JP2001249441A - リソグラフィー用ペリクル - Google Patents
リソグラフィー用ペリクルInfo
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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- G03F1/84—Inspecting
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- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定した接着強度が得られ、また光劣化した
り分解したりすることが無く、ペリクル膜にダメージを
与えることがないとともに、寿命が長く高性能なペリク
ル接着剤と、これを用いてペリクル膜をペリクル枠に接
着したペリクルを提供する。 【解決手段】 フッ素系樹脂からなるペリクル膜をペリ
クル枠に接着するペリクル用メンブレン接着剤として粘
着剤を使用する。粘着剤は、シリコーン系粘着剤である
ことが望ましい。ペリクル膜の材質は、環状パーフルオ
ロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合体であるこ
とが、なお望ましい。
り分解したりすることが無く、ペリクル膜にダメージを
与えることがないとともに、寿命が長く高性能なペリク
ル接着剤と、これを用いてペリクル膜をペリクル枠に接
着したペリクルを提供する。 【解決手段】 フッ素系樹脂からなるペリクル膜をペリ
クル枠に接着するペリクル用メンブレン接着剤として粘
着剤を使用する。粘着剤は、シリコーン系粘着剤である
ことが望ましい。ペリクル膜の材質は、環状パーフルオ
ロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合体であるこ
とが、なお望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、リソグラフィー用
ペリクルに関し、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩ等の半導体装
置あるいは液晶表示板を製造するに際して、実質的に５
００ｎｍ以下の光を用いる露光方式におけるリソグラフ
ィー用ペリクルに関する。
ペリクルに関し、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩ等の半導体装
置あるいは液晶表示板を製造するに際して、実質的に５
００ｎｍ以下の光を用いる露光方式におけるリソグラフ
ィー用ペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装
置あるいは液晶表示板などの製造においては、半導体ウ
ェハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターニング
をする工程がある。この場合、光照射に用いる露光原版
にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、
光を反射してしまうため、転写したパターニングが変形
したり、エッジががさついたりしてしまい、寸法、品
質、外観などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板など
の性能や製造歩留まりの低下を来すという問題があっ
た。
置あるいは液晶表示板などの製造においては、半導体ウ
ェハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターニング
をする工程がある。この場合、光照射に用いる露光原版
にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、
光を反射してしまうため、転写したパターニングが変形
したり、エッジががさついたりしてしまい、寸法、品
質、外観などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板など
の性能や製造歩留まりの低下を来すという問題があっ
た。
【０００３】このため、これらの作業は、通常、クリー
ンルームで行われるが、このクリーンルーム内でも、露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の
表面にゴミ除けのために、露光用の光を良く透過するペ
リクルを貼着する方法が行われている。ペリクルを貼着
することにより、ゴミは、露光原版の表面に直接付着せ
ずにペリクル膜上に付着するため、リソグラフィー時に
焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリク
ル上のゴミは焦点ずれとなり、転写に無関係となる利点
がある。
ンルームで行われるが、このクリーンルーム内でも、露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の
表面にゴミ除けのために、露光用の光を良く透過するペ
リクルを貼着する方法が行われている。ペリクルを貼着
することにより、ゴミは、露光原版の表面に直接付着せ
ずにペリクル膜上に付着するため、リソグラフィー時に
焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリク
ル上のゴミは焦点ずれとなり、転写に無関係となる利点
がある。
【０００４】従来、このペリクルは、光を良く透過する
ニトロセルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペ
リクル膜を、アルミニウム、ステンレス等からなるペリ
クル枠の上端部に、ペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾
して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公報）か、
アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着し（米国
特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６３−２７７０
７号公報、特開平７−１６８３４５号公報）、ペリクル
枠の下端部にはポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、
アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層及び該
粘着層を保護する離型剤層（セパレータ）を積層して構
成されている。
ニトロセルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペ
リクル膜を、アルミニウム、ステンレス等からなるペリ
クル枠の上端部に、ペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾
して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公報）か、
アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着し（米国
特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６３−２７７０
７号公報、特開平７−１６８３４５号公報）、ペリクル
枠の下端部にはポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、
アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層及び該
粘着層を保護する離型剤層（セパレータ）を積層して構
成されている。
【０００５】このペリクルを構成する材料の中で、ペリ
クル膜をペリクル枠に接着させるメンブレン接着剤は、
リソグラフィー時に直接露光光線に曝されるため、その
寿命や性能上特に重要で、例えば、膜厚数μｍ以下の超
薄膜のペリクル膜をペリクル枠に接着させておく必要が
あり、ペリクルの性能に大きな影響を与えるものであ
る。しかし、従来から使用されているアクリル系接着剤
やエポキシ系接着剤では、接着強度が不十分であった
り、接着面が平面とならずにシワが発生する、等のため
に信頼性に欠けるものであった。しかも、露光光線によ
る光劣化が激しく、ある程度使用すると接着剤が固化、
分解して、接着剤そのものがゴミの発生源になったり、
ペリクル膜の張力が変化して膜が剥離したり、極端な場
合にはペリクル膜に亀裂を生じるという欠点がある。
クル膜をペリクル枠に接着させるメンブレン接着剤は、
リソグラフィー時に直接露光光線に曝されるため、その
寿命や性能上特に重要で、例えば、膜厚数μｍ以下の超
薄膜のペリクル膜をペリクル枠に接着させておく必要が
あり、ペリクルの性能に大きな影響を与えるものであ
る。しかし、従来から使用されているアクリル系接着剤
やエポキシ系接着剤では、接着強度が不十分であった
り、接着面が平面とならずにシワが発生する、等のため
に信頼性に欠けるものであった。しかも、露光光線によ
る光劣化が激しく、ある程度使用すると接着剤が固化、
分解して、接着剤そのものがゴミの発生源になったり、
ペリクル膜の張力が変化して膜が剥離したり、極端な場
