JP6314609B2 - インプリントレプリカモールド及びインプリントレプリカモールドの製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、半導体デバイス、光学素子、配線回路、データストレージメディア(ハードディスク、光学メディアなど)、医療用部材(分析検査用チップ、マイクロニードルなど)、バイオデバイス(バイオセンサ、細胞培養基板など)、精密検査機器用部材(検査プローブ、試料保持部材など)、ディスプレイパネル、パネル部材、エネルギーデバイス(太陽電池、燃料電池など)、マイクロ流路、マイクロリアクタ、MEMSデバイス、インプリントモールド、フォトマスクなどの用途が挙げられる。
インプリント法は、インプリントモールドと呼ばれる原版を、樹脂などの転写材料に型押しし、その状態で転写材料を硬化させることで、凹凸パターンの転写を行うものである。繰り返し転写をすることで、容易に微細な凹凸パターンを形成することができる。
また、例えば、特許文献2では、露光により転写材料を硬化させる光インプリント法が提案されている。
まず、図1(a)に示すように、転写基板111上に転写材料112を積層し、凹凸パターンが形成されたインプリントモールド110を対向して配置する。
次に、図1(b)に示すように、転写材料112とインプリントモールド110とを接触させ、UV光113を照射して転写材料112を硬化させる。
次に、図1(c)に示すように、転写基板111からインプリントモールド110を剥離し遠ざけることで、転写パターン114を有するパターン成形体を得る。
また、図1(d)に示すように、転写基板111上には、インプリントモールド110の凸部に相当する部分が薄い樹脂膜(以下、残膜と記す)として残るため、O2RIE法などにより、残膜を除去しても良い。
また、図1(e)に示すように、転写基板111に形成された樹脂115をマスクとして、CF4ガスなどを用いて転写基板111をドライエッチングし、転写パターンを形成した基板116を得る。
まず、パターンが凸部を有するモールド120の場合(図2(a1))、パターン領域外が凹部であるため、転写材料122である樹脂がパターン領域外へも使用されるため(図2(b1))、残膜が低い転写パターン123が形成される(図2(c1))。それに対し、パターンが凹部を有するモールド124の場合(図2(a2))、パターン領域外が凸部であるため、転写材料122である樹脂はパターン領域のみに使用されるため(図2(b2))、残膜が高い転写パターン125が形成される(図2(c2))。この凹凸異なる形状を有するモールドを用いて、転写材料122へパターンを形成する場合、形成されたパターンの残膜高さが異なる。
また、O2RIE法などによる残膜を除去する工程においては、残膜高さが異なるため残膜除去条件も異なるという問題が生じる。複数の製造ラインを設ける場合、それぞれに応じた条件を設定する必要が生じ、工程管理の面からも不利である。
また、基材131としては、使用するインプリント法に適するように適宜選択することができる。例えば、石英ガラス、シリコンなどが挙げられる。
また、基材131上面を覆うように転写パターン132のパターン領域外を残しても良い。
以上より、基材131上にインプリントモールド130とパターン領域外が同じ形状を有する転写パターン135を持つレプリカモールドを製造することができる。
以上より、インプリントモールド140とパターン領域外が同じ形状を有する基材パターン147を持つレプリカモールドを製造することができる。
以上より、インプリントモールド150とパターン領域外が同じ形状を有する基材パターン159を持つレプリカモールドを製造することができる。
実施例1として、樹脂レプリカモールドを製造した。
まず、図3(a)に示すように、インプリントモールド130を用いた光インプリント法にて、基材である石英基板131の上面に転写パターン132を形成した。転写パターン132は、ピッチ500nmのLine&Space、パターン高さ200nm、残膜高さ100nmである。
次に、図3(b)に示すように、転写パターン132上に高さ500nmの樹脂層133をスピンコート法にて形成した。
次に、図3(c)に示すように、フォトリソグラフィ法を用いた後に現像処理を行って、転写パターン132のパターン領域を覆うように、樹脂パターン134を形成した。
次に、図3(d)に示すように、転写パターン132にCF4ガスを用いたドライエッチングを行い、転写パターン132を50nm除去し、その後、図3(e)に示すように、O2ガスを用いたドライエッチングにて樹脂パターン134を除去し、石英基板131上にインプリントモールド130とパターン領域外が同じ形状を有する転写パターン135を形成した。
以上の手順により、樹脂レプリカモールドを製造することができた。
実施例2として、シリコンレプリカモールドを製造した。
まず、図4(a)に示すように、インプリントモールド140を用いた光インプリント法にて、基材であるシリコン基板141の上面に転写パターン142を形成した。転写パターン142は、ピッチ500nmのLine&Space、パターン高さ200nm、残膜高さ100nmである。
次に、図4(b)に示すように、転写パターン142上に高さ500nmの樹脂層143をスピンコート法にて形成した。
次に、図4(c)に示すように、フォトリソグラフィ法を用いた後に現像処理を行って、転写パターン142のパターン領域を覆うように、樹脂パターン144を形成した。
次に、図4(d)に示すように、転写パターン142にO2ガスを用いたドライエッチングを行い、転写パターン142を100nm除去し、その後、図4(e)に示すように、CF4ガスを用いたドライエッチングにて樹脂パターン144を除去し、シリコン基板141上にインプリントモールド140とパターン領域外が同じ形状を有する転写パターン145を形成した。
次に、図4(f)に示すように、インプリントモールド140の凸部に相当する部分が薄い残膜層として残るため、O2ガスによる残膜除去により100nm除去し、残膜除去後の転写パターン146を形成した。
