JPH1159893A - ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージ - Google Patents
ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージInfo
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- JPH1159893A JPH1159893A JP21500097A JP21500097A JPH1159893A JP H1159893 A JPH1159893 A JP H1159893A JP 21500097 A JP21500097 A JP 21500097A JP 21500097 A JP21500097 A JP 21500097A JP H1159893 A JPH1159893 A JP H1159893A
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- arm
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- insertion hole
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】面積の大きな薄板状の被搬送物の破損を防ぎ容
易に搬送することのできるホルダを提供すること。 【解決手段】基板ホルダ２１には、薄板状の被搬送物と
してのガラス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されて
いる。収容部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が
基板ホルダ２１の上面２１ａよりも低くなるように形成
されている。そして、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１
の収容部２２に収容された状態で搬送される。従って、
ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送
される。
易に搬送することのできるホルダを提供すること。 【解決手段】基板ホルダ２１には、薄板状の被搬送物と
してのガラス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されて
いる。収容部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が
基板ホルダ２１の上面２１ａよりも低くなるように形成
されている。そして、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１
の収容部２２に収容された状態で搬送される。従って、
ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板等の薄板
状の被搬送物を収容して搬送するホルダ、ステージ、及
び、搬送装置に関するものである。
状の被搬送物を収容して搬送するホルダ、ステージ、及
び、搬送装置に関するものである。
【０００２】近年、液晶表示装置（ＬＣＤ）等のフラッ
ト・パネル・ディスプレイ（ＦＰＤ：flat panel displ
ay）では、表示範囲の拡大が図られており、それに伴っ
てパネルに用いられるガラス等の基板の面積が大きくな
ってきている。そして、面積の大きなガラス基板は破損
しやすいことから、その破損を防いで搬送することが要
求されている。
ト・パネル・ディスプレイ（ＦＰＤ：flat panel displ
ay）では、表示範囲の拡大が図られており、それに伴っ
てパネルに用いられるガラス等の基板の面積が大きくな
ってきている。そして、面積の大きなガラス基板は破損
しやすいことから、その破損を防いで搬送することが要
求されている。
【０００３】
【従来の技術】図１１は、従来の基板搬送装置の概略斜
視図である。カセット７１には、表示装置に用いられる
ガラス基板Ｇが複数納められている。搬送ロボット７２
は、支持台７３上に第１アーム７４及び第２アーム７５
を備える。第１アーム７４は、支持台７３上に水平面内
を回動可能に設けられると共にその回動軸に沿って上下
動可能に設けられている。第２アーム７５は、第１アー
ム７４に沿って水平方向に往復動可能に支持されてい
る。
視図である。カセット７１には、表示装置に用いられる
ガラス基板Ｇが複数納められている。搬送ロボット７２
は、支持台７３上に第１アーム７４及び第２アーム７５
を備える。第１アーム７４は、支持台７３上に水平面内
を回動可能に設けられると共にその回動軸に沿って上下
動可能に設けられている。第２アーム７５は、第１アー
ム７４に沿って水平方向に往復動可能に支持されてい
る。
【０００４】また、基板搬送装置は、搬送ロボット７２
を駆動制御する制御部（図示略）を備えている。制御部
は、第１アーム７４及び第２アーム７５を駆動制御して
ガラス基板を搬送する。即ち、制御部は、第２アーム７
５を搬送しようとするガラス基板Ｇと下段のガラス基板
Ｇとの間に挿入させ、ガラス基板Ｇを持ち上げてカセッ
ト７１から引き抜き、図示しない処理装置等へ搬送す
る。
を駆動制御する制御部（図示略）を備えている。制御部
は、第１アーム７４及び第２アーム７５を駆動制御して
ガラス基板を搬送する。即ち、制御部は、第２アーム７
５を搬送しようとするガラス基板Ｇと下段のガラス基板
Ｇとの間に挿入させ、ガラス基板Ｇを持ち上げてカセッ
ト７１から引き抜き、図示しない処理装置等へ搬送す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、表示範囲の
拡大などによってガラス基板Ｇの面積が大きくなると、
ガラス基板Ｇのたわみが大きくなり、カセット７１に納
められた上下のガラス基板Ｇの間隔が狭くなる。する
と、図１２（ａ）に示すように、搬送ロボット７２が第
２アーム７５を挿入する際に、第２アーム７５がガラス
基板Ｇと接触してガラス基板Ｇの表面を傷つけてしまう
おそれがある。第２アーム７５の幅を狭くするとガラス
基板Ｇの間に第２アーム７５を挿入することが可能とな