合にはペリクル膜に亀裂を生じるという欠点がある。
【０００６】近年、ペリクル膜の材質として、光透過
率、耐光性に優れているフッ素系樹脂が使用されている
が、フッ素系樹脂は離型性が高いため、従来のアクリル
系接着剤やエポキシ系接着剤では実用的な接着力を得る
ことが不可能である。そこで、光反応性樹脂を接着剤に
用い、紫外線を照射することによりペリクル膜をペリク
ル枠に張り付けるという方法が提案されている。しか
し、光反応性樹脂の場合、従来のアクリル系接着剤やエ
ポキシ系接着剤よりは大きな接着力が得られるものの、
未だ十分な接着力を有しているとはいえない。また、光
反応性を有するということは、接着剤が光、特に紫外線
で硬化するということであり、紫外線に対する耐光性が
全く期待できないということを意味するので、紫外線照
射下で用いられるペリクルの接着剤としては適格なもの
とすることは難しい。
率、耐光性に優れているフッ素系樹脂が使用されている
が、フッ素系樹脂は離型性が高いため、従来のアクリル
系接着剤やエポキシ系接着剤では実用的な接着力を得る
ことが不可能である。そこで、光反応性樹脂を接着剤に
用い、紫外線を照射することによりペリクル膜をペリク
ル枠に張り付けるという方法が提案されている。しか
し、光反応性樹脂の場合、従来のアクリル系接着剤やエ
ポキシ系接着剤よりは大きな接着力が得られるものの、
未だ十分な接着力を有しているとはいえない。また、光
反応性を有するということは、接着剤が光、特に紫外線
で硬化するということであり、紫外線に対する耐光性が
全く期待できないということを意味するので、紫外線照
射下で用いられるペリクルの接着剤としては適格なもの
とすることは難しい。
【０００７】さらに、ペリクル製造を考慮した場合、紫
外線をペリクル枠（フレーム）全周に均一に照射しなけ
ればならないなど、光反応性樹脂を接着剤に用いる場
合、作業が意外と煩雑になる。また、フッ素樹脂を接着
剤に用いて加熱して接着する、もしくは溶媒によりフッ
素系樹脂からなるペリクル膜をペリクル枠に貼り付ける
という方法も提案されている。この方法を用いると、非
常に強力な接着力が得られる。しかし、加熱による接着
の場合、フレーム（ペリクル枠）近傍のペリクル膜が熱
により薄くなり、その部分の透過率が変化してしまうと
いう問題がある。また、製造を考慮した場合、温度を厳
密に均一に制御することが困難であるということに加
え、加熱冷却に時間がかかるといった問題点もある。ま
た、溶媒による接着の場合は、溶媒量の制御が微妙であ
って、安定した接着力を得るには熟練を要する。
外線をペリクル枠（フレーム）全周に均一に照射しなけ
ればならないなど、光反応性樹脂を接着剤に用いる場
合、作業が意外と煩雑になる。また、フッ素樹脂を接着
剤に用いて加熱して接着する、もしくは溶媒によりフッ
素系樹脂からなるペリクル膜をペリクル枠に貼り付ける
という方法も提案されている。この方法を用いると、非
常に強力な接着力が得られる。しかし、加熱による接着
の場合、フレーム（ペリクル枠）近傍のペリクル膜が熱
により薄くなり、その部分の透過率が変化してしまうと
いう問題がある。また、製造を考慮した場合、温度を厳
密に均一に制御することが困難であるということに加
え、加熱冷却に時間がかかるといった問題点もある。ま
た、溶媒による接着の場合は、溶媒量の制御が微妙であ
って、安定した接着力を得るには熟練を要する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題点に鑑みなされたもので、好適なメンブレン接着剤
を選定して、耐光性の高いペリクルを提供することを課
題とする。
問題点に鑑みなされたもので、好適なメンブレン接着剤
を選定して、耐光性の高いペリクルを提供することを課
題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のペリクルは、ペリクル膜をペリクル枠に接
着するペリクル用メンブレン接着剤として粘着剤を使用
する。該ペリクル膜は、フッ素系樹脂からなることが望
ましく、中でも環状パーフルオロエーテル基を有する含
フッ素モノマー重合体であることが特に望ましい。メン
ブレン接着剤として用いる粘着剤は、シリコーン系粘着
剤であることが望ましい。
に、本発明のペリクルは、ペリクル膜をペリクル枠に接
着するペリクル用メンブレン接着剤として粘着剤を使用
する。該ペリクル膜は、フッ素系樹脂からなることが望
ましく、中でも環状パーフルオロエーテル基を有する含
フッ素モノマー重合体であることが特に望ましい。メン
ブレン接着剤として用いる粘着剤は、シリコーン系粘着
剤であることが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明者は、メンブレン接着剤と
