CN111554600B - 基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由传感器检测到第一放置部的定时和由传感器检测到第二放置部的定时的偏差。

Description

基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法

技术领域

本发明涉及一种基板搬运装置，用于从能够收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中。另外，本发明涉及这种基板搬运装置的控制方法。

背景技术

目前，知道用于将玻璃基板供给到对液晶显示装置用的玻璃基板进行规定处理的处理装置的基板供给装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板供给装置由第一单元、第二单元以及搬运单元构成。第一单元及第二单元具备：放置线盒的右端部的第一放置部；放置线盒的左端部的第二放置部；使第一放置部升降的第一升降机构；使第二放置部升降的第二升降机构；以及逐块搬运收容在线盒中的玻璃基板的辊式输送机。

在专利文献1所记载的基板供给装置中，调节第一单元及第二单元时，调节第一放置部及第二放置部的高度，以使第一放置部的高度和第二放置部的高度一致。另外，当使用专利文献1所记载的基板供给装置时，控制第一升降机构及第二升降机构，以使第一放置部及第二放置部沿同一方向以相同的速度升降相同的量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－83700号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的基板搬运装置中，第一放置部的高度和第二放置部的高度有时会由于某种原因而产生偏差。若在第一放置部的高度和第二放置部的高度已经产生偏差的状态下使用第一单元、第二单元，则放置在第一放置部及第二放置部的线盒倾斜，线盒掉落或者收容在线盒中的玻璃基板掉落，玻璃基板可能会损坏。需要说明的是，虽然通过机械地连接第一放置部和第二放置部也能够防止第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，但是这种情况下第一单元、第二单元的结构变得复杂。

于是，本发明的技术问题在于提供一种基板搬运装置，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。另外，本发明的技术问题在于提供一种基板搬运装置的控制方法，即使将基板搬运装置的结构简化，并且第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置，用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，其特征在于，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一传感器，该第一传感器用于检测第一放置部处于上下方向上的规定位置；第二传感器，该第二传感器用于检测第二放置部在上下方向上处于与由第一传感器检测到第一放置部时的第一放置部的上下方向上的位置相同的位置；以及基板搬运装置的控制部，在盒被放置在第一放置部及第二放置部上之前，控制部执行第一动作和第二动作，该第一动作是：通过第一升降机构及第二升降机构使由第一传感器检测到的第一放置部及由第二传感器检测到的第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由第一传感器检测不到第一放置部并且由第二传感器检测不到第二放置部，该第二动作是：在第一动作中使第一放置部及第二放置部下降的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差，在第一动作中使第一放置部及第二放置部上升的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部下降，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置的控制方法，该基板搬运装置用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一传感器，该第一传感器用于检测第一放置部处于上下方向上的规定位置；以及第二传感器，该第二传感器用于检测第二放置部在上下方向上处于与由第一传感器检测到第一放置部时的第一放置部的上下方向上的位置相同的位置，该基板搬运装置的控制方法的特征在于，在盒被放置在第一放置部及第二放置部上之前，执行第一动作和第二动作，该第一动作是：通过第一升降机构及第二升降机构使由第一传感器检测到的第一放置部及由第二传感器检测到的第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由第一传感器检测不到第一放置部并且由第二传感器检测不到第二放置部，该第二动作是：在第一动作中使第一放置部及第二放置部下降的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差，在第一动作中使第一放置部及第二放置部上升的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部下降，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差。

在本发明中，在盒被放置在第一放置部及第二放置部之前，执行第一动作和第二动作，在该第一动作中，通过第一升降机构及第二升降机构使由第一传感器检测到的第一放置部及由第二传感器检测到的第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由第一传感器检测不到第一放置部并且由第二传感器检测不到第二放置部，该第二动作是：在第一动作中使第一放置部及第二放置部下降的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差，在第一动作中使第一放置部及第二放置部上升的情况下，之后，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部下降，确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差。

