JPH0580526A - 感光板の移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 中心基準の搬入手段と端基準のテーブルとの
間の感光板位置決め上のマッチングを簡素な構成で実現
する。 【構成】 ガラス乾板の移載装置は、平面内の１方向に
移動可能なガラス乾板載置用のＹテーブル４を有し、ガ
ラス乾板３５上に画像を描画する描画装置に用いるもの
であって、マニピュレータ３２とレーザプロッタ制御部
７とを備えている。マニピュレータ３２は、Ｙテーブル
４の移動領域上の特定位置にガラス乾板３５を搬入す
る。レーザプロッタ制御部７は、マニピュレータ３２に
より搬入されたガラス乾板３５をガラス乾板３５のサイ
ズに応じて端基準でＹテーブル４に載置するようＹテー
ブル４の移動量を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光板の移載装置、特
に、レーザプロッタ等に感光板を移載する感光板の移載
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザプロッタは、たとえばプリント基
板のマスタパターンの作成、ＬＣＤ（液晶表示装置）の
マスクパターンの作成等に広く用いられている。レーザ
プロッタには、可撓性の感光フィルムを専ら用いる円筒
走査型のものと、ガラス乾板等の感光板を用い得る平面
走査型のものとがある。温度変化に対して伸縮しやすい
感光フィルムは高精細の画像を描画するには不向きであ
るので、大画面のアクティブマトリクスＬＣＤ等のマス
クパターンに用いる高精細の画像を描画するためには、
ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型レーザプロッ
タが使用されている。

【０００３】平面走査型のレーザプロッタでは、感光板
をテーブル上に載置し、載置した感光板を平面内で露光
走査し、所望の画像を描画する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】平面走査型のレーザプ
ロッタでは、従来、感光板を作業者が手で供給する構成
となっている。ところが、感光板を自動供給できない
と、全体の処理を自動化できず、たとえば２４時間の無
人運転に対応できない。このため、感光板をレーザプロ
ッタに対して搬入・搬出する装置をレーザプロッタに取
り付けることが考えられている。

【０００５】その場合、感光板は、その上面に感光材料
を塗布してあるので、搬入・搬出に際しては、その下面
を保持する必要がある。また感光板は多種類あるので、
感光板を搬送する際には、感光板の中心を支持して感光
板の中心を支持して中心基準に搬送した方が有利であ
る。しかしながら、レーザプロッタでは、感光板を端部
から露光するようにした方が制御が容易であるため、一
般に端基準で移動テーブル上に感光板が載置される。こ
のため、搬入・搬出装置とレーザプロッタ間で感光板を
位置決めする上でのマッチングが問題とされる。

【０００６】本発明の目的は、中心基準の搬入手段と端
基準のテーブルとの間の感光板位置決め上のマッチング
が簡素な構成で実現できる感光板の移載装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る感光板の移
載装置は、平面内の１方向に移動可能な感光板載置用テ
ーブルを有し、前記方向と直交する方向に描画ビームを
走査して、感光板上に画像を描画する描画装置に用いる
ものであって、搬入手段と、移動制御手段とを備えてい
る。搬入手段は感光板載置用テーブルが移動する領域上
の特定位置へ感光板を搬入する。移動制御手段は、搬入
手段により搬入された感光板を端基準でテーブルに載置
するよう感光板のサイズに応じてテーブルの移動量を制
御する。

【０００８】

【作用】本発明に係る感光板の移載装置では、感光板載
置用テーブルの移動領域上の特定位置に、搬入手段によ
り１方向の中心基準で感光板が搬入される。このとき、
移動制御手段が、搬入された感光板をテーブルの端基準
でテーブル上に載置するように、感光板のサイズに応じ
てテーブルの移動量を制御する。このため、特定位置に
搬入された感光板が端基準でテーブル上に載置可能にな
る。

