JP6331292B2 - インプリント方法およびインプリント装置 - Google Patents
インプリント方法およびインプリント装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6331292B2 JP6331292B2 JP2013179027A JP2013179027A JP6331292B2 JP 6331292 B2 JP6331292 B2 JP 6331292B2 JP 2013179027 A JP2013179027 A JP 2013179027A JP 2013179027 A JP2013179027 A JP 2013179027A JP 6331292 B2 JP6331292 B2 JP 6331292B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- resin layer
- transfer substrate
- convex structure
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
また、使用するモールド(例えば、マスターモールド)がメサ構造を有し、上記の特許文献1に記載されているようにメサ構造の側面に遮光部材を備える場合、硬化後の被成形樹脂とモールドを引き離す際に、メサ構造の外側へはみ出した被成形樹脂は、未硬化の状態にある。このため、モールドとの離型時に未硬化の被成形樹脂が飛散したり尾引を生じ、モールドやパターン構造体に異物が付着して欠陥を生じるおそれがある。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、メサ構造を有するモールドおよび/または転写基板を用いてパターン構造体を高い精度で形成するためのインプリント方法、および、インプリント装置を提供することを目的とする。
尚、図面は模式的または概念的なものであり、各部材の寸法、部材間の大きさの比等は、必ずしも現実のものと同一とは限らず、また、同じ部材等を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比が異なって表される場合もある。
<第1の実施形態>
図1および図2は、本発明のインプリント方法の一実施形態を説明するための工程図である。
本実施形態では、パターン構造体が形成される領域が周囲の領域よりも突出した状態であるメサ構造を有する転写基板を使用する。図示例では、転写基板11は、基部12の一方の面12aに位置する凸構造部13を有しており、この凸構造部13の表面13aはパターン構造体が形成される領域であり、周囲の領域12aよりも突出した状態であるメサ構造となっている(図1(A))。尚、転写基板に存在するメサ構造は1つのみであってよく、また、所定の間隔を隔てて複数並んで存在していてもよい。さらにメサ構造の突出状態は2段以上の多段であってもよい。
但し、後述する第1検査工程での被成形樹脂層32のはみ出しの有無の検査において、転写基板11に検査光を照射して、その透過光を利用して計測を行う場合、あるいは、転写基板11側から被成形樹脂層32の画像情報を得る場合、転写基板11は検査光による計測や撮像装置による撮像が可能であるような光透過性を具備していることが必要である。あるいは、転写基板11に検査光を照射して、その反射光を利用して計測を行う場合には、転写基板11は光反射性を具備していることが必要である。また、後述する硬化工程において、転写基板11側から光照射を行う場合、転写基板11は硬化処理が可能であるような光透過性を具備していることが必要である。
本発明では、まず、樹脂供給工程にて、上記のような転写基板11の凸構造部13上の所望の領域に、インクジェット方式により、被成形樹脂31の液滴を吐出して供給する(図1(A))。転写基板11に供給する被成形樹脂31の液滴の個数、隣接する液滴の距離は、個々の液滴の滴下量、必要とされる被成形樹脂の総量、後工程である接触工程におけるモールド21と転写基板11との間隙等から適宜設定することができる。
次に、接触工程にて、転写基板11とモールド21を近接させて、この転写基板11とモールド21との間に被成形樹脂31の液滴を展開して被成形樹脂層32を形成する(図1(B))。使用するモールド21は、図示例では、基材22と、基材22の一方の面22aに設定された凹凸構造領域Aに位置する凹凸構造24を有している。また、モールド21の基材22の材質は、インプリントに使用する被成形樹脂が光硬化性である場合には、これらを硬化させるための照射光が透過可能な材料を用いることができ、例えば、石英ガラス、珪酸系ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、アクリルガラス等のガラス類の他、サファイアや窒化ガリウム、更にはポリカーボネート、ポリスチレン、アクリル、ポリプロピレン等の樹脂、あるいは、これらの任意の積層材を用いることができる。また、使用する被成形樹脂が光硬化性ではない場合や、転写基板11側から被成形樹脂を硬化させるための光を照射可能である場合には、基材22は光透過性を具備しなくてもよく、上記の材料以外に、例えば、シリコンやニッケル、チタン、アルミニウム等の金属およびこれらの合金、酸化物、窒化物、あるいは、これらの任意の積層材を用いることができる。