次に、図4(g)に示すように、残膜除去後の転写パターン146をマスクとして、シリコン基板141にCF4ガスを用いたドライエッチングを行い、インプリントモールド140とパターン領域外が同じ形状を有する高さ200nmのシリコンパターン147を形成した。
以上の手順により、シリコンレプリカモールドを製造することができた。
実施例3として、石英レプリカモールドを製造した。
まず、図5(a)に示すように、基材である石英基板151の上面にスパッタ法にてクロム層152を10nm形成し、インプリントモールド150を用いた光インプリント法にて、転写パターン153を形成した。転写パターン153は、ピッチ500nmのLine&Space、パターン高さ200nm、残膜高さ100nmである。
次に、図5(b)に示すように、転写パターン153上に高さ500nmの樹脂層154をスピンコート法にて形成した。
次に、図5(c)に示すように、フォトリソグラフィ法を用いた後に現像処理を行って、転写パターン153のパターン領域を覆うように、樹脂パターン155を形成した。
次に、図5(d)に示すように、転写パターン153にCF4ガスを用いたドライエッチングを行い、転写パターン153を100nm除去し、その後、図5(e)に示すように、O2ガスを用いたドライエッチングにて樹脂パターン155を除去し、石英基板151上にインプリントモールド150とパターン領域外が同じ形状を有する転写パターン156を形成した。
次に、図5(f)に示すように、インプリントモールド150の凸部に相当する部分が薄い残膜層として残るため、CF4ガスによる残膜除去により100nm除去し、残膜除去後の転写パターン157を形成した。
次に、図5(g)に示すように、残膜除去後の転写パターン157をマスクとして、CL2ガスを用いたドライエッチングを行ってクロム層152を10nm除去し、クロムパターン158を形成した。
次に、図5(h)に示すように、クロムパターン158をマスクとして、石英基板151にCF4ガスを用いたエッチングを行い、インプリントモールド150とパターン領域外が同じ形状を有する高さ200nmの石英パターン159を形成した。
以上の手順により、石英レプリカモールドを製造することができた。
例えば、実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成発明として抽出され得る。
111、121…転写基板
112、122…転写材料
113…UV光
114、115、123、125、132、135、142、145、146、153、156、157…転写パターン
116…転写基板パターン
131、141、151…基材
133、143、154…樹脂層
134、144、155…樹脂パターン
147、159…基材パターン
152…ハードマスク層
158…ハードマスクパターン
Claims (4)
- インプリントモールドの凹凸パターンを転写したレプリカモールドの製造方法であって、
転写基材の一方の面に転写材料層を形成し、
前記インプリントモールドを前記転写材料層に型押して、前記転写材料層に前記凹凸パターンが反転した転写パターンを形成し、
前記転写パターンの上面に樹脂層を形成し、
前記樹脂層に所定の樹脂パターンを形成し、
前記樹脂パターンをエッチングマスクとして前記転写材料層をエッチングして、前記転写パターンの領域外の転写材料層を除去し、
前記樹脂パターンを除去することで、
前記転写基材上に、前記転写パターンの領域外が前記インプリントモールドの凹凸パターンの領域外と同じ形状であるレプリカモールドを製造する、製造方法。 - インプリントモールドの凹凸パターンを転写したレプリカモールドの製造方法であって、
転写基材の一方の面に転写材料層を形成し、
前記インプリントモールドを前記転写材料層に型押して、前記転写材料層に前記凹凸パターンが反転した転写パターンを形成し、
前記転写パターンの上面に樹脂層を形成し、
前記樹脂層に所定の樹脂パターンを形成し、
前記樹脂パターンをエッチングマスクとして前記転写材料層をエッチングして、前記転写パターンの領域外の転写材料層を除去し、
前記樹脂パターンを除去し、
前記転写パターンに残る残膜層を除去し、
前記残膜層が除去され転写パターンをエッチングマスクとして前記転写基材をエッチングし、
前記エッチング後の転写パターンを除去することで、
前記転写基材上に、前記転写パターンの領域外が前記インプリントモールドの凹凸パターンの領域外と同じ形状であるレプリカモールドを製造する、製造方法。 - インプリントモールドの凹凸パターンを転写したレプリカモールドの製造方法であって、
転写基材の一方の面にハードマスク層と転写材料層とを形成し、
前記インプリントモールドを前記転写材料層に型押して、前記転写材料層に前記凹凸パターンが反転した転写パターンを形成し、
前記転写パターンの上面に樹脂層を形成し、
前記樹脂層に所定の樹脂パターンを形成し、
前記樹脂パターンをエッチングマスクとして前記転写材料層をエッチングして、前記転写パターンの領域外の転写材料層を除去し、
前記樹脂パターンを除去し、
前記転写パターンに残る残膜層を除去し、
前記残膜層が除去され転写パターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、ハードマスクパターンを形成し、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記転写材料層をエッチングし、 前記エッチング後のハードマスクパターンを除去することで、
前記転写基材上に、前記転写パターンの領域外が前記インプリントモールドの凹凸パターンの領域外と同じ形状であるレプリカモールドを製造する、製造方法。 - 前記樹脂層に形成する所定の樹脂パターンは、前記転写パターンの領域を覆う位置及び大きさのパターンであることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のレプリカモールドの製造方法。
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