因此，在本发明中，通过在第二动作中确认由第一传感器检测到第一放置部的定时和由第二传感器检测到第二放置部的定时的偏差，能够在盒被放置在第一放置部及第二放置部之前确认第一放置部的高度和第二放置部的高度的偏差。因此，在本发明中，设为在第一放置部的高度和第二放置部的高度的偏差量达到规定基准值以上的情况下，不将盒放置在第一放置部及第二放置部，由此，即使第一放置部和第二放置部没有被机械地连接，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。因此，在本发明中，即使简化基板搬运装置的结构，并且第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

另外，在本发明中，在第一放置部的高度和第二放置部的高度的偏差量达到规定基准值以上的情况下，通过在重新调节第一放置部及第二放置部的高度之后将盒放置在第一放置部及第二放置部，即使第一放置部和第二放置部没有被机械地连接，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。因此，在本发明中，即使简化基板搬运装置的结构，并且第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置，用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，其特征在于，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一检测机构，该第一检测机构用于检测第一放置部的高度；第二检测机构，该第二检测机构用于检测第二放置部的高度；以及基板搬运装置的控制部，当通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部升降时，如果由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的差达到规定基准值以上，则控制部执行规定的异常处理。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置的控制方法，该基板搬运装置用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一检测机构，该第一检测机构用于检测第一放置部的高度；以及第二检测机构，该第二检测机构用于检测第二放置部的高度，该基板搬运装置的控制方法的特征在于，当通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部升降时，如果由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的差达到规定基准值以上，则执行规定的异常处理。

在本发明中，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部升降时，当由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的差达到规定基准值以上时，执行规定的异常处理。因此，在本发明中，例如，作为异常处理使第一升降机构及第二升降机构紧急停止，由此，即使第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，另外，即使第一放置部和第二放置部没有被机械连接，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。因此，在本发明中，即使简化基板搬运装置的结构，并且第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

此外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置，用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，其特征在于，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一检测机构，该第一检测机构用于检测第一放置部的高度；第二检测机构，该第二检测机构用于检测第二放置部的高度；以及基板搬运装置的控制部，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部移动到在第一放置部及第二放置部上放置盒的盒放置位置时，如果由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度偏移规定基准值以上，则控制部通过第二升降机构使第二放置部升降，直到由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的偏差量纳入规定范围内。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运装置的控制方法，该基板搬运装置用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出玻璃基板或者将玻璃基板搬入盒中，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，该第一放置部放置盒的第一方向上的一端部；第二放置部，该第二放置部放置盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，该第一升降机构使第一放置部升降；第二升降机构，该第二升降机构使第二放置部升降；第一检测机构，该第一检测机构用于检测第一放置部的高度；以及第二检测机构，该第二检测机构用于检测第二放置部的高度，该基板搬运装置的控制方法的特征在于，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部移动到在第一放置部及第二放置部上放置盒的盒放置位置时，如果由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度偏移规定基准值以上，则通过第二升降机构使第二放置部升降，直到由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的偏差量纳入规定范围内。

在本发明中，通过第一升降机构及第二升降机构使第一放置部及第二放置部移动到将盒放置在第一放置部及第二放置部上的盒放置位置时，如果由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度偏移规定基准值以上，则通过第二升降机构使第二放置部升降，直到由第一检测机构检测的第一放置部的高度和由第二检测机构检测的第二放置部的高度的偏差量纳入规定范围内。

因此，在本发明中，即使第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够在盒被放置在第一放置部及第二放置部上之前使第一放置部的高度和第二放置部的高度的偏差量纳入规定范围内。因此，在本发明中，即使第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，另外，即使第一放置部和第二放置部没有被机械连接，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。其结果是，在本发明中，即使将基板搬运装置的结构简化，并且第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

发明效果

如上所述，在本发明中，即使将基板搬运装置的结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的基板搬运装置的主视图。