次いで、第1検査工程にて、転写基板11の凸構造部13の外側への被成形樹脂層32のはみ出しの有無を検査して、その後の工程を判断する。図1(B)では、モールド21と転写基板11との間に形成された被成形樹脂層32にはみ出し部分33が生じている状態を示しており、このはみ出し部分33は、転写基板11の凸構造部13の側壁に位置している。
この第1検査工程は、転写基板11とモールド21との間における被成形樹脂31の液滴の展開が完了して接触工程が終了(ステップS100)した状態で開始する。第1検査工程では、まず、転写基板11の凸構造部13の外側への被成形樹脂層32のはみ出しの有無を判定する(ステップS101)。
この判定の結果、被成形樹脂層32のはみ出しが認められない場合(No)には、硬化工程への進行を決定し(ステップS102)、第1検査工程を終了する(ステップS106)。
一方、判定の結果、被成形樹脂層32のはみ出しが認められる場合(Yes)には、被成形樹脂層32のはみ出し部分33が次の工程以降で重大欠陥の要因となるか否かを判定する(ステップS103)。この判定は、被成形樹脂層32のはみ出しが生じたことにより、モールド21の凹凸構造24への被成形樹脂の充填不良等の欠陥が発生し、この欠陥箇所が、最終製品における欠陥等に結びつくか否かを判断して行われる。
また、上記の判定(ステップS103)で、被成形樹脂層32のはみ出しが次の工程以降で重大欠陥とならないと判断された場合(No)、後述する転写樹脂層34とモールド21との引き離し条件を設定して硬化工程への進行を決定し(ステップS105)、第1検査工程を終了する(ステップS106)。
この検査では、転写基板11の凸構造部13の周縁部の設計情報、あるいは、この設計情報に基づき予測された検査シミュレーション結果、あるいは、インプリント前に予め検出した転写基板11の凸構造部13の周縁部の位置情報を基準情報とし、被成形樹脂層32の周縁部の位置を計測した結果と基準情報とを対比することにより、はみ出しの有無、位置を検出することができる。
(1)検出光を照射して反射光を受光部で検出しながら検査対象を走査し、反射光の検出の有無、および/または、反射光の反射強度の低下に基づいて、被成形樹脂層32の周縁部を検出する。
(2)反射率、透過率、屈折率等の光学特性の変化に基づいて、被成形樹脂層32の周縁部を検出する。転写基板11の凸構造部13に検出光を照射した場合の反射率、透過率、屈折率等の光学特性は、被成形樹脂層32が存在する領域と、被成形樹脂層32が存在しない領域とで相違しており、この相違を検出することにより、被成形樹脂層32の周縁部を検出する。
(3)画像情報の差分や変化に基づいて、被成形樹脂層32の周縁部を検出する。
さらに、被成形樹脂層32のはみ出しの存在が認められた場合、上記のような検査手段で得られた位置情報を更に処理して、例えば、辺の真直度や対向する辺との平行度、辺の距離、凸構造部を上面から見たときの頂点の角度の変化から、被成形樹脂層32の形状の情報を生成してもよい。これにより、被成形樹脂層32のはみ出し部位の形状、寸法を把握することができ、例えば、被成形樹脂の液滴の供給位置の修正等、工程管理にフィードバックすることができる。例えば、辺の距離が変化して大きくなったという情報は、はみ出しが生じて、辺の両端に存在する点の位置が凸構造体の外側へずれたことを意味する。したがって、このような情報が生成された場合、凸構造体の頂点方向に向かう被成形樹脂の量が減少するような調整を行うようにフィードバックすることができる。
尚、上記のようにインプリント前に予め転写基板11の凸構造部13の周縁部を検出する方法としては、例えば、上記の(1)〜(3)の方法が挙げられ、さらに、原子間力顕微鏡(AMF)等による接触計測により、凸構造部13の周縁部を検出する方法が挙げられる。
次いで、硬化工程にて、被成形樹脂層32を硬化させて、モールド21の凹凸構造24が転写された転写樹脂層34とする(図1(C))。この硬化工程では、使用する被成形樹脂が光硬化性樹脂であれば、モールド21側から光照射を行うことにより被成形樹脂層32を硬化させることができる。また、転写基板11が光透過性の材料からなる場合、転写基板11側から光照射を行ってもよく、さらに、転写基板11とモールド21の両側から光照射を行ってもよい。一方、使用する被成形樹脂が熱硬化性樹脂であれば、被成形樹脂層32に対して加熱処理を施すことにより硬化させることができる。
次に、離型工程にて、転写樹脂層34とモールド21を引き離して、転写樹脂層34であるパターン構造体41を転写基板11上に位置させた状態とする(図1(D))。この離型工程では、上述の第1検査工程において、転写樹脂層34とモールド21との引き離し条件が設定されている場合には、この設定された条件で引き離しを行う。図示例では、形成されたパターン構造体41は、上述の被成形樹脂層32のはみ出し部分33に起因するはみ出し部位42を有している。
尚、図1に示される例では、パターン構造体41が凸部を有しているが、後述するように、パターン構造体41が凹部を有するものであってよいことは、勿論である。
本発明のインプリント方法では、上記の第1検査工程において被成形樹脂層32のはみ出しが認められた場合に、離型工程の後に、モールド21に異物が付着しているか否か、および、転写基板11の凸構造部13上に位置するパターン構造体41に異物が付着しているか否かを検査して、その後の工程を判断する第2検査工程を有するものであってもよい。
