JP2019174628A - 検査方法、ペリクルの製造方法、および検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、上記検査方法を用いたペリクルの製造方法の一例を説明する。
シリコン基板上に、5μmのポリスチレン粒子が付着した厚さ200nmのカーボンナノチューブ膜を成膜した。該カーボンナノチューブ膜の表面粗さを、原子間力顕微鏡(日立ハイテクサイエンス社製)で、30μm×30μmのエリアをDFM(Dynamic Force Mode)モードで測定したところ、表面粗さRaは40nmであった。なお、表面粗さは、ポリスチレン粒子が存在しない部分で測定した。
Claims (13)
- ペリクルを構成するための部材から到来した第1波長の光の強度と第2波長の光の強度との比である第1強度比と、基準値と、の差異に基づいて、前記部材を検査する検査方法。
- 前記部材を撮像した画像であって、画素ごとに前記第1波長の光の強度のデータおよび前記第2波長の光の強度のデータを含む画像を取得し、
各画素における前記第1強度比と前記基準値との差異に基づいて、前記部材を検査する請求項1に記載の検査方法。 - 前記基準値は、基準となる前記第1波長の光の強度と基準となる前記第2波長の光の強度との比である第2強度比を示す請求項1または請求項2に記載の検査方法。
- 前記第1強度比と前記第2強度比とをそれぞれ複数用いて前記部材を検査する請求項3に記載の検査方法。
- 前記第2強度比は、前記部材を検査する前に決められる請求項3または請求項4に記載の検査方法。
- 前記第2強度比は、前記部材とは異なる部材から到来した前記第1波長の光の強度と前記第2波長の光の強度とに基づいて決められる請求項5に記載の検査方法。
- 前記部材の表面粗さRaは0.3nm以上100μm以下である、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記部材はペリクル膜を含む、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記部材はペリクル膜を支持する支持体を含む、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記検査は、少なくとも前記部材に含まれる異物の有無を検査することを含む請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の検査方法。
- ペリクル膜と、前記ペリクル膜を支持する支持体とを少なくとも有するペリクルの製造方法であって、
前記ペリクル膜と前記支持体とを接続することと、
前記ペリクル膜と前記支持体とを接続する前または接続した後において、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の検査方法を用いて、前記ペリクルを構成するための部材を検査することと、
を含むペリクルの製造方法。 - ペリクルを構成するための部材が配置される台と、
前記台に置かれた前記部材に、第1波長の光および第2波長の光を照射する照射装置と、
前記部材から到来した前記第1波長の光および前記第2波長の光に基づいて前記部材を撮像し、画素ごとに前記第1波長の光の強度のデータおよび前記第2波長の光の強度のデータを含む画像を生成する撮像装置と、
各画素における前記第1波長の光と第2波長の光との強度の比である第1強度比と、基準値と、の差異に基づいて、前記部材を検査する検査部と、
を有する検査装置。 - 前記台の移動を制御する移動制御部を有し、
前記検査部は、前記台が複数の異なる位置にあるときにそれぞれ撮像された前記画像に基づいて、前記部材を検査する
請求項12に記載の検査装置。
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