图2是图1所示的基板搬运装置的概略俯视图。

图3是图1所示的基板搬运装置的概略侧视图。

图4是图1的E部的放大图。

图5是用于说明图1所示的基板搬运装置的结构的框图。

附图标记说明

1…基板搬运装置；2…玻璃基板；3…盒；5…放置部(第一放置部)；6…放置部(第二放置部)；7…升降机构(第一升降机构)；8…升降机构(第二升降机构)；14…传感器(第一传感器)；17…传感器(第二传感器)；20…编码器(第一检测机构)；21…编码器(第二检测机构)；22…控制部；Y…第一方向。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(基板搬运装置的结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的基板搬运装置1的主视图。图2是图1所示的基板搬运装置1的概略俯视图。图3是图1所示的基板搬运装置1的概略侧视图。图4是图1的E部的放大图。图5是用于说明图1所示的基板搬运装置1的结构的框图。

本实施方式的基板搬运装置1是用于从能收容多块玻璃基板2的盒3搬出玻璃基板2的装置。玻璃基板2例如是液晶显示装置用的玻璃基板。玻璃基板2形成为长方形的平板状。在基板搬运装置1上，例如，相邻配置有将收容有多块玻璃基板2的盒3转移到基板搬运装置1的储料器(省略图示)。

基板搬运装置1具备：放置盒3的放置部5、6；使放置部5升降的升降机构7；使放置部6升降的升降机构8；以及沿水平方向直线搬运玻璃基板2的搬运机9。在以下的说明中，将搬运机9搬运玻璃基板2的方向(图2等中的X方向)设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图2等中的Y方向设为“左右方向”。另外，将前后方向的一侧即图2等中的X1方向侧设为“前”侧，将其相反侧即图2等中的X2方向侧设为“后”侧。在本实施方式中，从盒3朝向前侧搬出玻璃基板2。本实施方式的左右方向是与上下方向正交的规定第一方向。

盒3是线盒。盒3由盒框架11和配置于盒框架11的内部的多根线12构成。盒框架11的外形为长方体状。线12以沿左右方向拉伸的状态固定于盒框架11上。另外，多根线12在上下方向及前后方向上以隔开固定间隔的状态固定于盒框架11上。收容在盒3中的玻璃基板2被放置在线12上，盒3能够以沿上下方向隔开固定间隔的状态收容多块玻璃基板2。

盒3的左右方向上的一端部放置在放置部5上，盒3的左右方向上的另一端部放置在放置部6上。即，放置部5支承盒3的下表面的左右方向上的一端侧，放置部6支承盒3的下表面的左右方向上的另一端侧。另外，例如，放置部5、6支承盒3的下表面的前后方向上的两端侧及盒3的下表面的前后方向上的中心位置这三个部位。本实施方式的放置部5是第一放置部，放置部6是第二放置部。

另外，基板搬运装置1具备：用于检测放置部5处于上下方向上的规定位置的传感器14～16；用于检测放置部6处于上下方向上的规定位置的传感器17～19；作为用于检测放置部5的高度的第一检测机构的编码器20；作为用于检测放置部6的高度的第二检测机构的编码器21；以及控制基板搬运装置1的基板搬运装置1的控制部22。

放置部5和放置部6形成为相同的形状。另外，放置部5和放置部6左右对称地配置。放置部5具备由传感器14～16检测的检测板24(参照图4)。放置部6具备由传感器17～19检测的检测板(省略图示)。放置部6所具备的检测板形成为与检测板24相同的形状。放置部5能升降地保持在形成柱状的柱状部件25上。放置部6能升降地保持在形成为与柱状部件25相同的形状的柱状部件26上。放置部5、6在左右方向上配置于柱状部件25和柱状部件26之间。另外，盒3在左右方向上配置于柱状部件25和柱状部件26之间。

升降机构7具备电动机28和将电动机28的动力传递到放置部5的动力传递机构。例如，动力传递机构具备滚珠丝杠，该滚珠丝杠具有通过电动机28的动力旋转的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母部件。丝杠轴配置为丝杠轴的轴向和上下方向一致。螺母部件安装于放置部5。本实施方式的升降机构7为使作为第一放置部的放置部5升降的第一升降机构。

