図、その
（ｄ）は一対の基板の加圧状態を示す断面図、その
（ｅ）は接着剤の硬化操作の状態を示す断面図である。

【図３】図１、図２の吸着治具の位置部を示し、その
（ａ）は棒部の先端部の側面図、その（ｂ）は吸着治具
の一部の断面図である。

【図４】本発明の実施の形態の液晶表示装置を製造する
装置の別の実施例を示す断面図である。

【図５】一般的な液晶表示装置の基本構造を示す斜視図
である。

【図６】図５の液晶表示装置の液晶滴下法による従来の
製造工程を示し、その（ａ）は基板の上に接着剤を設け
た断面図、その（ｂ）は接着剤で囲まれる領域に液晶材
料を滴下する状態を示す断面図、その（ｃ）は接着剤を
紫外線照射により硬化させて重ね合わせた一対の基板を
接着剤により貼り合わせる状態を示す断面図である。

【図７】図５のような液晶表示装置の製造方法に適用さ
れる従来の製造装置を示し、その（ａ）は下基板の支
持、および位置決めの状態を示す断面図、その（ｂ）は
スペーサを配置する状態の断面図、その（ｃ）は上基板
を支持し位置決めする状態の断面図、その（ｄ）は上基
板を下基板に重ねて加圧する状態の断面図、その（ｅ）
は接着剤の硬化操作の状態を示す断面図である。

【図８】図５のような液晶表示装置の製造方法に適用さ
れる、基板の吸着固定方式を採用した従来の製造装置を
示し、その（ａ）は下基板の吸着固定状態を示す断面
図、その（ｂ）は真空容器内で、吸着固定した一対の基
板を上下に対向させた状態の断面図、その（ｃ）は一対
の基板を接着剤を介し重ねて加圧する状態の断面図、そ
の（ｄ）は接着剤の硬化操作の状態を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１、２ 基板 １ａ、２ａ 周辺部 １ｂ、２ｂ 内側部分 ３、４、３１ 支持治具 ３ａ、４ａ 吸着面 ３ｂ、４ｂ 支持面 ５ 液晶材料 ６ 接着剤 １１ 枠部 １２ 棒部 １３ 基台 １４ 弾性体 １５ 凹部 １６ 逃げ穴 １７ 吸着溝 １８ 吸引経路 ２１ 位置合わせ手段 ２２ 貼り合わせ手段 ２３ 真空容器 ２４ 固定ピン ２６ 加圧手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA03 FA09 FA16 FA30 MA17 MA20 2H089 KA15 MA07Y NA22 NA32 NA38 NA39 NA44 NA48 NA60 QA12 2H090 JC12 LA02 4F100 AR00C AT00A AT00B BA03 BA06 BA10A BA10B CB00 CB04 GB41 JA11C JL02

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して配される一対の基板の少なくと
   も一方につき、その背面の周辺部を第１の剛体の吸着面
   により吸着固定するとともに、前記周辺部の内側部分を
   前記吸着面吸着面と同一レベルで分散して配した第２の
   剛体の支持面で支持した状態で、これら基板を少なくと
   も一方に前記吸着面および支持面を有して支持する一対
   の支持治具の相対移動により、各基板どうしを位置合わ
   せしてから接着剤を介し重ね合わせ、その後各基板を各
   支持治具間で前記吸着面および支持面の間は弾性体を伴
   い加圧して、各基板を前記接着剤により貼り合わせるこ
   とを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
2. 【請求項２】 前記基板は上下に対向して配し、前記少
   なくとも一方の基板は上基板である請求項１に記載の基
   板の貼り合わせ方法。
3. 【請求項３】 前記基板は上下に対向して配し、その下
   方の基板に、上表面に接着剤で囲って液晶材料を配した
   ものを用いる請求項１に記載の基板の貼り合わせ方法。
4. 【請求項４】 前記基板の重ね合わせ、および加圧、貼
   り合わせは真空雰囲気中で行う請求項１〜３のいずれか
   一項に記載の基板の貼り合わせ方法。
5. 【請求項５】 接着剤は紫外線硬化型のものを用いる請
   求項１〜４のいずれか一項に記載の基板の貼り合わせ方
   法。
6. 【請求項６】 基板の背面の周辺部を吸着面で吸着固定
   する剛体よりなる枠部と、前記周辺部の内側部分を前記
   吸着面吸着面と同一レベルで分散して支持するように配
   した剛体よりなる棒部と、枠部と棒部との間に設けられ
   て吸着面で吸着固定した基板を剛体の基台平面でバック
   アップして加圧する弾性体とを備えた支持治具。
7. 【請求項７】 弾性体および基台は、枠部の内側の凹部
   の内周に外周が嵌まり合い、かつ、棒部の外周に各部の
   逃げ穴が嵌まり合っている請求項６に記載の支持治具。
8. 【請求項８】 基板の背面の周辺部を吸着面で吸着固定
   する剛体よりなる枠部と、前記周辺部の内側部分を前記
   吸着面吸着面と同一レベルで分散して支持するように配
   した剛体よりなる棒部と、枠部と棒部との間に設けられ
   て吸着面で吸着固定した基板を剛体の基台平面でバック
   アップして加圧する弾性体とを備えた支持治具を一対対
   向配置し、この一対の支持治具を吸着面に平行な向きに
   相対移動させてそれらが吸着固定した基板どうしを位置
   合わせする位置合わせ手段と、この一対の支持治具を吸
   着面に直角に相対移動させてそれらが吸着固定した基板
   どうしを重ねて貼り合わせる貼り合わせ手段とを備えた
   ことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
9. 【請求項９】 一対の支持治具を真空雰囲気中で働かせ
   る真空容器を備えた請求項８に記載の基板の貼り合わせ
   装置。