るが、安定してガラス基板Ｇを搬送できなくなると共
に、持ち上げるときにガラス基板Ｇが撓むため、図１２
（ｂ）に示すように、搬送しようとするガラス基板Ｇが
上段の基板と接触してしまうため、やはりガラス基板Ｇ
の表面を傷つけてしまうおそれがあった。
拡大などによってガラス基板Ｇの面積が大きくなると、
ガラス基板Ｇのたわみが大きくなり、カセット７１に納
められた上下のガラス基板Ｇの間隔が狭くなる。する
と、図１２（ａ）に示すように、搬送ロボット７２が第
２アーム７５を挿入する際に、第２アーム７５がガラス
基板Ｇと接触してガラス基板Ｇの表面を傷つけてしまう
おそれがある。第２アーム７５の幅を狭くするとガラス
基板Ｇの間に第２アーム７５を挿入することが可能とな
るが、安定してガラス基板Ｇを搬送できなくなると共
に、持ち上げるときにガラス基板Ｇが撓むため、図１２
（ｂ）に示すように、搬送しようとするガラス基板Ｇが
上段の基板と接触してしまうため、やはりガラス基板Ｇ
の表面を傷つけてしまうおそれがあった。
【０００６】また、搬送ロボットには、アーム上のガラ
ス基板を両側から挟み込んで搬送するものがある。しか
しながら、ガラス基板を挟み込む方法では、ガラス基板
に挟む圧力が加わり、その圧力によって薄いガラス基板
に欠け等が発生する場合があった。
ス基板を両側から挟み込んで搬送するものがある。しか
しながら、ガラス基板を挟み込む方法では、ガラス基板
に挟む圧力が加わり、その圧力によって薄いガラス基板
に欠け等が発生する場合があった。
【０００７】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は面積の大きな薄板状の被
搬送物の破損を防ぎ容易に搬送することのできるホル
ダ、搬送装置、及び、受け渡しステージを提供すること
にある。
れたものであって、その目的は面積の大きな薄板状の被
搬送物の破損を防ぎ容易に搬送することのできるホル
ダ、搬送装置、及び、受け渡しステージを提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、薄板状の被搬送物を搬送
装置にて搬送するために用いられるホルダであって、上
方に開口し、前記被搬送物を収容する収容部と、前記搬
送装置のアームが側方から挿入される挿入孔とを備え
た。
め、請求項１に記載の発明は、薄板状の被搬送物を搬送
装置にて搬送するために用いられるホルダであって、上
方に開口し、前記被搬送物を収容する収容部と、前記搬
送装置のアームが側方から挿入される挿入孔とを備え
た。
【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のホルダにおいて、上面と下面のうちの何れか一方には
突起を形成し、他方には前記突起が挿入される凹部を形
成した。
のホルダにおいて、上面と下面のうちの何れか一方には
突起を形成し、他方には前記突起が挿入される凹部を形
成した。
【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載のホルダにおいて、前記搬送装置に備えられ、ホ
ルダを持ち上げるためのアームの上面と、前記アームが
挿入される挿入孔の天井面のうちの何れか一方にはアラ
イメントピンを形成し、他方には前記アライメントピン
が挿入されてアームに対する位置を補正するためのアラ
イメント穴を形成した。
に記載のホルダにおいて、前記搬送装置に備えられ、ホ
ルダを持ち上げるためのアームの上面と、前記アームが
挿入される挿入孔の天井面のうちの何れか一方にはアラ
イメントピンを形成し、他方には前記アライメントピン
が挿入されてアームに対する位置を補正するためのアラ
イメント穴を形成した。
【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちの何れか１項に記載のホルダにおいて、前記収容
部内を垂直方向に貫通して形成され、ステージに立設さ
れたロッドが前記ステージに載置する際に挿通される挿
通孔を形成した。
のうちの何れか１項に記載のホルダにおいて、前記収容
部内を垂直方向に貫通して形成され、ステージに立設さ
れたロッドが前記ステージに載置する際に挿通される挿
通孔を形成した。
【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のホルダにおいて、前記挿入孔の底面には前記挿通孔を
塞ぐための蓋を備え、該蓋は前記ステージに設けられた
ロッドにより自動的に開閉操作されるようにした。
のホルダにおいて、前記挿入孔の底面には前記挿通孔を
塞ぐための蓋を備え、該蓋は前記ステージに設けられた
ロッドにより自動的に開閉操作されるようにした。
【００１３】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５
のうちの何れか１項に記載のホルダを搬送する。請求項
７に記載の発明は、請求項４又は５に記載のホルダが載
置される受け渡しステージであって、前記ホルダが載置
される台部と、前記台部に立設され、前記ホルダを載置
する際に該ホルダに形成された挿通孔に挿通され、前記
ホルダの収容部に収容された被搬送物を所定位置に保持
するロッドとを備えた。
のうちの何れか１項に記載のホルダを搬送する。請求項
７に記載の発明は、請求項４又は５に記載のホルダが載
置される受け渡しステージであって、前記ホルダが載置
される台部と、前記台部に立設され、前記ホルダを載置
する際に該ホルダに形成された挿通孔に挿通され、前記
ホルダの収容部に収容された被搬送物を所定位置に保持
するロッドとを備えた。
【００１４】（作用）従って、請求項１に記載の発明に
よれば、薄板状の被搬送物はホルダに形成された収容部
に収容される。そのホルダは、挿入孔に挿入される搬送
装置のアームによって搬送される。そのため、被搬送物
は撓まずに安定して搬送される。
よれば、薄板状の被搬送物はホルダに形成された収容部
に収容される。そのホルダは、挿入孔に挿入される搬送
装置のアームによって搬送される。そのため、被搬送物
は撓まずに安定して搬送される。
【００１５】請求項２に記載の発明によれば、ホルダの
上面と下面のうちの何れか一方には突起が形成され、他
方には突起が挿入される凹部が形成される。そのため、