【０００９】

【実施例】

〔構成〕図１は本発明の一実施例を採用したレーザプロ
ッタを示している。レーザプロッタは、分割ラスター方
式を採用した平面走査型のレーザプロッタ本体１と、レ
ーザプロッタ本体１に並設配置された自動ローダ２とを
備えている。レーザプロッタ本体１は、種々のサイズの
ガラス乾板及びフィルムを感光材料として用い、それ
に、画像データで変調されたレーザ光によりマスクパタ
ーン等を高速で描画する。自動ローダ２は、レーザプロ
ッタ本体１にセットするためのガラス乾板を複数枚貯蔵
し、貯蔵されたガラス乾板のレーザプロッタ本体１への
ロード及びレーザプロッタ本体１からのアンロードを自
動的に行う。また自動ローダ２は、内部に後述する位置
決め装置を備えており、レーザプロッタ本体１にガラス
乾板をロードする際の位置決めを行う。

【００１０】レーザプロッタ本体１は、図２に示すよう
に平板状のグラナイド定盤３と、このグラナイド定盤３
上に配置されたＹテーブル４と、Ｙテーブル４の図左方
に配置されたレーザ測長装置６と、Ｙテーブル４の図奥
側に配置された光学ヘッド５と、光学ヘッド５の奥側に
配置されたレーザプロッタ制御部７とから主に構成され
ている。

【００１１】Ｙテーブル４は、図３に示すようにＹ方向
に沿って配置された２本のレール１０，１０に、エアベ
アリングにてＹ方向移動自在に支持されている。また、
Ｙテーブル４は、レール１０，１０間にレール１０と平
行に配置されたボールねじ１２と、ボールねじ１２の一
端に接続されたモータ１１とを含む駆動機構により、Ｙ
方向に往復駆動される。

【００１２】Ｙテーブル４には、９つの小孔１３と、ガ
ラス乾板を吸着するための多数の吸着孔１４とが形成さ
れている。小孔１３は、Ｙ方向と直交するＸ方向に４
列、ガラス乾板のサイズに応じて形成されている。小孔
１３には、Ｙテーブル４の表面に出没可能なピン１５，
１５…が嵌入している。ピン１５，１５…のそれぞれの
列に対応して、Ｙテーブル４の下方には、Ｙ方向に長い
リンク１６が配置されている。リンク１６は、レバー１
７に接続されており、レバー１７はモータ１８により旋
回する構成となっている。ここでは、レバー１７の旋回
によりリンク１６が昇降し、リンク１６の上面に接触し
ているピン１５が出没する。また、吸着孔１４の吸着エ
リアはガラス乾板のサイズに応じて切り換え得るように
なっている。

【００１３】光学ヘッド５は、図２に示すように、Ｙ方
向と直交するＸ方向に沿う１対のガイド部材２０，２０
に移動自在に支持されている。ガイド部材２０には、エ
アベアリングが採用されている。両ガイド部材２０の間
には、モータ２２により駆動されるボールねじ２１が配
置されており、モータ２２の回転駆動により光学ヘッド
５がＸ方向に往復移動する。

【００１４】レーザ測長装置６は、ＨｅＮｅレーザ光源
２５及び光学系２６を備えており、Ｙテーブル４と光学
ヘッド５との相対距離を測定する。レーザ測長装置６
は、この相対距離を測定することにより、Ｙテーブル４
及び光学ヘッド５の位置及び速度の計測と、走査のタイ
ミング信号の発生とを行う。レーザプロッタ制御部７
は、画像の記録、レーザプロッタ本体１内の各モータの
サーボ制御、光学ヘッド５内の光学系の制御等を行う。
レーザプロッタ制御部７は、マイクロコンピュータ等を
備えている。