この第2検査工程は、離型工程が終了(ステップS200)し、パターン構造体41が転写基板11上に位置する状態で開始する。第2検査工程では、まず、モールド21に異物が付着しているか否かを判定する(ステップS201)。尚、本発明において、異物とは、パターン構造体41(転写樹脂層34)のはみ出し部位(図1(D)、図5(A)〜図5(C)に示されるはみ出し部位42)から分離飛散した硬化物、延伸した紐状の硬化物、または瘤状の固化物を意味する。
上記の判定(ステップS201)で、モールド21に異物Pの付着が認められる場合(Yes)、転写基板11の凸構造部13上に位置するパターン構造体41に異物が付着しているか否かを判定する(ステップS206)。そして、この判定で、凸構造部13上に位置するパターン構造体41への異物の付着は認められない場合(No:図5(B)参照)、インプリントの中止と、パターン構造体を用いた次工程の進行を決定する(ステップS207)。これにより検査工程を終了する(ステップS210)。図5(B)に示される例では、パターン構造体41のはみ出し部位42の一部がモールド21に異物Pとして付着している。このようにモールド21に異物Pが付着していると、図示のように、凹凸構造24ではなく、凹凸構造24から離れた部位に存在する場合であっても、その後のインプリント工程中に、凹凸構造24が存在する凹凸構造領域に異物Pが付着して、モールドやパターン構造体に損傷を与えるおそれがあるため、モールド21を使用したインプリントの中止を決定する。この場合、モールド21の洗浄処理等を行い、その後、インプリントを再開することができる。
まず、モールド21への異物付着の有無の検査では、モールド21の凹凸構造領域A(図1(B)参照)に位置する凹凸構造24の設計情報、および、凹凸構造領域Aの周囲の設計情報、あるいは、インプリント前に予め検出したモールド21が有する凹凸構造24の位置情報を基準情報とし、凹凸構造領域Aが設定されたモールド21の面22aを計測し、この結果と基準情報とを対比することにより、異物の有無、存在位置を検出することができる。
(A)検出光を照射して反射光を受光部で検出しながら検査対象を走査し、反射光の検出の有無、および/または、反射光の反射強度の低下に基づいて、異物の存在を検出する。
(B)反射率、透過率、屈折率等の光学特性の変化に基づいて、異物の存在を検出する。モールド21に検出光を照射した場合の反射率、透過率、屈折率等の光学特性は、異物の有無により相違しており、この相違を検出することにより、異物の存在を検出する。
(C)画像情報の差分や変化に基づいて、異物の存在を検出する。
(D)原子間力顕微鏡(AMF)等による接触計測により、異物の存在を検出する。
尚、上記のようにモールド21の凹凸構造の位置情報を得るために、インプリント前に予めモールド21が有する凹凸構造を検出する方法としては、例えば、上記の(A)〜(D)の方法が挙げられる。
図8は、本発明のインプリント方法の他の実施形態を説明するための工程図である。
本実施形態では、図8(A)に示されるように、メサ構造を有していない平板形状の転写基板61を使用する。このような転写基板61の材質は、上述の転写基板11と同様とすることができる。また、本実施形態では、凹凸構造を有する領域が周囲の領域よりも突出した状態であるメサ構造を有するモールドを使用する。図示例では、モールド71は、基部72の一方の面72aに位置する凸構造部73を有しており、この凸構造部73の表面73aは凹凸構造74を有する領域であり、周囲の領域72aよりも突出した状態であるメサ構造となっている。このようなモールド71の材質は、上述のモールド21と同様とすることができる。
但し、後述の第1検査工程における被成形樹脂層82のはみ出しの有無の検査では、転写基板61あるいはモールド71の少なくとも一方が光透過性を具備する必要があり、上述の転写基板61の材質、モールド71の材質は、これを考慮して設定する。
転写基板61上の所望の領域に、インクジェット方式により、被成形樹脂81の液滴を吐出して供給する(図8(A))。転写基板61に供給する被成形樹脂81の液滴の個数、隣接する液滴の距離は、個々の液滴の滴下量、必要とされる被成形樹脂の総量、後工程である接触工程におけるモールド71と転写基板61との間隙等から適宜設定することができる。
(接触工程)
次に、転写基板61とモールド71を近接させて、転写基板61とモールド71との間に被成形樹脂81の液滴を展開して被成形樹脂層82を形成する(図8(B))。
次いで、第1検査工程にて、モールド71の凸構造部73の外側への被成形樹脂層82のはみ出しの有無を検査して、その後の工程を判断する。図8(B)では、モールド71と転写基板61との間に形成された被成形樹脂層82にはみ出し部分83が生じている状態を示しており、このはみ出し部分83は、転写基板61の表面61a上に濡れ広がりを生じ、一部がモールド71の凸構造部73の側壁に位置している。
この第1検査工程は、転写基板61とモールド71との間における被成形樹脂81の液滴の展開が完了して接触工程が終了(ステップS100)した状態で開始する。第1検査工程では、まず、モールド71の凸構造部73の外側への被成形樹脂層82のはみ出しの有無を判定する(ステップS101)。