ホルダを積み重ねた場合に、突起が凹部に挿入されて位
置決めされる。
上面と下面のうちの何れか一方には突起が形成され、他
方には突起が挿入される凹部が形成される。そのため、
ホルダを積み重ねた場合に、突起が凹部に挿入されて位
置決めされる。
【００１６】請求項３に記載の発明によれば、搬送装置
に備えられ、ホルダを持ち上げるためのアームの上面
と、アームが挿入される挿入孔の天井面のうちの何れか
一方にはアライメントピンが形成され、他方にはアライ
メントピンが挿入されるアライメント穴が形成される。
そのため、アームにてホルダを持ち上げる時にアームに
対する位置が補正されるので、アームの位置合わせを精
度よく行う必要が無く、その分搬送時間が短くなる。
に備えられ、ホルダを持ち上げるためのアームの上面
と、アームが挿入される挿入孔の天井面のうちの何れか
一方にはアライメントピンが形成され、他方にはアライ
メントピンが挿入されるアライメント穴が形成される。
そのため、アームにてホルダを持ち上げる時にアームに
対する位置が補正されるので、アームの位置合わせを精
度よく行う必要が無く、その分搬送時間が短くなる。
【００１７】請求項４に記載の発明によれば、ホルダに
は、収容部内を垂直方向に貫通して挿通孔が形成され
る。そして、ステージに立設されたロッドがステージに
ホルダが載置する際にロッドが挿通孔に挿通され、収容
部に収容された被搬送物が取り出されてロッド先端に保
持される。
は、収容部内を垂直方向に貫通して挿通孔が形成され
る。そして、ステージに立設されたロッドがステージに
ホルダが載置する際にロッドが挿通孔に挿通され、収容
部に収容された被搬送物が取り出されてロッド先端に保
持される。
【００１８】請求項５に記載の発明によれば、挿入孔の
底面には挿通孔を塞ぐための蓋を備え、該蓋はステージ
に設けられたロッドにより自動的に開閉操作される。そ
のため、被搬送物を収容したホルダが積み重ねられたと
き、蓋によって挿通孔から塵等の進入が防止され、被搬
送物の表面に塵等が付着しない。
底面には挿通孔を塞ぐための蓋を備え、該蓋はステージ
に設けられたロッドにより自動的に開閉操作される。そ
のため、被搬送物を収容したホルダが積み重ねられたと
き、蓋によって挿通孔から塵等の進入が防止され、被搬
送物の表面に塵等が付着しない。
【００１９】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
乃至５のうちの何れか１項に記載のホルダが搬送装置に
よって安定して搬送される。請求項７に記載の発明によ
れば、請求項４又は５に記載のホルダが載置される受け
渡しステージには、ホルダが載置される台部と、台部に
立設され、ホルダを載置する際に該ホルダに形成された
挿通孔に挿通され、ホルダの収容部に収容された被搬送
物を所定位置に保持するロッドとが備えられる。ロッド
によってホルダに収容された被搬送物が所定高さに保持
される。
乃至５のうちの何れか１項に記載のホルダが搬送装置に
よって安定して搬送される。請求項７に記載の発明によ
れば、請求項４又は５に記載のホルダが載置される受け
渡しステージには、ホルダが載置される台部と、台部に
立設され、ホルダを載置する際に該ホルダに形成された
挿通孔に挿通され、ホルダの収容部に収容された被搬送
物を所定位置に保持するロッドとが備えられる。ロッド
によってホルダに収容された被搬送物が所定高さに保持
される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図６に従って説明する。図６は、基板搬
送装置の構成を示す斜視図である。基板搬送装置１１
は、制御部１２及び搬送ロボット１３を備える。搬送ロ
ボット１３は、支持台１４上に第１アーム１５及び第２
アーム１６を備える。第１アーム１５は、支持台１４上
に水平面内を回動可能に設けられると共にその回動軸に
沿って上下動可能に設けられている。第２アーム１６は
平面矩形状に形成され、第１アーム１５に沿って往復動
可能に支持されている。また、第２アーム１６上面に
は、アライメントピン１７が形成されている。本実施形
態では、円錐形凸状のアライメントピン１７が、矩形頂
点位置に４個突設されている。
の形態を図１〜図６に従って説明する。図６は、基板搬
送装置の構成を示す斜視図である。基板搬送装置１１
は、制御部１２及び搬送ロボット１３を備える。搬送ロ
ボット１３は、支持台１４上に第１アーム１５及び第２
アーム１６を備える。第１アーム１５は、支持台１４上
に水平面内を回動可能に設けられると共にその回動軸に
沿って上下動可能に設けられている。第２アーム１６は
平面矩形状に形成され、第１アーム１５に沿って往復動
可能に支持されている。また、第２アーム１６上面に
は、アライメントピン１７が形成されている。本実施形
態では、円錐形凸状のアライメントピン１７が、矩形頂
点位置に４個突設されている。
【００２１】制御部１２は、基板ホルダ２１を搬送する
ための制御プログラムが予め記憶されている。制御部１
２は、制御プログラムに基づいて搬送ロボット１３を駆
動制御し、基板ホルダ２１を搬送する。
ための制御プログラムが予め記憶されている。制御部１
２は、制御プログラムに基づいて搬送ロボット１３を駆
動制御し、基板ホルダ２１を搬送する。
【００２２】次に、基板ホルダ２１について詳述する。
図１は基板ホルダ２１の概略斜視図、図２は基板ホルダ
２１の概略正面断面図、図３は基板ホルダ２１の側断面
図である。
図１は基板ホルダ２１の概略斜視図、図２は基板ホルダ
２１の概略正面断面図、図３は基板ホルダ２１の側断面
図である。
【００２３】基板ホルダ２１には、薄板状の被搬送物と
してのガラス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されて
いる。収容部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が
基板ホルダ２１の上面２１ａよりも低くなるように形成
されている。即ち、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１の
収容部２２に収容された状態で搬送される。従って、ガ