升降机构8构成为与升降机构7同样，也具备电动机29和将电动机29的动力传递到放置部6的动力传递机构。例如，动力传递机构具备滚珠丝杠，该滚珠丝杠具有通过电动机29的动力旋转的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母部件。丝杠轴配置为丝杠轴的轴向和上下方向一致。螺母部件安装于放置部6。本实施方式的升降机构8成为使作为第二放置部的放置部6升降的第二升降机构。

升降机构7、8电连接于控制部22。具体地说，电动机28、29电连接于控制部22。控制部22同步控制升降机构7和升降机构8。即，控制部22同步控制电动机28和电动机29，以便使放置部5和放置部6沿同一方向以相同的速度一起升降相同的量。在本实施方式中，升降机构7为主轴，升降机构8为从轴。即，电动机28为主轴，电动机29为从轴。

搬运机9是辊式输送机。搬运机9具备与玻璃基板2的下表面接触并沿前后方向搬运玻璃基板2的多个搬运辊30和驱动多个搬运辊30的辊驱动机构。多个搬运辊30被框架31能旋转地支承。另外，多个搬运辊30配置于能够搬运收容在盒3中的玻璃基板2的位置。

放置部5、6能够在盒3的下端配置得比搬运辊30的上端靠上侧的位置和配置于盒3的最上侧的线12配置得比搬运辊30的上端靠下侧的位置之间升降。收容在盒3中的玻璃基板2被搬出时，放置部5、6下降到搬运辊30与盒3中配置于最下侧的玻璃基板2的下表面接触的位置，盒3中配置于最下侧的玻璃基板2被搬运机9搬出。即，从收容于盒3的最下层的玻璃基板2朝向收容于盒3的最上层的玻璃基板2，玻璃基板2从盒3中按顺序被逐块搬出。

另外，收容在盒3中的玻璃基板2被搬出时，除了一部分搬运辊30以外，多个搬运辊30进入盒3的内部。多个搬运辊30将收容在盒3中的玻璃基板2朝向前侧搬运。框架31配置成梳齿状，以使进入盒3的内部的搬运辊30和线12互不干扰，多个搬运辊30在前后方向上配置于避开线12的位置。

例如，传感器14～19是具有发光元件和受光元件的透射型的光学传感器。传感器14～19电连接于控制部22。传感器14～16被固定于柱状部件25。传感器14～16相对于柱状部件25的固定位置至少在上下方向上能调节。传感器17～19被固定于柱状部件26。传感器17～19相对于柱状部件26的固定位置至少在上下方向上能调节。

传感器14检测放置部5处于上下方向上的原点位置，传感器17检测放置部6处于上下方向上的原点位置。传感器15检测放置部5处于上限位置，传感器18检测放置部6处于上限位置。传感器16检测放置部5处于下限位置，传感器19检测放置部6处于下限位置。在本实施方式中，放置部5、6的原点位置设定于放置部5、6的上下方向上的可动范围的上限侧，传感器14配置于传感器15的下侧，传感器17配置于传感器18的下侧。

由传感器14检测到放置部5时的放置部5的上下方向上的位置和由传感器17检测到放置部6时的放置部6的上下方向上的位置相同。即，传感器14、17安装为由传感器14检测到放置部5时的放置部5的高度和由传感器17检测到放置部6时的放置部6的高度相同。本实施方式的传感器14是第一传感器。另外，传感器17是第二传感器，该第二传感器用于检测放置部6在上下方向上处于与由传感器14检测到放置部5时的放置部5的上下方向上的位置相同的位置。

另外，由传感器15检测到放置部5时的放置部5的上下方向上的位置和由传感器18检测到放置部6时的放置部6的上下方向上的位置相同，由传感器16检测到放置部5时的放置部5的上下方向上的位置和由传感器19检测到放置部6时的放置部6的上下方向上的位置相同。