して粘着剤を用いることにより、ペリクルの耐光性を向
上させることができることを知見した。更に、粘着剤を
用いることにより、ペリクル膜の材質がフッ素系樹脂で
あっても安定した接着強度が得られ、また光劣化したり
分解したりすることが無いことを知見した。フッ素系樹
脂からなるペリクル膜用の接着剤として粘着性をもつ接
着剤を用いれば、接着強度が大きく、また、膜を張り付
けるだけで接着力が得られるので、生産性を飛躍的に高
めることが可能となる。粘着性をもつ接着剤として、シ
リコーン系粘着剤を用いることは極めて好ましい。本発
明者は、先に、露光用基板とペリクル枠の接着剤、すな
わちレチクル接着剤としてシリコーン系粘着剤が使用し
た例があるが（特願平１１−２９２３９号）、ペリクル
膜とペリクル枠との接着に使用することは、そこでは想
定されていない。
して粘着剤を用いることにより、ペリクルの耐光性を向
上させることができることを知見した。更に、粘着剤を
用いることにより、ペリクル膜の材質がフッ素系樹脂で
あっても安定した接着強度が得られ、また光劣化したり
分解したりすることが無いことを知見した。フッ素系樹
脂からなるペリクル膜用の接着剤として粘着性をもつ接
着剤を用いれば、接着強度が大きく、また、膜を張り付
けるだけで接着力が得られるので、生産性を飛躍的に高
めることが可能となる。粘着性をもつ接着剤として、シ
リコーン系粘着剤を用いることは極めて好ましい。本発
明者は、先に、露光用基板とペリクル枠の接着剤、すな
わちレチクル接着剤としてシリコーン系粘着剤が使用し
た例があるが（特願平１１−２９２３９号）、ペリクル
膜とペリクル枠との接着に使用することは、そこでは想
定されていない。
【００１１】ペリクル膜用のメンブレン接着剤としてシ
リコーン系粘着剤を用いれば、膜を張り付けるだけで接
着力が得られ、生産性を飛躍的に高めることが可能とな
るのみならず、実質的に光劣化が無いので、安定した接
着力を得ることができ、長寿命で高性能なペリクルを製
造することができる。フッ素系樹脂からなるペリクル膜
用のメンブレン接着剤としてシリコーン系粘着剤を用い
れば、接着強度がより大きく、膜を張り付けるだけで接
着力が得られ、生産性を飛躍的に高めることが可能とな
るのみならず、実質的に光劣化が無いので、安定した接
着力を得ることができ、長寿命で高性能なペリクルを製
造することができる。ペリクル膜の材質を、環状パーフ
ルオロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合体とす
ることはさらに好ましい。このようなペリクル膜の材質
を選択し、本発明のシリコーン系粘着剤を使用してペリ
クル枠に接着すれば、本発明で用いる接着剤の接着性能
が最大限に発揮されたペリクルが形成され、ペリクル膜
としてフッ素系樹脂が有している優れた透明性、膜強
度、耐光性等の特性を十分生かした高性能ペリクルを提
供することが可能となる。
リコーン系粘着剤を用いれば、膜を張り付けるだけで接
着力が得られ、生産性を飛躍的に高めることが可能とな
るのみならず、実質的に光劣化が無いので、安定した接
着力を得ることができ、長寿命で高性能なペリクルを製
造することができる。フッ素系樹脂からなるペリクル膜
用のメンブレン接着剤としてシリコーン系粘着剤を用い
れば、接着強度がより大きく、膜を張り付けるだけで接
着力が得られ、生産性を飛躍的に高めることが可能とな
るのみならず、実質的に光劣化が無いので、安定した接
着力を得ることができ、長寿命で高性能なペリクルを製
造することができる。ペリクル膜の材質を、環状パーフ
ルオロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合体とす
ることはさらに好ましい。このようなペリクル膜の材質
を選択し、本発明のシリコーン系粘着剤を使用してペリ
クル枠に接着すれば、本発明で用いる接着剤の接着性能
が最大限に発揮されたペリクルが形成され、ペリクル膜
としてフッ素系樹脂が有している優れた透明性、膜強
度、耐光性等の特性を十分生かした高性能ペリクルを提
供することが可能となる。
【００１２】以下に本発明を更に詳述する。本発明のペ
リクルに用いるペリクル膜の材質としては、紫外線に対
して高い耐光性を有するという特性を有するフッ素系樹
脂が用いるられ、具体的には、フッ素系樹脂には、ＰＴ
ＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル・テトラフルオロエチレ
ン共重合体）、ＦＥＰ（フロリネイテッドエチレンプロ
ピレン）等が挙げられる。フッ素系樹脂の中でも、環状
パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合