ラス基板Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送さ
れる。また、ガラス基板Ｇは搬送時に挟まれたりしない
ため、圧力等の影響を受けない。そのため、ガラス基板
Ｇが搬送中に欠けるおそれがない。
してのガラス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されて
いる。収容部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が
基板ホルダ２１の上面２１ａよりも低くなるように形成
されている。即ち、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１の
収容部２２に収容された状態で搬送される。従って、ガ
ラス基板Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送さ
れる。また、ガラス基板Ｇは搬送時に挟まれたりしない
ため、圧力等の影響を受けない。そのため、ガラス基板
Ｇが搬送中に欠けるおそれがない。
【００２４】基板ホルダ２１には、挿入孔２３が形成さ
れている。挿入孔２３は、基板ホルダ２１を貫通してい
る。また、挿入孔２３は、開口が矩形状に形成されてお
り、上記第２アーム１６が挿入可能な大きさに形成され
ている。基板ホルダ２１は、挿入孔２３に挿入された第
２アーム１６により持ち上げられ、搬送される。
れている。挿入孔２３は、基板ホルダ２１を貫通してい
る。また、挿入孔２３は、開口が矩形状に形成されてお
り、上記第２アーム１６が挿入可能な大きさに形成され
ている。基板ホルダ２１は、挿入孔２３に挿入された第
２アーム１６により持ち上げられ、搬送される。
【００２５】図３（ａ）に示すように、挿入孔２３の天
井面２３ａには、アライメント穴２４が形成されてい
る。アライメント穴２４は、位置、形状、及び個数が第
２アーム１６上面に形成されたアライメントピン１７の
位置、形状、及び個数に対応している。即ち、アライメ
ント穴２４は、矩形頂点位置に円錐形凹状に４個形成さ
れている。従って、図３（ｂ）に示すように、第２アー
ム１６が基板ホルダ２１を持ち上げる際に、アライメン
トピン１７がアライメント穴２４に挿入され、第２アー
ム１６に対する基板ホルダ２１の位置が常に一定とな
る。即ち、第２アーム１６は、位置合わせを正確にしな
くても常に同じ状態で基板ホルダ２１を持ち上げること
ができる。
井面２３ａには、アライメント穴２４が形成されてい
る。アライメント穴２４は、位置、形状、及び個数が第
２アーム１６上面に形成されたアライメントピン１７の
位置、形状、及び個数に対応している。即ち、アライメ
ント穴２４は、矩形頂点位置に円錐形凹状に４個形成さ
れている。従って、図３（ｂ）に示すように、第２アー
ム１６が基板ホルダ２１を持ち上げる際に、アライメン
トピン１７がアライメント穴２４に挿入され、第２アー
ム１６に対する基板ホルダ２１の位置が常に一定とな
る。即ち、第２アーム１６は、位置合わせを正確にしな
くても常に同じ状態で基板ホルダ２１を持ち上げること
ができる。
【００２６】基板ホルダ２１を安定して搬送するために
は、基板ホルダ２１に対して第２アーム１６を精度よく
位置合わせする必要がある。そして、第２アーム１６の
位置合わせに要する時間は、精度よく行おうとするほど
長くなる傾向にある。しかしながら、本実施形態では、
アライメントピン１７及びアライメント穴２４によって
第２アーム１６の位置合わせを正確に行わなくても、基
板ホルダ２１を持ち上げるだけで第２アーム１６に対す
る基板ホルダ２１の位置を常に一定にすることができ
る。そのため、第２アーム１６は性格に位置合わせする
必要がないので、その分基板ホルダ２１を持ち上げるま
での時間が短くなり、搬送時間を短縮する、即ち高速に
且つ安定して基板ホルダ２１を搬送することができる。
は、基板ホルダ２１に対して第２アーム１６を精度よく
位置合わせする必要がある。そして、第２アーム１６の
位置合わせに要する時間は、精度よく行おうとするほど
長くなる傾向にある。しかしながら、本実施形態では、
アライメントピン１７及びアライメント穴２４によって
第２アーム１６の位置合わせを正確に行わなくても、基
板ホルダ２１を持ち上げるだけで第２アーム１６に対す
る基板ホルダ２１の位置を常に一定にすることができ
る。そのため、第２アーム１６は性格に位置合わせする
必要がないので、その分基板ホルダ２１を持ち上げるま
での時間が短くなり、搬送時間を短縮する、即ち高速に
且つ安定して基板ホルダ２１を搬送することができる。
【００２７】また、第２アーム１６が水平動，回動駆動
されるときに、その第２アーム１６に対する基板ホルダ
２１の水平方向の移動が規制される。即ち、第２アーム
１６に対する基板ホルダ２１の位置がずれない。そのた
め、第２アーム１６を高速で駆動させることが可能とな
り、その分搬送時間を短縮する、即ち高速且つ安定して
基板ホルダ２１を搬送することができる。
されるときに、その第２アーム１６に対する基板ホルダ
２１の水平方向の移動が規制される。即ち、第２アーム
１６に対する基板ホルダ２１の位置がずれない。そのた
め、第２アーム１６を高速で駆動させることが可能とな
り、その分搬送時間を短縮する、即ち高速且つ安定して
基板ホルダ２１を搬送することができる。
【００２８】また、基板ホルダ２１の上面２１ａには、
所定位置に複数の凹部２５が形成され、下面２１ｂには
所定位置に複数の突起２６が形成されている。凹部２５
は円錐状に凹設され、突起２６は円錐状に突設されてい
る。また、凹部２５及び突起２６は、形成された位置及
び個数が対応している。更に、凹部２５及び突起２６
は、その形状が対応している。
所定位置に複数の凹部２５が形成され、下面２１ｂには
所定位置に複数の突起２６が形成されている。凹部２５
は円錐状に凹設され、突起２６は円錐状に突設されてい
る。また、凹部２５及び突起２６は、形成された位置及
び個数が対応している。更に、凹部２５及び突起２６
は、その形状が対応している。
【００２９】即ち、図２に示すように、複数の基板ホル
ダ２１を積み重ねた場合、上段の基板ホルダ２１下面２
１ｂに形成された突起２６が下段の基板ホルダ２１上面