この判定の結果、被成形樹脂層82のはみ出しが認められない場合(No)には、硬化工程への進行を決定し(ステップS102)、第1検査工程を終了する(ステップS106)。
また、上記の判定(ステップS103)で、被成形樹脂層82のはみ出し部分83が次の工程以降で重大欠陥とならないと判断された場合(No)、後述する転写樹脂層84とモールド71との引き離し条件を設定して硬化工程への進行を決定し(ステップS105)、第1検査工程を終了する(ステップS106)。
尚、上述のようなモールド71の凸構造部73の外側への被成形樹脂層82のはみ出しの有無を検査する方法は、上述の第1の実施形態の第1検査工程で説明した方法と同様とすることができる。
次いで、被成形樹脂層82を硬化させて、モールド71の凹凸構造74が転写された転写樹脂層84とする(図8(C))。この硬化工程では、使用する被成形樹脂が光硬化性樹脂であれば、モールド71側から光照射を行うことにより被成形樹脂層82を硬化させることができる。また、転写基板61が光透過性の材料からなる場合、転写基板61側から光照射を行ってもよく、さらに、転写基板61とモールド71の両側から光照射を行ってもよい。一方、使用する被成形樹脂が熱硬化性樹脂であれば、被成形樹脂層82に対して加熱処理を施すことにより硬化させることができる。
次に、離型工程にて、転写樹脂層84とモールド71を引き離して、転写樹脂層84であるパターン構造体91を転写基板61上に位置させた状態とする(図8(D))。この離型工程では、上述の第1検査工程において、転写樹脂層84とモールド71との引き離し条件が設定されている場合には、この設定された条件で引き離しを行う。図示例では、形成されたパターン構造体91は、上述の被成形樹脂層32のはみ出し部分33に起因するはみ出し部位92を有している。
この第2検査工程は、離型工程が終了(ステップS200)し、パターン構造体91が転写基板61上に位置する状態で開始する。第2検査工程では、まず、モールド71に異物が付着しているか否かを判定する(ステップS201)。
この判定(ステップS201)の結果、モールド71の凸構造部73への異物の付着が認められない場合(No)、転写基板61の領域B上に位置するパターン構造体91に異物が付着しているか否かを判定する(ステップS202)。そして、この判定で、パターン構造体91への異物の付着も認められない場合(No:図8(D)参照)には、インプリントの続行と、パターン構造体を用いた次工程の進行を決定し(ステップS203)、第2検査工程を終了する(ステップS210)。
尚、上述のような、モールド71への異物付着の有無、パターン構造体91への異物付着の有無を検査する方法は、上述の第1の実施形態と同様とすることができる。
図10〜図12は、本発明のインプリント方法の他の実施形態を説明するための図である。
本実施形態では、メサ構造を有している転写基板、および、メサ構造を有しているモールドを使用する。
また、図11は、本実施形態において、接触工程が終了した状態の他の例を示す図である。この例では、転写基板11′の凸構造部13′の表面13′aとモールド71′の凸構造部73′の表面73′aとが同等である場合を示している。この場合も、モールド71′と転写基板11′との間に展開した被成形樹脂層32′にはみ出しが生じると、このはみ出し部分33′は、転写基板11′の凸構造部13′の側壁に濡れ広がる。このため、上述の第1の実施形態(転写基板はメサ構造を有し、モールドはメサ構造を有していない図1に示される例)と同様と見なすことができる。したがって、接触工程後の第1検査工程は、上述の図2、および、図3を参照して説明した第1検査工程と同様とすることができ、ここでの説明は省略する。
また、離型工程後の第2検査工程を有する場合、上述の図1(D)、図5(A)〜図5(C)、図6(A)〜図6(D)、図7(A)〜図7(D)、および、図4を用いて説明した第2検査工程と同様とすることができ、ここでの説明は省略する。
また、離型工程後の第2検査工程を有する場合、上述の図8(D)、図9(A)〜図9(C)、および、図4を用いて説明した第2検査工程と同様とすることができ、ここでの説明は省略する。
尚、上述のインプリント方法の実施形態は例示であり、本発明のインプリント方法はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明では、転写基板としてウエハを使用し、インプリントリソグラフィーにより半導体装置を製造することができる。
図13は本発明のインプリント装置の一実施形態を示す側面概略構成図である。
本発明のインプリント装置は、凹凸構造を有する領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有するモールド、および/または、パターン構造体が形成される領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有する転写基板を用いたインプリントを実施することができるインプリント装置である。この図13では、上述の本発明のインプリント方法で説明したメサ構造を有する転写基板11と、メサ構造を有していないモールド21を使用する例としている。
