JP2578035B2 - 基板位置決め方法 - Google Patents
基板位置決め方法Info
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- JP2578035B2 JP2578035B2 JP3244539A JP24453991A JP2578035B2 JP 2578035 B2 JP2578035 B2 JP 2578035B2 JP 3244539 A JP3244539 A JP 3244539A JP 24453991 A JP24453991 A JP 24453991A JP 2578035 B2 JP2578035 B2 JP 2578035B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、印刷前の基板を印刷
テーブルとは別の所で正確に位置決めしておくことによ
って、印刷テーブルへの基板の位置決めを正確かつ短時
間に効率よく行うことができる薄膜形成装置に用いられ
る基板位置決め方法に関する。
テーブルとは別の所で正確に位置決めしておくことによ
って、印刷テーブルへの基板の位置決めを正確かつ短時
間に効率よく行うことができる薄膜形成装置に用いられ
る基板位置決め方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶配向膜や絶縁皮膜、導電皮膜
など種々の電子部品関連の機能性薄膜を形成するには、
薄膜形成装置を用いている。この薄膜形成装置は、多数
のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面に
インキを直接供給するインキ供給装置と、凹版ロール表
面に接触することによって凹版ロールに供給されたイン
キを前記セル内に充填計量するドクターブレードと、弾
性凸版を表面に有し凹版ロールとの圧接により凹版ロー
ルのセル内のインキが前記凸版の表面に転移しつぎに基
板との圧接により前記インキを被印刷体表面の転移する
印刷ロールとからなっているものであり、基板は、一定
の軌道上を移動する印刷テーブル上に基板の載置位置で
位置決めされ、つぎに印刷テーブルが印刷ロールと圧接
する印刷位置まで移動して基板に印刷が行われ、さらに
基板の搬出位置まで移動させ基板が搬出され、印刷テー
ブルのみが基板の載置位置まで戻ってくるようにしてい
る。
など種々の電子部品関連の機能性薄膜を形成するには、
薄膜形成装置を用いている。この薄膜形成装置は、多数
のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面に
インキを直接供給するインキ供給装置と、凹版ロール表
面に接触することによって凹版ロールに供給されたイン
キを前記セル内に充填計量するドクターブレードと、弾
性凸版を表面に有し凹版ロールとの圧接により凹版ロー
ルのセル内のインキが前記凸版の表面に転移しつぎに基
板との圧接により前記インキを被印刷体表面の転移する
印刷ロールとからなっているものであり、基板は、一定
の軌道上を移動する印刷テーブル上に基板の載置位置で
位置決めされ、つぎに印刷テーブルが印刷ロールと圧接
する印刷位置まで移動して基板に印刷が行われ、さらに
基板の搬出位置まで移動させ基板が搬出され、印刷テー
ブルのみが基板の載置位置まで戻ってくるようにしてい
る。
【０００３】この場合、基板を印刷テーブル上の所定の
位置に位置決めするには次のようにしていた。つまり、
アライメントマークの基準位置データをあらかじめ記憶
しておく。基準位置データとはアライメントマークが基
板上で位置決めされるべき位置である。そしてアライメ
ントマークが設けられた基板を印刷テーブル上に載置
し、アライメントマーク位置を読み取り、前記基準位置
のデータと比較して位置ずれ量を算出し、その位置ずれ
量をもとに印刷テーブル上で基板の位置を必要量移動さ
せ、アライメントマークと基準位置との位置が一致する
ように合わせ込み位置決めを完了する。
位置に位置決めするには次のようにしていた。つまり、
アライメントマークの基準位置データをあらかじめ記憶
しておく。基準位置データとはアライメントマークが基
板上で位置決めされるべき位置である。そしてアライメ
ントマークが設けられた基板を印刷テーブル上に載置
し、アライメントマーク位置を読み取り、前記基準位置
のデータと比較して位置ずれ量を算出し、その位置ずれ
量をもとに印刷テーブル上で基板の位置を必要量移動さ
せ、アライメントマークと基準位置との位置が一致する
ように合わせ込み位置決めを完了する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来は、基板の位置決
め動作を印刷テーブル上に載置した後に行っているの
