JP3542296B2 - フィルムホルダ、フィルムホルダ搬送方法、フィルムホルダ搬送装置及びレーザプロッタ - Google Patents
フィルムホルダ、フィルムホルダ搬送方法、フィルムホルダ搬送装置及びレーザプロッタ Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 81
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 45
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 33
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルムホルダ、特にガラス乾板を含む感光板に描画を行う平面走査型のレーザプロッタに用いられるフィルムホルダに関する。
【0002】
また、本発明は、フィルムホルダ搬送方法及びその搬送装置、特に、ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられ、感光フィルムを保持するフィルムホルダを貯蔵するストッカ部とフィルムホルダを搬入及び搬出するための手動トレイ部との間でフィルムホルダを搬送するフィルムホルダ搬送方法及びその搬送装置に関する。
【0003】
さらに本発明は、レーザプロッタ、特に、ガラス乾板及びフィルムホルダに保持された感光フィルムに対してレーザ光により二次元画像を描画するレーザプロッタに関する。
【0004】
【従来の技術】
レーザプロッタは、例えばプリント基板のマスターパターンの作成、LCD(液晶表示装置)のマスクパターンの作成等に広く用いられている。
【0005】
レーザプロッタには、主に可撓性の加工フィルムを用いる円筒走査型のものと、ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型のものとがある。温度変化に対して伸縮し易いフィルム等の可撓性感光材料は、高精細の画像を描画するには不向きであるので、大画面のアクティブマトリックスLCD等のマスクパターンに用いる高精細の画像を描画するためには、ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型のレーザプロッタが使用されている。
【0006】
従来の平面走査型のレーザプロッタは、ガラス乾板等の感光板に対してレーザ光により描画を行うレーザプロッタ本体と、感光板を貯蔵するストッカ部と、感光板の搬入及び搬出を行うための手動トレイ部とを有している。そして、レーザプロッタ本体、ストッカ部及び手動トレイ部の間で感光板を搬送するための搬送アーム等を含む搬送手段が設けられている。
【0007】
このようなレーザプロッタでは、手動トレイ部から複数の感光板を搬入し、これらをストッカ部に貯蔵しておく。そしてその後は、レーザプロッタのシステム全体を制御する制御部によって、ストッカ部に貯蔵された複数の感光板のそれぞれが順にレーザプロッタ本体に搬送されて描画が行われ、描画処理の終了した感光板はストッカ部の元に位置に戻される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように平面走査型のレーザプロッタは、主にガラス乾板を露光する目的で使用され、このため搬送手段はガラス乾板用に構成されている。
【0009】
このような平面走査型のレーザプロッタにおいても、それ程高精度が要求されないような描画については、感光フィルム(以下、単にフィルムと記す)が使用される場合がある。フィルムが使用される場合には、ガラス乾板用の搬送手段によって搬送することができないので、作業者が1枚ずつレーザプロッタのテーブル上にセットするようにしている。このため、平面走査型のレーザプロッタにおいてフィルムを使用する場合には、作業が面倒である。また、一般にレーザプロッタのテーブル上では、吸着用の多数の孔によってガラス乾板を吸着保持するようにしているので、フィルムを使用する場合には、フィルム載置領域以外の領域に形成されている吸着用の孔を、フィルムを交換するたびにふさぐ必要がある。
【0010】
前述のような煩雑なフィルムのセット作業を簡便化するために、フィルム専用の搬送手段を設けることも考えられる。しかし、ガラス乾板の搬送手段とは別にフィルム専用の搬送手段を設けると、構造が非常に複雑となる。また、ガラス乾板とフィルムそのものとを共に搬送することができるような共通の搬送手段を構成することは非常に困難である。
【0011】
本発明の目的は、平面走査型のレーザプロッタにおいて、簡単かつ安価な構成でガラス乾板等の感光板とフィルムとを同様に取り扱うことができるようにすることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係るフィルムホルダは、ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられるものであって、ホルダベースと、位置決め手段と、保持手段とを備えている。ホルダベースは表面に感光用のフィルムが載置される。位置決め手段はホルダベースに載置されるフィルムを位置決めするための手段である。保持手段はホルダベースに載置されるフィルムをホルダベースの表面に保持するための手段である。そして、このフィルムホルダは、レーザプロッタにおける搬送及び描画処理において感光板と同様に取り扱いが可能である。
【0013】
このフィルムホルダにおいては、ホルダベース上にフィルムが載置され、位置決め手段によって位置決めされる。また、位置決めされたフィルムは保持手段によってホルダベースの表面に保持される。そして、このフィルムホルダはレーザプロッタ内における搬送等の各処理においてガラス乾板を含む感光板と同様に取り扱いが可能である。