【００１５】自動ローダ２は、図４に示すように、その
一端に配置された１０枚のガラス乾板を各々独立して貯
蔵するためのストッカ３０と、ストッカ３０の下方に配
置された位置決め装置３１と、ストッカ３０よりも図奥
側に配置されたマニピュレータ３２とを主に備えてい
る。ストッカ３０は、自動ローダ２の一端から引き出し
可能な１０枚のパレット３４，３４…を備えており、パ
レット３４上にはガラス乾板３５が各々１枚ずつ載置さ
れる。パレット３４の図奥側には後述するマニピュレー
タ３２のアーム６０との干渉防止用の切欠きが形成され
ている。ガラス乾板３５は、パレット３４の２方向の端
部に配置された直交する位置決め部材３６，３７によ
り、図左右方向の中心基準に位置決めされる。なお、位
置決め部材３６，３７はガラス乾板３５のサイズに応じ
て着脱可能になっている。

【００１６】位置決め装置３１は、ガラス乾板３５を水
平面上全方向に移動自在に支持する複数のフリーベアリ
ング４０と、フリーベアリング４０上に載置されたガラ
ス乾板３５を位置決めするための２組の位置決め部材４
１，４２とを備えている。位置決め部材４１は、ガラス
乾板３５をマニピュレータ３２の搬送方向（Ａ方向）と
直交する方向に位置決めするためのものである。位置決
め部材４１は、モータ４３ａ，４３ｂで搬送方向（Ａ方
向）と直交する方向に駆動される当接部材４４，４５を
備えている。当接部材４４は、旋回自在なレバー４６ａ
と、レバー４６ａの一端に鉛直軸回りに回転自在に支持
されたローラ４６とを備えている。レバー４６ａは対向
する当接部材４５側に図示しないスプリングにより付勢
されている。また、当接部材４５は、その上部に回転自
在なローラ４７を備えている。この、当接部材４５のロ
ーラ４７が、搬送方向と直交する方向の基準端となる。

【００１７】位置決め部材４２は、マニピュレータ３２
の搬送方向（Ａ方向）の位置決めを行う部材であり、固
定された当接部材５０と、移動可能な当接部材５１とを
備えている。当接部材５０は、自動ローダ２の手前側に
幅方向に延びて配置されている。当接部材５０の上面に
は所定間隔をおいてローラ５２，５２が鉛直軸回りに回
転自在に支持されている。当接部材５１は上面に、旋回
自在な２つのレバー５４ａ（一方は図示せず）と、レバ
ー５４ａの一端に鉛直軸回りに回転自在に支持されたロ
ーラ５４とを備えている。レバー５４ａは、当接部材５
０側に図示しないスプリングにより付勢されている。当
接部材５０のローラ５２，５２が、搬送方向（Ａ方向）
の基準端となる。

【００１８】マニピュレータ３２は、上下、旋回及び径
方向の３軸に移動可能となっている。これは、径方向
（Ａ方向）に移動してガラス乾板３５の重心を含む下面
を支持するアーム６０と、アーム６０を径方向に移動可
能に支持する旋回部６１と、旋回部６１を旋回方向（Ｂ
方向）及び上下方向（Ｃ方向）に移動可能に支持するボ
ディ６３とにより実現されている。アーム６０の上面に
はウレタンゴム等のすべり止め部材（図示せず）か取り
付けられている。ボディ６３内には、旋回及び上下駆動
用のモータ（図示せず）が配置されており、旋回部６１
には径方向駆動用のモータ（図示せず）が配置されてい
る。

【００１９】自動ローダ２の一側面には、連通口７０が
形成されている。連通口７０は、レーザプロッタ本体１
に連通しており、この連通口７０を介してレーザプロッ
タ本体１に対しガラス乾板３５の搬送を行う。また、レ
ーザプロッタ本体１と自動ローダ２との間は光を遮断す
る構造となっており、自動ローダ２のパレット３４にガ
ラス乾板３５を一旦セットした後はオペレータによる作
業はすべて明室にて行える。

【００２０】次にレーザプロッタの制御系の構成につい
て説明する。レーザプロッタの制御系は、図５に示すよ
うに、エンジニアリングワークステーションを含む主制
御部１００を備えている。主制御部１００には、キーボ
ード１０１、ＣＲＴ１０２、磁気ディスク１０３及び他
の入出力部が接続されている。また、主制御部１００に
は、レーザプロッタ制御部７と、ローダ制御部１０４と
がそれぞれ接続されている。レーザプロッタ制御部７に
は、レーザプロッタ本体１の各制御素子が接続されてい
る。またローダ制御部１０４には、自動ローダ２内の各
制御素子が接続されている。