体とすることはさらに好ましい。環状パーフルオロエー
テル基を有する含フッ素モノマー重合体としては、具体
的には、Du Pont 社のフッ素樹脂「テフロンＡＦ」（商
品名）や旭硝子社の「サイトップ」（商品名）等が挙げ
られる。
リクルに用いるペリクル膜の材質としては、紫外線に対
して高い耐光性を有するという特性を有するフッ素系樹
脂が用いるられ、具体的には、フッ素系樹脂には、ＰＴ
ＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル・テトラフルオロエチレ
ン共重合体）、ＦＥＰ（フロリネイテッドエチレンプロ
ピレン）等が挙げられる。フッ素系樹脂の中でも、環状
パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モノマー重合
体とすることはさらに好ましい。環状パーフルオロエー
テル基を有する含フッ素モノマー重合体としては、具体
的には、Du Pont 社のフッ素樹脂「テフロンＡＦ」（商
品名）や旭硝子社の「サイトップ」（商品名）等が挙げ
られる。
【００１３】ペリクル膜材料にフッ素系樹脂を使用する
と、フッ素系樹脂の低表面エネルギー性のために、通常
の接着剤では強力な接着力を得るのは困難である。しか
し、低表面エネルギーの物に対しても接着可能であると
いう特性を有する粘着剤であれば、十分に強力に接合す
ることができる。粘着剤の例としては、アクリル系粘着
剤、シリコーン系粘着剤、ブタジエン系粘着剤等が挙げ
られる。その中でも、シリコーン粘着剤をペリクル膜用
接着剤として用いると、非常に強力な接着力が得られ
る。シリコーン粘着剤でフッ素樹脂膜を接着した場合、
接着部の剥離試験を行うと、膜が先に破壊してしまい、
接着部の剥離は観察できない程である。
と、フッ素系樹脂の低表面エネルギー性のために、通常
の接着剤では強力な接着力を得るのは困難である。しか
し、低表面エネルギーの物に対しても接着可能であると
いう特性を有する粘着剤であれば、十分に強力に接合す
ることができる。粘着剤の例としては、アクリル系粘着
剤、シリコーン系粘着剤、ブタジエン系粘着剤等が挙げ
られる。その中でも、シリコーン粘着剤をペリクル膜用
接着剤として用いると、非常に強力な接着力が得られ
る。シリコーン粘着剤でフッ素樹脂膜を接着した場合、
接着部の剥離試験を行うと、膜が先に破壊してしまい、
接着部の剥離は観察できない程である。
【００１４】シリコーン系粘着剤を接着剤として、ペリ
クル枠にペリクル膜を接着して製造したペリクルは、ペ
リクル膜がペリクル枠に高い接着強度で均一に接着さ
れ、該膜にシワ、歪み等の発生はなく、耐光性に優れて
いるので、長寿命で高性能なペリクルとすることができ
る。シリコーン粘着剤としては、具体的には、信越化学
工業社のＸ−４０系、ＫＲ系等が挙げられる。また、従
来用いられている接着剤の中には、後工程処理を行って
接着力を発現させる必要がある接着剤があるが、それら
の接着剤は、後工程処理の条件によって接着力が左右さ
れる。例えば、紫外線硬化樹脂の場合、紫外線の強度、
照射時間に接着力が左右されるし、フッ素樹脂を加熱し
て接着硬化する場合は、加熱温度、時間に接着力が左右
される。しかし、シリコーン粘着剤の場合は、キュアし
た時点で接着力が発現しており、このような接着力を発
現させる後工程処理が不必要のため、早期に安定した接
着力が得られる。ペリクルは紫外線照射下で使用される
ため、その構成材料には紫外線耐光性が要求される。シ
リコーン粘着剤は非常に高い紫外線耐光性を示し、メン
ブレン接着剤として高い性能を有している。
クル枠にペリクル膜を接着して製造したペリクルは、ペ
リクル膜がペリクル枠に高い接着強度で均一に接着さ
れ、該膜にシワ、歪み等の発生はなく、耐光性に優れて
いるので、長寿命で高性能なペリクルとすることができ
る。シリコーン粘着剤としては、具体的には、信越化学
工業社のＸ−４０系、ＫＲ系等が挙げられる。また、従
来用いられている接着剤の中には、後工程処理を行って
接着力を発現させる必要がある接着剤があるが、それら
の接着剤は、後工程処理の条件によって接着力が左右さ
れる。例えば、紫外線硬化樹脂の場合、紫外線の強度、
照射時間に接着力が左右されるし、フッ素樹脂を加熱し
て接着硬化する場合は、加熱温度、時間に接着力が左右
される。しかし、シリコーン粘着剤の場合は、キュアし
た時点で接着力が発現しており、このような接着力を発
現させる後工程処理が不必要のため、早期に安定した接
着力が得られる。ペリクルは紫外線照射下で使用される
ため、その構成材料には紫外線耐光性が要求される。シ
リコーン粘着剤は非常に高い紫外線耐光性を示し、メン