【0014】
ここでは、フィルムの保持されたフィルムホルダがガラス乾板を含む感光板と同様に搬送等の各処理において取り扱いが可能であるので、従来のガラス乾板等の搬送機構を用いてフィルム(フィルムホルダ)の搬送等の各処理を行うことができる。したがって、従来の主にガラス乾板を取り扱う搬送手段を有するレーザプロッタにおいて、その構成をほとんど変更することなくフィルム用としても用いることが可能となる。
【0015】
請求項2に係るフィルムホルダは、請求項1のフィルムホルダにおいて、レーザプロッタは描画時にフィルムホルダが載置されるテーブルを有している。そして、保持手段はホルダベースにおけるフィルム載置領域の少なくとも一部に形成されたフィルム吸着用の複数の貫通孔である。また、ホルダベースの裏面において複数の貫通孔の形成領域に周囲に設けられた第1シール部材をさらに備えている。さらに、ホルダベースはシール部材を介してレーザプロッタのテーブル表面との間に隙間を開けて載置される。
【0016】
このフィルムホルダでは、ホルダベースのフィルム載置領域には複数の貫通孔が形成されており、この複数の貫通孔を利用してホルダベース表面に載置されたフィルムを吸着保持することが可能である。また、ホルダベースの裏面には第1シール部材が設けられており、ホルダベース裏面とレーザプロッタのテーブル表面との間の空間をシールしている。
【0017】
このため、レーザプロッタのテーブルに形成された複数の吸着孔、テーブル表面とホルダベース裏面との間の空間及びホルダベースの貫通孔を通して、ホルダベース上のフィルムを吸着保持することができる。
【0018】
請求項3に係るフィルムホルダは、請求項2のフィルムホルダにおいて、レーザプロッタはテーブルの表面から出没するフィルムホルダ用の複数の支持ピンを有している。またホルダベース裏面において支持ピンの当接箇所の周囲に設けられた第2シール部材をさらに有している。
【0019】
このレーザプロッタでは、レーザプロッタのテーブルから複数の支持ピンが出没し、テーブル上に載置されるフィルムホルダあるいは感光板を支持している。この複数の支持ピンの周囲には、支持ピンがスムーズに出没可能なように隙間が設けられているので、吸着時にこの隙間を介して空気が漏れる場合がある。このため、複数の支持ピンの周囲には第2シール部材が設けられ、各支持ピンの周囲から吸着時に空気が漏れるのを防止している。
【0020】
請求項4に係るフィルムホルダは、請求項1から3のいずれかのフィルムホルダにおいて、フィルム及びホルダベースは四角形状であり、位置決め手段は、ホルダベースの各側面に設けられホルダベース上のフィルムの各端縁に当接可能なガイド部材である。
【0021】
このフィルムホルダでは、ホルダベース上に載置されたフィルムの各端縁がガイド部材に当接し、これによりホルダベース上の所定位置にフィルムが位置決めされる。
【0022】
請求項5に係るフィルムホルダは、請求項1から4のいずれかのフィルムホルダであって、小サイズのフィルムをホルダベースの表面に位置決めするために、ホルダベースの表面に着脱自在な複数の小サイズ用ガイド部材をさらに備えている。
【0023】
このフィルムホルダでは、ホルダベースの表面の所定の位置に小サイズ用ガイド部材が着脱自在となっている。この小サイズ用ガイド部材をホルダベース表面に装着することによって、ホルダベースの大きさに比較して小さいサイズのフィルムをも良好に位置決めすることができる。
【0024】
請求項6に係るフィルムホルダは、請求項1から5のいずれかのフィルムホルダにおいて、ホルダベース、位置決め手段及び保持手段を含めた全厚みは、ガラス乾板の厚みの1倍以上2.5倍以下である。
【0025】
一般にレーザプロッタには、テーブルの上方に配置された露光ヘッド部分に対物レンズ等の光学系が配置されている。そして、このようなレーザプロッタは、主にガラス乾板に対して描画するものであるため、光学系は、ガラス乾板がテーブル上に配置されたときに干渉しないような位置に配置されている。ここで、本件発明に係るフィルムホルダの厚みを厚くしすぎると、ガラス乾板を対象として設計された光学系がフィルムホルダと干渉するおそれがある。従って、フィルムホルダの厚みはガラス乾板の厚みに対して余り厚くすることができない。一方、フィルムホルダは、軽量化のためにアルミニウム等の材質によって構成されるのが望ましく、したがってある程度の厚みを確保しないと強度的に低下し、描画精度が劣化する等の問題がある。
【0026】
そこで、この請求項6に係る発明では、フィルムホルダの全厚みをガラス乾板の厚みの1倍以上2.5倍以下とし、十分な強度を確保しながら、しかも光学系との干渉を避けるようにしている。
【0027】
請求項7に係るフィルムホルダは、請求項1から6のいずれかのフィルムホルダにおいて、ホルダベースはアルミニウム製であり、表面にはアルマイト処理が施されている。
【0028】
ホルダベースをアルミニウムで構成することによって、重量を軽くすることができる。また、フィルムホルダをアルミニウム製とした場合には照射したレーザ光が反射するが、表面をアルマイト処理することによって前記反射を抑えることができる。
【0029】
請求項8に係るフィルムホルダ搬送方法は、ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられ、感光フィルムを保持するフィルムホルダを貯蔵するストッカ部とフィルムホルダを搬入及び搬出するための手動トレイ部との間でフィルムホルダを搬送する方法であり、以下の工程を備えている。
【0030】
◎搬入指示を受けて手動トレイ部のフィルムホルダをストッカ部に搬送する搬入工程。
【0031】
◎搬出指示を受けてストッカ部のフィルムホルダを手動トレイ部に搬送する搬出工程。
【0032】
◎搬出工程によってフィルムホルダが手動トレイ部に搬送された後に搬入指示を受けた場合には、搬出工程によって搬送される前に貯蔵されていたストッカ部の元の位置にフィルムホルダを戻す再搬入工程。
【0033】
請求項9に係るフィルムホルダ搬送装置は、ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられ、感光フィルムを保持するフィルムホルダを貯蔵するストッカ部とフィルムホルダを搬入及び搬出するための手動トレイ部との間でフィルムホルダを搬送する装置であり、搬送部材と、搬送制御手段と、指示手段とを備えている。
【0034】
搬送部材は、感光板及びフィルムホルダを保持可能であり、ストッカ部と手動トレイ部との間で感光板及びフィルムホルダを搬送する。搬送制御手段は搬送部材の移動制御を行うための手段である。指示手段は搬送制御手段に対して外部から搬送指示を行うための手段である。そして、搬送制御手段は、指示手段からの搬入指示を受けて手動トレイ部のフィルムホルダをストッカ部に搬送し、指示手段からの搬出指示を受けてストッカ部のフィルムホルダを手動トレイ部に搬送する。また、搬出指示によってフィルムホルダが手動トレイ部に搬送された後に搬入指示を受けた場合には、搬出指示によって搬送される前に貯蔵されていたストッカ部の元の位置にフィルムホルダを戻すように搬送部材を制御する。
【0035】
前記フィルム搬送方法及びこのフィルムホルダ搬送装置では、外部からの搬入指示によって手動トレイ部のフィルムホルダがストッカ部に搬送される。また、搬出指示を受けて、ストッカ部のフィルムホルダが手動トレイ部に搬送される。また、搬出指示によってフィルムホルダが手動トレイ部に搬送された後に搬入指示を受けた場合には、搬出指示によって搬送される前に貯蔵されていたストッカ部の元の位置にフィルムホルダが戻される。
【0036】
ここでは、フィルムホルダが一旦搬出指示によって手動トレイ部に搬送された後、このフィルムホルダ上のフィルムが交換され、その後に搬入指示を受けると、このフィルムホルダはストッカ部の元の位置に戻される。従って、1つのフィルムホルダを用いて複数のフィルムの描画を行うことができる。このため、作業者はフィルムホルダを手動トレイ部から取り出したり取り付けたりする必要がなく、作業が容易になる。
【0037】
請求項10に係るレーザプロッタは、レーザプロッタ本体と、ストッカ部と、手動トレイ部と、搬送手段と、指示手段と、制御手段とを備えている。
【0038】
レーザプロッタは、フィルムホルダに保持された感光フィルム及びガラス乾板を含む感光板に対してレーザ光により描画を行う。ストッカ部はフィルムホルダ及び感光板を各々独立して貯蔵する。手動トレイ部はフィルムホルダ及び感光板を搬入及び搬出するためのものである。搬送手段は、レーザプロッタ本体、ストッカ部及び手動トレイ部の間でフィルムホルダ及び感光板を共通の搬送部材によって搬送する手段である。指示手段はフィルムホルダ及び感光板の搬送を指示するための手段である。制御手段は指示手段の指示に応じて搬送手段を制御する手段である。
【0039】
このようなレーザプロッタでは、1つの搬送手段の共通の搬送部材によってフィルムホルダ及びガラス乾板を含む感光板を搬送することができ、簡易な構成でかつ安価なレーザプロッタを実現することができる。
【0040】
【発明の実施の形態】
[全体構成]
図1は本発明の一実施形態によるレーザプロッタを示している。
【0041】
レーザプロッタは、平面走査型のレーザプロッタ本体1と、レーザプロッタ本体1に併設配置されたストッカ部2と、ガラス乾板やフィルムホルダ(後述)を搬入及び搬出するための手動トレイ部3と、レーザプロッタ本体1、ストッカ部2及び手動トレイ部3の間でガラス乾板及びフィルムホルダを搬送するための搬送機構4とを有している。
【0042】
レーザプロッタ本体1は、種々のサイズのガラス乾板及びフィルムホルダに保持されたフィルムに対して、画像データで変調されたレーザ光によりマスクパターン等を高速で描画するためのものである。ストッカ部2には、レーザプロッタ本体1にセットするための複数のガラス乾板及びフィルムホルダが格納されている。また手動トレイ部3には引き出し可能なトレイ5が設けられており、引き出したトレイ5上にガラス乾板やフィルムホルダを載置してこれらを搬入したり、また描画済み(露光済み)のガラス乾板やフィルムホルダ上のフィルムを引き出されたトレイ5上から取り出すことが可能である。
【0043】
[レーザプロッタ本体]
図2に、レーザプロッタにおけるレーザプロッタ本体1を抽出して示している。この図2に示すように、レーザプロッタ本体1は、平板状のグラナイド定盤10と、グラナイド定盤10上にY方向に移動自在に配置されたYテーブル11と、Yテーブル11の一方側に配置されたレーザ測長装置12と、Yテーブル11の上方にY方向と直交するX方向に移動自在に配置された露光ヘッド13とを有している。また、レーザ測長装置12と対向する側にはCCDカメラ14が設けられている。このCCDカメラ14は、レーザビームのスポット径やビームスポットの位置ずれを調整するためのものである。
【0044】
Yテーブル11は、グラナイド定盤10上においてY方向に沿って配置された1対のレール15上に移動自在に支持されている。また、図示していないが、1対のレール15の間にはタイミングベルトがこれらのレール15と平行に配置されており、Yテーブル11の下面に設けられた結合部がタイミングベルトに結合し、タイミングベルトがモータにより駆動されるようになっている。さらに、Yテーブル4上には、複数の小孔11aと、Yテーブル11上に載置されるガラス乾板を吸着するための多数の吸着孔11bとが形成されている。なお、複数の小孔11aは、Yテーブル11上に載置されるガラス乾板及びフィルムホルダを支持するための支持ピン19が出没するための孔である。
【0045】
露光ヘッド13は、図2に示すように、X方向に沿って配置された1対のレール16上に移動自在に支持されている。また、1対のレール16の間にはこれらのレール16と平行にボールねじ17が設けられており、ボールねじ17は、その一端に設けられたモータ18によって回転させられるようになっている。そして、露光ヘッド13の下面にはボールねじ17に螺合するナット部(図示せず)が設けられている。
【0046】
このように、Yテーブル11がY方向に移動し、露光ヘッド13がX方向に移動することにより、Yテーブル11の表面に載置された感光板あるいはフィルムホルダ上のフィルムに対して、露光ヘッド13は任意の位置に移動することが可能である。
【0047】
レーザ測長装置12は、HeNeレーザ光源及び光学系を備えており、Yテーブル11と露光ヘッド13との相対距離を測定する。レーザ測長装置12は、この相対距離を測定することにより、Yテーブル11及び露光ヘッド13の位置及び速度の計測と、走査のタイミング信号の発生とを行う。
【0048】
[ストッカ部]
ストッカ部2は、図1に示すように、Yテーブル11が露光ヘッド13から最も離れた位置の上方に配置されている。すなわち、Yテーブル11の外側に4本の脚部20が上方に延びるように設けられ、この脚部20に複数対の支持部21が上下方向に並べて固定されている。すなわち、各対の支持部21のうちの一方側の部材は2本の脚部20に固定され、他方側の部材は一方側の部材に対向するように他の2本の脚部20に固定されている。そして、対向する部材間には空間が形成されている。このような支持部21によって、ガラス乾板及びフィルムホルダの対向する端縁部分が支持される。したがって、ストッカ部2には、上下方向に複数段にわたって、複数のガラス乾板及びフィルムホルダを貯蔵することが可能となる。
【0049】
また、複数対の支持部21の上方、すなわち各脚部20の上端部には位置調整装置22が配置されている。この位置調整装置22は、X方向及びY方向にそれぞれ対向する1対の位置決め部材22x,22yを有している。各位置決め部材22x、22yは各方向に移動自在であり、この位置調整装置22上に載置されたガラス乾板及びフィルムホルダを高い精度で位置調整することが可能である。なお、この位置調整は、ガラス乾板及びフィルムホルダがストッカ部2の支持部21から取り出された後、Yテーブル11に載置される前に行われる。
【0050】
[手動トレイ部]
手動トレイ部3に設けられたトレイ5は、その前面に設けられた取っ手5aによって図1のA方向にスライドさせることが可能である。このトレイ5には、U字形状の載置部25が形成され、中央部には切欠き部25aが形成されている。そして、この載置部25上にガラス乾板やフィルムホルダが載置される。
【0051】
[搬送機構]
搬送機構4は、細長い四角形状の搬送アーム30を有している。この搬送アーム30は、図示しないスライド機構によってストッカ部2と手動トレイ部3との間で水平方向の移動が可能であり、また図示しない昇降機構によって上下方向への移動が可能である。なお、手動トレイ部3のトレイ5の載置部中央に設けられた切欠き25aは、搬送アーム30が上下方向に通過可能な程度の幅を有している。また、ストッカ部2の支持部21の対向する部材間の空間も、搬送アーム30が通過できる程度の広さを有している。
【0052】
[フィルムホルダ]
次に、このレーザプロッタに用いられるフィルムホルダの構成について説明する。
【0053】
図3に示すように、フィルムホルダ40は、四角形状で所定の厚みを有するホルダベース41と、ホルダベース41の互いに直交しかつ隣接する第1及び第2端面41a,41bに装着された複数の第1ガイド部材42(図4に拡大して示す)と、これらの2つの端面41a,41bと対向する第3及び第4端面41c,41dに装着された第2ガイド部材43(図5に拡大して示す)とを有している。
【0054】
ホルダベース41は、軽量化を考慮してアルミニウムで形成されており、レーザ光の反射を抑えるためにその表面にはアルマイト処理が施されている。また、ホルダベース41には多数の吸着用の貫通孔45が形成されている。また、ホルダベース41の裏面には、多数の吸着孔45の形成領域を囲むように環状の溝46(図5参照)が形成されており、この環状溝46にはシール部材としてのOリング47が装着されている。また、ホルダベース41の裏面において、レーザプロッタ本体1のYテーブル11における支持ピン19が当接する位置(図3で示すB1からB4の4箇所)には、図6に示すように、環状の溝48が形成されており、この環状溝48にはシール部材としてのOリング49が装着されている。
【0055】
第1ガイド部材42は、図4に拡大して示すように、略L字状に形成されており、その一部42aがボルト50によってホルダープレート41の第1及び第2端面41a,41bに固定されている。また、第1ガイド部材42の上部42bはホルダベース41内側に折り曲げられており、この部分42bは、ホルダベース41の表面から所定の隙間を開けて位置しており、この隙間にフィルムが挿入されてフィルムの位置決めがなされるようになっている。
【0056】
また、第2ガイド部材43は、図5に示すように、四角形状のプレート部材であり、ボルト51によってホルダベース41の第3及び第4端面41c,41dに取付られている。そして、図5に示すように、ホルダベース41に固定された状態では、その上部がホルダベース41の表面から突出しており、この突出した部分でホルダベース41の表面に載置されたフィルムの位置決めを行うようになっている。
【0057】
このようなフィルムホルダ40では、第1ガイド部材42が設けられた第1端面41a及び第2端面41bの交点(図3において右上部)を原点として位置決めが行われる。
【0058】
また、ホルダベース41の表面には複数のねじ孔が形成されており、このねじ孔にボルトを利用して、図7に示すような小サイズフィルムを位置決めするための小サイズ用ガイド部材55を装着することが可能となっている。図7に示す小サイズ用ガイド部材55は、直方体形状のブロックであり、2つの小判状の凹部55aと、この小判状凹部55aの底部に形成された貫通する長孔55bとを有している。このようなブロック状の小サイズ用ガイド部材55を用いることによって、装着用のボルトの頭部を凹部55a内に埋没させることが可能である。したがって、小サイズ用ガイド部材55を装着した際のフィルムホルダ40のトータル厚みを低く抑えることができる。なお、図3において、小サイズフィルムの一例を一点鎖線で示している。
【0059】
ここで、本レーザプロッタに用いられるガラス乾板は従来と全く同様のものであり、ここでは詳細に説明しないが、例えば5mmの厚みを有している。そして、フィルムホルダ40においては、ホルダベース41の厚みが5mmであり、また第1ガイド部材42及び第2ガイド部材43を取り付けた場合のトータル厚みT(図4及び図5参照)が、9mmとなるように構成されている。また、小サイズ用ガイド部材55を装着した場合のトータル厚みも9mmとなるようになっている。
【0060】
なお、フィルムホルダ40の全厚みTは、ガラス乾板の厚みtに対して、1.0倍以上で2.5倍以下が望ましい。1.0倍未満では、フィルムホルダ41の強度が低下し、描画精度が損なわれるおそれがある。また、2.5倍を越えると、レーザプロッタ本体1の光学系とフィルムホルダとが干渉する可能性が高くなり、従来のレーザプロッタ本体1に対する大幅な変更が必要となる。
【0061】
また、フィルムホルダ40をYテーブル11の表面に載置した場合には、ホルダベース41ではなくOリング47が当接するので、ホルダベース41とYテーブル11の表面との間には所定の隙間が設けられ、ホルダベース41上に載置されたフィルムは、Yテーブル11の吸着孔11b、Yテーブル11とホルダベース41裏面との間の空間及びホルダベース41に形成された吸着孔45を通して吸着保持されるようになっている。
【0062】
[制御系]
次に、レーザプロッタの制御系の構成について説明する。
【0063】
レーザプロッタの制御系は、図8に示すように、CPU、RAM、ROM等から構成されるコンピュータを含む主制御部60を備えている。主制御部60には、キーボード61、CRT62,磁気ディスク63及びセンサやリミットスイッチ等の他の入出力部が接続されている。また、主制御部60には、それぞれCPU、RAM、ROM等から構成されるマイクロコンピュータを含むレーザプロッタ制御部64及び搬送制御部65が接続されている。レーザプロッタ制御部64にはレーザプロッタ本体1が接続されている。また搬送制御部65には操作パネル66及び搬送機構4が接続されている。
【0064】
図9に、操作パネル66の具体的な構成を示す。
【0065】
操作パネル66は、図1に示すように、手動トレイ部3が設けられたパネル面に設けられている。操作パネル66は、ガラス乾板やフィルムホルダをストッカ部2に格納するためのロードスイッチ71と、ガラス乾板及びフィルムホルダをストッカ部2から手動トレイ部3に搬送するためのアンロードスイッチ72と、搬入及び搬出処理の終了時に用いられる終了スイッチ73とを有している。また操作パネル66には、ストッカ部2から手動トレイ部3へ連続して搬送するための連続排出スイッチ74と、作業者が行う操作を終了するために使用される確認スイッチ75と、エラーリセット用のスイッチ76とが設けられている。
【0066】
またこれらの各スイッチ72〜75の下方には、ストッカ部2における段数を指定するための段数指定スイッチ77と、状態表示ランプ78,79が設けられている。状態表示ランプ78は、ストッカ部2の各支持部21にガラス乾板又はフィルムホルダが収納されているか否かを示すためのランプである。また状態表示ランプ79は、ストッカ部2内における各ガラス乾板やフィルムホルダの処理状態を表示するためのランプである。
【0067】
[制御動作]
次に、図10以降に示すフローチャートに従ってストッカ部2と手動トレイ部3との間におけるガラス乾板及びフィルムホルダの搬送制御動作について説明する。これらの搬送処理は、操作パネル66からの指示にしたがって搬送制御部65が搬送機構4を制御することによって行われる。
【0068】
<搬送処理>
まず図10におけるステップS1では、ローディングスイッチ71が押されたか否かを判断する。またステップS2ではアンローディングスイッチ72が押されたか否かを判断し、ステップS3では他の指示がなされたか否かを判断する。ローディングスイッチ71が押された場合にはステップS1からステップS4に移行してローディング処理を実行する。またアンローディングスイッチ72が押された場合にはステップS2からステップS5に移行してアンローディング処理を実行する。他の指示のためのスイッチが押された場合にはステップS3からステップS6に移行して、指示された内容に従った他の処理を実行する。
【0069】
<搬入処理>
手動トレイ部3のトレイ5上に置かれたガラス乾板やフィルムホルダをストッカ部2に搬送する場合には、ローディングスイッチ71が押される。この場合には、図11に示すローディング(搬入)処理が実行される。まずステップS10では、ストッカ部2の段数が指定されたか否かを判断する。すなわち、ローディングスイッチ71が作業者によって押された場合には、ストッカ部2のどの段数にガラス乾板又はフィルムホルダを搬入するかを指定する必要があるので、作業者から段数が指定されるのを待つ。
【0070】
段数指定スイッチ77によって収納すべき段数が指定された場合には、ステップS10からステップS11に移行する。ステップS11ではトレイ5が閉められたか否かを判断する。すなわち、ガラス乾板又はフィルムホルダを搬入する場合には、トレイ5を前方に引き出してその載置部25上にガラス乾板又はフィルムホルダを載置し、その後このトレイ5を手動トレイ部3内部に押し込む。トレイ5が押し込まれた否かはリミットスイッチや光学センサ等によって検出することができ、このトレイ5が閉められたことを検知してステップS11からステップS12に進む。ステップS12では、ストッカ部2の指定された段数にガラス乾板又はフィルムホルダが搬送される。
【0071】
このステップS12の処理によって、搬送アーム30が上昇してトレイ5の載置部25上に載置されているガラス乾板又はフィルムホルダを受け取り、この状態で搬送アーム30はYテーブル11側に移動する。そしてストッカ部2の手前で停止し、昇降機構によって指定された段数の高さまで上昇する。次に、さらに搬送アーム30をストッカ2の内部にまで進入させ、ガラス乾板又はフィルムホルダを指定された段数の支持部21の上方に位置させる。この後、搬送アーム30は下降し、これにより搬送アーム30上のガラス乾板又はフィルムホルダをストッカ部2の支持部21側に引き渡す。ガラス乾板又はフィルムホルダをストッカ部2に引き渡した後は、先の説明とは逆の移動によって搬送アーム30は図1に示すような初期位置に戻って次の搬入指示を待つ。
【0072】
このようにしてステップS10〜ステップS12を繰り返し実行し、複数のガラス乾板又はフィルムホルダをストッカ部2に搬入する。処理すべき全てのガラス乾板又はフィルムホルダを搬入し終わった場合は、作業者によって終了スイッチ73が押される。この場合は、ステップS13でYESと判断され、ローディング処理を終了する。
【0073】
<搬出処理>
ストッカ部2に収納された露光済みのガラス乾板又はフィルムホルダ上のフィルムを外部に取り出す場合には、アンローディングスイッチ72が押される。この場合には図12に示すアンローディング(搬出)処理が実行される。すなわち、ステップS20では段数指定のためのキーが押されたか否かを判断し、ステップS21では処理の終了のためのスイッチ73が押されたか否かを判断する。
【0074】
ストッカ部2から搬出すべき感光板が収納されている段数が指定された場合には、ステップS20からステップS22に移行する。ステップS22では、指定された段数からガラス乾板又はフィルムホルダを手動トレイ部3に搬送する。
【0075】
このステップS22では、搬送アーム30をストッカ部2の指定された段数の手前まで移動させ、指定された段数の感光板又はフィルムホルダの下方に搬送アーム30を進入させる。そして、この状態から所定高さだけ搬送アーム30を上昇させる。これにより、ストッカ部2の支持部21に支持されていたガラス乾板又はフィルムホルダが搬送アーム30上に引き渡される。この後、搬送アーム30を後退させてガラス乾板又はフィルムホルダをストッカ部2から引き出し、さらに下降させる。この下降位置は、トレイ5の載置部25より上方の位置である。次に、搬送アーム30をトレイ5側にスライドさせ、トレイ5の載置部25上方にガラス乾板又はフィルムホルダを搬送する。この状態で搬送アーム30を下降させる。これにより、ガラス乾板又はフィルムホルダは搬送アーム30からトレイ5の載置部25上に移される。
【0076】
次に、ステップS23では、トレイ5が閉められたか否かを判断する。すなわち、露光済みのガラス乾板又はフィルムホルダがトレイ5上に載置され、作業者によってトレイ5が引き出されてガラス乾板及びフィルムホルダ上のフィルムが取り外されると、作業者はトレイ5を再び押し込む。このトレイ5の押し込みが検知されれば、プログラムはステップS23からステップS24に移行する。
【0077】
ステップS24では、ガラス乾板又はフィルムホルダがトレイ5の載置部25上に載置されているか否かを判断する。ガラス乾板が搬出処理された場合は、露光済みのガラス乾板はトレイ5上から取り出されて後工程に進むので、載置部25上にはガラス乾板は存在しない。この場合には、ステップS24からステップS20に戻る。そして、次の搬出すべき段数が指定されるのを待つ。
【0078】
以上のようなステップS20〜ステップS24の処理を繰り返して実行することにより、ストッカ部2に収納された露光済みのガラス乾板が装置外部に取り出される。全てのガラス乾板及び露光済みのフィルムが取り出された場合には作業者によって終了スイッチ73が押される。この場合にはステップS21においてYESと判断され、アンローディング処理を終了する。
【0079】
<フィルム交換>
フィルムホルダに保持された露光済みのフィルムを取り出す場合には、前述のようなアンローディング処理を実行した後、フィルムホルダ自体を装置外部に取り出すのではなく、フィルムホルダをトレイ5の載置部25に載置したまま、フィルムホルダ上の露光済みフィルムのみを取り出す。すなわち、フィルムの交換のみが行われる。
【0080】
このような場合には、前述のアンローディング処理におけるステップS24においてガラス乾板又はフィルムホルダがトレイ5の載置部25上に存在すると判断され、プログラムはステップS24からステップS25に移行する。ステップS25では、ロードスイッチ71が押されるのを待つ。すなわち、空の(新たなフィルムが載置されていない)フィルムホルダ又は新たなフィルムが載置されたフィルムホルダは、元のストッカ部2における段数に戻す必要があるので、作業者によるロードスイッチ71が押されるのを待つ。ロードスイッチ71が押された場合には、ステップS25からステップS26に移行する。ステップS26では、フィルムホルダをストッカ部2における元の段数に搬入する。
【0081】
なお、これらの各処理においては作業者からの指示待ちの部分が多数存在する。この指示待ちの部分においては、フローチャートには示していないが、音声報知が行われる。例えば、「ロードスイッチを押してください」、「段数を指定してください」等のような音声報知が行われ、作業者に次の操作を促すようにしている。このため、作業者は音声による指示に従って操作をすれば良く、作業が容易になる。
【0082】
なお、フィルムホルダに載置するフィルムのサイズを変更する場合は、図7に示す小サイズ用ガイド部材55をホルダベース41の表面に装着し、第1ガイド部材42と小サイズ用ガイド部材55によってフィルムの位置決めを行うようにする。この場合、フィルムが載置される領域以外の部分には、吸着孔をふさぐためのフィルム等を貼り付ける必要がある。
【0083】
このような実施形態では、従来の平面走査型のレーザプロッタに対して、ソフトウェアの変更のみでガラス乾板と同様にフィルムを取り扱うことができる。また、フィルムホルダを用いる場合は、フィルムホルダを装置外部に取り出すのではなく、フィルムのみを交換してフィルムホルダはストッカ部2の同じ位置に収納するようにしている。このため、作業が容易になる。
【0084】
[他の実施形態]
(a)前記実施形態では、フィルムホルダ40におけるホルダベース41をアルミニウムによって形成したが、他の材質、例えばステンレス等によって形成しても良い。
【0085】
(b)フィルムホルダ40におけるフィルムの保持のための構成は吸着孔に限定されるものではなく、他の保持のための構成であっても良い。
【0086】
【発明の効果】
以上のように本発明では、ガラス乾板を含む感光板と同様に取り扱えるフィルムホルダを用い、このフィルムホルダ上にフィルムを保持して処理するので、従来の平面走査型のレーザプロッタの構成を大幅に変更することなく、簡単でかつ安価な構成によって感光板及びフィルムを取り扱うことができるレーザプロッタを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態によるレーザプロッタの外観斜視図。
【図2】前記レーザプロッタのレーザプロッタ本体部分を示す外観斜視図。
【図3】前記レーザプロッタに用いられるフィルムホルダの平面図。
【図4】前記フィルムホルダに用いられる第1ガイド部材を示す図。
【図5】前記フィルムホルダに用いられる第2ガイド部材を示す図。
【図6】フィルムホルダ41の断面部分図。
【図7】小サイズ用ガイド部材の外観斜視図。
【図8】前記レーザプロッタの制御系のブロック構成図。
【図9】搬送制御部の操作パネルを示す図。
【図10】搬送処理のフローチャート。
【図11】ローディング処理のフローチャート。
【図12】アンローディング処理のフローチャート。
【符号の説明】
1 レーザプロッタ本体
2 ストッカ部
3 手動トレイ部
4 搬送機構
40 フィルムホルダ
41 ホルダベース
42 第1ガイド部材
43 第2ガイド部材
45 吸着用貫通孔
47,49 シール部材(Oリング)
55 小サイズ用ガイド部材
65 搬送制御部
66 操作パネル
Claims (10)
- ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられるフィルムホルダであって、
表面に感光用のフィルムが載置されるホルダベースと、
前記ホルダベースに載置されるフィルムを位置決めするための位置決め手段と、
前記ホルダベースに載置されたフィルムを前記ホルダベースの表面に保持するための保持手段とを備え、
レーザプロッタにおける搬送及び描画処理において前記感光板と同様に取り扱いが可能である、
フィルムホルダ。 - 前記レーザプロッタは描画時にフィルムホルダが載置されるテーブルを有しており、
前記保持手段は、前記ホルダベースにおけるフィルム載置領域の少なくとも一部に形成されたフィルム吸着用の複数の貫通孔であり、
前記ホルダベースの裏面において前記複数の貫通孔の形成領域の周囲に設けられた第1シール部材をさらに備え、
前記ホルダベースは、前記シール部材を介して前記レーザプロッタのテーブル表面との間に隙間をあけて載置される、
請求項1に記載のフィルムホルダ。 - 前記レーザプロッタは前記テーブルの表面から出没するフィルムホルダ用の複数の支持ピンを有しており、
前記ホルダベースの裏面において前記支持ピンの当接箇所の周囲に設けられた第2シール部材をさらに備えている、
請求項2に記載のフィルムホルダ。 - 前記フィルム及びホルダベースは四角形状であり、
前記位置決め手段は、前記ホルダベースの各側面に設けられ前記ホルダベース上のフィルムの各端縁に当接可能なガイド部材である、
請求項1から3のいずれかに記載のフィルムホルダ。 - 小サイズのフィルムを前記ホルダベースの表面に位置決めするために、前記ホルダベースの表面に着脱自在な複数の小サイズ用ガイド部材をさらに備えた、請求項1から4のいずれかに記載のフィルムホルダ。
- 前記ホルダベース、位置決め手段及び保持手段を含めた全厚みは、前記ガラス乾板の厚みの1倍以上2.5倍以下である、請求項1から5のいずれかに記載のフィルムホルダ。
- 前記ホルダベースはアルミニウム製であり、表面にはアルマイト処理が施されている、請求項1から6のいずれかに記載のフィルムホルダ。
- ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられ、感光フィルムを保持するフィルムホルダを貯蔵するストッカ部と前記フィルムホルダを搬入及び搬出するための手動トレイ部との間でフィルムホルダを搬送する搬送手段とを有するレーザプロッタのフィルムホルダ搬送方法であって、
搬入指示を受けて前記手動トレイ部のフィルムホルダを前記ストッカ部に搬送する搬入工程と、
搬出指示を受けて前記ストッカ部のフィルムホルダを前記手動トレイ部に搬送する搬出工程と、
前記搬出工程によってフィルムホルダが前記手動トレイ部に搬送された後に搬入指示を受けた場合には、前記搬出工程によって搬送される前に貯蔵されていた前記ストッカ部の元の位置に前記フィルムホルダを戻す再搬入工程と、
を含むフィルムホルダ搬送方法。 - ガラス乾板を含む感光板に描画を行うレーザプロッタに用いられ、感光フィルムを保持するフィルムホルダを貯蔵するストッカ部と前記フィルムホルダを搬入及び搬出するための手動トレイ部との間でフィルムホルダを搬送するフィルムホルダ搬送装置であって、
前記感光板及びフィルムホルダを保持可能であり、前記ストッカ部と手動トレイ部との間で前記感光板及びフィルムホルダを搬送する搬送部材と、
前記搬送部材の移動制御を行うための搬送制御手段と、
前記搬送制御手段に対して外部から搬送指示を行うための指示手段とを備え、
前記搬送制御手段は、
前記指示手段からの搬入指示を受けて前記手動トレイ部のフィルムホルダを前記ストッカ部に搬送し、
前記指示手段からの搬出指示を受けて前記ストッカ部のフィルムホルダを前記手動トレイ部に搬送し、
搬出指示によってフィルムホルダが前記手動トレイ部に搬送された後に搬入指示を受けた場合には、前記搬出指示によって搬送される前に貯蔵されていた前記ストッカ部の元の位置に前記フィルムホルダを戻すように前記搬送部材を制御する、
フィルムホルダ搬送装置。 - フィルムホルダに保持された感光フィルム及びガラス乾板を含む感光板に対してレーザ光により描画を行うレーザプロッタ本体と、
前記フィルムホルダ及び感光板を各々独立して貯蔵するストッカ部と、
前記フィルムホルダ及び感光板を搬入及び搬出するための手動トレイ部と、
前記レーザプロッタ本体、ストッカ部及び手動トレイ部の間で前記フィルムホルダ及び感光板を共通の搬送部材によって搬送する搬送手段と、
前記フィルムホルダ及び感光板の搬送を指示するための指示手段と、
前記指示手段の指示に応じて前記搬送手段を制御する制御手段と、
を備えたレーザプロッタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP299999A JP3542296B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | フィルムホルダ、フィルムホルダ搬送方法、フィルムホルダ搬送装置及びレーザプロッタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP299999A JP3542296B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | フィルムホルダ、フィルムホルダ搬送方法、フィルムホルダ搬送装置及びレーザプロッタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000206673A JP2000206673A (ja) | 2000-07-28 |
JP3542296B2 true JP3542296B2 (ja) | 2004-07-14 |
Family
ID=11545086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP299999A Expired - Fee Related JP3542296B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | フィルムホルダ、フィルムホルダ搬送方法、フィルムホルダ搬送装置及びレーザプロッタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3542296B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2398008B1 (es) * | 2010-06-21 | 2013-12-26 | Tecglass, S.L. | Máquina y procedimiento para secado por láser de tinta cerámica aplicada sobre vidrio. |
CN104898379B (zh) * | 2015-06-10 | 2017-11-21 | 兰州大学 | 一种激光直写机特殊样品套刻的样品台 |
-
1999
- 1999-01-08 JP JP299999A patent/JP3542296B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000206673A (ja) | 2000-07-28 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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