JP6025178B2 - ペリクルの貼り付け方法及びこの方法に用いる貼り付け装置 - Google Patents
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Description
先ず、ペリクル10をペリクル貼り付け装置のステージ上のペリクルホルダーにマスク粘着剤が上になるようにセットし、粘着剤保護シートを剥離した後に、マスク基板をペリクル貼り付け面が下になるようにセットして、スタートボタンを押すと、貼り付け装置のヒーターの電源が入り、ペリクルフレームとマスク基板を加温し始める。ペリクルフレームとマスク基板が設定温度に上昇したところで、マスク基板をゆっくりとペリクルフレームの上に下ろして、マスク基板をその自重でペリクルフレームに押しつける。
実施例1では、先ず、アルミニウム合金製のペリクルフレーム(外形サイズ149mmx115mmx3.5mm肉厚2mm、マスク基板貼り付け用粘着剤の塗布端面側の平坦度が15μm)を準備し、これを精密洗浄した後に、15μm側の端面に信越化学工業株式会社製のシリコーン粘着剤(製品名;X-40-3264)を塗布し、60分間室温で静置した。その後、平坦度が5μmのアルミ板上にセパレータを置くと共に、これに粘着剤を塗布したペリクルフレームを粘着剤が下向きになるように置くことで、粘着剤の表面に平坦なセパレータを接触させ、粘着剤の表面を平坦加工した。
実施例2では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.26μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が80℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、貼り付け荷重100N(60秒間かけて設定荷重まで到達させた)で、荷重時間30秒間加圧してペリクルを80℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
実施例3では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.25μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が35℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に、貼り付け荷重50N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒間放置し、さらに貼り付け荷重100N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧してペリクルを35℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
実施例4では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.25μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が80℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に貼り付け荷重50N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒間放置し、さらに貼り付け荷重100N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧してペリクルを80℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
比較例1では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.25μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板を加熱せずに室温(25℃)の状態のまま、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に貼り付け荷重50N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒間放置し、さらに貼り付け荷重100N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧して室温状態のペリクルをマスク基板に貼り付けた。
比較例2では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.26μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が100℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に貼り付け荷重50N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒間放置し、さらに貼り付け荷重100N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧してペリクルを100℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
比較例3では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.25μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が80℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に貼り付け荷重50N(5秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒間放置し、さらに100N(15秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧してペリクルを80℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
比較例4では、実施例1と同じ手順でペリクルを作製した。次に、「6025」のマスク基板を準備し、このマスク基板の平坦度を測定したところ、0.25μmであった。また、このマスク基板をペリクル貼り付け装置にセットし、マスク基板の温度が80℃になるように加温すると共に、先に作製したペリクルを貼り付け装置にセットし、最初に貼り付け荷重50N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で30秒間、次に荷重を解放して30秒放置し、さらに150N(60秒かけて設定荷重まで到達させた)で、30秒間加圧してペリクルを80℃に加熱したマスク基板に貼り付けた。
2 ペリクル膜接着剤
3 ペリクルフレーム
4 マスク粘着剤
5 マスク又はレチクル
6 気圧調整用穴(通気口)
7 除塵用フィルター
10 ペリクル
Claims (6)
- ペリクルフレームの一端面に接着剤を介してペリクル膜を張設し、他の端面に粘着層を設けたリソグラフィ用ペリクルをマスク基板に貼り付ける方法であって、前記粘着層と前記マスク基板を加温して、前記ペリクルを前記マスク基板に貼り付け荷重100N以下で貼り付けるとともに、該貼り付け荷重に到達するまでの時間を1分以上とすることを特徴とするペリクルの貼り付け方法。
- 前記加温温度は、35℃以上80℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のペリクルの貼り付け方法。
- 前記貼り付け荷重を少なくとも1つ以上の加圧ステップに分けて断続的に上昇させることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルの貼り付け方法。
- 前記少なくとも1つ以上の加圧ステップの間で、前記張り付け荷重を解放する時間を設けることを特徴とする請求項3に記載のペリクルの貼り付け方法。
- 前記解放時間が30秒以上であることを特徴とする請求項4に記載のペリクルの貼り付け方法。
- 請求項1〜5の何れかに記載のペリクルの貼り付け方法を実施するための貼り付け装置であって、マスク基板及びペリクルの粘着剤層を加温する熱源と、ペリクルをマスク基板に貼り付けるための荷重手段と、少なくとも1つ以上の加圧ステップの貼り付け荷重、荷重時間及び荷重解放時間を制御する制御手段とを備えていることを特徴とするペリクルの貼り付け装置。
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