【００２１】次に、このように構成されたレーザプロッ
タの制御機能について説明する。図６及び図７は主制御
部１００の制御フローチャート、図８はレーザプロッタ
制御部７の制御フローチャート、図９はローダ制御部１
０４の制御フローチャートである。主制御 オペレータにより主制御部１００の起動ボタンが押され
ると、図６のステップＳ１でＣＰＵ内のメモリの初期化
等を行う。ステップＳ２では、キーボード１０１等を介
して作業データの入力を行う。ここでは、たとえばスト
ッカ３０の段数、ガラス乾板のサイズ、描画データが格
納された描画ファイル名、感光材料の種類、描画画素サ
イズ等のデータを入力する。続いてステップＳ３では、
オペレータによる作業開始指令を待つ。

【００２２】オペレータが、ストッカ３０の各パレット
３４に、上段から順に描画対象のガラス乾板３５をセッ
トする等の準備作業を終え、作業開始指令を入力する
と、ステップＳ４に移行する。ステップＳ４では、レー
ザプロッタ制御部７やローダ制御部１０４からの情報に
より、装置の状態チェックを行う。たとえば、ガラス乾
板がＹテーブル４や位置決め装置３１上に存在している
か否か、ピン１５が下降しているか否か等のチェックを
行う。ステップＳ５では、レーザプロッタ制御部７へ、
Ｙテーブル４の原点移動指令を出力する。この原点移動
指令は、ガラス乾板のサイズに応じた指令となる。

【００２３】ステップＳ６では、レーザプロッタ制御部
７からの、テーブル原点移動完了信号を待つ。レーザプ
ロッタ制御部７から原点移動完了信号（ステップＰ７）
が出力されるとステップＳ７に移行する。ステップＳ７
では、ローダ制御部１０４に対し、ロード指令を出力す
る。ステップＳ８では、ローダ制御部１０４からガラス
乾板３５のサイズチェック結果を受け取り、ガラス乾板
３５のサイズが作業データのサイズと同じか否かを判断
する。ガラス乾板３５のサイズが入力された作業データ
が示すサイズと同じ場合にはステップＳ９に進む。ステ
ップＳ９では、ローダ制御部１０４からの乾板移動完了
信号（ステップＲ９）を待つ。ローダ制御部１０４から
乾板移動完了信号が出力されるとステップＳ１０に移行
する。ステップＳ１０では、レーザプロッタ制御部７に
対し、ピン１５の上昇指令を出力する。ステップＳ１１
では、レーザプロッタ制御部７からのピン上昇完了信号
（ステップＰ９）を待つ。レーザプロッタ制御部７から
ピン上昇完了信号を受けるとステップＳ１２に移行す
る。ステップＳ１２では、ローダ制御部１０４に対し、
マニピュレータ３２のアーム６０の引き込み指令を出力
する。

【００２４】続いて図７のステップＳ１３では、ローダ
制御部１０４からのアーム６０の引き込み完了信号（ス
テップＲ１２）を待つ。アーム６０の引き込み完了信号
を受けるとステップＳ１４に進む。ステップＳ１４で
は、レーザプロッタ制御部７に対して、ピン下降指令を
出力する。ステップＳ１５では、レーザプロッタ制御部
７からのピン下降完了信号（ステップＰ１３）を待つ。
レーザプロッタ制御部７からピン下降完了信号を受ける
とステップＳ１６に進む。

