JPH08459B2 - 基板位置決め方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、印刷前の基板を印刷
テーブルとは別の所でほぼ正確に位置決めしておくこと
によって、基板のサイズが微妙に異なる場合でも、印刷
テーブル上への基板の位置決めを短時間に効率よく行う
ことができる薄膜形成装置に用いられる基板位置決め方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶配向膜や絶縁皮膜、導電皮膜
など種々の電子部品関連の機能性薄膜を形成するには、
薄膜形成装置を用いている。この薄膜形成装置は、多数
のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面に
インキを供給するインキ供給装置と、凹版ロール表面に
接触することによって凹版ロールに供給されたインキを
前記セル内に充填計量するドクターブレードと、弾性凸
版を表面に有し凹版ロールとの圧接により凹版ロールの
セル内のインキが前記凸版の表面に転移しつぎに基板と
の圧接により前記インキを被印刷体表面の転移する印刷
ロールとからなっているものであり、基板は、一定の軌
道上を移動する印刷テーブル上に基板の載置位置で位置
決めされ、つぎに印刷テーブルが印刷ロールと圧接する
印刷位置まで移動して基板に印刷が行われ、さらに基板
の搬出位置まで移動させ基板が搬出され、印刷テーブル
のみが基板の載置位置まで戻ってくるようにしている。

【０００３】この場合、基板を印刷テーブル上の所定の
位置に位置決めするには次のようにしていた。つまり、
アライメントマークの基準位置データをあらかじめ記憶
しておく。基準位置データとはアライメントマークが基
板上で位置決めされるべき位置である。そしてアライメ
ントマークが設けられた基板を印刷テーブル上に載置
し、アライメントマーク位置を読み取り、前記基準位置
のデータと比較して位置ずれ量を算出し、その位置ずれ
量をもとに印刷テーブル上で基板の位置を必要量移動さ
せ、アライメントマークと基準位置との位置が一致する
ように合わせ込み位置決めを完了する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来は、アライメント
マークが設けられた基板を、印刷テーブル上の適当な位
置に置いている。よって、アライメントマーク位置と基
準位置とのずれが大きいので、その分基準ピンを大幅に
移動させる手間や時間、その後さらに基準ピンに基板を
押しつける手間や時間を必要としていた。また、基板の
サイズの微妙な違いによって位置ずれが発生する場合が
あるが、その分印刷テーブル上で基準ピンを移動させる
手間や時間、その後さらに基準ピンに基板を押しつける
手間や時間を必要としていた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、以上の目的
を達成するために、つぎのように構成した。つまり、印
刷テーブルとは別個に設けられたアライメントテーブル
上で、アライメントマークを有する基板を基準ピンに押
しつけて位置決めしておき、つぎに、基板の置き換えを
正確におこなう搬送手段を用いてアライメントテーブル
上から印刷テーブル上の所定の位置に基板を置き換え、
つぎに、印刷テーブル上のカメラでアライメントマーク
の位置を読み取り、その位置データとあらかじめ記憶さ
れている基準位置データとを比較して位置ずれ量を算出
し、その位置ずれ量をもとに前記アライメントテーブル
上の基準ピンを必要量移動させてより正確な位置に設定
し、その基準ピンにアライメントマークを有する基板を
押しつけて所定の位置に位置決めし、次に基板の置き換
えを正確におこなう搬送手段を用いてアライメントテー
ブル上から印刷テーブル上に基板を置き換えることによ
って、印刷テーブル上の正確な位置に基板を位置決めす
るようにした。

【０００６】

【作用】本願発明では、先行の基板の印刷テーブル上で
の位置ずれ量をもとに、印刷テーブルとは別の場所で基
板の位置決めをより正確にしておくので、新たに搬入さ
れる基板は印刷テーブル上の所定の位置に正確に置き換
えるだけで、印刷テーブル上のより正確な位置に基板を
載置することができる。したがって、基板のサイズの微
妙な違いによって位置ずれが発生する場合があっても、
新たに搬入される基板ではアライメントテーブルの基準
ピンがより正確な位置にその都度補正されるので、印刷
テーブル上での基板の位置決めのための手間、時間が短
縮できる。

【０００７】

【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
詳細に説明する。本願発明では、先行の基板の位置ずれ
をもとに新たに搬入される基板３をアライメントテーブ
ル１上でより正確な位置に位置決めされるものであるの
で、以下では、基板１３を先行の基板、基板３を続いて
新たに搬入される基板として説明してゆく。まず、印刷
テーブル２とは別個に設けられたアライメントテーブル
１上で基準ピン３１を用いて基板１３を所定の位置に位
置決めする。アライメントテーブル１は、基板１３を印
刷テーブル２に載置する前段階に、より正確に位置決め
をしておくためのテーブルである。また、アライメント
テーブル１に位置決めされる基板は、アライメントマー
ク３０を有しており（図３参照）、印刷テーブル２上で
位置決めされた後、印刷ロール６に接触させられること
によって、導電被膜や絶縁被膜などの種々の機能性薄膜
を形成するためのインキが印刷されるものである。アラ
イメントテーブル１へ基板を搬入するには、搬入フォー
ク７などによりアライメントテーブル１上に搬入すると
よい。

