JP2013539052A - レトロ反射型撮像 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 焦点調整レンズ及びセンサーを有する撮像装置を用意し、
基板に向けて第1の光路に沿って伝わる光エネルギーを生成し、
該光エネルギーが基板と接触することにより該基板から撮像データを読み出し、該撮像データを含む光エネルギーが反射装置に向けて第1の光路に沿って移動分岐し続け、
第1の光路に沿って撮像装置に向かって進む第2の光路内で該撮像データを含む光エネルギーを戻すように、該撮像データを含む光エネルギーを反射装置に反射し、
第2の光路内の空間位置に存在している結像面に焦点調整レンズの焦点を合わせ、
第2の光路内の空間位置で撮像データを含む光エネルギーの画像を捕捉し、
明視野データ及び暗視野データの双方を有する基板の対象の光学的影響を提供するように、捕捉された画像から撮像データを外挿する
ことを含む、基板撮像方法。 - 基板の対象の光学的影響に係る多重画像を捕捉するように、少なくとも一つ以上の撮像装置が用意される、請求項1に記載の方法。
- 光エネルギーは放射源から放射される、請求項1に記載の方法。
- 基板は透明な基板であり、第1の光路及び第2の光路の双方内における光エネルギーは該透明な基板を通じて伝達される、請求項1に記載の方法。
- 基板は反射性基板であり、第1の光路及び第2の光路の双方内における光エネルギーは、該反射性基板の表面に反射する、請求項1に記載の方法。
- 基板の方向に向かう第1の光路に向けるための反射部品を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 反射部品は鏡又はビームスプリッターからなるグループから選択される、請求項6に記載の方法。
- 反射部品は撮像装置の前方に配置され、第1の光路内の光エネルギーを撮像装置から離れた方向へ向かわせる、請求項6に記載の方法。
- 反射部品はビームスプリッターであり、該ビームスプリッターは、第2の光路内で複数の焦点位置から対象の光学的影響に係る複数の画像をとらえるために、第2の光路内の撮像データを含む帰還光エネルギーを複数の撮像装置に向けて反射する、請求項1に記載の方法。
- 反射部品は放射線散乱スクリーン又はレトロ反射型媒体からなるグループから選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 結像面は基板と反射装置の間にある空間の空間点に存在する、請求項1に記載の方法。
- 結像面は撮像装置と基板の間にある空間の空間点に存在する、請求項1に記載の方法。
- 一つ又は一つ以上の焦点調整レンズを用いた複数の結像面に焦点を合わせ、そして同時にそれら結像面のそれぞれにおいて画像を得ることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 複数の結像面は、基板と反射装置の間全体、撮像装置と基板の間全体、基板と反射装置及び撮像装置と基板の双方の間における位置の組合せ、又は、基板と反射装置の間及び基板に位置する結像面の位置の組合せからなるグループから選択された、第2の光路に沿った位置に有る、請求項13に記載の方法。
- 光エネルギーが撮像装置に入る前に第2の光路の帰還光エネルギーを修正するように、撮像装置と反射装置の間に追加光学部品の配置することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 第2の光路における光エネルギーは一つ又は二つの面において第1の光路から分岐する、請求項1に記載の方法。
- 対象の光学的影響は基板内部又は基板表面における欠陥を含む、請求項1に記載の方法。
- 対象の光学的影響は基板内部における画像のパターンを含む、請求項1に記載の方法。
- 対象の光学的影響は基板内部におけるもやを含み、該もやの量を計測することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 焦点調整レンズ及びセンサーを有する撮像装置と、
反射部品と、
基板に向かって第1の光路に沿って移動し、基板と接し、基板から撮像データを入手し、次いで反射装置に向かって第1の光路に沿って移動し続ける光エネルギーと、
第1の光路が反射装置に反射されることにより生成され、撮像装置に向かって移動し、そして撮像データを含む帰還光エネルギーを有する第2の光路と、
第2の光路内の空間における位置に存在する結像面と、
中央演算処理装置(CPU)、コンピュータ読み取り可能メモリ、及びコンピュータ読み取り可能記憶媒体と、
第2の光路内で撮像データを含む光エネルギーの空間位置における画像を捕捉するための第1のプログラム命令と、
明視野データ及び暗視野データの双方を有する、基板の対象の光学的影響を提供するように、捕捉された画像から撮像データを外挿するための第2のプログラム命令と
を含み、
第1及び第2のプログラム命令は全てコンピュータ読み取り可能メモリを介してCPUにより実行されるようにコンピュータ読み取り可能記憶媒体に保管されている、基板撮像システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022045523A (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-22 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9456198B2 (en) * | 2011-10-13 | 2016-09-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Depth estimating image capture device and image sensor |
JP2014035326A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
RU2525662C2 (ru) * | 2012-10-29 | 2014-08-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет технологии и дизайна" (СПГУТД) | Способ определения прозрачности плоских светопропускающих запечатываемых материалов |
EP3336195B1 (en) | 2012-12-20 | 2020-02-26 | 3M Innovative Properties Company | Method of differentiating microbial colonies in an image |
TW201608235A (zh) * | 2014-08-18 | 2016-03-01 | 政美應用股份有限公司 | 量測圖案化藍寶石基板的光學量測裝置及方法 |
TW201608232A (zh) * | 2014-08-18 | 2016-03-01 | 政美應用股份有限公司 | 量測圖案化藍寶石基板的方法 |
US20170109895A1 (en) * | 2015-10-19 | 2017-04-20 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for measuring haze of sheet materials or other materials using off-axis detector |
DE102018222655A1 (de) * | 2018-12-20 | 2020-07-09 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen einer Verschmutzung einer Oberfläche, Reinigungsvorrichtung, Materialanordnung, Fahrzeugsitz und Fahrzeuginnenverkleidung |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6221047A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Nippon Mengiyou Gijutsu Keizai Kenkyusho | 繊維材料中の着色異物検出方法とその装置 |
JPH0855889A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-02-27 | Kiyousera Opt Kk | 画像結合装置 |
JPH08304048A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Toppan Printing Co Ltd | 凹凸欠陥検査装置 |
WO2005096074A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Kabushiki Kaisha Topcon | 治具装着装置 |
JP2009156702A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Hoya Corp | レンズ用画像撮像装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3737665A (en) * | 1971-10-20 | 1973-06-05 | Central Glass Co Ltd | Method and apparatus for automatically detecting defects and irregularities in glass sheet |
US4493555A (en) * | 1982-09-22 | 1985-01-15 | Honeywell Inc. | High sensitivity focal sensor for electron beam and high resolution optical lithographic printers |
US5760900A (en) * | 1989-03-18 | 1998-06-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for optically measuring specimen |
US7053999B2 (en) * | 2002-03-21 | 2006-05-30 | Applied Materials, Inc. | Method and system for detecting defects |
US6934029B1 (en) * | 2002-04-22 | 2005-08-23 | Eugene Matzan | Dual laser web defect scanner |
US7525659B2 (en) * | 2003-01-15 | 2009-04-28 | Negevtech Ltd. | System for detection of water defects |
US7184138B1 (en) * | 2004-03-11 | 2007-02-27 | Kla Tencor Technologies Corporation | Spatial filter for sample inspection system |
CN1940540A (zh) * | 2005-09-30 | 2007-04-04 | Hoya株式会社 | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 |
US7471383B2 (en) * | 2006-12-19 | 2008-12-30 | Pilkington North America, Inc. | Method of automated quantitative analysis of distortion in shaped vehicle glass by reflected optical imaging |
US9134521B2 (en) * | 2008-07-30 | 2015-09-15 | The Regents Of The University Of California | Multidirectional selective plane illumination microscopy |
JPWO2010050488A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
KR101114362B1 (ko) * | 2009-03-09 | 2012-02-14 | 주식회사 쓰리비 시스템 | 결점검사를 위한 검사장치 |
US7993016B2 (en) * | 2009-04-03 | 2011-08-09 | Seiko Epson Corporation | Retro-reflective light diffusing display systems |
EP2457251A4 (en) * | 2009-07-22 | 2017-11-08 | KLA-Tencor Corporation | Dark field inspection system with ring illumination |
US20110242312A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Lasertec Corporation | Inspection system and inspection method |
-
2011
- 2011-10-07 WO PCT/US2011/055206 patent/WO2012048186A2/en active Application Filing
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6221047A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Nippon Mengiyou Gijutsu Keizai Kenkyusho | 繊維材料中の着色異物検出方法とその装置 |
JPH0855889A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-02-27 | Kiyousera Opt Kk | 画像結合装置 |
JPH08304048A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Toppan Printing Co Ltd | 凹凸欠陥検査装置 |
WO2005096074A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Kabushiki Kaisha Topcon | 治具装着装置 |
JP2009156702A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Hoya Corp | レンズ用画像撮像装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022045523A (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-22 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012048186A3 (en) | 2012-06-14 |
WO2012048186A2 (en) | 2012-04-12 |
CA2851538A1 (en) | 2012-04-12 |
US20130242083A1 (en) | 2013-09-19 |
EP2625508A2 (en) | 2013-08-14 |
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