【００２５】ステップＳ１６では、レーザプロッタ制御
部７に対し、描画指令を出力する。ステップＳ１７で
は、レーザプロッタ制御部７からの描画完了信号（ステ
ップＰ１７）を待つ。レーザプロッタ制御部７から描画
完了信号を受けるとステップＳ１８に進む。ステップＳ
１８では、レーザプロッタ制御部７に対しピン上昇指令
を出力する。ステップＳ１９では、レーザプロッタ制御
部７からのピン上昇完了信号（ステップＰ２０）を待
つ。レーザプロッタ制御部７からピン上昇完了信号を受
けるとステップＳ２０に進む。

【００２６】ステップＳ２０では、ローダ制御部１０４
に対し、アンロード指令を出力する。ステップＳ２１で
は、ローダ制御部１０４からのアーム６０の挿入完了信
号（ステップＲ１７）を待つ。アーム６０の挿入完了信
号を受けるとステップＳ２２に進む。ステップＳ２２で
は、レーザプロッタ制御部７に対し、ピン下降指令を出
力する。ステップＳ２３では、レーザプロッタ制御部７
からのピン下降完了信号（ステップＰ２３）を待つ。レ
ーザプロッタ制御部７からピン下降完了信号を受けると
ステップＳ２４に進む。ステップＳ２４では、ローダ制
御部１０４に対し乾板収納指令を出力する。ステップＳ
２５では、ステップＳ２（図６）での入力情報に基づ
き、作業終了であるか否かを判断する。作業終了ではな
いと判断されたときにはステップＳ５に戻る。また作業
終了であると判断されたた場合には処理を終了する。

【００２７】一方、図６のステップＳ８で、入力された
作業データと異なるサイズのガラス乾板３５がロードさ
れたと判断された場合には、ステップＳ２６に進む。ス
テップＳ２６ではローダ制御部１０４からの乾板収納完
了信号（ステップＲ１５）を待つ。収納完了信号が出力
されるとステップＳ５に戻る。レーザプロッタ制御 レーザプロッタ制御部７では、図８のステップＰ１で、
各部を初期位置にセットする等の初期化を行う。ステッ
プＰ２では、Ｙテーブル４のガラス乾板サイズに応じた
原点移動指令（ステップＳ５）が主制御部１０４から出
力されたか否かを判断する。ステップＰ２で原点移動指
令が出力されていないと判断された場合にはステップＰ
３に進む。ステップＰ３では、主制御部１００からピン
上昇指令（ステップＳ１０）が出力されたか否かを判断
する。ピン上昇指令が出力されていないと判断された場
合にはステップＰ４に移行する。ステップＰ４では、主
制御部１００から描画指令（ステップＳ１６）がなされ
たか否かを判断する。ステップＰ４で、主制御部１００
から描画指令が出力されていないと判断したときにはス
テップＰ５に移行する。ステップＰ５では、他の処理を
実行する。ステップＰ５での他の処理が終了するとステ
ップＰ２に戻る。

【００２８】ステップＰ２で主制御部１００から原点移
動指令（ステップＳ５）が出力されたと判断するとステ
ップＰ６に進む。ステップＰ６では、ガラス乾板３５の
サイズに応じた原点にＹテーブル４を移動させる。この
移動の際には、具体的には図１０に示すように、大サイ
ズのガラス乾板３５ａを移載する際には、Ｙテーブル４
を最右端の停止位置に第１原点停止させる。また、中サ
イズのガラス乾板３５ｂを移載する際には、Ｙテーブル
４を中間位置（第２原点）に停止させる。さらに、小サ
イズのガラス乾板３５ｃを移載する際には、Ｙテーブル
４を最左端の位置に停止させる。これにより、アーム６
０により中心基準で搬送されたガラス乾板３５が、Ｙテ
ーブル４上で、右端基準で載置される。ここでの原点位
置の変更は、従来から設けられているＹ方向の制御機構
によって行われるので、特別の機構は不要である。