図13において、本発明のインプリント装置101は、モールド21を保持するためのモールド保持部102と、転写基板11を保持するための基板保持部104と、転写基板11上に被成形樹脂を供給する樹脂供給部106と、第1検査部108を有している。尚、図13では、上述の本発明のインプリント方法における接触工程が行われる状態を示しているが、転写基板11上に供給されている被成形樹脂は省略している。
インプリント装置101を構成するモールド保持部102は、モールド21を保持するものであり、その保持機構は、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等であってよく、特に制限はない。また、モールド保持部102は、昇降機構103により図示の矢印Z方向で昇降可能とされていてもよい。このようなモールド保持部102の上方には、被成形樹脂として光硬化性樹脂を使用した場合の樹脂硬化のための図示しない光源、光学系が配設されていてもよい。
インプリント装置101を構成する基板保持部104は、転写基板11を保持するものであり、転写基板11の保持機構は、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等であってよく、特に制限はない。この基板保持部104は、図示しない駆動機構部によってXYステージ105上を水平面内で移動可能とされている。したがって、図示例では、インプリントが実施される位置に基板保持部104が存在するが、XYステージ105上を水平面内で移動して、樹脂供給部106の下方の供給位置等、所望の位置に移動可能である。
インプリント装置101を構成する樹脂供給部106は、基板保持部104に保持された転写基板11上に被成形樹脂の液滴を供給するものであり、インクジェット装置(図示例ではインクジェットヘッド107のみを示している)を備えている。液滴供給部106が備えるインクジェット装置は、基板保持部104に保持された転写基板11上に被成形樹脂の液滴を供給するためのインクジェットヘッド107の所望の動作、例えば、XYステージ105の水平面に平行な面内での往復動作等を可能とする駆動部、インクジェットヘッド107へのインク供給部、および、インクジェットヘッド107と駆動部やインク供給部を制御する制御部等を具備している。
インプリント装置1を構成する第1検査部108は、転写基板11とモールド21を近接させて、転写基板11とモールド21との間に被成形樹脂を展開して被成形樹脂層を形成した状態で、転写基板11が有する凸構造部13の外側への被成形樹脂層のはみ出しの有無の検査を行うための計測部109を備えている。本実施形態では、第1検査部108は、図14に示すような処理ユニット121を備えている。図14において、第1検査部108が備える処理ユニット121は、計測部109による計測情報を取得する取得部121Aと、転写基板11とモールド21の情報を記憶する記憶部121Bと、取得部121Aからの情報と記憶部121Bからの情報に基づいてモールドおよびパターン構造体の状態を特定する特定部121Cと、この特定部121Cで生成された情報に基づいて、計測部109による追加の計測、インプリントの続行、中止、および、パターン構造体の使用、廃棄等を判断する判断部121Dと、判断部121Dでの判断結果を外部出力装置122を用いて出力する出力部121Eと、を有している。また、特定部121Cは、取得部121Aからの情報を更に処理して、例えば、辺の真直度や対向する辺との平行度、辺の距離、凸構造部を上面から見たときの頂点の角度の変化から、検査対象の形状の情報を生成するものであってもよい。これにより、被成形樹脂層のはみ出し部位の形状、寸法を把握することができ、樹脂供給部106における被成形樹脂の液滴の供給位置の修正の要否等を、判断部121Dによって判断可能とすることができる。
また、転写基板11が有する凸構造部13の外側への被成形樹脂層のはみ出しの有無を検査するための計測部109は、上記の照射部109a、受光部109bに代えて、転写基板11の表面状態を画像情報として取り込む撮像部を、近接状態の転写基板11とモールド21の上方あるいは下方の少なくとも一方に位置するように備え、さらに、これを制御する制御部を有するものであってもよい。この場合、画像情報の差分や変化に基づいて、上述の処理ユニット121により、被成形樹脂層の周縁部を検出することができる。
上述のインプリント装置101では、第1検査部108が、モールド21とパターン構造体との離型が終了した後に、モールド21に付着する異物の有無の検出、転写基板に形成されるパターン構造体に付着する異物の有無の検出を行う第2検査部を兼ねてもよい。第1検査部108が、このような異物の有無の検査を行う第2検査部を兼ねる場合、その構成は、上述の計測部109、処理ユニット121を備える構成と同じものであってよい。この第1検査部(第2検査部)108では、計測部109からの計測情報が、処理ユニット121の取得部121Aを介して特定部121Cへ送られる。特定部121Cでは、取得部121Aからの情報と、記憶部121Bに記憶されているモールド21の凹凸構造の設計情報等に基づいて、モールド21における異物付着の有無、パターン構造体における異物付着の有無を検出する。この特定部121Cで生成された情報に基づいて、判断部121Dは、インプリントの続行、中止、および、パターン構造体の使用、廃棄等を判断し、判断結果を出力部121Eより出力装置122を用いて出力することができる。