で、基板の位置決めが完了するまでの待ち時間の間印刷
できなかった。したがって、印刷効率が非常に悪かっ
た。
め動作を印刷テーブル上に載置した後に行っているの
で、基板の位置決めが完了するまでの待ち時間の間印刷
できなかった。したがって、印刷効率が非常に悪かっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、以上の目的
を達成するために、印刷テーブル上のカメラで、基板に
試し印刷された基準マークを基準位置データとして読み
取り演算装置に記憶し、つぎに、印刷テーブルとは別個
に設けられたアライメントテーブル上のカメラで、前記
基準位置データを基に基板に予め設けられているアライ
メントマークと前記基準マークの位置との位置ずれを測
定し、位置ずれがなくなるように、基板をアライメント
テーブル上で所定の位置に位置決めしておき、つぎに、
基板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いてアラ
イメントテーブル上の前記所定の位置から印刷テーブル
上の所定の位置に基板を置き換えることによって、印刷
テーブル上の正確な位置に基板を位置決めするように構
成した。
を達成するために、印刷テーブル上のカメラで、基板に
試し印刷された基準マークを基準位置データとして読み
取り演算装置に記憶し、つぎに、印刷テーブルとは別個
に設けられたアライメントテーブル上のカメラで、前記
基準位置データを基に基板に予め設けられているアライ
メントマークと前記基準マークの位置との位置ずれを測
定し、位置ずれがなくなるように、基板をアライメント
テーブル上で所定の位置に位置決めしておき、つぎに、
基板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いてアラ
イメントテーブル上の前記所定の位置から印刷テーブル
上の所定の位置に基板を置き換えることによって、印刷
テーブル上の正確な位置に基板を位置決めするように構
成した。
【０００６】
【作用】本願発明では、印刷テーブル上に搬入される前
に印刷テーブルとは別の場所で基板の位置決めをしてお
くので、前の基板の印刷の最中に新たに搬入される基板
の正確な位置決めを完了させておくことができる。した
がって、印刷テーブル上へ基板が載置されると従来のよ
うな位置決めのための待ち時間なしで直ちに印刷が行え
る。
に印刷テーブルとは別の場所で基板の位置決めをしてお
くので、前の基板の印刷の最中に新たに搬入される基板
の正確な位置決めを完了させておくことができる。した
がって、印刷テーブル上へ基板が載置されると従来のよ
うな位置決めのための待ち時間なしで直ちに印刷が行え
る。
【０００７】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
詳細に説明する。まず、印刷テーブル上のカメラで、基
板に試し印刷された基準マークを基準位置データとして
読み取り演算装置に記憶する。基準位置データとは、ア
ライメントテーブル１上で、基板に設けられたアライメ
ントマーク３０が位置されるべき位置のデータである。
基準位置データを演算装置５０に記憶する方法として
は、まず、印刷テーブル２上に基板を載置し、そのまま
印刷ロール６が配置してある印刷位置１０まで搬送し、
基板を印刷ロール６に接触させ、印刷ロール６上のイン
キを基板上に転移させ、基準マークを試し印刷する。こ
の基準マークを載置位置に移動した印刷テーブル２ある
いは搬出位置に移動した印刷テーブル２上のカメラ５で
読み取り、基準位置データとして演算装置５０に記憶す
るとよい。
詳細に説明する。まず、印刷テーブル上のカメラで、基
板に試し印刷された基準マークを基準位置データとして
読み取り演算装置に記憶する。基準位置データとは、ア
ライメントテーブル１上で、基板に設けられたアライメ
ントマーク３０が位置されるべき位置のデータである。
基準位置データを演算装置５０に記憶する方法として
は、まず、印刷テーブル２上に基板を載置し、そのまま
印刷ロール６が配置してある印刷位置１０まで搬送し、
基板を印刷ロール６に接触させ、印刷ロール６上のイン
キを基板上に転移させ、基準マークを試し印刷する。こ
の基準マークを載置位置に移動した印刷テーブル２ある
いは搬出位置に移動した印刷テーブル２上のカメラ５で
読み取り、基準位置データとして演算装置５０に記憶す
るとよい。
【０００８】つぎに、印刷テーブル２とは別個に設けら
れたアライメントテーブル上１のカメラで、前記基準位
置データを基に基板３に予め設けられているアライメン
トマーク３０と前記基準マークの位置との位置ずれを測
定し、位置ずれがなくなるように、基板３をアライメン
トテーブル１上で所定の位置に位置決めする。アライメ
ントテーブル１は、基板３を印刷テーブル２に載置する
前段階に、位置決めを完了させておくためのテーブルで
ある。また、アライメントテーブル１に位置決めされる
基板３は、アライメントマーク３０を有しており（図３
参照）、印刷テーブル２上で位置決めされた後、印刷ロ
ール６に接触させられることによって、導電被膜や絶縁
被膜などの種々の機能性薄膜を形成するためのインキが
印刷されるものである。アライメントテーブル１へ基板
３を搬入するには、搬入フォーク７などによりアライメ
ントテーブル１上に搬入するとよい。
れたアライメントテーブル上１のカメラで、前記基準位
置データを基に基板３に予め設けられているアライメン
トマーク３０と前記基準マークの位置との位置ずれを測
定し、位置ずれがなくなるように、基板３をアライメン
トテーブル１上で所定の位置に位置決めする。アライメ
ントテーブル１は、基板３を印刷テーブル２に載置する
前段階に、位置決めを完了させておくためのテーブルで
ある。また、アライメントテーブル１に位置決めされる
基板３は、アライメントマーク３０を有しており（図３
参照）、印刷テーブル２上で位置決めされた後、印刷ロ
ール６に接触させられることによって、導電被膜や絶縁
被膜などの種々の機能性薄膜を形成するためのインキが
印刷されるものである。アライメントテーブル１へ基板
３を搬入するには、搬入フォーク７などによりアライメ
ントテーブル１上に搬入するとよい。
【０００９】アライメントテーブル１上のカメラ５でア
ライメントマーク３０を読み取って、前記基準マークの
位置との位置ずれデータをもとに所定の位置に基板３を
位置決めするには次のような方法がある。まず、Ｘ・Ｙ
・θ移動テーブル９を用いる方法がある。つまり、Ｘ・
Ｙ・θ移動テーブル９は、縦方向にのみ移動するＸテー
ブル９０、横方向にのみ移動するＹテーブル９１、回転
方向にのみ移動するθテーブル９２が組み合わされたも
のである。その上にアライメントテーブル１を載置して
おき、演算装置５０にて算出された位置ずれデータを、
アライメントテーブル１に設けられている各テーブルの
移動制御装置、たとえば、Ｘテーブル位置調整モータ９
３、Ｙテーブル位置調整モータ９４、θテーブル位置調
整モータ９５に送信し、これらのモータを自動的に作動
させ、各テーブルを位置ずれデータに基づいた位置ずれ
量分移動させ、基板３のアライメントマーク３０をアラ
イメントテーブル１上のより正確な位置に合わせ込み、
基板３を正確な所定の位置に位置決めする（図１、図２
参照）。
ライメントマーク３０を読み取って、前記基準マークの
位置との位置ずれデータをもとに所定の位置に基板３を
位置決めするには次のような方法がある。まず、Ｘ・Ｙ
・θ移動テーブル９を用いる方法がある。つまり、Ｘ・
Ｙ・θ移動テーブル９は、縦方向にのみ移動するＸテー
ブル９０、横方向にのみ移動するＹテーブル９１、回転
方向にのみ移動するθテーブル９２が組み合わされたも
のである。その上にアライメントテーブル１を載置して
おき、演算装置５０にて算出された位置ずれデータを、
アライメントテーブル１に設けられている各テーブルの
移動制御装置、たとえば、Ｘテーブル位置調整モータ９
３、Ｙテーブル位置調整モータ９４、θテーブル位置調
整モータ９５に送信し、これらのモータを自動的に作動
させ、各テーブルを位置ずれデータに基づいた位置ずれ
量分移動させ、基板３のアライメントマーク３０をアラ
イメントテーブル１上のより正確な位置に合わせ込み、
基板３を正確な所定の位置に位置決めする（図１、図２
参照）。
【００１０】また、基準ピン３１を用いる方法がある。
つまり、板状の基板３の４つの側面のうちの隣り合う２
つの側面の少なくとも３箇所に沿う基準ピン３１がアラ
イメントテーブル１に移動可能に設けられ、そして、基
準ピン３１に基板３を押しつけるためのプッシャーピン
３２が、基準ピン３１に相対する側面に沿うようにアラ
イメントテーブル１に設けられたものである。演算装置
５０にて算出された位置ずれデータを、たとえば、基準
ピン位置調整モータ３３に送信し、位置ずれデータに基
づいた位置ずれ量の分基準ピン３１が自動的に移動させ
設定するのである。あとはこの基準ピン３１に基板３を
押しつけるだけで、より正確な位置に位置決めされる
（図２参照）。このアライメントテーブル１上での位置
決めを、印刷テーブル２が基板３の載置位置１０に戻っ
てくるまでに完了しておけば、印刷テーブル２上での位
置決めを全く行わずに印刷をおこなうことができる。
つまり、板状の基板３の４つの側面のうちの隣り合う２
つの側面の少なくとも３箇所に沿う基準ピン３１がアラ
イメントテーブル１に移動可能に設けられ、そして、基
準ピン３１に基板３を押しつけるためのプッシャーピン