【００２９】ステップＰ７では、Ｙテーブル４の原点移
動完了信号を主制御部１００に出力する。ステップＰ７
で原点移動完了信号の出力を終わるとステップＰ２に戻
る。ステップＰ３で、主制御部１００からピン上昇指令
（ステップＳ１０）が出力されたと判断するとステップ
Ｐ８に移行する。ステップＰ８では、ピン１５を上昇さ
せる。ステップＰ９では、ピン１５の上昇完了信号を主
制御部１００に対し出力する。ステップＰ１０では、主
制御部１００からのピン下降指令（ステップＳ１４）を
待つ。主制御部１００からピン下降指令を受けるとステ
ップＰ１１に移行する。ステップＰ１１では、図示しな
い真空ポンプにより、吸着孔１４，１４…からエアを吸
い込み、吸着動作を開始する。ステップＰ１２ではピン
１５を下降させる。ステップＰ１３では、主制御部１０
０に対しピン下降完了信号を出力する。ステップＰ１４
では、吸着孔１４，１４…の吸着エリアをサイズに応じ
て切り換える。たとえばサイズの小さな乾板のときは、
Ｙテーブル４の手前側のエリアだけを吸着エリアとす
る。これにより、ガラス乾板３５の保持を行う。

【００３０】ステップＰ４で、主制御部１００から描画
指令（ステップＳ１６）が出力されたと判断するとステ
ップＰ１５に移行する。ステップＰ１５では、Ｙテーブ
ル４及び光学ヘッド５を移動させ、画像データで変調さ
れたレーザ光によりガラス乾板上に所定の画像を描画す
る描画処理を行う。この描画処理では、音響光学変調素
子（ＡＯＭ）により図示しないレーザ光源から出力され
たレーザ光を画像データに応じて変調し、さらに、音響
光学偏向素子（ＡＯＤ）により微小幅にレーザ光を偏向
し、走査する。つまり、ＡＯＤで微小幅主走査を行いつ
つ、Ｙテーブル４をＹ方向（副走査方向）に移動させ
る。そして、１つの微小幅の走査が終了すると、光学ヘ
ッド５を微小幅分移動させ、次の微小幅の走査を行う。
これを順次繰り返し、描画領域全体の描画を行う。

【００３１】また、このときのＹテーブル４及び光学ヘ
ッド５の相対位置はレーザ測長装置６により測定され、
モータ１１及び２２のサーボ制御が行われる。また、Ａ
ＯＤの走査のタイミング信号を発生するレーザ測長装置
６を用いることにより、ＡＯＤ走査光学系の制御を正確
に行えるとともに、描画パターンの精度を高くできる。

【００３２】ステップＰ１６では、描画が終了した際の
テーブル移動を行う。このテーブル移動により、Ｙテー
ブル４を乾板サイズに応じた原点位置に戻す。ステップ
Ｐ１７では、主制御部１００に対し描画完了信号を出力
する。ステップＰ１８では、主制御部１００からのピン
上昇指令を待つ。主制御部１００からピン上昇指令を受
けるとステップＰ１９に移行する。ステップＰ１９で
は、吸着を解除するとともに、ピン１５を上昇させる。
これによりガラス乾板３５を持ち上げる。ステップＰ２
０では、ピン上昇完了信号を主制御部１００に対して出
力する。

【００３３】ステップＰ２１では、主制御部１００から
のピン下降指令を待つ。ステップＰ２１で、主制御部か
らピン下降指令を受けるとステップＰ２２に移行する。
ステップＰ２２では、ピン１５を下降させる。ステップ
Ｐ２３では、ピン下降完了指令を主制御部１００に対し
て出力する。ステップＰ２３が終了するとステップＰ２
に戻る。

【００３４】このように、ピンの上昇下降により、自動
ローダ２との間でガラス乾板３５のロード・アンロード
処理を行う。ローダ制御 ローダ制御部１０４では、図９に示すように、まず、ス
テップＲ１で各部を初期位置にセットする等の初期化が
行われる。ステップＲ２では、主制御部１００からロー
ド指令（ステップＳ７）が出力されたか否かを判断す
る。ステップＲ２で主制御部１００からロード指令が出
力されていないと判断された場合にはステップＲ３に移
行する。ステップＲ３では主制御部１００からアンロー
ド指令（ステップＳ２０）が出力されたか否かを判断す
る。主制御部１００からアンロード指令が出力されてい
ないと判断されるとステップＲ４に移行する。ステップ
Ｒ４では他の処理を行う。ステップＲ４の処理が終了す
るとステップＲ２に戻る。