このようなインプリント装置101は、上述の転写基板61のようなメサ構造を有していない平板形状の転写基板を使用し、上述のモールド71のようなメサ構造を有するモールドを使用する場合も、第1検査部108が上記と同様の動作をなす。また、使用する転写基板とモールドとが共にメサ構造を有する場合も同様である。
上述のような本発明のインプリント装置は、メサ構造を有するモールドおよび/または転写基板を用いたインプリント方法により、高精度のパターン構造体を安定して作製することができるとともに、モールドの破損等を防止することができる。
尚、上記のインプリント装置101′では、計測部109′を構成する照射部109′aと受光部109′bは、検査対象での検査光の反射を計測に利用する位置に配設されていが、照射部109′aと受光部109′bは、検査対象における検査光の透過を利用する位置に配設されていてもよい。
13…凸構造部
21,71…モールド
73…凸構造部
32,82…被成形樹脂層
33,83…被成形樹脂層のはみ出し部分
11′…転写基板
13′…凸構造部
71′…モールド
73′…凸構造部
101,101′…インプリント装置
102…モールド保持部
104…基板保持部
106…樹脂供給部
108…第1検査部(第2検査部)
109,109′…計測部
121…処理ユニット
Claims (3)
- パターン構造体が形成される領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有する転写基板の前記凸構造部上に被成形樹脂を供給する樹脂供給工程と、
凹凸構造を有するモールドと前記転写基板とを近接させて、前記モールドと前記転写基板との間に前記被成形樹脂を展開させて被成形樹脂層を形成する接触工程と、
前記転写基板の前記凸構造部の外側への前記被成形樹脂層のはみ出しの有無を検査して、その後の工程を判断する第1検査工程と、
前記被成形樹脂層を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、
前記転写樹脂層と前記モールドとを互いに引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記転写基板上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、
前記第1検査工程では、前記被成形樹脂層のはみ出しが検出されない場合、前記硬化工程への進行を決定し、前記被成形樹脂層のはみ出しが検出された場合、前記硬化工程の中止を決定することを特徴とするインプリント方法。 - 被成形樹脂を転写基板に供給する樹脂供給工程と、
凹凸構造を有する領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有するモールドと前記転写基板とを近接させて、前記モールドと前記転写基板との間に前記被成形樹脂を展開させて被成形樹脂層を形成する接触工程と、
前記モールドの前記凸構造部の外側への前記被成形樹脂層のはみ出しの有無を検査して、その後の工程を判断する第1検査工程と、
前記被成形樹脂層を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、
前記転写樹脂層と前記モールドとを互いに引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記転写基板上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、
前記第1検査工程では、前記被成形樹脂層のはみ出しが検出されない場合、前記硬化工程への進行を決定し、前記被成形樹脂層のはみ出しが検出された場合、前記硬化工程の中止を決定することを特徴とするインプリント方法。 - 凹凸構造を有する領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有するモールド、および/または、パターン構造体が形成される領域が周囲の領域よりも突出した凸構造部をなすメサ構造を有する転写基板を用いたインプリントを実施することができるインプリント装置において、
前記モールドを保持するためのモールド保持部と、
前記転写基板を保持するための基板保持部と、
前記転写基板に被成形樹脂を供給する樹脂供給部と、
前記モールドと前記転写基板とを近接させて、前記モールドと前記転写基板との間に前記被成形樹脂を展開させて被成形樹脂層を形成した状態で、前記モールドおよび/または前記転写基板が有する前記凸構造部の外側への前記被成形樹脂層のはみ出しの有無の検査を行う第1検査部と、
を少なくとも備え、
前記第1検査部は、計測部と、該計測部による計測情報を取得する取得部と、前記モールドおよび前記転写基板の情報を記憶する記憶部と、前記取得部からの情報および前記記憶部からの情報に基づいて前記被成形樹脂層の状態を特定する特定部と、前記特定部で生成された情報に基づいてその後の工程を判断する判断部とを有し、