２１ａに形成された凹部２５に挿入される。これによ
り、下段の基板ホルダ２１に対して上段の基板ホルダ２
１が所定位置に位置決めされながら積み重ねられる。ま
た、積み重ねられた基板ホルダ２１は、凹部２５及び突
起２６が係合することにより、左右方向に力が加わって
もずれることはない。
ダ２１を積み重ねた場合、上段の基板ホルダ２１下面２
１ｂに形成された突起２６が下段の基板ホルダ２１上面
２１ａに形成された凹部２５に挿入される。これによ
り、下段の基板ホルダ２１に対して上段の基板ホルダ２
１が所定位置に位置決めされながら積み重ねられる。ま
た、積み重ねられた基板ホルダ２１は、凹部２５及び突
起２６が係合することにより、左右方向に力が加わって
もずれることはない。
【００３０】図６に示すように、基板ホルダ２１は、搬
送装置１１によって受け渡しステージ３１に搬送され
る。受け渡しステージ３１は、基板ホルダ２１に収容さ
れて搬送されたガラス基板Ｇを、処理装置側の搬送装置
（いずれも図示略）に受け渡すために設けられている。
送装置１１によって受け渡しステージ３１に搬送され
る。受け渡しステージ３１は、基板ホルダ２１に収容さ
れて搬送されたガラス基板Ｇを、処理装置側の搬送装置
（いずれも図示略）に受け渡すために設けられている。
【００３１】受け渡しステージ３１は、台部３２及びそ
の台部３２に立設されたロッド３３により構成されてい
る。本実施形態では台部３２には４本のロッド３３が立
設されている。各ロッド３３は同じ長さの円柱よりな
り、各上端が半球状に形成されている。
の台部３２に立設されたロッド３３により構成されてい
る。本実施形態では台部３２には４本のロッド３３が立
設されている。各ロッド３３は同じ長さの円柱よりな
り、各上端が半球状に形成されている。
【００３２】また、基板ホルダ２１には、各ロッド３３
に対応する位置に上下に貫通してロッド３３が挿通可能
なする挿通孔２７が形成されている。制御部１２は、搬
送ロボット１３を駆動制御して挿通孔２７にロッド３３
を挿入して基板ホルダ２１を台部３２上に載置する。す
ると、基板ホルダ２１に収容され搬送されたガラス基板
Ｇは、ロッド３３により基板ホルダ２１から取り出され
て所定高さに保持され、台部３２上には空の基板ホルダ
２１が積み重ねられる。ロッド３３に保持されたガラス
基板Ｇは、処理装置側の搬送装置に設けられたアーム４
１により持ち上げられ、処理装置内に搬送される。
に対応する位置に上下に貫通してロッド３３が挿通可能
なする挿通孔２７が形成されている。制御部１２は、搬
送ロボット１３を駆動制御して挿通孔２７にロッド３３
を挿入して基板ホルダ２１を台部３２上に載置する。す
ると、基板ホルダ２１に収容され搬送されたガラス基板
Ｇは、ロッド３３により基板ホルダ２１から取り出され
て所定高さに保持され、台部３２上には空の基板ホルダ
２１が積み重ねられる。ロッド３３に保持されたガラス
基板Ｇは、処理装置側の搬送装置に設けられたアーム４
１により持ち上げられ、処理装置内に搬送される。
【００３３】一方、処理装置にて処理されたガラス基板
Ｇは、搬送装置のアーム４１によってロッド３３上に載
置される。制御部１２は、搬送ロボット１３を駆動制御
し、空の基板ホルダ２１を持ち上げる。すると、ガラス
基板Ｇは、持ち上げられた基板ホルダ２１の収容部２２
に収容され、搬送される。
Ｇは、搬送装置のアーム４１によってロッド３３上に載
置される。制御部１２は、搬送ロボット１３を駆動制御
し、空の基板ホルダ２１を持ち上げる。すると、ガラス
基板Ｇは、持ち上げられた基板ホルダ２１の収容部２２
に収容され、搬送される。
【００３４】このようにして、基板ホルダ２１により搬
送されたガラス基板Ｇは、受け渡しステージ３１に基板
ホルダ２１を載置するだけでその基板ホルダ２１から取
り出され、処理装置内に搬送される。また、基板ホルダ
２１からロッド３３によって取り出されたガラス基板Ｇ
は、一定の位置に保持されるため、処理装置側の搬送装
置は、常に同じ位置にてガラス基板Ｇの受け渡しを行う
ことができる。
送されたガラス基板Ｇは、受け渡しステージ３１に基板
ホルダ２１を載置するだけでその基板ホルダ２１から取
り出され、処理装置内に搬送される。また、基板ホルダ
２１からロッド３３によって取り出されたガラス基板Ｇ
は、一定の位置に保持されるため、処理装置側の搬送装
置は、常に同じ位置にてガラス基板Ｇの受け渡しを行う
ことができる。
【００３５】また、図４，５に示すように、基板ホルダ
２１には、挿入孔２３の底面２３ｂに蓋２８が回動可能
に設けられている。蓋２８は、ガラス基板Ｇを収容した
基板ホルダ２１を積み重ねた時に、挿通孔２７を塞ぐた
めに設けられている。即ち、図４に示すように、基板ホ
ルダ２１を積み重ねた場合、一点鎖線で示す下段の基板
ホルダ２１に収容されたガラス基板Ｇの上面は、積み重
ねられた上段の基板ホルダ２１により覆われる。そし
て、上段の基板ホルダ２１に形成された挿通孔２７は、
挿入孔２３の底面に設けられた蓋２８によって塞がれる
ため、収容部２２が閉塞され、下段のガラス基板Ｇの上
面に塵が付着するのが防止される。また、蓋２８は、基
板ホルダ２１を図６に示す受け渡しステージ３１に載置
するときに、ロッド３３によって押されて自動的に開
き、ステージ３１から基板ホルダ２１を搬送すると自重
によって自動的に閉じる。そのため、蓋２８を開閉する
ための操作を必要としない。
２１には、挿入孔２３の底面２３ｂに蓋２８が回動可能
に設けられている。蓋２８は、ガラス基板Ｇを収容した
基板ホルダ２１を積み重ねた時に、挿通孔２７を塞ぐた
めに設けられている。即ち、図４に示すように、基板ホ
ルダ２１を積み重ねた場合、一点鎖線で示す下段の基板
ホルダ２１に収容されたガラス基板Ｇの上面は、積み重
ねられた上段の基板ホルダ２１により覆われる。そし
て、上段の基板ホルダ２１に形成された挿通孔２７は、
挿入孔２３の底面に設けられた蓋２８によって塞がれる
ため、収容部２２が閉塞され、下段のガラス基板Ｇの上
面に塵が付着するのが防止される。また、蓋２８は、基
板ホルダ２１を図６に示す受け渡しステージ３１に載置
するときに、ロッド３３によって押されて自動的に開
き、ステージ３１から基板ホルダ２１を搬送すると自重