ブレン接着剤として高い性能を有している。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。 ［実施例１］メンブレン接着剤として、シリコーン粘着
剤［Ｘ−４０−３０６８：信越化学工業（株）製］をト
ルエン溶液に濃度５％となるように溶解し、アルミニウ
ム製のペリクル枠の上端に塗布した。その後ペリクル枠
を１５０℃で１５分間加熱し、溶媒の蒸発と粘着剤のキ
ュアを行った。この時点でメンブレン接着剤として塗布
したシリコーン粘着剤は、表面に接着性が発現してい
る。
剤［Ｘ−４０−３０６８：信越化学工業（株）製］をト
ルエン溶液に濃度５％となるように溶解し、アルミニウ
ム製のペリクル枠の上端に塗布した。その後ペリクル枠
を１５０℃で１５分間加熱し、溶媒の蒸発と粘着剤のキ
ュアを行った。この時点でメンブレン接着剤として塗布
したシリコーン粘着剤は、表面に接着性が発現してい
る。
【００１６】ペリクル膜材料として、サイトップＣＴＸ
−Ｓ［旭硝子（株）製商品名］を、その溶剤・ＣＴｓｏ
ｌｖ．１８０［旭硝子（株）製商品名］に溶解して５％
溶液とした。ついで、この溶液を直径２００ｍｍ、厚さ
１．２ｍｍの表面研磨したシリコン基板に、スピンコー
ターを用いて膜厚１μｍの透明膜として形成させ、２０
０℃で１５分間乾燥して薄膜を成膜した。基板よりこの
薄膜を剥離しペリクル膜とした。得られたペリクル膜
を、先に準備した、シリコーン粘着剤を塗布したペリク
ル枠に貼り付け、不要膜部分を切断してペリクルを完成
させた。膜とフレームとの間の接着力を測定したとこ
ろ、１．４７１ｋＮ／ｃｍ（１５０ｇｆ／ｃｍ）の値を
示した。しかし、膜が破断したので実際の接着力はこの
値以上と考えられる。
−Ｓ［旭硝子（株）製商品名］を、その溶剤・ＣＴｓｏ
ｌｖ．１８０［旭硝子（株）製商品名］に溶解して５％
溶液とした。ついで、この溶液を直径２００ｍｍ、厚さ
１．２ｍｍの表面研磨したシリコン基板に、スピンコー
ターを用いて膜厚１μｍの透明膜として形成させ、２０
０℃で１５分間乾燥して薄膜を成膜した。基板よりこの
薄膜を剥離しペリクル膜とした。得られたペリクル膜
を、先に準備した、シリコーン粘着剤を塗布したペリク
ル枠に貼り付け、不要膜部分を切断してペリクルを完成
させた。膜とフレームとの間の接着力を測定したとこ
ろ、１．４７１ｋＮ／ｃｍ（１５０ｇｆ／ｃｍ）の値を
示した。しかし、膜が破断したので実際の接着力はこの
値以上と考えられる。
【００１７】［比較例１］メンブレン接着剤として、主
成分が光反応性である紫外線硬化型アクリル樹脂を用
い、接着剤に紫外線を５分間照射してペリクル枠とペリ
クル膜とを接着した以外は、実施例１と同様にして、ペ
リクルを完成させた。ペリクル膜とペリクル枠との間の
接着力を測定したところ、０．３４３ｋＮ／ｃｍ（３５
ｇｆ／ｃｍ）の値を示した。この場合は、ペリクル枠と
ペリクル膜との間が剥離した。
成分が光反応性である紫外線硬化型アクリル樹脂を用
い、接着剤に紫外線を５分間照射してペリクル枠とペリ
クル膜とを接着した以外は、実施例１と同様にして、ペ
リクルを完成させた。ペリクル膜とペリクル枠との間の
接着力を測定したところ、０．３４３ｋＮ／ｃｍ（３５
ｇｆ／ｃｍ）の値を示した。この場合は、ペリクル枠と
ペリクル膜との間が剥離した。
【００１８】［比較例２］メンブレン接着剤としてサイ
トップＣＴＸ−Ａ［旭硝子（株）製商品名］を、それ用
の溶剤・ＣＴｓｏｌｖ．１８０［旭硝子（株）製商品
名］に溶解して、８％溶液としたものを接着剤とし、ペ
リクル枠に塗布後、溶媒を蒸発させ、ペリクル膜をペリ
クル枠に密着後接着剤を５分間加熱することでペリクル
枠とペリクル膜とを接着した以外は、実施例１と同様に
して、ペリクルを完成させた。ペリクル膜とペリクル枠
との間の接着力を測定したところ、１．４７１ｋＮ（１
５０ｇｆ／ｃｍ）の値を示した。しかし膜が破断したの
で実際の接着力はこの値以上と考えられる。実施例１と
比較例１、２の結果を表１に纏めた。
トップＣＴＸ−Ａ［旭硝子（株）製商品名］を、それ用
の溶剤・ＣＴｓｏｌｖ．１８０［旭硝子（株）製商品
名］に溶解して、８％溶液としたものを接着剤とし、ペ
リクル枠に塗布後、溶媒を蒸発させ、ペリクル膜をペリ
クル枠に密着後接着剤を５分間加熱することでペリクル
枠とペリクル膜とを接着した以外は、実施例１と同様に
して、ペリクルを完成させた。ペリクル膜とペリクル枠
との間の接着力を測定したところ、１．４７１ｋＮ（１
５０ｇｆ／ｃｍ）の値を示した。しかし膜が破断したの
で実際の接着力はこの値以上と考えられる。実施例１と
比較例１、２の結果を表１に纏めた。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１に示したように、シリコーン粘着剤を