３２が、基準ピン３１に相対する側面に沿うようにアラ
イメントテーブル１に設けられたものである。演算装置
５０にて算出された位置ずれデータを、たとえば、基準
ピン位置調整モータ３３に送信し、位置ずれデータに基
づいた位置ずれ量の分基準ピン３１が自動的に移動させ
設定するのである。あとはこの基準ピン３１に基板３を
押しつけるだけで、より正確な位置に位置決めされる
（図２参照）。このアライメントテーブル１上での位置
決めを、印刷テーブル２が基板３の載置位置１０に戻っ
てくるまでに完了しておけば、印刷テーブル２上での位
置決めを全く行わずに印刷をおこなうことができる。
【００１１】上記アライメントマーク３０の位置ずれデ
ータは、カメラ５で読み取った基板３のアライメントマ
ーク３０と、あらかじめ演算装置５０に記憶されている
前記基準位置データとの比較により算出する。
ータは、カメラ５で読み取った基板３のアライメントマ
ーク３０と、あらかじめ演算装置５０に記憶されている
前記基準位置データとの比較により算出する。
【００１２】アライメントテーブル１上のカメラ５は、
基準マークの読み取りあるいは基板３のアライメントマ
ーク３０の読み取りを印刷テーブル２上で行ったカメラ
５を、基板３が搬送されるアライメントテーブル１と印
刷テーブル２との間のストロークと同一のストローク
で、印刷テーブル２上からアライメントテーブル１上に
搬送したものでもよい。あるいは、印刷テーブル２上の
カメラ５とは別個のカメラ５をアライメントテーブル１
上に設置し、印刷テーブル２上のカメラ５で得た位置ず
れデータをアライメントテーブル１上のカメラ５に送信
するようにしてもよい。
基準マークの読み取りあるいは基板３のアライメントマ
ーク３０の読み取りを印刷テーブル２上で行ったカメラ
５を、基板３が搬送されるアライメントテーブル１と印
刷テーブル２との間のストロークと同一のストローク
で、印刷テーブル２上からアライメントテーブル１上に
搬送したものでもよい。あるいは、印刷テーブル２上の
カメラ５とは別個のカメラ５をアライメントテーブル１
上に設置し、印刷テーブル２上のカメラ５で得た位置ず
れデータをアライメントテーブル１上のカメラ５に送信
するようにしてもよい。
【００１３】以上のようにして、アライメントテーブル
１上で所定の位置に位置決めされた基板３を、基板３の
置き換えを正確におこなう搬送手段４を用いて印刷テー
ブル２上の所定の位置に置き換える。基板３の置き換え
を正確におこなう具体的な搬送手段４としては、上下動
する搬送アームを上方に動作させてアライメントテーブ
ル１の所定位置にある基板３を持ち上げ、持ち上げた状
態のまま、ガイドレール４０に沿って印刷テーブル２の
所定の位置の上方まで基板搬送アームを平行移動させ、
次に搬送アームを下降させて基板３を印刷テーブル２表
面に下ろし、印刷テーブル２の所定の位置に置き換える
手段がある。
１上で所定の位置に位置決めされた基板３を、基板３の
置き換えを正確におこなう搬送手段４を用いて印刷テー
ブル２上の所定の位置に置き換える。基板３の置き換え
を正確におこなう具体的な搬送手段４としては、上下動
する搬送アームを上方に動作させてアライメントテーブ
ル１の所定位置にある基板３を持ち上げ、持ち上げた状
態のまま、ガイドレール４０に沿って印刷テーブル２の
所定の位置の上方まで基板搬送アームを平行移動させ、
次に搬送アームを下降させて基板３を印刷テーブル２表
面に下ろし、印刷テーブル２の所定の位置に置き換える
手段がある。
【００１４】基板３を搬送アームで平行移動させるに
は、ステッピングモータなどによってボールねじを回転
させ搬送アームを平行移動させる方法などがある。この
手段をもちいることによって、アライメントテーブル１
から印刷テーブル２上まで平行移動時の位置ズレの誤差
を−０．０１〜＋０．０１ｍｍ程度に押さえることがで
きる。基板３の置き換えを正確におこなう具体的な搬送
手段４としては、基板３の置き換え動作を正確におこな
うロボットを適宜使用してもよい。
は、ステッピングモータなどによってボールねじを回転
させ搬送アームを平行移動させる方法などがある。この
手段をもちいることによって、アライメントテーブル１
から印刷テーブル２上まで平行移動時の位置ズレの誤差
を−０．０１〜＋０．０１ｍｍ程度に押さえることがで
きる。基板３の置き換えを正確におこなう具体的な搬送
手段４としては、基板３の置き換え動作を正確におこな
うロボットを適宜使用してもよい。
【００１５】以上によって、基板３は印刷テーブル２上
の所定の位置に載置され置き換えられるとともに、位置
決めも完了する。その後、印刷テーブル２上に正確に位
置決めされた基板３は、印刷テーブル２上に載置された
まま、印刷ロール６と接触する印刷位置１１を通って基