によって自動的に閉じる。そのため、蓋２８を開閉する
ための操作を必要としない。
【００３６】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 ○基板ホルダ２１には、薄板状の被搬送物としてのガラ
ス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されている。収容
部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が基板ホルダ
２１の上面２１ａよりも低くなるように形成されてい
る。即ち、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１の収容部２
２に収容された状態で搬送される。従って、ガラス基板
Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送される。ま
た、ガラス基板Ｇは搬送時に挟まれたりしないため、圧
力等の影響を受けない。そのため、ガラス基板Ｇが搬送
中に欠けるおそれがない。
ば、以下の効果を奏する。 ○基板ホルダ２１には、薄板状の被搬送物としてのガラ
ス基板Ｇを収容する収容部２２が凹設されている。収容
部２２は、収容されたガラス基板Ｇの上面が基板ホルダ
２１の上面２１ａよりも低くなるように形成されてい
る。即ち、ガラス基板Ｇは、基板ホルダ２１の収容部２
２に収容された状態で搬送される。従って、ガラス基板
Ｇは、基板ホルダ２１によって撓まずに搬送される。ま
た、ガラス基板Ｇは搬送時に挟まれたりしないため、圧
力等の影響を受けない。そのため、ガラス基板Ｇが搬送
中に欠けるおそれがない。
【００３７】○挿入孔２３の天井面２３ａには、アライ
メント穴２４が形成されている。アライメント穴２４
は、位置、形状、及び個数が第２アーム１６上面に形成
されたアライメントピン１７の位置、形状、及び個数に
対応している。即ち、アライメント穴２４は、矩形頂点
位置に円錐形凹状に４個形成されている。第２アーム１
６が基板ホルダ２１を持ち上げる際に、アライメントピ
ン１７がアライメント穴２４に挿入され、第２アーム１
６に対する基板ホルダ２１の位置が常に一定となり、位
置合わせを正確にしなくても常に同じ状態で基板ホルダ
２１を持ち上げることができるので、高速且つ安定して
基板ホルダ２１を搬送することができる。
メント穴２４が形成されている。アライメント穴２４
は、位置、形状、及び個数が第２アーム１６上面に形成
されたアライメントピン１７の位置、形状、及び個数に
対応している。即ち、アライメント穴２４は、矩形頂点
位置に円錐形凹状に４個形成されている。第２アーム１
６が基板ホルダ２１を持ち上げる際に、アライメントピ
ン１７がアライメント穴２４に挿入され、第２アーム１
６に対する基板ホルダ２１の位置が常に一定となり、位
置合わせを正確にしなくても常に同じ状態で基板ホルダ
２１を持ち上げることができるので、高速且つ安定して
基板ホルダ２１を搬送することができる。
【００３８】○基板ホルダ２１の上面２１ａには、所定
位置に複数の凹部２５が形成され、下面２１ｂには所定
位置に複数の突起２６が形成されている。凹部２５は円
錐状に凹設され、突起２６は円錐状に突設されている。
従って、積み重ねられた基板ホルダ２１は、凹部２５及
び突起２６が係合することにより、左右方向に力が加わ
ってもずれることはない。
位置に複数の凹部２５が形成され、下面２１ｂには所定
位置に複数の突起２６が形成されている。凹部２５は円
錐状に凹設され、突起２６は円錐状に突設されている。
従って、積み重ねられた基板ホルダ２１は、凹部２５及
び突起２６が係合することにより、左右方向に力が加わ
ってもずれることはない。
【００３９】○基板ホルダ２１には、挿入孔２３の底面
２３ｂに蓋２８が回動可能に設けられている。蓋２８
は、ガラス基板Ｇを収容した基板ホルダ２１を積み重ね
た時に、挿通孔２７を塞ぐために設けられている。即
ち、基板ホルダ２１を積み重ねた場合、一点鎖線で示す
下段の基板ホルダ２１に収容されたガラス基板Ｇの上面
は、積み重ねられた上段の基板ホルダ２１により覆われ
る。そして、上段の基板ホルダ２１に形成された挿通孔
２７は、挿入孔２３の底面に設けられた蓋２８によって
塞がれるため、収容部２２が閉塞され、下段のガラス基
板Ｇの上面に塵が付着するのが防止される。
２３ｂに蓋２８が回動可能に設けられている。蓋２８
は、ガラス基板Ｇを収容した基板ホルダ２１を積み重ね
た時に、挿通孔２７を塞ぐために設けられている。即
ち、基板ホルダ２１を積み重ねた場合、一点鎖線で示す
下段の基板ホルダ２１に収容されたガラス基板Ｇの上面
は、積み重ねられた上段の基板ホルダ２１により覆われ
る。そして、上段の基板ホルダ２１に形成された挿通孔
２７は、挿入孔２３の底面に設けられた蓋２８によって
塞がれるため、収容部２２が閉塞され、下段のガラス基
板Ｇの上面に塵が付着するのが防止される。
【００４０】○蓋２８は、基板ホルダ２１を受け渡しス
テージ３１に載置するときに、ロッド３３によって押さ
れて自動的に開き、ステージ３１から基板ホルダ２１を
搬送すると自重によって自動的に閉じる。そのため、蓋
２８を開閉するための操作を必要としない。
テージ３１に載置するときに、ロッド３３によって押さ
れて自動的に開き、ステージ３１から基板ホルダ２１を
搬送すると自重によって自動的に閉じる。そのため、蓋
２８を開閉するための操作を必要としない。
【００４１】尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の
態様で実施してもよい。上記実施形態では、受け渡しス
テージ３１に立設したロッド３３によって基板ホルダ２
１に収容されたガラス基板Ｇを取り出すようにしたが、
その他の構成によって基板ホルダ２１からガラス基板Ｇ
を取り出すようにしてもよい。例えば、図７，図８に示
すように、基板ホルダ２１に、ガラス基板Ｇを吊り下げ
るためのＬ字状の吊り下げ部材５１を挿入する挿入部５
２を設ける。この構成よれば、吊り下げ部材５１により
吊り下げられたガラス基板Ｇが撓むものの、ロッド３３
を挿入する挿通孔２７を設ける必要がないので、蓋２８