【００３５】ステップＲ２で主制御部１００からロード
指令（ステップＳ７）が出力されたと判断するとステッ
プＲ５に移行する。ステップＲ５では、マニピュレータ
３２のアーム６０を引き出し、ストッカ３０から作業デ
ータに応じたガラス乾板３５を取り出す。ステップＲ６
では、取り出したガラス乾板３５を位置決め装置３１の
フリーベアリング４０上に載置する。さらにステップＲ
６では、載置されたガラス乾板３５のサイズを、位置決
め装置３１に配置された図示しないセンサによりチェッ
クする。載置されたガラス乾板３５のサイズが、作業デ
ータで指示されたサイズと同一の場合にはステップＲ７
に移行する。ステップＲ７では、当接部材４４，４５，
５０，５１により、ガラス乾板３５を、作業データに応
じたサイズの位置で中心基準で位置決めする。

【００３６】ステップＲ８では、マニピュレータ３２に
より、位置決めされたガラス乾板３５をアーム６０の上
面に載置し、位置決め装置３１からアーム６０を退出さ
せる。さらに、旋回部６１を時計回りに９０°旋回さ
せ、連通口７０を通じてガラス乾板３５をＹテーブル４
上へ載置する。ステップＲ９では、主制御部１００に乾
板移動完了信号を出力する。ステップＲ１０では、主制
御部１００からのアーム引き込み指令（ステップＳ１
２）を待つ。主制御部からアーム引き込み指令が出力さ
れたと判断されるとステップＲ１１に進む。ステップＲ
１１ではマニピュレータ３２によりアーム６０の引き込
み動作を実行する。ステップＲ１２では、アーム６０の
引き込み完了信号を主制御部１００に出力する。ステッ
プＲ１３では、マニピュレータ３２を原点位置に復帰さ
せる。ステップＲ１３での処理を終了するとステップＲ
２に戻る。

【００３７】ステップＲ３で、主制御部１００からアン
ロード指令（ステップＳ２０）が出力されたと判断する
とステップＲ１６に移行する。ステップＲ１６ではアー
ム６０を進出させ、アーム６０をピン１５によって上昇
させられたガラス乾板３５とテーブル上面との間に挿入
する。ステップＲ１７では、アーム挿入完了信号を主制
御部１００に出力する。ステップＲ１８では、主制御部
１００からのガラス乾板３５の収納指令（ステップＳ２
４）を待つ。主制御部１００からガラス乾板３５の収納
指令を受けるとステップＲ１９に移行する。ステップＲ
１９ではアーム６０を引き込み、連通口７０からガラス
乾板３５を自動ローダ２内に移動させる。さらに、旋回
部６１を９０°反時計回りに旋回させてさらに昇降さ
せ、マニピュレータ３２により、ガラス乾板３５を所定
のパレット３４に収納する。ステップＲ２０では、マニ
ピュレータ３２を原点位置に復帰させる。ステップＲ２
０での動作が終了するとステップＲ２に戻る。

【００３８】一方、ステップＲ６でのチェックの結果、
サイズが合わなかったときにはステップＲ１４に移行す
る。ステップＲ１４ではフリーベアリング４０上に載置
されたガラス乾板３５を元のパレット位置に収納する。
ステップＲ１４では、乾板収納完了信号を主制御部１０
０に出力する。この処理が終了するとステップＲ２に戻
る。