【０００８】アライメントテーブル１上で所定の位置に
基板１３を位置決めするには基板位置決め用の基準ピン
３１を用いる。つまり、板状の基板１３の４つの側面の
うちの隣り合う２つの側面の少なくとも３箇所に沿う基
準ピン３１がアライメントテーブル１に移動可能に設け
られ、そして、基準ピン３１に基板１３を押しつけるた
めのプッシャーピン３２が、基準ピン３１に相対する側
面に沿うようにアライメントテーブル１に設けられたも
のである（図１、図３参照）。

【０００９】以上のようにして、アライメントテーブル
１上に位置決めされた基板１３を、基板１３の置き換え
を正確におこなう搬送手段４を用いて印刷テーブル２上
の所定の位置に置き換える。基板１３の置き換えを正確
におこなう具体的な搬送手段４としては、上下動する搬
送アームを上方に動作させてアライメントテーブル１の
所定位置にある基板１３を持ち上げ、持ち上げた状態の
まま、印刷テーブル２の所定の位置の上方まで搬送アー
ムをガイドレール４０に沿って平行移動させ、次に搬送
アームを下降させて基板３を印刷テーブル２表面に下ろ
し、印刷テーブル２の所定の位置に置き換える手段があ
る（図１参照）。

【００１０】基板１３を搬送アームで平行移動させるに
は、ステッピングモータなどによってボールねじを回転
させ搬送アームを平行移動させる方法などがある。この
手段をもちいることによって、アライメントテーブル１
から印刷テーブル２上まで平行移動時の位置ズレの誤差
を-0.01〜+0.01mm程度に押さえることができる。基板１
３の置き換えを正確におこなう具体的な搬送手段４とし
ては、基板の置き換え動作を正確におこなうロボットを
適宜使用してもよい。

【００１１】つぎに、印刷テーブル２上のカメラ５でア
ライメントマーク３０の位置を読み取りその位置データ
を演算装置５０に送信し、その位置データと、あらかじ
め演算装置５０に記憶されている基準位置データとを比
較する。演算装置５０で両者の位置ずれ量を算出し位置
ずれデータとし演算装置５０に記憶する。その位置ずれ
量をもとに前記アライメントテーブル１上の基準ピン３
１を必要量移動させてより正確な位置に設定する（図２
参照）。

【００１２】上記基準位置データとは、印刷テーブル２
上のアライメントマーク３０が位置すべき位置のデータ
であり、カメラ５に連結した演算装置５０に記憶されて
いる。演算装置５０に記憶する方法としては、まず、印
刷テーブル２上に基板を載置し、そのまま印刷ロール６
が配置してある印刷位置１０まで搬送し、基板を印刷ロ
ール６に接触させ、印刷ロール６上のインキを基板上に
転移させ、基準マークを印刷する。この基準マークを印
刷テーブル２上のカメラ５で読み取り、基準位置データ
として演算装置５０に記憶するとよい。

【００１３】前記位置ずれ量をもとに前記アライメント
テーブル１上の基準ピン３１を必要量移動させてより正
確な位置に設定するには次のようにする。つまり、演算
装置５０にて算出された位置ずれデータを、たとえば、
基準ピン位置調整モータ３３に送信し、基準ピン位置調
整モータ３３が自動的に作動させ、位置ずれデータに基
づいて基準ピン３１が位置ずれ量だけ移動させられ、基
準ピン３１が位置調整される（図２参照）。こうするこ
とによって、新たに搬入されてくる基板３は先行の基板
１３より正確な位置に位置決めされる。

【００１４】一方、印刷テーブル２上では、前記カメラ
で読み取った位置ずれ量をもとに、基板１３の位置を調
整して、より正確な位置に位置決めする。基板１３の位
置を調整するには、印刷テーブル２を次のようなＸ・Ｙ
・θ移動テーブル９上に設置しておく方法がある。

【００１５】つまり、Ｘ・Ｙ・θ移動テーブル９は、縦
方向にのみ移動するＸテーブル９０、横方向にのみ移動
するＹテーブル９１、回転方向にのみ移動するθテーブ
ル９２が組み合わされたものである。その上に印刷テー
ブル２を載置しておき、演算装置５０にて算出された位
置ずれデータを、アライメントテーブル１に設けられて
いる各テーブルの移動制御装置、たとえば、Ｘテーブル
位置調整モータ９３、Ｙテーブル位置調整モータ９４、
θテーブル位置調整モータ９５に送信し、これらのモー
タを自動的に作動させ、各テーブルを位置ずれデータに
基づいた位置ずれ量分移動させ、アライメントマーク３
０を印刷テーブル上２上のより正確な位置に合わせ込み
基板３を位置決めする方法がある（図１、図２参照）。