前記判断部は、前記特定部で生成された情報が前記被成形樹脂層のはみ出しが検出されないとの情報である場合、前記被成形樹脂層を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程への進行を決定し、前記特定部で生成された情報が前記被成形樹脂層のはみ出しが検出されたとの情報である場合、前記硬化工程の中止を決定することを特徴とするインプリント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013179027A JP6331292B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | インプリント方法およびインプリント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013179027A JP6331292B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | インプリント方法およびインプリント装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050217A JP2015050217A (ja) | 2015-03-16 |
JP6331292B2 true JP6331292B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=52700025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013179027A Active JP6331292B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | インプリント方法およびインプリント装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6331292B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6119474B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2017-04-26 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
JP6314609B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-04-25 | 凸版印刷株式会社 | インプリントレプリカモールド及びインプリントレプリカモールドの製造方法 |
JP6403627B2 (ja) | 2015-04-14 | 2018-10-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
JP6541518B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-07-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP6643022B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2020-02-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、異物検出方法および物品製造方法 |
KR101816838B1 (ko) * | 2016-07-08 | 2018-01-09 | 주식회사 기가레인 | 나노 임프린트용 레플리카 몰드, 그 제조방법 및 나노 임프린트용 레플리카 몰드 제조장치 |
US10288999B2 (en) * | 2016-12-20 | 2019-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for controlling extrusions during imprint template replication processes |
JP6957917B2 (ja) * | 2017-03-21 | 2021-11-02 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド用マスクブランク及びその製造方法、インプリントモールド及びその製造方法、並びにインプリント方法 |
JP2020096138A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、情報処理装置及び物品の製造方法 |
JP7318224B2 (ja) * | 2019-02-06 | 2023-08-01 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド用基板、インプリントモールド、およびインプリントモールド用基板の製造方法 |
JP7270417B2 (ja) * | 2019-03-08 | 2023-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置の制御方法、インプリント装置、および物品製造方法 |
JP7465307B2 (ja) | 2021-10-01 | 2024-04-10 | キヤノン株式会社 | シミュレーション装置、シミュレーション装置の制御方法、およびプログラム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06270166A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-27 | Nikon Corp | 樹脂接合型非球面レンズの製造方法及びそのレンズ |
JP2011009250A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Toshiba Corp | 基板処理方法、半導体装置の製造方法及びインプリント装置 |
JP4963718B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2012-06-27 | キヤノン株式会社 | インプリント方法及びインプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP2011240662A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Toshiba Corp | インプリント方法、インプリント装置及びプログラム |
JP2012190877A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Fujifilm Corp | ナノインプリント方法およびそれに用いられるナノインプリント装置 |
-
2013
- 2013-08-30 JP JP2013179027A patent/JP6331292B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015050217A (ja) | 2015-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6331292B2 (ja) | インプリント方法およびインプリント装置 | |
JP6255789B2 (ja) | インプリント方法およびインプリント装置 | |
JP4660581B2 (ja) | パターン形成方法 | |
KR101741611B1 (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
JP6322158B2 (ja) | インプリント方法及び装置、物品の製造方法、及びプログラム | |
TWI392578B (zh) | 即時壓印程序缺陷診斷技術 | |
JP4679620B2 (ja) | テンプレート検査方法および欠陥検査装置 | |
JP6823374B2 (ja) | パターンの欠陥の分析を行う方法、インプリント装置、及び物品の製造方法 | |
KR20160112961A (ko) | 임프린트 시스템 및 물품의 제조 방법 | |
JP6562707B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 | |
TW202105470A (zh) | 壓印裝置及物品的製造方法 | |
KR101869671B1 (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
KR102292951B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP2008116272A (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 | |
JP2013058697A (ja) | テンプレート洗浄装置 | |
TWI709161B (zh) | 壓印裝置及物品的製造方法 | |
JP6450105B2 (ja) | インプリント装置及び物品製造方法 | |
JP5241343B2 (ja) | 微細構造転写装置 | |
KR101980497B1 (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 | |
JP2019062164A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、インプリント材の配置パターンの決定方法、および物品の製造方法 | |
JP6413507B2 (ja) | インプリント方法およびインプリント装置 | |
JP2019186257A (ja) | インプリント装置の管理方法、インプリント装置、平坦化層形成装置の管理方法、および、物品製造方法 | |
JP2019192753A (ja) | 成形装置及び物品の製造方法 | |
KR20140053771A (ko) | 검출 장치, 리소그래피 장치, 물품을 제조하는 방법 및 검출 방법 | |
JP7465146B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置、判定方法及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170404 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171031 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6331292 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |