JP2008078550A - インプリントモールドおよびその製造方法およびパターン形成方法 - Google Patents
インプリントモールドおよびその製造方法およびパターン形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
樹脂からモールドを容易に剥離することが可能なモールドおよびその製造方法、ならびにインプリント法によるパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】
凹凸パターンを形成するためのインプリントモールドにおいて、凹凸パターンが形成されている面に凹凸パターン領域が設けられており、凹凸パターンが形成されている面の凹凸パターン領域外に貫通孔が設けられていることを特徴とするインプリントモールドを提供する。特にこの様なインプリントモールドであって、前記貫通孔が、複数設けられていることを特徴とするインプリントモールドを、より好ましい形態として提供する。
【選択図】図1
Description
グにより表面に凹凸の形状を有するモールド120を作製する。次に、図6(b)に示すように、シリコン基板上に粘度の低い液体状の光硬化性樹脂組成物(樹脂122)を塗布し、図6(c)に示すように、モールド120を光硬化性樹脂組成物(樹脂122)に圧着させる。このときのプレス圧力は0.01〜5MPa程度と小さくて良い。この状態で、モールド120の裏面から光を照射し、光硬化性樹脂組成物(樹脂122)を硬化させる。図6(d) に示すように、モールド120のパターンが転写された光硬化性樹脂(樹脂122)の薄い残膜をO2RIE法などにより除去する。これにより、図6(e)に示すように、樹脂パターンが得られる。
Appl.Phys.Lett.,vol.67,p.3314 (1995)
次に、本発明の石英モールドを用いて、光インプリント装置にて光インプリントを実施してパターンを製造した。
硬化性樹脂153の薄い残膜をO2RIE法などにより除去することにより樹脂パターンが得られる。
(b)石英基板にCrおよびレジストをコートした状態
(c)EBリソグラフィによってレジストをパターニングした状態
(d)CrのドライエッチングによってCrをパターニングした状態
(e)石英のドライエッチングによって石英をパターニングした状態
(f)O2プラズマアッシングや基板洗浄によってレジストおよびCrを除去した状態
(g)作製した石英モールドに貫通孔を設けた状態
(b)シリコン基板に樹脂がコートされた状態
(c)光インプリント法によってインプリントしている状態
(d)石英モールドに設けられた貫通孔にピンを差し込んだ状態
(e)光インプリント後の剥離した状態
(f)O2RIE処理によって、樹脂残膜部分を除去した状態
(b)シリコン基板に樹脂がコートされた状態
(c)光インプリント法によってインプリントしている状態
(d)石英モールドに設けられた貫通孔に気体供給による圧力を加えた状態
(e)光インプリント後の剥離した状態
(f)O2RIE処理によって、樹脂残膜部分を除去した状態
(b)シリコン基板に樹脂がコートされた状態
(c)熱インプリント法によってインプリントしている状態
(d)熱インプリント後の剥離した状態
(e)O2RIE処理によって、樹脂残膜部分を除去した状態
(b)シリコン基板に樹脂がコートされた状態
(c)光インプリント法によってインプリントしている状態
(d)光インプリント後の剥離した状態
(e)O2RIE処理によって、樹脂残膜部分を除去した状態
111…シリコン基板
112…樹脂
120…石英モールド
121…シリコン基板
122…樹脂
130…石英モールド
131…貫通孔
132…パターン
140…石英基板
141…クロム
142…レジスト
143…貫通孔
150…石英モールド
151…貫通孔
152…シリコン基板
153…樹脂
154…ピン
Claims (6)
- 凹凸パターンを形成するためのインプリントモールドにおいて、凹凸パターンが形成されている面に凹凸パターン領域が設けられており、凹凸パターンが形成されている面の凹凸パターン領域外に貫通孔が設けられていることを特徴とするインプリントモールド。
- 請求項1に記載のインプリントモールドであって、前記貫通孔が、複数設けられていることを特徴とするインプリントモールド。
- 凹凸パターンを形成するためのインプリントモールドの製造方法において、凹凸パターンが形成されている面に凹凸パターン領域を設けた後、凹凸パターンが形成されている面の凹凸パターン領域外に貫通孔を設けられていることを特徴とするインプリントモールドの製造方法。
- 請求項1または2のいずれかに記載のインプリントモールドを用いたパターン形成方法であって、基板とインプリントモールドとの間でパターン形成工程後に、際に、貫通孔から剥離する基板に対して圧力を加えることによりインプリントモールドを剥離する工程を有することを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項4に記載のパターン形成方法であって、基板に対して圧力を加える工程として、貫通孔にピンを差し込むことを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項4または5のいずれかに記載のパターン形成方法であって、基板に対して圧力を加える工程として、貫通孔にガスを吹き込むことを特徴とするパターン形成方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091307A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JP2011114046A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成方法、パターン形成装置、ナノインプリントモールド及びナノインプリントモールドの製造方法 |
JP2013513950A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | インプリント・リソグラフィ用テンプレート |
US8609014B2 (en) | 2010-07-07 | 2013-12-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Template manufacturing method, semiconductor device manufacturing method and template |
JP2014000779A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Japan Steel Works Ltd:The | 剥離板を設けた微細構造転写成形装置 |
JP2014140034A (ja) * | 2014-01-21 | 2014-07-31 | Dainippon Printing Co Ltd | インプリント用モールドおよび該モールドを用いたパターン形成方法 |
JP2014195088A (ja) * | 2014-04-25 | 2014-10-09 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリントによるパターン形成装置 |
JP2015122526A (ja) * | 2015-02-05 | 2015-07-02 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用モールドおよび該モールドを用いたパターン形成方法 |
JP2019047008A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド |
JP2019079926A (ja) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
JP2019220547A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 多層半導体パッケージ基板の製造方法および多層半導体パッケージ基板 |
CN114005912A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 嘉兴学院 | 一种椭圆纳米棒、发光二极管的制备方法及显示装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06876A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-01-11 | Sony Corp | 光ディスク製造装置 |
JPH11203736A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Seiko Epson Corp | ディスク基板の離脱装置及びその離脱方法並びにディスク基板の成形装置 |
JP2006245072A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Canon Inc | パターン転写用モールドおよび転写装置 |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06876A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-01-11 | Sony Corp | 光ディスク製造装置 |
JPH11203736A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Seiko Epson Corp | ディスク基板の離脱装置及びその離脱方法並びにディスク基板の成形装置 |
JP2006245072A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Canon Inc | パターン転写用モールドおよび転写装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091307A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
US8118585B2 (en) | 2009-10-26 | 2012-02-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pattern formation method and a method for manufacturing a semiconductor device |
JP2011114046A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成方法、パターン形成装置、ナノインプリントモールド及びナノインプリントモールドの製造方法 |
JP2013513950A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | インプリント・リソグラフィ用テンプレート |
US8609014B2 (en) | 2010-07-07 | 2013-12-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Template manufacturing method, semiconductor device manufacturing method and template |
JP2014000779A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Japan Steel Works Ltd:The | 剥離板を設けた微細構造転写成形装置 |
JP2014140034A (ja) * | 2014-01-21 | 2014-07-31 | Dainippon Printing Co Ltd | インプリント用モールドおよび該モールドを用いたパターン形成方法 |
JP2014195088A (ja) * | 2014-04-25 | 2014-10-09 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリントによるパターン形成装置 |
JP2015122526A (ja) * | 2015-02-05 | 2015-07-02 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用モールドおよび該モールドを用いたパターン形成方法 |
JP2019047008A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド |
JP6992331B2 (ja) | 2017-09-05 | 2022-01-13 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド |
JP2019079926A (ja) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
JP7064310B2 (ja) | 2017-10-24 | 2022-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
JP2019220547A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 多層半導体パッケージ基板の製造方法および多層半導体パッケージ基板 |
CN114005912A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 嘉兴学院 | 一种椭圆纳米棒、发光二极管的制备方法及显示装置 |
CN114005912B (zh) * | 2021-10-29 | 2023-08-11 | 嘉兴学院 | 一种椭圆纳米棒、发光二极管的制备方法及显示装置 |
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