JP2711034B2 - 感光板貯蔵・搬送装置 - Google Patents
感光板貯蔵・搬送装置Info
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- JP2711034B2 JP2711034B2 JP24611191A JP24611191A JP2711034B2 JP 2711034 B2 JP2711034 B2 JP 2711034B2 JP 24611191 A JP24611191 A JP 24611191A JP 24611191 A JP24611191 A JP 24611191A JP 2711034 B2 JP2711034 B2 JP 2711034B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive plate
- plate
- storage
- positioning
- photosensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、感光板貯蔵・搬送装
置、特に、レーザプロッタに供給する感光板を貯蔵する
とともに露光装置との間で感光板の搬送を行う感光板貯
蔵・搬送装置に関する。
置、特に、レーザプロッタに供給する感光板を貯蔵する
とともに露光装置との間で感光板の搬送を行う感光板貯
蔵・搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザプロッタは、たとえばプリント基
板のマスタパターンの作成、LCD(液晶表示装置)の
マスクパターンの作成等に広く用いられている。レーザ
プロッタには、可撓性の感光フィルムを専ら用いる円筒
走査型のものと、ガラス乾板等の感光板を用いる平面走
査型のものとがある。温度変化に対して伸縮しやすい感
光フィルムは高精細の画像を描画するのには不向きであ
るので、大画面のアクティブマトリクスLCDのマスク
パターン等に用いる高精細の画像を描画するためには、
ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型レーザプロッ
タが使用される。
板のマスタパターンの作成、LCD(液晶表示装置)の
マスクパターンの作成等に広く用いられている。レーザ
プロッタには、可撓性の感光フィルムを専ら用いる円筒
走査型のものと、ガラス乾板等の感光板を用いる平面走
査型のものとがある。温度変化に対して伸縮しやすい感
光フィルムは高精細の画像を描画するのには不向きであ
るので、大画面のアクティブマトリクスLCDのマスク
パターン等に用いる高精細の画像を描画するためには、
ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型レーザプロッ
タが使用される。
【0003】平面走査型のレーザプロッタでは、感光板
をテーブル上に載置し、載置した感光板を平面内の2方
向で露光走査し、所望の画像を描画する。
をテーブル上に載置し、載置した感光板を平面内の2方
向で露光走査し、所望の画像を描画する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】平面走査型のレーザプ
ロッタでは、従来、感光板を作業者が手で供給する構成
となっている。ところが、感光板を自動供給できない
と、全体の処理を自動化できず、たとえば24時間の無
人運転に対応できない。感光板をレーザプロッタに自動
供給するためには、感光板を貯蔵する貯蔵部が必要とな
る。また、貯蔵された感光板をレーザプロッタに自動供
給する際には、サイズが異なる感光板であっても精密に
セットし得るように、サイズ毎に位置決めを行う必要が
ある。
ロッタでは、従来、感光板を作業者が手で供給する構成
となっている。ところが、感光板を自動供給できない
と、全体の処理を自動化できず、たとえば24時間の無
人運転に対応できない。感光板をレーザプロッタに自動
供給するためには、感光板を貯蔵する貯蔵部が必要とな
る。また、貯蔵された感光板をレーザプロッタに自動供
給する際には、サイズが異なる感光板であっても精密に
セットし得るように、サイズ毎に位置決めを行う必要が
ある。
【0005】以上のように、貯蔵部を備えた装置では、
貯蔵部から感光板を取り出して一旦位置決め部に載置
し、ここで感光板の位置決めを行った後にレーザプロッ
タに搬送されて所定の描画処理が行われる。そして、描
画処理された露光済みの感光板は貯蔵部に搬送されて貯
蔵される。 この場合に、感光板を、まず貯蔵部で位置決
めし、さらに位置決め部で再度位置決めする必要があ
る。各部での位置決めは、感光板の側面を当接部材に当
接させて行うことが考えられる。しかし、貯蔵部での位
置決め及び位置決め部での位置決めを同じ基準で行う
と、露光済みの感光板が貯蔵部に戻ってきた場合、露光
済みの感光板の側面等が貯蔵部の位置決め用当接部材に
接触し、露光済みの部分が傷つく場合がある。
貯蔵部から感光板を取り出して一旦位置決め部に載置
し、ここで感光板の位置決めを行った後にレーザプロッ
タに搬送されて所定の描画処理が行われる。そして、描
画処理された露光済みの感光板は貯蔵部に搬送されて貯
蔵される。 この場合に、感光板を、まず貯蔵部で位置決
めし、さらに位置決め部で再度位置決めする必要があ
る。各部での位置決めは、感光板の側面を当接部材に当
接させて行うことが考えられる。しかし、貯蔵部での位
置決め及び位置決め部での位置決めを同じ基準で行う
と、露光済みの感光板が貯蔵部に戻ってきた場合、露光
済みの感光板の側面等が貯蔵部の位置決め用当接部材に
接触し、露光済みの部分が傷つく場合がある。
【0006】本発明の目的は、露光済みの感光板が貯蔵
部に搬入される際に、露光済み感光板が貯蔵部での位置
決め用の当接部材に接触するのを防止し得る感光板貯蔵
・搬送装置を提供することにある。
部に搬入される際に、露光済み感光板が貯蔵部での位置
決め用の当接部材に接触するのを防止し得る感光板貯蔵
・搬送装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】第1の発明に係る感光板
貯蔵・搬送装置は、感光板を貯蔵するとともに露光装置
との間で感光板の搬送を行う装置であって、貯蔵部と、
位置決め部と、搬送部とを備えている。貯蔵部は、感光
板の側面が当接可能な貯蔵用当接部材を有し、貯蔵用当
接部材に感光板を当接させて貯蔵用中心線を位置決め中
心として感光板を位置決めし貯蔵する。位置決め部は、
貯蔵部の感光板を露光装置に供給する前に位置決めを行
うための露光用当接部材を有し、露光用当接部材に感光
板を当接させて貯蔵用中心線とは異なる露光用中心線を
位置決め中心として感光板を位置決めする。搬送部は、
未露光の感光板を貯蔵部から位置決め部にかつ位置決め
部から露光装置に、さらに露光処理された感光板を露光
装置から貯蔵部に搬送する。そして、位置決め部で位置
決めされた感光板を露光後に貯蔵部に貯蔵する際に、露
光済み感光板は貯蔵用当接部材に非接触状態で貯蔵され
る。
貯蔵・搬送装置は、感光板を貯蔵するとともに露光装置
との間で感光板の搬送を行う装置であって、貯蔵部と、
位置決め部と、搬送部とを備えている。貯蔵部は、感光
板の側面が当接可能な貯蔵用当接部材を有し、貯蔵用当
接部材に感光板を当接させて貯蔵用中心線を位置決め中
心として感光板を位置決めし貯蔵する。位置決め部は、
貯蔵部の感光板を露光装置に供給する前に位置決めを行
うための露光用当接部材を有し、露光用当接部材に感光
板を当接させて貯蔵用中心線とは異なる露光用中心線を
位置決め中心として感光板を位置決めする。搬送部は、
未露光の感光板を貯蔵部から位置決め部にかつ位置決め
部から露光装置に、さらに露光処理された感光板を露光
装置から貯蔵部に搬送する。そして、位置決め部で位置
決めされた感光板を露光後に貯蔵部に貯蔵する際に、露
光済み感光板は貯蔵用当接部材に非接触状態で貯蔵され
る。
【0008】第2の発明に係る感光板貯蔵・搬送装置
は、感光板を貯蔵するとともに露光装置との間で感光板
の搬送を行う装置であって、貯蔵部と、搬送部と、搬送
部制御手段とを備えている。貯蔵部は、感光板の側面が
当接可能な当接部材を有し、当接部材に感光板を当接さ
せて所定の中心線を位置決め中心として感光板を位置決
めし貯蔵する。搬送部は、貯蔵部の感光板を露光装置に
供給するために搬出するとともに、露光処理された感光
板を露光装置から貯蔵部に搬送する。搬送部制御手段
は、露光済み感光板が搬送部により貯蔵部に搬入される
際に、露光済み感光板が当接部材に当接しないように搬
送部による搬入位置を設定する。
は、感光板を貯蔵するとともに露光装置との間で感光板
の搬送を行う装置であって、貯蔵部と、搬送部と、搬送
部制御手段とを備えている。貯蔵部は、感光板の側面が
当接可能な当接部材を有し、当接部材に感光板を当接さ