も必要がなく、基板ホルダ２１を積み重ねた時に容易に
収容部２２を閉塞してガラス基板Ｇの上面を覆い、塵等
の付着を防止する事ができる。
態様で実施してもよい。上記実施形態では、受け渡しス
テージ３１に立設したロッド３３によって基板ホルダ２
１に収容されたガラス基板Ｇを取り出すようにしたが、
その他の構成によって基板ホルダ２１からガラス基板Ｇ
を取り出すようにしてもよい。例えば、図７，図８に示
すように、基板ホルダ２１に、ガラス基板Ｇを吊り下げ
るためのＬ字状の吊り下げ部材５１を挿入する挿入部５
２を設ける。この構成よれば、吊り下げ部材５１により
吊り下げられたガラス基板Ｇが撓むものの、ロッド３３
を挿入する挿通孔２７を設ける必要がないので、蓋２８
も必要がなく、基板ホルダ２１を積み重ねた時に容易に
収容部２２を閉塞してガラス基板Ｇの上面を覆い、塵等
の付着を防止する事ができる。
【００４２】また、図９，図１０に示すように、ガラス
基板Ｇの下方に基板ホルダ２１の一側面から図６に示す
アーム４１を挿入する凹部５５を形成する。この構成に
よれば、収容部２２を閉塞することができなくなるもの
の、ガラス基板Ｇを容易に基板ホルダ２１から取り出す
ことができる。
基板Ｇの下方に基板ホルダ２１の一側面から図６に示す
アーム４１を挿入する凹部５５を形成する。この構成に
よれば、収容部２２を閉塞することができなくなるもの
の、ガラス基板Ｇを容易に基板ホルダ２１から取り出す
ことができる。
【００４３】上記実施形態ではアライメントピン１７を
円錐形凸状に、アライメント穴２４を円錐形凹状に形成
したが、ピン１７及び穴２４の形状が対応しているのな
らばどの様な形状でも良く、例えば角錐凸状と角錐凹
状、半球凸状と半球凹状等の任意の形状に形成してもよ
い。
円錐形凸状に、アライメント穴２４を円錐形凹状に形成
したが、ピン１７及び穴２４の形状が対応しているのな
らばどの様な形状でも良く、例えば角錐凸状と角錐凹
状、半球凸状と半球凹状等の任意の形状に形成してもよ
い。
【００４４】上記実施形態では、凹部２５及び突起２６
をそれぞれ円錐状に形成したが、凹部２５及び突起２６
の形状が対応しているのならばどの様な形状でも良く、
例えば角錐凸状と角錐凹状、半球凸状と半球凹状等の任
意の形状に形成してもよい。
をそれぞれ円錐状に形成したが、凹部２５及び突起２６
の形状が対応しているのならばどの様な形状でも良く、
例えば角錐凸状と角錐凹状、半球凸状と半球凹状等の任
意の形状に形成してもよい。
【００４５】上記実施形態では、非搬送基板として矩形
状のガラス基板Ｇを搬送する基板ホルダ２１に具体化し
たが、ガラス以外の材質よりなる基板、矩形以外の形状
の基板を搬送する基板ホルダに具体化して実施してもよ
い。
状のガラス基板Ｇを搬送する基板ホルダ２１に具体化し
たが、ガラス以外の材質よりなる基板、矩形以外の形状
の基板を搬送する基板ホルダに具体化して実施してもよ
い。
【００４６】上記実施形態では、凹部２５を基板ホルダ
２１の上面２１ａに、突起２６を下面２１ｂに形成した
が、凹部２５を下面２１ｂに、突起２６を上面２１ａに
形成して実施してもよい。また、上記実施形態では、第
２アーム１６の上面にアライメントピン１７を、基板ホ
ルダ２１の挿入孔２３の天井面２３ａにアライメント穴
２４を形成したが、アライメントピン１７を天井面２３
ａに、アライメント穴２４を第２アーム１６上面に形成
して実施してもよい。
２１の上面２１ａに、突起２６を下面２１ｂに形成した
が、凹部２５を下面２１ｂに、突起２６を上面２１ａに
形成して実施してもよい。また、上記実施形態では、第
２アーム１６の上面にアライメントピン１７を、基板ホ
ルダ２１の挿入孔２３の天井面２３ａにアライメント穴
２４を形成したが、アライメントピン１７を天井面２３
ａに、アライメント穴２４を第２アーム１６上面に形成
して実施してもよい。
【００４７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
面積の大きな薄板状の被搬送物の破損を防ぎ容易に搬送
することが可能なホルダ、搬送装置、及び、受け渡しス
テージを提供することができる。
面積の大きな薄板状の被搬送物の破損を防ぎ容易に搬送
することが可能なホルダ、搬送装置、及び、受け渡しス
テージを提供することができる。
【図１】 一実施形態の基板ホルダの斜視図。
【図２】 積み重ねた基板ホルダの正面断面図。
【図３】 （ａ）（ｂ）は基板ホルダとアームの関係を
示す側断面図。
示す側断面図。
【図４】 ステージと基板ホルダの動作の関係を示す一
部断面図。
部断面図。
【図５】 基板ホルダのふたを示す一部平面図。
【図６】 基板搬送装置の構成を示す斜視図。
【図７】 別の基板ホルダの平面図。
【図８】 Ｂ−Ｂ線断面図。
【図９】 別の基板ホルダの平面図。
【図１０】 Ｃ−Ｃ線断面図。
【図１１】 従来の基板搬送装置の斜視図。
【図１２】 （ａ）（ｂ）は、従来の搬送状態を示す説
明図。
明図。
１１ 搬送装置 １６ 第２アーム ２１ 基板ホルダ ２２ 収容部 ２３ 挿入孔 Ｇ 被搬送物としてのガラス基板
Claims (7)
- 【請求項１】 薄板状の被搬送物を搬送装置にて搬送す
るために用いられるホルダであって、 上方に開口し、前記被搬送物を収容する収容部と、 前記搬送装置のアームが側方から挿入される挿入孔とを
備えたホルダ。 - 【請求項２】 請求項１に記載のホルダにおいて、 ホルダの上面と下面のうちの何れか一方には突起を形成
し、他方には前記突起が挿入される凹部を形成したホル
ダ。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載のホルダにおい
て、 前記搬送装置に備えられ、ホルダを持ち上げるためのア
ームの上面と、前記アームが挿入される挿入孔の天井面
のうちの何れか一方にはアライメントピンを形成し、他
方には前記アライメントピンが挿入されてアームに対す
る位置を補正するためのアライメント穴を形成したホル
ダ。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のうちの何れか１項に記
載のホルダにおいて、 前記収容部内を垂直方向に貫通して形成され、ステージ
に立設されたロッドが前記ステージに載置する際に挿通
される挿通孔を形成したホルダ。 - 【請求項５】 請求項４に記載のホルダにおいて、 前記挿入孔の底面には前記挿通孔を塞ぐための蓋を備
え、該蓋は前記ステージに設けられたロッドにより自動
的に開閉操作されるようにしたホルダ。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のうちの何れか１項に記
載のホルダを搬送する搬送装置。 - 【請求項７】 請求項４又は５に記載のホルダが載置さ
れる受け渡しステージであって、 前記ホルダが載置される台部と、 前記台部に立設され、前記ホルダを載置する際に該ホル
ダに形成された挿通孔に挿通され、前記ホルダの収容部
に収容された被搬送物を所定位置に保持するロッドとを
備えた受け渡しステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21500097A JPH1159893A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21500097A JPH1159893A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159893A true JPH1159893A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16665051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21500097A Withdrawn JPH1159893A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1159893A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004009472A1 (ja) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Asahi Glass Company, Limited | 大型ガラス板の搬送方法及び搬送用トレイ |
| JP2006264786A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-10-05 | Asahi Glass Co Ltd | 板状体梱包箱、板状体搬送方法及び板状体積載・取出し方法 |
| JP2006273401A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Fujinon Corp | 光学素子収容ケース |
| JP2007153395A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Asahi Glass Co Ltd | 大型板状体梱包箱 |
| US7568281B2 (en) | 2003-09-26 | 2009-08-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate accommodating tray pallet and substrate transfer system |
| JP2009292595A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移載装置 |
| JP2011131938A (ja) * | 2004-07-23 | 2011-07-07 | Asahi Glass Co Ltd | 板状体梱包箱及び板状体搬送方法 |
| JP2011228337A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ剥がし方法およびウエハ剥がし装置 |
| US8082858B2 (en) | 2002-07-31 | 2011-12-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display substrate accommodating tray and apparatus and method for removing the display substrate |
| CN102498554A (zh) * | 2009-06-15 | 2012-06-13 | 夏普株式会社 | 基板载置台 |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP21500097A patent/JPH1159893A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004009472A1 (ja) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Asahi Glass Company, Limited | 大型ガラス板の搬送方法及び搬送用トレイ |
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| US8756799B2 (en) | 2003-09-26 | 2014-06-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate accommodating tray pallet |
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| CN102498554A (zh) * | 2009-06-15 | 2012-06-13 | 夏普株式会社 | 基板载置台 |
| JPWO2010146981A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2012-12-06 | シャープ株式会社 | 基板載置台 |
| JP2011228337A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ剥がし方法およびウエハ剥がし装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |