JP5767535B2 - ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法 - Google Patents
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Description
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを4.0mm、長辺の幅を6.0mm、長さを430mmとした。また、短辺は、幅を6.0mm、長さを300mmとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとした。その他の構成は、図2に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、アクリル系樹脂塗料(商品名「ファスコート」 ミリオンペイント社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140度で加熱を30分行うことでガラス転移点を100℃、鉛筆硬度を2Hとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。
10cmの棒状をサンプルとして作製し、加熱脱着法にてGC−MS(SUPELCO製)で測定した。加熱温度50℃、加熱時間60分、吸着剤 CarbopackB+CarbosieveSIII、キャリアガス(He)の条件とした。
ハンドリングジグで装着作業を5回行い、装着時の削れ等を集光灯にて目視検査した。5回とも結果が良いものを○、1回傷が生じたがペリクルとして問題ないレベルを△、1回以上削れが発生し、ペリクルとして不具合があるものを×とした。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部は曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ・深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料(商品名「エポナ」 オリジン電気社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140℃で加熱を30分行うことでガラス転移点を80℃、鉛筆硬度をHとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を21.0mm、長さを2000mmとし、短辺の幅を19.5mm、長さを1800mmとして、角部の曲率をR=0mmとした、また、枠体の厚みを6.0mmとした。それ以外の溝の長さ深さは実施例1と同様にした。塗装材には、フッ素系樹脂塗料(商品名「ファスコート(フッ素系)」ミリオンペイント社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140℃の加熱を30分行うことでガラス転移点を120℃、鉛筆硬度を5Hとした塗膜を作成した。評価結果を表1に示す。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を21.0mm、長さを2000mmとし、短辺の幅を19.5mm、長さを1800mmとして、角部の曲率をR=0mmとした、また、枠体の厚みを6.0mmとした。それ以外の溝の長さ深さは実施例1と同様にした。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料(商品名「ミリウレタン」 ミリオンペイント社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、100℃の加熱を30分行うことでガラス転移点を90℃、鉛筆硬度をFとした塗膜を作成した。評価結果を表1に示す。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを4.0mm、長辺の幅を6.0mm、長さを430mmとした。また、短辺は、幅を6.0mm、長さを300mmとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとした。その他の構成は、図2に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料(商品名「BYKETOL 住友バイエルウレタン社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140℃の加熱を30分行うことでガラス転移点を40℃、鉛筆硬度を3Bとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部の曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ・深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料(商品名「オーデックス」 神東塗料社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、120℃の加熱を20分の行うことでガラス転移点を30℃、鉛筆硬度を2Bとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部の曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ・深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、有機ケイ素系塗料(商品名「チラノコート」 宇部興産社製)を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、250℃の加熱を10分の行うことでガラス転移点を300℃、鉛筆硬度を7Hとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。
Claims (6)
- 平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、
前記開口部の周縁を形成する枠部材の表面に塗膜を形成する塗装材のガラス転移点が50℃以上350℃以下であり、
前記枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、
前記長辺及び前記短辺によって形成される少なくとも一つの角部の塗膜の厚みは、前記長辺又は前記短辺の中央部の塗膜の厚みの0.05倍〜20倍であることを特徴とするペリクル枠体。 - 前記塗膜の鉛筆硬度がB以上8H以下である請求項1に記載のペリクル枠体。
- 前記塗装材は、塗布型である請求項1又は2記載のペリクル枠体。
- 前記塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系又はフッ素系である請求項1〜3のいずれか一項記載のペリクル枠体。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とするペリクル。
- 平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体の製造方法であって、
前記開口部の周縁を形成する枠部材を準備する工程と、
前記枠部材にガラス転移点が50℃以上350℃以下である塗装材を塗布して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を加熱処理する工程とを含み、
前記枠部材を準備する工程では、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成された前記枠部材を準備し、
前記塗膜を形成する工程では、前記長辺及び前記短辺によって形成される少なくとも一つの角部の塗膜の厚みを、前記長辺又は前記短辺の中央部の塗膜の厚みの0.05倍〜20倍とすることを特徴とするペリクル枠体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011190998A JP5767535B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-09-01 | ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196227 | 2010-09-01 | ||
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JP2011190998A JP5767535B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-09-01 | ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012073610A JP2012073610A (ja) | 2012-04-12 |
JP5767535B2 true JP5767535B2 (ja) | 2015-08-19 |
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---|---|---|---|
JP2011190998A Active JP5767535B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-09-01 | ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5767535B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5517360B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2014-06-11 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル及びその製造方法 |
JP6027319B2 (ja) * | 2012-03-02 | 2016-11-16 | 旭化成株式会社 | 塗装材及びペリクル |
JP6389353B2 (ja) * | 2013-08-15 | 2018-09-12 | 旭化成株式会社 | ペリクル枠体及びペリクル |
JP6551837B2 (ja) * | 2015-08-17 | 2019-07-31 | 三井化学株式会社 | ペリクルフレーム、及びこれを含むペリクル |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2642637B2 (ja) * | 1987-08-18 | 1997-08-20 | 三井石油化学工業 株式会社 | 防塵膜 |
JPH0627641A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Tosoh Corp | ペリクル |
JP2915744B2 (ja) * | 1993-04-13 | 1999-07-05 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
JP2002258464A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Kimoto & Co Ltd | フォトマスク用保護膜転写シート |
-
2011
- 2011-09-01 JP JP2011190998A patent/JP5767535B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012073610A (ja) | 2012-04-12 |
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