せて所定の中心線を位置決め中心として感光板を位置決
めし貯蔵する。搬送部は、貯蔵部の感光板を露光装置に
供給するために搬出するとともに、露光処理された感光
板を露光装置から貯蔵部に搬送する。搬送部制御手段
は、露光済み感光板が搬送部により貯蔵部に搬入される
際に、露光済み感光板が当接部材に当接しないように搬
送部による搬入位置を設定する。
【0009】
【作用】第1の発明に係る装置では、貯蔵部における感
光板は、貯蔵用当接部材に当接し、これにより貯蔵用中
心線を位置決め中心として位置決めされている。この感
光板は搬送部により位置決め部に搬送される。位置決め
部では、貯蔵部から搬送されてきた感光板を、露光装置
に供給する前に位置決めする。この位置決めは、露光用
当接部材に感光板を当接させ、これにより貯蔵用中心線
とは異なる露光用中心線を位置決め中心として感光板が
位置決めされる。 このようにして露光用中心線を基準と
して位置決めされた感光板は、搬送部により露光装置に
供給される。 さらに、露光済みの感光板は、搬送部によ
り露光装置から貯蔵部に搬送される。このとき、露光済
みの感光板は、露光用中心線を基準に位置決めされてい
るので、貯蔵部に搬入された際に貯蔵用中心線が基準と
なっていない。そして、露光用中心線を基準として位置
決めされた感光板(露光済み感光板)は、貯蔵部におけ
る貯蔵用当接部材に非接触状態になる。したがって、露
光済みの感光板の側面等が貯蔵用当接部材に接触して感
光板が傷つくのを防止できる。
光板は、貯蔵用当接部材に当接し、これにより貯蔵用中
心線を位置決め中心として位置決めされている。この感
光板は搬送部により位置決め部に搬送される。位置決め
部では、貯蔵部から搬送されてきた感光板を、露光装置
に供給する前に位置決めする。この位置決めは、露光用
当接部材に感光板を当接させ、これにより貯蔵用中心線
とは異なる露光用中心線を位置決め中心として感光板が
位置決めされる。 このようにして露光用中心線を基準と
して位置決めされた感光板は、搬送部により露光装置に
供給される。 さらに、露光済みの感光板は、搬送部によ
り露光装置から貯蔵部に搬送される。このとき、露光済
みの感光板は、露光用中心線を基準に位置決めされてい
るので、貯蔵部に搬入された際に貯蔵用中心線が基準と
なっていない。そして、露光用中心線を基準として位置
決めされた感光板(露光済み感光板)は、貯蔵部におけ
る貯蔵用当接部材に非接触状態になる。したがって、露
光済みの感光板の側面等が貯蔵用当接部材に接触して感
光板が傷つくのを防止できる。
【0010】第2の発明に係る装置では、貯蔵部におけ
る感光板は、当接部材に当接し、これにより所定に中心
線を位置決め中心として位置決めされている。この感光
板は搬送部により露光装置に供給され、さらに露光処理
された感光板は貯蔵部に搬送される。このとき、搬送部
は搬送部制御手段により制御され、露光済みの感光板が
貯蔵部の当接部材に当接しないように貯蔵部に搬入され
る。したがって、露光済みの感光板の側面等が貯蔵部の
当接部材に接触して感光板が傷つくのを防止できる。
る感光板は、当接部材に当接し、これにより所定に中心
線を位置決め中心として位置決めされている。この感光
板は搬送部により露光装置に供給され、さらに露光処理
された感光板は貯蔵部に搬送される。このとき、搬送部
は搬送部制御手段により制御され、露光済みの感光板が
貯蔵部の当接部材に当接しないように貯蔵部に搬入され
る。したがって、露光済みの感光板の側面等が貯蔵部の
当接部材に接触して感光板が傷つくのを防止できる。
【0011】
〔構成〕図1は本発明の一実施例を採用したレーザプロ
ッタを示している。レーザプロッタは、分割ラスター方
式を採用した平面走査型のレーザプロッタ本体1と、レ
ーザプロッタ本体1に並設配置された自動ローダ2とを
備えている。レーザプロッタ本体1は、種々のサイズの
ガラス乾板及びフィルムを感光材料として用い、それ
に、画像データで変調されたレーザ光によりマスクパタ
ーン等を高速で描画する。自動ローダ2は、レーザプロ
ッタ本体1にセットするためのガラス乾板を複数枚貯蔵
し、貯蔵されたガラス乾板のレーザプロッタ本体1への
ロード及びレーザプロッタ本体1からのアンロードを自
動的に行う。また自動ローダ2は、内部に後述する位置
決め装置を備えており、レーザプロッタ本体1にガラス
乾板をロードする際の精密な位置決めを行う。
ッタを示している。レーザプロッタは、分割ラスター方
式を採用した平面走査型のレーザプロッタ本体1と、レ
ーザプロッタ本体1に並設配置された自動ローダ2とを
備えている。レーザプロッタ本体1は、種々のサイズの
ガラス乾板及びフィルムを感光材料として用い、それ
に、画像データで変調されたレーザ光によりマスクパタ
ーン等を高速で描画する。自動ローダ2は、レーザプロ
ッタ本体1にセットするためのガラス乾板を複数枚貯蔵
し、貯蔵されたガラス乾板のレーザプロッタ本体1への
ロード及びレーザプロッタ本体1からのアンロードを自
動的に行う。また自動ローダ2は、内部に後述する位置
決め装置を備えており、レーザプロッタ本体1にガラス
乾板をロードする際の精密な位置決めを行う。
【0012】レーザプロッタ本体1は、図2に示すよう
に平板状のグラナイド定盤3と、このグラナイド定盤3
上に配置されたYテーブル4と、Yテーブル4の図左方
に配置されたレーザ測長装置6と、Yテーブル4の図奥
側に配置された光学ヘッド5と、光学ヘッド5の奥側に
配置されたレーザプロッタ制御部7とから主に構成され
ている。
に平板状のグラナイド定盤3と、このグラナイド定盤3
上に配置されたYテーブル4と、Yテーブル4の図左方
に配置されたレーザ測長装置6と、Yテーブル4の図奥
側に配置された光学ヘッド5と、光学ヘッド5の奥側に
配置されたレーザプロッタ制御部7とから主に構成され
ている。
【0013】Yテーブル4は、図3に示すようにY方向
に沿って配置された2本のレール10,10に、エアベ
アリングにてY方向移動自在に支持されている。また、
Yテーブル4は、レール10,10間にレール10と平
行に配置されたボールねじ12と、ボールねじ12の一
端に接続されたモータ11とを含む駆動機構により、Y
方向に往復駆動される。
に沿って配置された2本のレール10,10に、エアベ
アリングにてY方向移動自在に支持されている。また、
Yテーブル4は、レール10,10間にレール10と平
行に配置されたボールねじ12と、ボールねじ12の一
端に接続されたモータ11とを含む駆動機構により、Y
方向に往復駆動される。
【0014】Yテーブル4には、9つの小孔13と、ガ
ラス乾板を吸着するための多数の吸着孔14とが形成さ
れている。小孔13は、Y方向と直交するX方向に4
列、ガラス乾板のサイズに応じて形成されている。小孔
13には、Yテーブル4の表面に出没可能なピン15,
15…が嵌入している。ピン15,15…のそれぞれの
列に対応して、Yテーブル4の下方には、Y方向に長い
リンク16が配置されている。リンク16はレバー17
に接続されており、レバー17はモータ18により旋回
する構成となっている。ここでは、レバー17の旋回に
よりリンク16が昇降し、リンク16の上面に接触して
いるピン15が出没する。また、吸着孔14の吸着エリ
アはガラス乾板のサイズに応じて切り換え得るようにな
っている。
ラス乾板を吸着するための多数の吸着孔14とが形成さ
れている。小孔13は、Y方向と直交するX方向に4
列、ガラス乾板のサイズに応じて形成されている。小孔
13には、Yテーブル4の表面に出没可能なピン15,
15…が嵌入している。ピン15,15…のそれぞれの
列に対応して、Yテーブル4の下方には、Y方向に長い
リンク16が配置されている。リンク16はレバー17
に接続されており、レバー17はモータ18により旋回
する構成となっている。ここでは、レバー17の旋回に
よりリンク16が昇降し、リンク16の上面に接触して
いるピン15が出没する。また、吸着孔14の吸着エリ
アはガラス乾板のサイズに応じて切り換え得るようにな
っている。
【0015】光学ヘッド5は、図2に示すように、Y方
向と直交するX方向に沿う1対のガイド部材20,20
に移動自在に支持されている。ガイド部材20には、エ
アベアリングが採用されている。両ガイド部材20の間
には、モータ22により駆動されるボールねじ21が配
置されており、モータ22の回転駆動により光学ヘッド
5がX方向に往復移動する。
向と直交するX方向に沿う1対のガイド部材20,20
に移動自在に支持されている。ガイド部材20には、エ
アベアリングが採用されている。両ガイド部材20の間
には、モータ22により駆動されるボールねじ21が配
置されており、モータ22の回転駆動により光学ヘッド
5がX方向に往復移動する。
【0016】レーザ測長装置6は、HeNeレーザ光源
25及び光学系26を備えており、Yテーブル4と光学
ヘッド5との相対距離を測定する。レーザ測長装置6
は、この相対距離を測定することにより、Yテーブル4
及び光学ヘッド5の位置及び速度の計測と、走査のタイ
ミング信号の発生とを行う。レーザプロッタ制御部7
は、画像の記録、レーザプロッタ本体1内の各モータの
サーボ制御、光学ヘッド5内の光学系の制御等を行う。
レーザプロッタ制御部7は、マイクロコンピュータ等を
備えている。
25及び光学系26を備えており、Yテーブル4と光学
ヘッド5との相対距離を測定する。レーザ測長装置6
は、この相対距離を測定することにより、Yテーブル4
及び光学ヘッド5の位置及び速度の計測と、走査のタイ
ミング信号の発生とを行う。レーザプロッタ制御部7
は、画像の記録、レーザプロッタ本体1内の各モータの
サーボ制御、光学ヘッド5内の光学系の制御等を行う。
レーザプロッタ制御部7は、マイクロコンピュータ等を
備えている。
【0017】自動ローダ2は、図4に示すように、その
一端に配置された10枚のガラス乾板を各々独立して貯
蔵するためのストッカ30と、ストッカ30の下方に配
置された位置決め装置31と、ストッカ30よりも図奥
側に配置されたマニピュレータ32とを主に備えてい
る。ストッカ30は、自動ローダ2の一端から引き出し
可能な10枚のパレット34,34…を備えており、パ
レット34上にはガラス乾板35が各々1枚づつ載置さ
れる。パレット34の図奥側には、後述するマニピュレ
ータ32のアーム60との干渉防止用の切欠きが形成さ
れている。ガラス乾板35は、パレット34の2方向の
端部に配置された直交する位置決め部材(貯蔵用当接部
材)36,37により、図左右方向の中心基準に位置決
めされる。なお、位置決め部材36,37はガラス乾板
35のサイズに応じて着脱可能となっている。
一端に配置された10枚のガラス乾板を各々独立して貯
蔵するためのストッカ30と、ストッカ30の下方に配
置された位置決め装置31と、ストッカ30よりも図奥
側に配置されたマニピュレータ32とを主に備えてい
る。ストッカ30は、自動ローダ2の一端から引き出し
可能な10枚のパレット34,34…を備えており、パ
レット34上にはガラス乾板35が各々1枚づつ載置さ
れる。パレット34の図奥側には、後述するマニピュレ
ータ32のアーム60との干渉防止用の切欠きが形成さ
れている。ガラス乾板35は、パレット34の2方向の
端部に配置された直交する位置決め部材(貯蔵用当接部
材)36,37により、図左右方向の中心基準に位置決
めされる。なお、位置決め部材36,37はガラス乾板
35のサイズに応じて着脱可能となっている。
【0018】位置決め装置31は、ガラス乾板35を水
平面上全方向に移動自在に支持する複数のフリーベアリ
ング40と、フリーベアリング40上に載置されたガラ
ス乾板35を位置決めするための2組の位置決め部材
(露光用当接部材)41,42とを備えている。位置決
め部材41は、ガラス乾板35をマニピュレータ32の
搬送方向(A方向)と直交する方向に位置決めするため
のものである。位置決め部材41は、モータ43a,4
3bで搬送方向(A方向)と直交する方向に駆動される
当接部材44,45を備えている。当接部材44は、旋
回自在なレバー46aと、レバー46aの一端に鉛直軸
回りに回転自在に支持されたローラ46とを備えてい
る。レバー46aは対向する当接部材45側に図示しな
いスプリングにより付勢されている。また、当接部材4
5は、その上部に回転自在なローラ47を備えている。
この、当接部材45のローラ47が、搬送方向と直交す
る方向の基準端となる。
平面上全方向に移動自在に支持する複数のフリーベアリ
ング40と、フリーベアリング40上に載置されたガラ
ス乾板35を位置決めするための2組の位置決め部材
(露光用当接部材)41,42とを備えている。位置決
め部材41は、ガラス乾板35をマニピュレータ32の
搬送方向(A方向)と直交する方向に位置決めするため
のものである。位置決め部材41は、モータ43a,4
3bで搬送方向(A方向)と直交する方向に駆動される
当接部材44,45を備えている。当接部材44は、旋
回自在なレバー46aと、レバー46aの一端に鉛直軸
回りに回転自在に支持されたローラ46とを備えてい
る。レバー46aは対向する当接部材45側に図示しな
いスプリングにより付勢されている。また、当接部材4
5は、その上部に回転自在なローラ47を備えている。
この、当接部材45のローラ47が、搬送方向と直交す
る方向の基準端となる。
【0019】位置決め部材42は、マニピュレータ32
の搬送方向(A方向)の位置決めを行う部材であり、固
定された当接部材50と、移動可能な当接部材51とを
備えている。当接部材50は、自動ローダ2の手前側に
幅方向に延びて配置されている。当接部材50の上面に
は所定間隔をおいてローラ52,52が鉛直軸回りに回
転自在に支持されている。当接部材51は上面に、旋回
自在な2つのレバー54a(一方は図示せず)と、レバ
ー54aの一端に鉛直軸回りに回転自在に支持されたロ
ーラ54とを備えている。レバー54aは、当接部材5
0側に図示しないスプリングにより付勢されている。当
接部材50のローラ52,52が、搬送方向(A方向)
の基準端となる。
の搬送方向(A方向)の位置決めを行う部材であり、固
定された当接部材50と、移動可能な当接部材51とを
備えている。当接部材50は、自動ローダ2の手前側に
幅方向に延びて配置されている。当接部材50の上面に
は所定間隔をおいてローラ52,52が鉛直軸回りに回
転自在に支持されている。当接部材51は上面に、旋回
自在な2つのレバー54a(一方は図示せず)と、レバ
ー54aの一端に鉛直軸回りに回転自在に支持されたロ
ーラ54とを備えている。レバー54aは、当接部材5
0側に図示しないスプリングにより付勢されている。当
接部材50のローラ52,52が、搬送方向(A方向)
の基準端となる。
【0020】ここで、位置決め装置31とストッカ30
との間の位置決め基準の関係について説明する。図5の
ように平面的に見て、第1中心線(露光用中心線)38
は位置決め装置31が有するガラス乾板35の位置決め
中心であり、第2中心線(貯蔵用中心線)39はストッ
カ30が有するガラス乾板35の位置決め中心である。
図5から明らかなように、位置決め装置31の第1中心
線38は、ストッカ30の第2中心線よりも図上方に配
置されている。すなわち、ストッカ30において仮想線
35aで示される位置に当初位置決めされたガラス乾板
35は、位置決め装置31では仮想線35bで示される
位置に位置決めされることになる。したがって、一旦位
置決め装置31で位置決めされたガラス乾板35が再び
ストッカ30に戻されるときには、マニピュレータ32
がガラス乾板35を取り出すときと同じ位置へ戻ってき
てもパレット34上において位置決め部材36,37か
ら離れた仮想線35bの位置にガラス乾板35が配置さ
れることになる。したがって、ガラス乾板35がストッ
カ30に戻されるときに位置決め部材36,37に衝突
して傷つくことがなくなる。
との間の位置決め基準の関係について説明する。図5の
ように平面的に見て、第1中心線(露光用中心線)38
は位置決め装置31が有するガラス乾板35の位置決め
中心であり、第2中心線(貯蔵用中心線)39はストッ
カ30が有するガラス乾板35の位置決め中心である。
図5から明らかなように、位置決め装置31の第1中心
線38は、ストッカ30の第2中心線よりも図上方に配
置されている。すなわち、ストッカ30において仮想線
35aで示される位置に当初位置決めされたガラス乾板
35は、位置決め装置31では仮想線35bで示される
位置に位置決めされることになる。したがって、一旦位
置決め装置31で位置決めされたガラス乾板35が再び
ストッカ30に戻されるときには、マニピュレータ32
がガラス乾板35を取り出すときと同じ位置へ戻ってき
てもパレット34上において位置決め部材36,37か
ら離れた仮想線35bの位置にガラス乾板35が配置さ
れることになる。したがって、ガラス乾板35がストッ
カ30に戻されるときに位置決め部材36,37に衝突
して傷つくことがなくなる。
【0021】マニピュレータ32は、上下、旋回及び径
方向の3軸に移動可能となっている。これは、径方向
(A方向)に移動してガラス乾板35の重心を含む下面
を支持するアーム60と、アーム60を径方向に移動可
能に支持する旋回部61と、旋回部61を旋回方向(B
方向)及び上下方向(C方向)に移動可能に支持するボ
ディ63とにより実現されている。アーム60の上面に
はウレタンゴム等のすべり止め部材(図示せず)が取り
付けられている。ボディ63内には、旋回及び上下駆動
用のモータ(図示せず)が配置されており、旋回部61
には径方向駆動用のモータ(図示せず)が配置されてい
る。
方向の3軸に移動可能となっている。これは、径方向
(A方向)に移動してガラス乾板35の重心を含む下面
を支持するアーム60と、アーム60を径方向に移動可
能に支持する旋回部61と、旋回部61を旋回方向(B
方向)及び上下方向(C方向)に移動可能に支持するボ
ディ63とにより実現されている。アーム60の上面に
はウレタンゴム等のすべり止め部材(図示せず)が取り
付けられている。ボディ63内には、旋回及び上下駆動
用のモータ(図示せず)が配置されており、旋回部61
には径方向駆動用のモータ(図示せず)が配置されてい
る。
【0022】自動ローダ2の一側面には、連通口70が
形成されている。連通口70は、レーザプロッタ本体1
に連通しており、この連通口70を介してレーザプロッ
タ本体1に対してガラス乾板35の搬送を行う。また、
レーザプロッタ本体1と自動ローダ2との間は光を遮断
する構造となっており、自動ローダ2のパレット34に
ガラス乾板35を一旦セットした後は、オペレータによ
る作業はすべて明室にて行える。
形成されている。連通口70は、レーザプロッタ本体1
に連通しており、この連通口70を介してレーザプロッ
タ本体1に対してガラス乾板35の搬送を行う。また、
レーザプロッタ本体1と自動ローダ2との間は光を遮断
する構造となっており、自動ローダ2のパレット34に
ガラス乾板35を一旦セットした後は、オペレータによ
る作業はすべて明室にて行える。
【0023】次にレーザプロッタの制御系の構成につい
て説明する。レーザプロッタの制御系は、図6に示すよ
うに、エンジニアリングワークステーションを含む主制
御部100を備えている。主制御部100には、キーボ
ード101、CRT102、磁気ディスク103及び他
の入出力部が接続されている。また、主制御部100に
は、レーザプロッタ制御部7と、ローダ制御部104と
がそれぞれ接続されている。レーザプロッタ制御部7に
は、レーザプロッタ本体1の各制御素子が接続されてい
る。またローダ制御部104には、自動ローダ2内の各
制御素子が接続されている。
て説明する。レーザプロッタの制御系は、図6に示すよ
うに、エンジニアリングワークステーションを含む主制
御部100を備えている。主制御部100には、キーボ
ード101、CRT102、磁気ディスク103及び他
の入出力部が接続されている。また、主制御部100に
は、レーザプロッタ制御部7と、ローダ制御部104と
がそれぞれ接続されている。レーザプロッタ制御部7に
は、レーザプロッタ本体1の各制御素子が接続されてい
る。またローダ制御部104には、自動ローダ2内の各
制御素子が接続されている。
【0024】次に、このように構成されたレーザプロッ
タの制御機能について説明する。図7及び図8は主制御
部100の制御フローチャート、図9はレーザプロッタ
制御部7の制御フローチャート、図10はローダ制御部
104の制御フローチャートである。主制御 オペレーターにより主制御部100の起動ボタンが押さ
れると、図7のステップS1でCPU内のメモリの初期
化等を行う。ステップS2では、キーボード101等を
介して作業データの入力を行う。ここでは、たとえばス
トッカ30の段数、ガラス乾板のサイズ、描画データが
格納された描画ファイル名、感光材料の種類、描画画素
サイズ等のデータを入力する。続いてステップS3で
は、オペレータによる作業開始指令を待つ。
タの制御機能について説明する。図7及び図8は主制御
部100の制御フローチャート、図9はレーザプロッタ
制御部7の制御フローチャート、図10はローダ制御部
104の制御フローチャートである。主制御 オペレーターにより主制御部100の起動ボタンが押さ
れると、図7のステップS1でCPU内のメモリの初期
化等を行う。ステップS2では、キーボード101等を
介して作業データの入力を行う。ここでは、たとえばス
トッカ30の段数、ガラス乾板のサイズ、描画データが
格納された描画ファイル名、感光材料の種類、描画画素
サイズ等のデータを入力する。続いてステップS3で
は、オペレータによる作業開始指令を待つ。
【0025】オペレータが、ストッカ30の各パレット
34に描画対象のガラス乾板35をセットする等の準備
作業を終え、作業開始指令を入力すると、ステップS4
に移行する。なお、ガラス乾板35は、図5に仮想線3
5aで示すように位置決め部材36,37に当接する位
置(すなわち、第2中心線39を基準とする位置)に配
置される。
34に描画対象のガラス乾板35をセットする等の準備
作業を終え、作業開始指令を入力すると、ステップS4
に移行する。なお、ガラス乾板35は、図5に仮想線3
5aで示すように位置決め部材36,37に当接する位
置(すなわち、第2中心線39を基準とする位置)に配
置される。
【0026】ステップS4では、レーザプロッタ制御部
7やローダ制御部104からの情報により、装置の状態
チェックを行う。たとえば、ガラス乾板35がYテーブ
ル4や位置決め装置31上に存在しているか否か、ピン
15が下降しているか否か等のチェックを行う。ステッ
プS5では、レーザプロッタ制御部7へ、Yテーブル4
の原点移動指令を出力する。この原点移動指令は、ガラ
ス乾板35のサイズに応じた指令となる。
7やローダ制御部104からの情報により、装置の状態
チェックを行う。たとえば、ガラス乾板35がYテーブ
ル4や位置決め装置31上に存在しているか否か、ピン
15が下降しているか否か等のチェックを行う。ステッ
プS5では、レーザプロッタ制御部7へ、Yテーブル4
の原点移動指令を出力する。この原点移動指令は、ガラ
ス乾板35のサイズに応じた指令となる。
【0027】ステップS6では、レーザプロッタ制御部
7からの、テーブル原点移動完了信号(ステップP7)
を待つ。レーザプロッタ制御部7から原点移動完了信号
が出力されるとステップS7に移行する。ステップS7
では、ローダ制御部104に対しロード指令を出力す
る。ステップS8では、ローダ制御部104からガラス
乾板35のサイズチェック結果を受け取り、ガラス乾板
35のサイズが作業データのサイズと同じか否かを判断
する。ガラス乾板35のサイズが、入力された作業デー
タが示すサイズと同じ場合にはステップS9に進む。
7からの、テーブル原点移動完了信号(ステップP7)
を待つ。レーザプロッタ制御部7から原点移動完了信号
が出力されるとステップS7に移行する。ステップS7
では、ローダ制御部104に対しロード指令を出力す
る。ステップS8では、ローダ制御部104からガラス
乾板35のサイズチェック結果を受け取り、ガラス乾板
35のサイズが作業データのサイズと同じか否かを判断
する。ガラス乾板35のサイズが、入力された作業デー
タが示すサイズと同じ場合にはステップS9に進む。
【0028】ステップS9では、ローダ制御部104か
らの乾板移動完了信号(ステップR9)を待つ。ローダ
制御部104から乾板移動完了信号が出力されるとステ
ップS10に移行する。ステップS10では、レーザプ
ロッタ制御部7に対し、ピン15の上昇指令を出力す
る。ステップS11では、レーザプロッタ制御部7から
のピン上昇完了信号(ステップP9)を待つ。ステップ
S11で、レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信
号を受けるとステップS12に移行する。ステップS1
2では、ローダ制御部104に対し、マニピュレータ3
2のアーム60の引き込み指令を出力する。
らの乾板移動完了信号(ステップR9)を待つ。ローダ
制御部104から乾板移動完了信号が出力されるとステ
ップS10に移行する。ステップS10では、レーザプ
ロッタ制御部7に対し、ピン15の上昇指令を出力す
る。ステップS11では、レーザプロッタ制御部7から
のピン上昇完了信号(ステップP9)を待つ。ステップ
S11で、レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信
号を受けるとステップS12に移行する。ステップS1
2では、ローダ制御部104に対し、マニピュレータ3
2のアーム60の引き込み指令を出力する。
【0029】続いて図8のステップS13では、ローダ
制御部104からのアーム60の引き込み完了信号(ス
テップR12)を待つ。アーム60の引き込み完了信号
を受けるとステップS14に進む。ステップS14で
は、レーザプロッタ制御部7に対して、ピン下降指令を
出力する。ステップS15では、レーザプロッタ制御部
7からのピン下降完了信号(ステップP13)を待つ。
レーザプロッタ制御部7からピン下降完了信号を受ける
とステップS16に進む。
制御部104からのアーム60の引き込み完了信号(ス
テップR12)を待つ。アーム60の引き込み完了信号
を受けるとステップS14に進む。ステップS14で
は、レーザプロッタ制御部7に対して、ピン下降指令を
出力する。ステップS15では、レーザプロッタ制御部
7からのピン下降完了信号(ステップP13)を待つ。
レーザプロッタ制御部7からピン下降完了信号を受ける
とステップS16に進む。
【0030】ステップS16では、レーザプロッタ制御
部7に対し、描画指令を出力する。ステップS17で
は、レーザプロッタ制御部7からの描画完了信号(ステ
ップP17)を待つ。レーザプロッタ制御部7から描画
完了信号を受けるとステップS18に進む。ステップS
18では、レーザプロッタ制御部7に対しピン上昇指令
を出力する。ステップS19では、レーザプロッタ制御
部7からのピン上昇完了信号(ステップP20)を待
つ。レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信号を受
けるとステップS20に進む。
部7に対し、描画指令を出力する。ステップS17で
は、レーザプロッタ制御部7からの描画完了信号(ステ
ップP17)を待つ。レーザプロッタ制御部7から描画
完了信号を受けるとステップS18に進む。ステップS
18では、レーザプロッタ制御部7に対しピン上昇指令
を出力する。ステップS19では、レーザプロッタ制御
部7からのピン上昇完了信号(ステップP20)を待
つ。レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信号を受
けるとステップS20に進む。
【0031】ステップS20では、ローダ制御部104
に対し、アンロード指令を出力する。ステップS21で
は、ローダ制御部104からのアーム60の挿入完了信
号(ステップR17)を待つ。アーム60の挿入完了信
号を受けるとステップS22に進む。ステップS22で
は、レーザプロッタ制御部7に対し、ピン下降指令を出
力する。ステップS23では、レーザプロッタ制御部7
からのピン下降完了信号(ステップP23)を待つ。レ
ーザプロッタ制御部7からピン下降完了信号を受けると
ステップS24に進む。ステップS24では、ローダ制
御部104に対し乾板収納指令を出力する。ステップS
25では、ステップS2(図7)での入力情報に基づ
き、作業終了であるか否かを判断する。作業終了ではな
いと判断されたときにはステップS5に戻る。また、作
業終了であると判断されたた場合には処理を終了する。
に対し、アンロード指令を出力する。ステップS21で
は、ローダ制御部104からのアーム60の挿入完了信
号(ステップR17)を待つ。アーム60の挿入完了信
号を受けるとステップS22に進む。ステップS22で
は、レーザプロッタ制御部7に対し、ピン下降指令を出
力する。ステップS23では、レーザプロッタ制御部7
からのピン下降完了信号(ステップP23)を待つ。レ
ーザプロッタ制御部7からピン下降完了信号を受けると
ステップS24に進む。ステップS24では、ローダ制
御部104に対し乾板収納指令を出力する。ステップS
25では、ステップS2(図7)での入力情報に基づ
き、作業終了であるか否かを判断する。作業終了ではな
いと判断されたときにはステップS5に戻る。また、作
業終了であると判断されたた場合には処理を終了する。
【0032】一方、図7のステップS8で、入力された
作業データと異なるサイズのガラス乾板35がロードさ
れたと判断された場合には、ステップS26に進む。ス
テップS26ではローダ制御部104からの乾板収納完
了信号(ステップR15)を待つ。収納完了信号が出力
されるとステップS5に戻る。レーザプロッタ制御 レーザプロッタ制御部7では、図9のステップP1で、
各部を初期位置にセットする等の初期化を行う。ステッ
プP2では、Yテーブル4のガラス乾板サイズに応じた
原点移動指令(ステップS5)が主制御部104から出
力されたか否かを判断する。原点移動指令が出力されて
いないと判断された場合にはステップP3に進む。ステ
ップP3では、主制御部100からピン上昇指令(ステ
ップS10)が出力されたか否かを判断する。ピン上昇
指令が出力されていないと判断された場合にはステップ
P4に移行する。ステップP4では、主制御部100か
ら描画指令(ステップS16)がなされたか否かを判断
する。主制御部100から描画指令が出力されていない
と判断したときにはステップP5に移行する。ステップ
P5では、他の処理を実行する。ステップP5での他の
処理が終了するとステップP2に戻る。
作業データと異なるサイズのガラス乾板35がロードさ
れたと判断された場合には、ステップS26に進む。ス
テップS26ではローダ制御部104からの乾板収納完
了信号(ステップR15)を待つ。収納完了信号が出力
されるとステップS5に戻る。レーザプロッタ制御 レーザプロッタ制御部7では、図9のステップP1で、
各部を初期位置にセットする等の初期化を行う。ステッ
プP2では、Yテーブル4のガラス乾板サイズに応じた
原点移動指令(ステップS5)が主制御部104から出
力されたか否かを判断する。原点移動指令が出力されて
いないと判断された場合にはステップP3に進む。ステ
ップP3では、主制御部100からピン上昇指令(ステ
ップS10)が出力されたか否かを判断する。ピン上昇
指令が出力されていないと判断された場合にはステップ
P4に移行する。ステップP4では、主制御部100か
ら描画指令(ステップS16)がなされたか否かを判断
する。主制御部100から描画指令が出力されていない
と判断したときにはステップP5に移行する。ステップ
P5では、他の処理を実行する。ステップP5での他の
処理が終了するとステップP2に戻る。
【0033】ステップP2で主制御部100から原点移
動指令(ステップS5)が出力されたと判断するとステ
ップP6に進む。ステップP6では、ガラス乾板35の
サイズに応じた原点にYテーブル4を移動させる。ステ
ップP7では、Yテーブル4の原点移動完了信号を主制
御部100に出力する。原点移動完了信号の出力を終わ
るとステップP2に戻る。
動指令(ステップS5)が出力されたと判断するとステ
ップP6に進む。ステップP6では、ガラス乾板35の
サイズに応じた原点にYテーブル4を移動させる。ステ
ップP7では、Yテーブル4の原点移動完了信号を主制
御部100に出力する。原点移動完了信号の出力を終わ
るとステップP2に戻る。
【0034】ステップP3で、主制御部100からピン
上昇指令(ステップS10)が出力されたと判断すると
ステップP8に移行する。ステップP8では、ピン15
を上昇させる。ステップP9では、ピン15の上昇完了
信号を主制御部100に対し出力する。ステップP10
では、主制御部100からのピン下降指令(ステップS
14)を待つ。主制御部100からピン下降指令を受け
るとステップP11に移行する。ステップP11では、
図示しない真空ポンプにより、吸着孔14,14…から
エアを吸い込み、吸着動作を開始する。ステップP12
ではピン15を下降させる。ステップP13では、主制
御部100に対しピン下降完了信号を出力する。ステッ
プP14では、吸着孔14,14…の吸着エリアをサイ
ズに応じて切り換える。たとえばサイズの小さな乾板の
ときは、Yテーブル4の手前側のエリアだけを吸着エリ
アとする。これにより、ガラス乾板35の保持を行う。
上昇指令(ステップS10)が出力されたと判断すると
ステップP8に移行する。ステップP8では、ピン15
を上昇させる。ステップP9では、ピン15の上昇完了
信号を主制御部100に対し出力する。ステップP10
では、主制御部100からのピン下降指令(ステップS
14)を待つ。主制御部100からピン下降指令を受け
るとステップP11に移行する。ステップP11では、
図示しない真空ポンプにより、吸着孔14,14…から
エアを吸い込み、吸着動作を開始する。ステップP12
ではピン15を下降させる。ステップP13では、主制
御部100に対しピン下降完了信号を出力する。ステッ
プP14では、吸着孔14,14…の吸着エリアをサイ
ズに応じて切り換える。たとえばサイズの小さな乾板の
ときは、Yテーブル4の手前側のエリアだけを吸着エリ
アとする。これにより、ガラス乾板35の保持を行う。
【0035】ステップP4で、主制御部100から描画
指令(ステップS16)が出力されたと判断するとステ
ップP15に移行する。ステップP15では、Yテーブ
ル4及び光学ヘッド5を移動させ、画像データで変調さ
れたレーザ光によりガラス乾板35上に所定の画像を描
画する描画処理を行う。この描画処理では、音響光学変
調素子(AOM)により図示しないレーザ光源から出力
されたレーザ光を画像データに応じて変調し、さらに、
音響光学偏向素子(AOD)により微小幅にレーザ光を
偏向し、走査する。つまり、AODで微小幅主走査を行
いつつ、Yテーブル4をY方向(副走査方向)に移動さ
せる。そして、1つの微小幅の走査が終了すると、光学
ヘッド5を微小幅分移動させ、次の微小幅の走査を行
う。これを順次繰り返し、描画領域全体の描画を行う。
指令(ステップS16)が出力されたと判断するとステ
ップP15に移行する。ステップP15では、Yテーブ
ル4及び光学ヘッド5を移動させ、画像データで変調さ
れたレーザ光によりガラス乾板35上に所定の画像を描
画する描画処理を行う。この描画処理では、音響光学変
調素子(AOM)により図示しないレーザ光源から出力
されたレーザ光を画像データに応じて変調し、さらに、
音響光学偏向素子(AOD)により微小幅にレーザ光を
偏向し、走査する。つまり、AODで微小幅主走査を行
いつつ、Yテーブル4をY方向(副走査方向)に移動さ
せる。そして、1つの微小幅の走査が終了すると、光学
ヘッド5を微小幅分移動させ、次の微小幅の走査を行
う。これを順次繰り返し、描画領域全体の描画を行う。
【0036】このときのYテーブル4及び光学ヘッド5
の相対位置はレーザ測長装置6により測定され、モータ
11及び22のサーボ制御が行われる。ここでは、AO
Dの走査のタイミング信号を発生するレーザ測長装置6
を用いることにより、AOD走査光学系の制御を正確に
行えるとともに、描画パターンの精度を高くできる。ス
テップP16では、描画が終了した際のテーブル移動を
行う。このテーブル移動により、Yテーブル4を乾板サ
イズに応じた原点位置に戻す。ステップP17では、主
制御部100に対し描画完了信号を出力する。ステップ
P18では、主制御部100からのピン上昇指令を待
つ。主制御部100からピン上昇指令を受けるとステッ
プP19に移行する。ステップP19では、吸着を解除
するとともに、ピン15を上昇させる。これによりガラ
ス乾板35を持ち上げる。ステップP20では、ピン上
昇完了信号を主制御部100に対して出力する。
の相対位置はレーザ測長装置6により測定され、モータ
11及び22のサーボ制御が行われる。ここでは、AO
Dの走査のタイミング信号を発生するレーザ測長装置6
を用いることにより、AOD走査光学系の制御を正確に
行えるとともに、描画パターンの精度を高くできる。ス
テップP16では、描画が終了した際のテーブル移動を
行う。このテーブル移動により、Yテーブル4を乾板サ
イズに応じた原点位置に戻す。ステップP17では、主
制御部100に対し描画完了信号を出力する。ステップ
P18では、主制御部100からのピン上昇指令を待
つ。主制御部100からピン上昇指令を受けるとステッ
プP19に移行する。ステップP19では、吸着を解除
するとともに、ピン15を上昇させる。これによりガラ
ス乾板35を持ち上げる。ステップP20では、ピン上
昇完了信号を主制御部100に対して出力する。
【0037】ステップP21では、主制御部100から
のピン下降指令を待つ。主制御部からピン下降指令を受
けるとステップP22に移行する。ステップP22で
は、ピン15を下降させる。ステップP23では、ピン
下降完了指令を主制御部100に対して出力する。ステ
ップP23での処理が終了するとステップP2に戻る。
このように、ピンの上昇下降により、自動ローダ2との
間でガラス乾板35のロード・アンロード処理を行う。ローダ制御 ローダ制御部104では、図10に示すように、まず、
ステップR1で各部を初期位置にセットする等の初期化
が行われる。ステップR2では、主制御部100からロ
ード指令(ステップS7)が出力されたか否かを判断す
る。主制御部100からロード指令が出力されていない
と判断された場合にはステップR3に移行する。ステッ
プR3では、主制御部100からアンロード指令(ステ
ップS20)が出力されたか否かを判断する。主制御部
100からアンロード指令が出力されていないと判断さ
れるとステップR4に移行する。ステップR4では他の
処理を行う。ステップR4の処理が終了するとステップ
R2に戻る。
のピン下降指令を待つ。主制御部からピン下降指令を受
けるとステップP22に移行する。ステップP22で
は、ピン15を下降させる。ステップP23では、ピン
下降完了指令を主制御部100に対して出力する。ステ
ップP23での処理が終了するとステップP2に戻る。
このように、ピンの上昇下降により、自動ローダ2との
間でガラス乾板35のロード・アンロード処理を行う。ローダ制御 ローダ制御部104では、図10に示すように、まず、
ステップR1で各部を初期位置にセットする等の初期化
が行われる。ステップR2では、主制御部100からロ
ード指令(ステップS7)が出力されたか否かを判断す
る。主制御部100からロード指令が出力されていない
と判断された場合にはステップR3に移行する。ステッ
プR3では、主制御部100からアンロード指令(ステ
ップS20)が出力されたか否かを判断する。主制御部
100からアンロード指令が出力されていないと判断さ
れるとステップR4に移行する。ステップR4では他の
処理を行う。ステップR4の処理が終了するとステップ
R2に戻る。
【0038】ステップR2で、主制御部100からロー
ド指令(ステップS7)が出力されたと判断するとステ
ップR5に移行する。ステップR5では、マニピュレー
タ32のアーム60を引き出し、ストッカ30から作業
データに応じたガラス乾板35を取り出す。ステップR
6では、取り出したガラス乾板35を位置決め装置31
のフリーベアリング40上に載置する。ステップR6で
は、載置されたガラス乾板35のサイズを、位置決め装
置31に配置された図示しないセンサによりチェックす
る。載置されたガラス乾板35のサイズが、作業データ
で指示されたサイズと同一の場合にはステップR7に移
行する。ステップR7では、当接部材44,45,5
0,51により、ガラス乾板35を、作業データに応じ
たサイズの位置で中心基準で位置決めする。
ド指令(ステップS7)が出力されたと判断するとステ
ップR5に移行する。ステップR5では、マニピュレー
タ32のアーム60を引き出し、ストッカ30から作業
データに応じたガラス乾板35を取り出す。ステップR
6では、取り出したガラス乾板35を位置決め装置31
のフリーベアリング40上に載置する。ステップR6で
は、載置されたガラス乾板35のサイズを、位置決め装
置31に配置された図示しないセンサによりチェックす
る。載置されたガラス乾板35のサイズが、作業データ
で指示されたサイズと同一の場合にはステップR7に移
行する。ステップR7では、当接部材44,45,5
0,51により、ガラス乾板35を、作業データに応じ
たサイズの位置で中心基準で位置決めする。
【0039】この位置決めの際には、図5に示すよう
に、パレット34の中心基準である第2中心線39より
図の上側にずれた第1中心線38を基準に位置決めがな
される。たとえば、パレット34でガラス乾板35が位
置決め部材36,37により仮想線35aで示す位置に
位置決めされたとすると、位置決め装置31では、仮想
線35aで示す位置にガラス乾板35が位置決めされ
る。つまり、パレット34上の位置決め部材36,37
で位置決めされた位置より図の上左側(位置決め部材3
6,37に当接しない位置)に位置決めされる。これ
は、レーザプロッタ本体1へガラス乾板35をロードし
た後、そのガラス乾板35をパレット34に戻す際に、
ガラス乾板35の側面及び底面を位置決め部材36,3
7に当接させないためである。これにより、ガラス乾板
35の傷の発生等を防止できる。なお、ガラス乾板35
は両中心線38,39のどちらで位置決めしても、その
重心がアーム60上に位置するようにしてあるため、ガ
ラス乾板35の支持に支障はない。
に、パレット34の中心基準である第2中心線39より
図の上側にずれた第1中心線38を基準に位置決めがな
される。たとえば、パレット34でガラス乾板35が位
置決め部材36,37により仮想線35aで示す位置に
位置決めされたとすると、位置決め装置31では、仮想
線35aで示す位置にガラス乾板35が位置決めされ
る。つまり、パレット34上の位置決め部材36,37
で位置決めされた位置より図の上左側(位置決め部材3
6,37に当接しない位置)に位置決めされる。これ
は、レーザプロッタ本体1へガラス乾板35をロードし
た後、そのガラス乾板35をパレット34に戻す際に、
ガラス乾板35の側面及び底面を位置決め部材36,3
7に当接させないためである。これにより、ガラス乾板
35の傷の発生等を防止できる。なお、ガラス乾板35
は両中心線38,39のどちらで位置決めしても、その
重心がアーム60上に位置するようにしてあるため、ガ
ラス乾板35の支持に支障はない。
【0040】ステップR8では、マニピュレータ32に
より、位置決めされたガラス乾板35をアーム60の上
面に載置し、位置決め装置31からアーム60を退出さ
せる。さらに、旋回部61を時計回りに90°旋回さ
せ、連通口70を通じてガラス乾板35をYテーブル4
上へ載置する。ステップR9では、主制御部100に乾
板移動完了信号を出力する。ステップR10では、主制
御部100からのアーム引き込み指令(ステップS1
2)を待つ。主制御部からアーム引き込み指令が出力さ
れたと判断されるとステップR11に進む。ステップR
11ではマニピュレータ32によりアーム60の引き込
み動作を実行する。ステップR12では、アーム60の
引き込み完了信号を主制御部100に出力する。ステッ
プR13では、マニピュレータ32を原点位置に復帰さ
せる。ステップR13での処理を終了するとステップR
2に戻る。
より、位置決めされたガラス乾板35をアーム60の上
面に載置し、位置決め装置31からアーム60を退出さ
せる。さらに、旋回部61を時計回りに90°旋回さ
せ、連通口70を通じてガラス乾板35をYテーブル4
上へ載置する。ステップR9では、主制御部100に乾
板移動完了信号を出力する。ステップR10では、主制
御部100からのアーム引き込み指令(ステップS1
2)を待つ。主制御部からアーム引き込み指令が出力さ
れたと判断されるとステップR11に進む。ステップR
11ではマニピュレータ32によりアーム60の引き込
み動作を実行する。ステップR12では、アーム60の
引き込み完了信号を主制御部100に出力する。ステッ
プR13では、マニピュレータ32を原点位置に復帰さ
せる。ステップR13での処理を終了するとステップR
2に戻る。
【0041】ステップR3で、主制御部100からアン
ロード指令(ステップS20)が出力されたと判断する
とステップR16に移行する。ステップR16ではアー
ム60を進出させ、アーム60をピン15によって上昇
させられたガラス乾板35とテーブル上面との間に挿入
する。ステップR17では、アーム挿入完了信号を主制
御部100に出力する。ステップR18では、主制御部
100からのガラス乾板35の収納指令(ステップS2
4)を待つ。
ロード指令(ステップS20)が出力されたと判断する
とステップR16に移行する。ステップR16ではアー
ム60を進出させ、アーム60をピン15によって上昇
させられたガラス乾板35とテーブル上面との間に挿入
する。ステップR17では、アーム挿入完了信号を主制
御部100に出力する。ステップR18では、主制御部
100からのガラス乾板35の収納指令(ステップS2
4)を待つ。
【0042】主制御部100からガラス乾板35の収納
指令を受けるとステップR19に移行する。ステップR
19ではアーム60を引き込み、連通口70からガラス
乾板35を自動ローダ2内に移動させる。さらに、旋回
部61を90°反時計回りに旋回させてさらに上昇さ
せ、マニピュレータ32によりガラス乾板35を所定の
パレット34に収納する。ここでは、ガラス乾板35
は、すでに位置決め装置31で異なる基準位置に位置決
めされているため、ガラス乾板35の側面及び底面は位
置決め部材36,37に当接しない。これにより、ガラ
ス乾板35の傷の発生等を防止できる。
指令を受けるとステップR19に移行する。ステップR
19ではアーム60を引き込み、連通口70からガラス
乾板35を自動ローダ2内に移動させる。さらに、旋回
部61を90°反時計回りに旋回させてさらに上昇さ
せ、マニピュレータ32によりガラス乾板35を所定の
パレット34に収納する。ここでは、ガラス乾板35
は、すでに位置決め装置31で異なる基準位置に位置決
めされているため、ガラス乾板35の側面及び底面は位
置決め部材36,37に当接しない。これにより、ガラ
ス乾板35の傷の発生等を防止できる。
【0043】ステップR20では、マニピュレータ32
を原点位置に復帰させる。ステップR20での動作が終
了するとステップR2に戻る。一方、ステップR6での
チェックの結果、サイズが合わなかったときにはステッ
プR14に移行する。ステップR14ではフリーベアリ
ング40上に載置されたガラス乾板35を元のパレット
位置に収納する。ステップR14では、乾板収納完了信
号を主制御部100に出力する。この処理が終了すると
ステップR2に戻る。 〔動作〕次に、上述のレーザプロッタの一連の動作を説
明する。
を原点位置に復帰させる。ステップR20での動作が終
了するとステップR2に戻る。一方、ステップR6での
チェックの結果、サイズが合わなかったときにはステッ
プR14に移行する。ステップR14ではフリーベアリ
ング40上に載置されたガラス乾板35を元のパレット
位置に収納する。ステップR14では、乾板収納完了信
号を主制御部100に出力する。この処理が終了すると
ステップR2に戻る。 〔動作〕次に、上述のレーザプロッタの一連の動作を説
明する。
【0044】まず、マニピュレータ32により、パレッ
ト34に第2中心線39を基準に位置決めされて載置さ
れたガラス乾板35を、パレット34の切欠き部下方よ
りアーム60を上昇させて受け取り、これを一旦位置決
め装置31上のフリーベアリング40上に載置する。こ
こで2組の当接部材44,45及び当接部材50,51
により、第1中心線38を基準にサイズに応じた位置に
位置決めした後、マニピュレータ32でガラス乾板35
をYテーブル4上に搬送する。次に、Yテーブル4で
は、ピン15を上昇させ、搬送されたガラス乾板35を
アーム60より受け取る。ピン15上にガラス乾板35
を載置すると、マニピュレータ32はアーム60を引き
込み、原点に復帰する。一方、レーザプロッタ本体1で
は、ピン15が下降し、Yテーブル4及び光学ヘッド5
が移動し、描画処理が行われる。描画処理が終了する
と、再度ピン15が上昇してガラス乾板35を持上げ
る。マニピュレータ32は、ガラス乾板35とYテーブ
ル4上面との間にアーム60を差し込み、ピン15の下
降によりガラス乾板35がアーム60上に載置される。
そして、マニピュレータ32は、第1中心線38を基準
に位置決めされたガラス乾板35を元のパレット34上
に載置する。
ト34に第2中心線39を基準に位置決めされて載置さ
れたガラス乾板35を、パレット34の切欠き部下方よ
りアーム60を上昇させて受け取り、これを一旦位置決
め装置31上のフリーベアリング40上に載置する。こ
こで2組の当接部材44,45及び当接部材50,51
により、第1中心線38を基準にサイズに応じた位置に
位置決めした後、マニピュレータ32でガラス乾板35
をYテーブル4上に搬送する。次に、Yテーブル4で
は、ピン15を上昇させ、搬送されたガラス乾板35を
アーム60より受け取る。ピン15上にガラス乾板35
を載置すると、マニピュレータ32はアーム60を引き
込み、原点に復帰する。一方、レーザプロッタ本体1で
は、ピン15が下降し、Yテーブル4及び光学ヘッド5
が移動し、描画処理が行われる。描画処理が終了する
と、再度ピン15が上昇してガラス乾板35を持上げ
る。マニピュレータ32は、ガラス乾板35とYテーブ
ル4上面との間にアーム60を差し込み、ピン15の下
降によりガラス乾板35がアーム60上に載置される。
そして、マニピュレータ32は、第1中心線38を基準
に位置決めされたガラス乾板35を元のパレット34上
に載置する。
【0045】ここでは、一旦位置決め装置31により第
1中心線38を基準に位置決めされたガラス乾板35
は、パレット34に戻された時には図5の仮想線35b
の位置に配置されることになる。したがって、ガラス乾
板35はパレット34上において位置決め部材36,3
7から離れて位置することになり、位置決め部材36,
37に衝突して傷つくことはない。
1中心線38を基準に位置決めされたガラス乾板35
は、パレット34に戻された時には図5の仮想線35b
の位置に配置されることになる。したがって、ガラス乾
板35はパレット34上において位置決め部材36,3
7から離れて位置することになり、位置決め部材36,
37に衝突して傷つくことはない。
【0046】また、位置決め装置31の中心基準とスト
ッカ30の中心基準をずらしておくだけでよいため、マ
ニピュレータ32の各動作、位置を共通することができ
るので制御が単純化できる。 〔他の実施例〕 (a) 前記実施例では、位置決め装置31の中心基準
である第1中心線38と、ストッカ30の位置決めの中
心基準である第2中心線39とをずらせることにより、
ガラス乾板35の配置を異ならせるようにした。
ッカ30の中心基準をずらしておくだけでよいため、マ
ニピュレータ32の各動作、位置を共通することができ
るので制御が単純化できる。 〔他の実施例〕 (a) 前記実施例では、位置決め装置31の中心基準
である第1中心線38と、ストッカ30の位置決めの中
心基準である第2中心線39とをずらせることにより、
ガラス乾板35の配置を異ならせるようにした。
【0047】それに代えて、図11に示すように、スト
ッカ30へのガラス乾板35の搬入時にマニピュレータ
32のアーム60の中心線49を、旋回部61を用い
て、第2中心軸39と異ならせるようにしてもよい。こ
れによって、当接部材36,37へのガラス乾板35c
の端面の当接を防止できる。この場合、図9のステップ
R19での動作で、ローダ制御部104は、旋回部61
をたとえば92゜反時計回りに旋回させ、かつアーム6
0の進出位置をロード時より手前側に制御する。このよ
うにしてパレット34にガラス乾板35を収納すると、
図11の仮想線35cの位置にガラス乾板35が載置さ
れる。この場合には、位置決め装置31とパレット34
との間で、同一の中心基準にガラス乾板35を位置決め
できる。(b) 前記実施例では感光板としてガラス乾
板を例に説明したが、ガラス乾板以外の感光板について
も本発明を適用できる。
ッカ30へのガラス乾板35の搬入時にマニピュレータ
32のアーム60の中心線49を、旋回部61を用い
て、第2中心軸39と異ならせるようにしてもよい。こ
れによって、当接部材36,37へのガラス乾板35c
の端面の当接を防止できる。この場合、図9のステップ
R19での動作で、ローダ制御部104は、旋回部61
をたとえば92゜反時計回りに旋回させ、かつアーム6
0の進出位置をロード時より手前側に制御する。このよ
うにしてパレット34にガラス乾板35を収納すると、
図11の仮想線35cの位置にガラス乾板35が載置さ
れる。この場合には、位置決め装置31とパレット34
との間で、同一の中心基準にガラス乾板35を位置決め
できる。(b) 前記実施例では感光板としてガラス乾
板を例に説明したが、ガラス乾板以外の感光板について
も本発明を適用できる。
【0048】
【発明の効果】第1の発明に係る感光板貯蔵・搬送装置
では、位置決め部の位置決め基準と貯蔵部の位置決め基
準とを異ならせているので、感光板を位置決め部で位置
決めし、露光処理した後に再度貯蔵部に搬入する際に、
貯蔵部の貯蔵用当接部材に感光板が当接しない。このた
め、感光板の端面等への傷付きが防止できる。
では、位置決め部の位置決め基準と貯蔵部の位置決め基
準とを異ならせているので、感光板を位置決め部で位置
決めし、露光処理した後に再度貯蔵部に搬入する際に、
貯蔵部の貯蔵用当接部材に感光板が当接しない。このた
め、感光板の端面等への傷付きが防止できる。
【0049】第2の発明に係る感光板貯蔵・搬送装置で
は、所定の中心線基準で位置決めされて貯蔵された感光
板を搬出し、露光処理後に再度露光済みの感光板を貯蔵
部に搬入する際に、貯蔵部の当接部材に当接しないよう
に搬送部による感光板の搬入位置を設定する。このた
め、感光板が当接板に当接せず、感光板の端面等の傷付
きを防止できる。
は、所定の中心線基準で位置決めされて貯蔵された感光
板を搬出し、露光処理後に再度露光済みの感光板を貯蔵
部に搬入する際に、貯蔵部の当接部材に当接しないよう
に搬送部による感光板の搬入位置を設定する。このた
め、感光板が当接板に当接せず、感光板の端面等の傷付
きを防止できる。
【図1】本発明の一実施例を採用したレーザプロッタの
外観斜視図。
外観斜視図。
【図2】そのレーザプロッタ本体の斜視図。
【図3】Yテーブルの斜視図。
【図4】自動ローダの斜視図。
【図5】位置決め状態を示す自動ローダの平面部分図。
【図6】制御系のブロック図。
【図7】主制御部の制御フローチャート。
【図8】主制御部の制御フローチャート。
【図9】レーザプロッタ制御部の制御フローチャート。
【図10】ローダ制御部の制御フローチャート。
【図11】他の実施例の位置決め状態を示す自動ローダ
の平面部分図。
の平面部分図。
【符号の説明】 30 ストッカ 31 位置決め装置 32 マニピュレータ 34 パレット 35 ガラス乾板 36,37 位置決め部材 38 第1中心線 39 第2中心線 104 ローダ制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川田 享 京都市南区久世築山町465番地の1 大 日本スクリーン製造株式会社 久世工場 内 (56)参考文献 実開 昭61−19243(JP,U) 特公 平2−61023(JP,B2) 特公 昭56−8353(JP,B2)
Claims (2)
- 【請求項1】感光板を貯蔵するとともに露光装置との間
で感光板の搬送を行う感光板貯蔵・搬送装置であって、 感光板の側面が当接可能な貯蔵用当接部材を有し、前記
貯蔵用当接部材に感光板を当接させて貯蔵用中心線を位
置決め中心として感光板を位置決めし貯蔵する貯蔵部
と、 前記貯蔵部の感光板を前記露光装置に供給する前に位置
決めを行うための露光用当接部材を有し、前記露光用当
接部材に感光板を当接させて前記貯蔵用中心線とは異な
る露光用中心線を位置決め中心として感光板を位置決め
する位置決め部と、 未露光の感光板を前記貯蔵部から前記位置決め部にかつ
前記位置決め部から前記露光装置に、さらに露光処理さ
れた感光板を前記露光装置から前記貯蔵部に搬送する搬
送部とを備え、 前記位置決め部で位置決めされた感光板を露光後に前記
貯蔵部に貯蔵する際に、前記露光済み感光板は前記貯蔵
用当接部材に非接触状態で貯蔵される、 感光板貯蔵・搬送装置。 - 【請求項2】感光板を貯蔵するとともに露光装置との間
で感光板の搬送を行う感光板貯蔵・搬送装置であって、 感光板の側面が当接可能な当接部材を有し、前記当接部
材に感光板を当接させて所定の中心線を位置決め中心と
して感光板を位置決めし貯蔵する貯蔵部と、 前記貯蔵部の感光板を前記露光装置に供給するために搬
出するとともに、露光処理された感光板を前記露光装置
から前記貯蔵部に搬送する搬送部と、 前記露光済み感光板が前記搬送部により前記貯蔵部に搬
入される際に、前記露光済み感光板が前記当接部材に当
接しないように前記搬送部による搬入位置を設定する搬
送部制御手段と、 を備えた感光板貯蔵・搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24611191A JP2711034B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 感光板貯蔵・搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24611191A JP2711034B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 感光板貯蔵・搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0580428A JPH0580428A (ja) | 1993-04-02 |
JP2711034B2 true JP2711034B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=17143650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24611191A Expired - Lifetime JP2711034B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 感光板貯蔵・搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2711034B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011248217A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法 |
CN108748266B (zh) * | 2018-06-23 | 2021-09-07 | 安徽科创新能源科技有限责任公司 | 一种用于工业机器人用的储存安放装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2459793A1 (fr) * | 1979-06-25 | 1981-01-16 | Fabre Sa Pierre | Nouveaux derives de benzoyl-2 nitro-4 anilides, leur preparation et leur application en tant que medicaments |
JPS59103766U (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-12 | 株式会社東芝 | 単結晶引上炉用坩堝 |
JPH0261023A (ja) * | 1988-08-27 | 1990-03-01 | Furukawa Alum Co Ltd | 耐熱、耐摩耗性アルミニウム合金材及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP24611191A patent/JP2711034B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0580428A (ja) | 1993-04-02 |
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