如上所述，放置部5具备检测板24。当检测板24挡在传感器14的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部5处于原点位置。另外，当检测板24挡在传感器15的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部5处于上限位置，当检测板24挡在传感器16的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部5处于下限位置。需要说明的是，因为检测板24在上下方向上具有宽度，所以在上下方向上的规定范围内，检测放置部5处于原点位置、放置部5处于上限位置及放置部5处于下限位置。

同样，当放置部6所具备的检测板挡在传感器17的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部6处于原点位置。另外，当该检测板挡在传感器18的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部6处于上限位置，当该检测板挡在传感器19的受光元件和发光元件之间时，检测到放置部6处于下限位置。因为放置部6所具备的检测板在上下方向上具有宽度，所以在上下方向上的规定范围内，检测放置部6处于原点位置、放置部6处于上限位置及放置部6处于下限位置。

编码器20例如具备：狭缝板，该狭缝板固定于构成升降机构7的动力传递机构的一部分的丝杠轴或固定在电动机28的旋转轴上；以及光学传感器，该光学传感器检测狭缝板。传感器例如是具备夹着狭缝板而配置的发光元件和受光元件的透射式光学传感器。编码器20电连接于控制部22。具体地说，编码器20的传感器电连接于控制部22。

编码器21与编码器20同样，例如具备：狭缝板，该狭缝板固定于构成升降机构8的动力传递机构的一部分的丝杠轴或固定在电动机29的旋转轴上；以及光学传感器，该光学传感器检测狭缝板。传感器例如是具备夹着狭缝板而配置的发光元件和受光元件的透射式光学传感器。编码器21电连接于控制部22。具体地说，编码器21的传感器电连接于控制部22。

编码器20基于狭缝板的旋转量检测放置部5相对于上下方向上的规定基准位置的移动量。另外，编码器20通过检测放置部5相对于上下方向上的规定基准位置的移动量，间接地检测放置部5的高度。同样，编码器21基于狭缝板的旋转量检测放置部6相对于上下方向上的规定基准位置的移动量。另外，编码器21通过检测放置部6相对于上下方向上的规定基准位置的移动量，间接地检测放置部6的高度。

在基板搬运装置1初始启动时，传感器14及传感器17的安装位置被调节为，由传感器14检测到放置部5时的放置部5的高度和由传感器17检测到放置部6时的放置部6的高度相同。具体地说，使用经纬仪(theodolite)或激光水平仪等仪器，使放置部5的高度和放置部6的高度匹配，之后，将传感器14固定在检测放置部5的位置，并且将传感器17固定在检测放置部6的位置。

另外，控制部22重置当由调节后被固定的传感器14检测到放置部5时的编码器20的坐标值(放置部5相对于上下方向上的基准位置的移动量)，并且重置当由调节后被固定的传感器17检测到放置部6时的编码器21的坐标值(放置部6相对于上下方向上的基准位置的移动量)，使编码器20的坐标值和编码器21的坐标值匹配。

(基板搬运装置的控制方法)

在基板搬运装置1中，在收容有多块玻璃基板2的盒3被放置在放置部5、6上之前，控制部22执行第一动作，该第一动作是：通过升降机构7、8使由传感器14检测到的放置部5及由传感器17检测到的放置部6一起下降相同的量，直到由传感器14检测不到放置部5并且由传感器17检测不到放置部6(即，直到检测板24从传感器14的发光元件和受光元件之间离开并且放置部6所具有的检测板从传感器17的发光元件和受光元件之间离开)(参照图4的双点划线)。

另外，控制部22执行第二动作，该第二动作是：之后，通过升降机构7、8使放置部5、6上升，确认由传感器14检测到放置部5的定时和由传感器17检测到放置部6的定时的偏差。即，在第二动作中，控制部22确认放置部5的高度和放置部6的高度的偏差。例如，控制部22在第一动作中使由传感器14检测到的放置部5及由传感器17检测到的放置部6下降3(mm)，在第二动作中使放置部5、6上升3(mm)。

需要说明的是，在第二动作中确认的放置部5的高度和放置部6的高度的偏差量达到规定基准值以上的情况下，控制部22执行在规定显示器上进行错误显示或发出警告声等规定的异常处理。另外，在这种情况下，基板搬运装置1的操作员重新调节放置部5、6的高度。

另外，将盒3被放置在放置部5、6时的放置部5、6的位置设为盒放置位置时，在基板搬运装置1中，通过升降机构7、8使放置部5、6从原点位置移动到盒放置位置时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度偏移规定基准值以上，则控制部22通过升降机构8使放置部6升降，直到由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的偏差量纳入规定范围内。

例如，使放置部5、6移动到盒放置位置时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度偏移规定基准值以上，则通过升降机构8使放置部6升降，使放置部5的高度和放置部6的高度匹配，直到由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度为相同的高度。

另外，在基板搬运装置1中，通过升降机构7、8使放置部5、6升降时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的差达到规定基准值以上，控制部22则执行规定的异常处理。例如，通过升降机构7、8使放置部5、6升降时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的差达到3(mm)以上，控制部22则在规定显示器上进行错误显示或发出警告声，并且使升降机构7、8(具体是电动机28、29)紧急停止。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，在收容有多块玻璃基板2的盒3被放置在放置部5、6上之前，控制部22执行第一动作和第二动作，确认放置部5的高度和放置部6的高度的偏差。另外，在本实施方式中，在第二动作中确认的放置部5的高度和放置部6的高度的偏差量为规定基准值以上的情况下，控制部22执行规定的异常处理，在规定显示器上进行错误显示或发出警告声等。

因此，在本实施方式中，在第二动作中确认的放置部5的高度和放置部6的高度的偏差量为规定基准值以上的情况下，提醒基板搬运装置1的操作员注意不要将盒3放置在放置部5、6上，能够避免盒3被放置在放置部5、6上。另外，在本实施方式中，因为能够提醒基板搬运装置1的操作员注意重新调节放置部5、6的高度，所以能够将盒3放置在重新调节高度之后的放置部5、6上。

因此，在本实施方式中，即使放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，另外，即使放置部5和放置部6没有被机械连接，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。其结果是，在本实施方式中，即使简化基板搬运装置1的结构，并且放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。

另外，在本实施方式中，使放置部5、6移动到盒放置位置时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度偏移规定基准值以上，控制部22则通过升降机构8使放置部6升降，直到由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的偏差量纳入规定范围内。

因此，在本实施方式中，即使放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，也能够在盒3被放置在放置部5、6上之前使放置部5的高度和放置部6的高度的偏差量纳入规定范围内。因此，在本实施方式中，即使放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，另外，放置部5和放置部6没有被机械连接，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。其结果是，在本实施方式中，即使简化基板搬运装置1的结构，并且放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。

另外，在本实施方式中，通过升降机构7、8使放置部5、6升降时，如果由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的差为规定基准值以上，控制部22则例如使升降机构7、8紧急停止。因此，在本实施方式中，即使放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，而且，放置部5和放置部6没有被机械连接，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。因此，在本实施方式中，即使简化基板搬运装置1的结构，并且放置部5的高度和放置部6的高度产生偏差，也能够防止收容在盒3中的玻璃基板2和盒3掉落。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的最佳实施方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。

在上述实施方式中，在第一动作中，控制部22使放置部5、6下降，但也可以是，在第一动作中，控制部22使由传感器14检测的放置部5及由传感器17检测的放置部6一起上升相同的量，直到由传感器14检测不到放置部5并且由传感器17检测不到放置部6。在这种情况下，在第二动作中，控制部22通过升降机构7、8使放置部5、6下降，确认由传感器14检测到放置部5的定时和由传感器17检测到放置部6的定时的偏差。

在上述实施方式中，如果执行第一动作和第二动作，则使放置部5、6移动到盒放置位置时，在由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度偏移规定基准值以上的情况下，控制部22也可以不执行以下处理(下面，将该处理设为“第一处理”)：通过升降机构8使放置部6升降，直到由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的偏差量纳入规定范围内。

另外，如果执行第一动作和第二动作，则使放置部5、6升降时，在由编码器20检测的放置部5的高度和由编码器21检测的放置部6的高度的差为规定基准值以上的情况下，控制部22也可以不执行以下处理(下面，将该处理设为“第二处理”)：执行规定的异常处理。另外，如果执行第一处理，则控制部22可以不执行第一动作及第二动作，也可以不执行第二处理。而且，如果执行第二处理，则控制部22可以不执行第一动作及第二动作，也可以不执行第一处理。

在上述实施方式中，基板搬运装置1也可以是用于将玻璃基板2搬入盒3的装置。在这种情况下，没有收容玻璃基板2的空的盒3被放置在放置部5、6。另外，在这种情况下，朝向后侧将玻璃基板2搬入盒3中。另外，在上述实施方式中，也可以是盒3的前后方向上的一端部放置在放置部5上，并且盒3的前后方向上的另一端部放置在放置部6上。

在上述实施方式中，盒3也可以是除线盒以外的盒。另外，在上述实施方式中，玻璃基板2也可以是应用于除液晶显示装置以外的用途的玻璃基板。需要说明的是，也可以将本发明的结构应用于升降式输送机等搬运大型的玻璃基板的具备升降机构的基板搬运装置中。

Claims (2)

1.一种基板搬运装置，用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出所述玻璃基板或者将所述玻璃基板搬入所述盒中，其特征在于，

将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，

具备：第一放置部，所述第一放置部放置所述盒的第一方向上的一端部；第二放置部，所述第二放置部放置所述盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，所述第一升降机构使所述第一放置部升降；第二升降机构，所述第二升降机构使所述第二放置部升降；第一传感器，所述第一传感器用于检测所述第一放置部处于上下方向上的规定位置；第二传感器，所述第二传感器用于检测所述第二放置部在上下方向上处于与由所述第一传感器检测到所述第一放置部时的所述第一放置部的上下方向上的位置相同的位置；以及所述基板搬运装置的控制部，

在所述盒被放置在所述第一放置部及所述第二放置部上之前，所述控制部执行第一动作和第二动作，所述第一动作是：通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使由所述第一传感器检测到的所述第一放置部及由所述第二传感器检测到的所述第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由所述第一传感器检测不到所述第一放置部并且由所述第二传感器检测不到所述第二放置部，所述第二动作是：在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部下降的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部上升，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差，在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部上升的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部下降，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差。

2.一种基板搬运装置的控制方法，所述基板搬运装置用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出所述玻璃基板或者将所述玻璃基板搬入所述盒中，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，所述第一放置部放置所述盒的第一方向上的一端部；第二放置部，所述第二放置部放置所述盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，所述第一升降机构使所述第一放置部升降；第二升降机构，所述第二升降机构使所述第二放置部升降；第一传感器，所述第一传感器用于检测所述第一放置部处于上下方向上的规定位置；以及第二传感器，所述第二传感器用于检测所述第二放置部在上下方向上处于与由所述第一传感器检测到所述第一放置部时的所述第一放置部的上下方向上的位置相同的位置，所述基板搬运装置的控制方法的特征在于，

在所述盒被放置在所述第一放置部及所述第二放置部上之前，执行第一动作和第二动作，所述第一动作是：通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使由所述第一传感器检测到的所述第一放置部及由所述第二传感器检测到的所述第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由所述第一传感器检测不到所述第一放置部并且由所述第二传感器检测不到所述第二放置部，所述第二动作是：在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部下降的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部上升，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差，在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部上升的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部下降，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差。