板３に薄膜形成用のインキが印刷され、搬出位置１２に
搬送され、搬出装置８によって次の加工工程に移送さ
れ、印刷テーブル２のみが基板３の載置位置１０の方に
戻ってゆく。
の所定の位置に載置され置き換えられるとともに、位置
決めも完了する。その後、印刷テーブル２上に正確に位
置決めされた基板３は、印刷テーブル２上に載置された
まま、印刷ロール６と接触する印刷位置１１を通って基
板３に薄膜形成用のインキが印刷され、搬出位置１２に
搬送され、搬出装置８によって次の加工工程に移送さ
れ、印刷テーブル２のみが基板３の載置位置１０の方に
戻ってゆく。
【００１６】実施例１ １．印刷テーブル２上のカメラ５で、基板３上に印刷さ
れた基準マークを読み取り、基準位置データとして演算
装置５０に記憶する。 ２．前記基準マークと同形状のアライメントマーク３０
が施された基板３を、アライメントテーブル１上の適当
な位置に、基準ピン３１、プッシャーピン３２で位置決
めし載置する。 ３．カメラ５を印刷テーブル２上からアライメントテー
ブル１上へ正確に移動させ、アライメントテーブル１上
でアライメントマーク３０を読み取り、位置データとす
る。 ４．このアライメントマーク３０の位置データを演算装
置５０に送信し、先に演算装置５０に記憶した基準位置
データと比較し、その位置ずれ量を算出する。 ５．位置ずれ量をもとにアライメントテーブル１の基準
ピン３１を移動させて、基板３のアライメントマーク３
０を正確な位置に合わせ込み基板３の位置決めをする。
（以上２〜５の工程を先行の基板３の印刷のために印刷
テーブル２が移動している間に完了させる。） ６．位置決めされた基板３を、基板３の置き換えを正確
におこなう基板搬送アームで持ち上げ、印刷テーブル２
上へ精度良く搬送し載置する。 ７．印刷テーブル２を印刷位置１１に移動させて基板３
に印刷し、さらに搬出位置１２に移動して基板３を印刷
テーブル２上から搬送アームで搬出する。 ８．アライメントテーブル１上での基板３の位置決め、
搬送アームでの印刷テーブル２への置き換えを繰り返
す。
れた基準マークを読み取り、基準位置データとして演算
装置５０に記憶する。 ２．前記基準マークと同形状のアライメントマーク３０
が施された基板３を、アライメントテーブル１上の適当
な位置に、基準ピン３１、プッシャーピン３２で位置決
めし載置する。 ３．カメラ５を印刷テーブル２上からアライメントテー
ブル１上へ正確に移動させ、アライメントテーブル１上
でアライメントマーク３０を読み取り、位置データとす
る。 ４．このアライメントマーク３０の位置データを演算装
置５０に送信し、先に演算装置５０に記憶した基準位置
データと比較し、その位置ずれ量を算出する。 ５．位置ずれ量をもとにアライメントテーブル１の基準
ピン３１を移動させて、基板３のアライメントマーク３
０を正確な位置に合わせ込み基板３の位置決めをする。
（以上２〜５の工程を先行の基板３の印刷のために印刷
テーブル２が移動している間に完了させる。） ６．位置決めされた基板３を、基板３の置き換えを正確
におこなう基板搬送アームで持ち上げ、印刷テーブル２
上へ精度良く搬送し載置する。 ７．印刷テーブル２を印刷位置１１に移動させて基板３
に印刷し、さらに搬出位置１２に移動して基板３を印刷
テーブル２上から搬送アームで搬出する。 ８．アライメントテーブル１上での基板３の位置決め、
搬送アームでの印刷テーブル２への置き換えを繰り返
す。
【００１７】実施例２ １．印刷テーブル２上に基板３を載置し、基準マークを
印刷する。 ２．基準マークが印刷された基板３を、基板３の置き換
えを正確におこなう基板搬送アームで持ち上げ、Ｘ・Ｙ
・θ移動テーブル９に固定されているアライメントテー
ブル１上へ精度良く搬送し載置する。 ３．アライメントテーブル１上のカメラ５で基板３に印
刷された基準マークを読み取り、基準位置データとして
演算装置５０に記憶する。 ４．前記基準マークと同形状のアライメントマーク３０
が施された基板３をアライメントテーブル１の適当な位
置に載置する。 ５．アライメントテーブル１上のカメラ５でアライメン
トマーク３０を読み取り、位置データとする。 ６．このアライメントマーク３０の位置データを演算装
置５０に送信し、先に演算装置５０に記憶した基準位置
データと比較し、その位置ずれ量を算出する。 ７．位置ずれ量をもとにアライメントテーブル１のＸ、
Ｙ、θ移動テーブル９を移動させて、基板３のアライメ
ントマーク３０を正確な位置に合わせ込み基板３の位置
決めする。（以上４〜７の工程を先行の基板３の印刷の
ために印刷テーブル２が移動している間に完了させ
る。） ８．位置決めされた基板３を、基板３の置き換えを正確
におこなう基板搬送アームで持ち上げ、印刷テーブル２
上へ精度良く搬送し載置する。 ９．印刷テーブル２を印刷位置１１に移動させて基板３
に印刷し、さらに搬出位置１２に移動させて基板３を印
刷テーブル２上から搬送アームで搬出する。 １０．アライメントテーブル１上での基板３の位置決
め、搬送アームでの印刷テーブル２への置き換えを繰り
返す。
印刷する。 ２．基準マークが印刷された基板３を、基板３の置き換
えを正確におこなう基板搬送アームで持ち上げ、Ｘ・Ｙ
・θ移動テーブル９に固定されているアライメントテー
ブル１上へ精度良く搬送し載置する。 ３．アライメントテーブル１上のカメラ５で基板３に印
刷された基準マークを読み取り、基準位置データとして
演算装置５０に記憶する。 ４．前記基準マークと同形状のアライメントマーク３０
が施された基板３をアライメントテーブル１の適当な位
置に載置する。 ５．アライメントテーブル１上のカメラ５でアライメン
トマーク３０を読み取り、位置データとする。 ６．このアライメントマーク３０の位置データを演算装
置５０に送信し、先に演算装置５０に記憶した基準位置
データと比較し、その位置ずれ量を算出する。 ７．位置ずれ量をもとにアライメントテーブル１のＸ、
Ｙ、θ移動テーブル９を移動させて、基板３のアライメ
ントマーク３０を正確な位置に合わせ込み基板３の位置
決めする。（以上４〜７の工程を先行の基板３の印刷の
ために印刷テーブル２が移動している間に完了させ
る。） ８．位置決めされた基板３を、基板３の置き換えを正確
におこなう基板搬送アームで持ち上げ、印刷テーブル２
上へ精度良く搬送し載置する。 ９．印刷テーブル２を印刷位置１１に移動させて基板３
に印刷し、さらに搬出位置１２に移動させて基板３を印
刷テーブル２上から搬送アームで搬出する。 １０．アライメントテーブル１上での基板３の位置決
め、搬送アームでの印刷テーブル２への置き換えを繰り
返す。
【００１８】
【発明の効果】本願発明では、印刷テーブル上のカメラ
で、基板に試し印刷された基準マークを基準位置データ
として読み取り演算装置に記憶し、つぎに、印刷テーブ
ルとは別個に設けられたアライメントテーブル上のカメ
ラで、前記基準位置データを基に基板に予め設けられて
いるアライメントマークと前記基準マークの位置との位
置ずれを測定し、位置ずれがなくなるように、基板をア
ライメントテーブル上で所定の位置に位置決めしてお
き、つぎに、基板の置き換えを正確におこなう搬送手段
を用いてアライメントテーブル上の前記所定の位置から
印刷テーブル上の所定の位置に基板を置き換えることに
よって、印刷テーブル上の正確な位置に基板を位置決め
するようにしている。
で、基板に試し印刷された基準マークを基準位置データ
として読み取り演算装置に記憶し、つぎに、印刷テーブ
ルとは別個に設けられたアライメントテーブル上のカメ
ラで、前記基準位置データを基に基板に予め設けられて
いるアライメントマークと前記基準マークの位置との位
置ずれを測定し、位置ずれがなくなるように、基板をア
ライメントテーブル上で所定の位置に位置決めしてお
き、つぎに、基板の置き換えを正確におこなう搬送手段
を用いてアライメントテーブル上の前記所定の位置から
印刷テーブル上の所定の位置に基板を置き換えることに
よって、印刷テーブル上の正確な位置に基板を位置決め
するようにしている。
【００１９】したがって、印刷テーブル上での基板の位
置決めが全く不要となり印刷効率が非常によくなる。ま
た、印刷テーブル上での基準位置データの記録とアライ
メントテーブル上での位置決めとをカメラで行なうの
で、印刷テーブル上に載置された基板の位置が正確であ
る。
置決めが全く不要となり印刷効率が非常によくなる。ま
た、印刷テーブル上での基準位置データの記録とアライ
メントテーブル上での位置決めとをカメラで行なうの
で、印刷テーブル上に載置された基板の位置が正確であ
る。
【図１】この発明の基板位置決め方法の実施例の一工程
を示す図である。
を示す図である。
【図２】この発明の基板位置決め方法の演算処理の概念
図を示す図である。
図を示す図である。
【図３】この発明の基板位置決め方法の実施例の一工程
を示す図である。
を示す図である。
１ アライメントテーブル ２ 印刷テーブル ３ 基板 ３０ アライメントマーク ３１ 基準ピン ３２ プッシャーピン ３３ 基準ピン位置調整モータ ４ 搬送手段 ４０ ガイドレール ５ カメラ ５０ 演算装置 ６ 印刷ロール ７ 搬入フォーク ８ 搬出装置 ９ Ｘ・Ｙ・θ移動テーブル ９０ Ｘテーブル ９１ Ｙテーブル ９２ θテーブル ９３ Ｘテーブル位置調整モータ ９４ Ｙテーブル位置調整モータ ９５ θテーブル位置調整モータ １０ 載置位置 １１ 印刷位置 １２ 搬出位置
Claims (1)
- 【請求項１】 印刷テーブル上のカメラで、基板に試し
印刷された基準マークを基準位置データとして読み取り
演算装置に記憶し、つぎに、印刷テーブルとは別個に設
けられたアライメントテーブル上のカメラで、前記基準
位置データを基に基板に予め設けられているアライメン
トマークと前記基準マークの位置との位置ずれを測定
し、位置ずれがなくなるように、基板をアライメントテ
ーブル上で所定の位置に位置決めしておき、つぎに、基
板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いてアライ
メントテーブル上の前記所定の位置から印刷テーブル上
の所定の位置に基板を置き換えることによって、印刷テ
ーブル上の正確な位置に基板を位置決めすることを特徴
とする薄膜形成装置に用いられる基板位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244539A JP2578035B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 基板位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244539A JP2578035B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 基板位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557874A JPH0557874A (ja) | 1993-03-09 |
| JP2578035B2 true JP2578035B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=17120202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3244539A Expired - Fee Related JP2578035B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 基板位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578035B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012006705A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Micro-Tec Co Ltd | ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
| US7834293B2 (en) * | 2006-05-02 | 2010-11-16 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for laser processing |
| KR101245740B1 (ko) * | 2010-09-14 | 2013-03-25 | 주식회사 나래나노텍 | 필름의 순차 흡착 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 필름 인쇄 장치 및 방법 |
| GB2580347A (en) * | 2019-01-03 | 2020-07-22 | Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd | Alignment of singulated workpieces |
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| JPH0259346A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Pilot Corp:The | スクリーン印刷方法 |
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-
1991
- 1991-08-28 JP JP3244539A patent/JP2578035B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012006705A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Micro-Tec Co Ltd | ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0557874A (ja) | 1993-03-09 |
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