【００３９】〔動作〕次に、上述のレーザプロッタの一
連の動作を説明する。まず、マニピュレータ３２によ
り、パレット３４に載置されたガラス乾板３５をパレッ
ト３４の切欠き部下方よりアーム６０を上昇させて受け
取り、これを一旦位置決め装置３１上のフリーベアリン
グ４０上に載置する。ここで２組の当接部材４４，４
５、５０，５１により、サイズに応じた位置に中心基準
に位置決めした後、マニピュレータ３２でガラス乾板３
５をＹテーブル上に搬送する。このとき、Ｙテーブル４
は、図１０に示すようにサイズに応じた位置（原点）に
停止しているので、中心基準で搬送されたガラス乾板３
５は端面基準で載置される。

【００４０】Ｙテーブル４では、ピン１５を上昇させ、
搬送されたガラス乾板３５をアーム６０より受け取る。
ピン１５上にガラス乾板３５を載置すると、マニピュレ
ータ３２のアーム６０が引き込まれ、マニピュレータ３
２は原点に復帰する。一方、ピン１５が下降し、ガラス
乾板３５をＹテーブル４上に載置し終えるとＹテーブル
４及び光学ヘッド５が移動し、ガラス乾板３５に対し描
画処理が行われる。描画処理が終了すると、Ｙテーブル
４は、サイズに応じた位置（原点）に戻され、中心基準
で乾板３５を扱うマニピュレータ３２のアーム６０を待
つ。ここでは、再度ピン１５を上昇させてガラス乾板３
５を持上げ、ガラス乾板３５とＹテーブル４上面との間
にマニピュレータ３２のアーム６０を差し込み、ピン１
５を下降させてガラス乾板をアーム６０上に載置する。
そして、マニピュレータ３２により、ガラス乾板３５
は、元のパレット３４上の位置にアンロードする。

【００４１】なお、前記実施例では、ピン１５上に載置
されたガラス乾板３５をピン１５の下降とともにＹテー
ブル４上に載置する際に、Ｙテーブル４の上面から真空
吸着しつつ行っているので、ガラス乾板３５が下降の際
に位置ずれすることがない。 〔他の実施例〕 （ａ） 前記実施例では感光板としてガラス乾板を例に
説明したが、ガラス乾板以外の感光板についても本発明
を適用できる。 （ｂ） 前記実施例では搬入部としてマニピュレータを
用いたが、搬入部としては、感光板をテーブルが移動す
る領域上の特定位置に搬入するものであればどのような
機構でもよい。

【００４２】

【発明の効果】本発明に係る感光板の移載装置では、テ
ーブルが移動する領域上の特定位置に中心基準で搬入さ
れた感光板が、移動制御手段がテーブルの移動量を制御
することにより、端基準でテーブル上に載置される。従
って、搬入手段に感光板のサイズに応じて搬入位置を変
えるような機構を不要とし、レーザプロッタ側の感光板
載置用テーブル移動機構を兼用しているため、中心基準
の搬入手段と端基準のテーブルとの間の感光板位置決め
上のマッチングが簡素な構成で実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を採用したレーザプロッタの
外観斜視図。

【図２】レーザプロッタ本体の斜視図。

【図３】Ｙテーブルの斜視図。

【図４】自動ローダの斜視図。

【図５】制御系のブロック図。

【図６】主制御部の制御フローチャート。

【図７】主制御部の制御フローチャート。

【図８】レーザプロッタ制御部の制御フローチャート。

【図９】ローダ制御部の制御フローチャート。

【図１０】テーブルの停止位置を示す模式平面図。

【符号の説明】

４ Ｙテーブル ７ レーザプロッタ制御部 １０ レール １１ モータ １２ ねじ軸 ３２ マニピュレータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平面内の１方向に移動可能な感光板載置用
   テーブルを有し、前記方向と直交する方向に描画ビーム
   を走査して、前記感光板上に画像を描画する描画装置に
   用いる感光板の移載装置であって、 前記感光板載置用テーブルが移動する領域上の特定位置
   へ感光板を搬入する搬入手段と、 前記搬入手段により搬入された感光板を感光板載置用テ
   ーブルの端基準で前記テーブルに載置するように前記感
   光板のサイズに応じて前記テーブルの移動量を制御する
   移動制御手段と、を備えた感光板の移載装置。