【００１６】先行の基板１３は、印刷テーブル２上に載
置されたまま印刷ロール６と接触する印刷位置１１を通
って基板３に薄膜形成用のインキが印刷され、基板３の
搬出位置１２に搬送され、搬出装置８によって搬出さ
れ、印刷テーブル２のみが基板３の載置位置１０に戻っ
てくる。

【００１７】以上の動作を基板が印刷テーブル上２上に
置き換えられるたびに行う。

【００１８】実施例１ １.印刷テーブル２上のカメラ５を用いて基準位置デー
タを演算装置５０に記憶する。 ２.前記基準マークと同形状のアライメントマーク３０
が施された基板１３を、アライメントテーブル１上の適
当な位置に、基準ピン３１、プッシャーピン３２で位置
決めし載置する。 ３.アライメントテーブル１上に載置した基板１３を、
基板１３の置き換えを正確におこなう搬送アームで持ち
上げ、印刷テーブル２上へ精度良く搬送し所定位置に載
置する。 ４.アライメントマーク３０を印刷テーブル２上のカメ
ラ５で読み取り、前記基準位置データとアライメントマ
ークの位置データとを演算装置５０にて比較し、位置ず
れ量を算出して演算装置５０に記憶する。 ５.位置ずれデータを基準ピン３１に送信して、アライ
メントテーブル１の基準ピン位置調整モータ３３を作動
させ、基準ピン３１をより正確な位置に位置決めする。
平行して、位置ずれデータを印刷テーブル２に送信して
印刷テーブル２上の基板３も位置合わせする。 ６.新たに搬入される基板３はアライメントテーブル１
で前回よりより正確な位置に位置決めされるため、印刷
テーブル２上での位置合わせの基板３の移動量も少なく
てすみ、所要時間が短くなった。

【００１９】

【発明の効果】本願発明では、印刷テーブルとは別個に
設けられたアライメントテーブル上で、アライメントマ
ークを有する基板を基準ピンに押しつけて位置決めして
おき、つぎに、基板の置き換えを正確におこなう搬送手
段を用いてアライメントテーブル上から印刷テーブル上
の所定の位置に基板を置き換え、つぎに、印刷テーブル
上のカメラでアライメントマークの位置を読み取り、そ
の位置データとあらかじめ記憶されている基準位置デー
タとを比較して位置ずれ量を算出し、その位置ずれ量を
もとに前記アライメントテーブル上の基準ピンを必要量
移動させてより正確な位置に設定し、その基準ピンにア
ライメントマークを有する基板を押しつけて所定の位置
に位置決めし、次に基板の置き換えを正確におこなう搬
送手段を用いてアライメントテーブル上から印刷テーブ
ル上に基板を置き換えることによって、印刷テーブル上
の正確な位置に基板を位置決めするようにしている。

【００２０】よって、印刷テーブルとは別の場所でほぼ
正確なの基板の位置決めをしておくことができるので、
印刷テーブル上での基板の位置決めを短時間でおこなう
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の基板位置決め方法の実施例の一工程
を示す図である。

【図２】この発明の基板位置決め方法の演算処理の概略
を示す図である。

【図３】この発明の基板位置決め方法の実施例の一工程
を示す図である。

【符号の説明】

１ アライメントテーブル ２ 印刷テーブル ３ 基板 ３０ アライメントマーク ３１ 基準ピン ３２ プッシャーピン ３３ 基準ピン位置調整モータ ４ 搬送手段 ４０ ガイドレール ５ カメラ ５０ 演算装置 ６ 印刷ロール ７ 搬入フォーク ８ 搬出装置 ９ Ｘ・Ｙ・θ移動テーブル ９０ Ｘテーブル ９１ Ｙテーブル ９２ θテーブル ９３ Ｘテーブル位置調整モータ ９４ Ｙテーブル位置調整モータ ９５ θテーブル位置調整モータ １０ 載置位置 １１ 印刷位置 １２ 搬出位置 １３ 基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 印刷テーブルとは別個に設けられたアラ
   イメントテーブル上で、アライメントマークを有する基
   板を基準ピンに押しつけて位置決めしておき、つぎに、
   基板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いてアラ
   イメントテーブル上から印刷テーブル上の所定の位置に
   基板を置き換え、つぎに、印刷テーブル上のカメラでア
   ライメントマークの位置を読み取り、その位置データと
   あらかじめ記憶されている基準位置データとを比較して
   位置ずれ量を算出し、その位置ずれ量をもとに前記アラ
   イメントテーブル上の基準ピンを必要量移動させてより
   正確な位置に設定し、その基準ピンにアライメントマー
   クを有する基板を押しつけて所定の位置に位置決めし、
   次に基板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いて
   アライメントテーブル上から印刷テーブル上に基板を置
   き換えることによって、印刷テーブル上の正確な位置に
   基板を位置決めすることを特徴とする薄膜形成装置に用
   いられる基板位置決め方法。