JP6119474B2 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Description
〔インプリント装置〕
図1は、本発明の一実施形態に係るインプリント装置を示す概略構成図である。
本実施形態において使用可能なインプリントモールド6としては、上記のような態様に限定されるものではなく、例えば、図2に示すように、平板状の基材61の主面61a側に微細凹凸パターン63が形成されているものであってもよく、その場合においては被転写基板5としてメサ構造部を有する基板を用いることが好ましい。
図1に示す構成を有するインプリント装置1を用いてインプリント処理を行い、被転写基板5上にインプリント樹脂7により構成される微細凹凸パターン構造体を形成した。インプリントモールド6としては、そのパターン形成面62aの表面状態が良好なもの(未使用のインプリントモールド)を使用した。
インプリントモールド6として、複数回のインプリント処理に使用され、そのパターン形成面62aの表面状態が悪化しているもの(洗浄後、クリーンルーム内に数時間放置されたもの)を用いた以外は、実施例1と同様にしてインプリント処理を行い、被転写基板5上にインプリント樹脂7により構成される微細凹凸パターン構造体を形成した。
2…インプリント部
21…基板ステージ(支持台)
22…モールドホルダー
3…撮像部
4…制御部
5…被転写基板
6…インプリントモールド
61…基部(基材)
61a…主面
62…凸構造部(メサ構造部)
62a…パターン形成面
63…微細凹凸パターン
7…インプリント樹脂
Claims (7)
- 基材の主面側のパターン領域に微細凹凸パターンが形成されてなるインプリントモールドを保持するモールドホルダーと、
表面にインプリント樹脂が塗布され、前記微細凹凸パターンが転写される被転写基板を支持する支持台と、
前記インプリントモールドにおける前記主面の対向面側又は前記被転写基板における前記インプリント樹脂の塗布面の対向面側から、前記被転写基板上に濡れ広がる前記インプリント樹脂を撮像可能な撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動を示す画像に基づいて、前記インプリント樹脂を硬化させるか否かを判断する制御部と
を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記撮像部は、前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記被転写基板上に塗布された前記インプリント樹脂とが接触した後、前記被転写基板上に濡れ広がる前記インプリント樹脂の動画像を撮像することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動を示す画像に基づいて、前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記インプリント樹脂とを接触させた後の気泡の消失平均速度を算出し、当該気泡の消失平均速度に基づいて、前記インプリント樹脂を硬化させるか否かを判断することを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 微細凹凸パターンが基材の主面側のパターン領域に形成されてなるインプリントモールドを用いて、被転写基板上のインプリント樹脂に前記凹凸パターンを転写するインプリント方法であって、
インクジェット法により前記インプリント樹脂を前記被転写基板上に滴下する工程と、
前記インプリントモールドの微細凹凸パターンを前記被転写基板上の前記インプリント樹脂に接触させる工程と、
前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記インプリント樹脂とを接触させた後の、前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動を観察する工程と、
前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動の観察結果に基づいて、前記インプリント樹脂を硬化させるか否かを判断する工程と
を含むことを特徴とするインプリント方法。 - 前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記インプリント樹脂とを接触させた後、前記インプリントモールドにおける前記主面の対向面側又は前記被転写基板における前記インプリント樹脂の滴下面の対向面側から、前記被転写基板上に濡れ広がる前記インプリント樹脂を撮像し、前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動を観察することを特徴とする請求項4に記載のインプリント方法。
- 前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記インプリント樹脂とを接触させた後、前記インプリントモールドにおける前記主面の対向面側又は前記被転写基板における前記インプリント樹脂の滴下面の対向面側から、前記被転写基板上に濡れ広がる前記インプリント樹脂の動画像を撮像し、前記インプリント樹脂の濡れ広がり挙動を観察することを特徴とする請求項4又は5に記載のインプリント方法。
- 前記インプリントモールドの微細凹凸パターンと前記インプリント樹脂とを接触させた後の気泡の消失平均速度を求め、当該気泡の消失平均速度に基づいて、前記インプリント樹脂を硬化させるか否かを判断することを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載のインプリント方法。
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