メンブレン接着剤に用いることにより、接着力を発現さ
せる後処理の工程が不要になり、製造工程の短縮が可能
になった。また、接着力は膜の破断強度以上の値を示し
ており、非常に強力な接着が可能になった。一方、光反
応型樹脂を接着剤に使用した場合は、接着力はシリコー
ン粘着剤に及ばず、また、接着力発現に５分間を要し、
この点でもシリコーン粘着剤に及ばない。メンブレン接
着剤にサイトップＣＴＸ−Ａを用いた場合は、接着力は
シリコーン粘着剤並の値が得られたが、接着力発現にや
はり５分間要し、シリコーン粘着剤と比較すると製造工
程が複雑になる。
メンブレン接着剤に用いることにより、接着力を発現さ
せる後処理の工程が不要になり、製造工程の短縮が可能
になった。また、接着力は膜の破断強度以上の値を示し
ており、非常に強力な接着が可能になった。一方、光反
応型樹脂を接着剤に使用した場合は、接着力はシリコー
ン粘着剤に及ばず、また、接着力発現に５分間を要し、
この点でもシリコーン粘着剤に及ばない。メンブレン接
着剤にサイトップＣＴＸ−Ａを用いた場合は、接着力は
シリコーン粘着剤並の値が得られたが、接着力発現にや
はり５分間要し、シリコーン粘着剤と比較すると製造工
程が複雑になる。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ペリクル膜とペリクル枠を接着するペリクル用メンブレ
ン接着剤において、該接着剤に粘着性も持つ接着剤を使
用することにより、十分に強力な接着力が得られる。特
にシリコーン粘着剤を使用することにより、膜を貼り付
けるだけで十分に強力な接着力が得られる。つまり接着
力を発現させる工程が必要ないので、ペリクルの生産性
向上に大いに寄与する。また、シリコーン粘着剤を使用
することにより、リソグラフィーとして用いる紫外光に
対して耐光性が強く、ペリクルに使われるフッ素樹脂製
ペリクル膜に対して長期間強力な接着力を発現すること
ができる。
ペリクル膜とペリクル枠を接着するペリクル用メンブレ
ン接着剤において、該接着剤に粘着性も持つ接着剤を使
用することにより、十分に強力な接着力が得られる。特
にシリコーン粘着剤を使用することにより、膜を貼り付
けるだけで十分に強力な接着力が得られる。つまり接着
力を発現させる工程が必要ないので、ペリクルの生産性
向上に大いに寄与する。また、シリコーン粘着剤を使用
することにより、リソグラフィーとして用いる紫外光に
対して耐光性が強く、ペリクルに使われるフッ素樹脂製
ペリクル膜に対して長期間強力な接着力を発現すること
ができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 ペリクル膜をペリクル枠に接着するペリ
クル用メンブレン接着剤として粘着剤を使用することを
特徴とするリソグラフィー用ペリクル。 - 【請求項２】 該ペリクル膜の材質が、フッ素系樹脂か
らなることを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ
ー用ペリクル。 - 【請求項３】 該ペリクル膜の材質がフッ素系樹脂から
なる場合において、該フッ素系樹脂が環状パーフルオロ
エーテル基を有する含フッ素モノマー重合体であること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のリソグラ
フィー用ペリクル。 - 【請求項４】 該粘着剤としてシリコーン系粘着剤を使
用することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載
のリソグラフィー用ペリクル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000062920A JP4185232B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | リソグラフィー用ペリクル |
| KR1020010011643A KR100771409B1 (ko) | 2000-03-08 | 2001-03-07 | 포토리소그래피용 펠리클 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000062920A JP4185232B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | リソグラフィー用ペリクル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001249441A true JP2001249441A (ja) | 2001-09-14 |
| JP4185232B2 JP4185232B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=18582870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000062920A Expired - Lifetime JP4185232B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | リソグラフィー用ペリクル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4185232B2 (ja) |
| KR (1) | KR100771409B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7504192B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-03-17 | Sematech Inc. | Soft pellicle for 157 and 193 nm and method of making same |
| US7709180B2 (en) | 2003-12-19 | 2010-05-04 | Sematech, Inc. | Soft pellicle and method of making same |
| WO2022220228A1 (ja) | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム積層体及びこれを用いたペリクルの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6004582B2 (ja) | 2013-04-30 | 2016-10-12 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3037745B2 (ja) * | 1990-11-29 | 2000-05-08 | 三井化学株式会社 | ペリクル構造体 |
| KR950008845A (ko) * | 1993-09-28 | 1995-04-19 | 이헌조 | 빨래 건조기의 필터막힘 감지장치 |
| JPH08101497A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル |
-
2000
- 2000-03-08 JP JP2000062920A patent/JP4185232B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-03-07 KR KR1020010011643A patent/KR100771409B1/ko active IP Right Grant
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7504192B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-03-17 | Sematech Inc. | Soft pellicle for 157 and 193 nm and method of making same |
| US7709180B2 (en) | 2003-12-19 | 2010-05-04 | Sematech, Inc. | Soft pellicle and method of making same |
| US7732120B2 (en) | 2003-12-19 | 2010-06-08 | Sematech Inc. | Method for making soft pellicles |
| WO2022220228A1 (ja) | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム積層体及びこれを用いたペリクルの製造方法 |
| KR20230170023A (ko) | 2021-04-13 | 2023-12-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 프레임 적층체 및 이것을 이용한 펠리클의 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4185232B2 (ja) | 2008-11-26 |
| KR20010088421A (ko) | 2001-09-26 |
| KR100771409B1 (ko) | 2007-10-30 |
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