CN102280397A

CN102280397A - 一种晶圆输送分配装置及其方法

Info

Publication number: CN102280397A
Application number: CN2010101969495A
Authority: CN
Inventors: 张世宏
Original assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Current assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Priority date: 2010-06-10
Filing date: 2010-06-10
Publication date: 2011-12-14

Abstract

一种晶圆输送分配装置及其方法，该装置包含二个横向输送轨道、多个纵向输送轨道所组成，其中该横向输送轨道主要包含有多个轨道交错结构，而该轨道交错结构的左右两端为一凹口，并在中央凸口顶端设置一感测器，用于晶圆到达纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道会自动下降与横向输送轨道交错重迭，并使该输送的晶圆再经过横向输送轨道输送，以方便承接设备。

Description

一种晶圆输送分配装置及其方法

技术领域

本发明涉及一种晶圆输送分配装置及其方法，尤其涉及一种通过不同输送方向的晶圆输送轨道，来达到晶圆进行输送时，可自动分配晶圆输送路径。

背景技术

随着科技不断地提升，目前半导体厂、太阳能电池晶圆厂为了提高生产力或保持竞争优势，有很多都已经采用自动化方式进行晶圆的制造与搬运，同时可以节省人力成本以及提高生产效率，因此工厂自动化已经是半导体必然的走向了，而为了因应工厂自动化，有许多工厂的输送系统以及输送路线的设计是非常重要的。

一般在工厂中的晶圆搬送处理，为载入装置将晶圆载入输送带上，将晶圆通过输送带（输送轨道）运送给承载装置或作业平台，因此输送带的稳定与否非常重要，当输送带发生蛇行或不平滑移动时，将很容易导致晶圆掉落、迭置、或不均匀沈积；

然而目前的输送系统大多为单一方向运送的输送轨道，因此当晶圆输送路径需要转换方向，往往仅能单一轨道对单一轨道运送，因此会相当浪费厂房规划的空间，而目前的输送系统也都是采用无人自动化进行搬运，因此在设计之初整个厂房内部的尺寸、高度和晶圆输送路径等等都必须事先规划好，这些规划一旦确定之后就不能够轻易做变更，因此若是有某一个地方在运送路径上做了变更，将使得整个晶圆盒的输送流程产生冲突。

因此，若能提供一种自动化晶圆输送分配装置及其方法，当多个载入装置将晶圆载入多个输送带上时，可通过晶圆输送装置的改良，使晶圆能够转换输送至不同输送带上，以期使作业平台与载送工具以及晶圆承载装置之间，可以顺利地进行输送并且可以避免过多的厂房空间浪费。

发明内容

本发明的目的即在于提供一种晶圆输送分配装置及其方法，是为了使晶圆输送带能够自动调整，并能配合晶圆输送路径，使得晶圆输送能够自动调整方向。

本发明的另一个目的即在于提供一种晶圆输送分配装置及其方法，是为了能够在产线规划时，可以使晶圆输送路径还有规划的弹性，同时能节省产线空间。

为了达到上述两个目的，本发明提供了一种晶圆输送分配装置及其方法。所述技术方案如下：

一种晶圆输送分配装置，其包括两个横向输送轨道、多个纵向输送轨道所组成，其中该横向输送轨道中包含多个轨道交错结构、一导正装置、一缓冲容置件和两组平行设置在横向输送轨道两侧的输送带，而该轨道交错结构设置在两组平行设置的输送带中央，其中该轨道交错结构的左右两端为一凹口，并在中央凸口顶端设置一感测器，用于晶圆通过纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域的轨道交错结构时，该多个纵向输送轨道会自动下降与两个横向输送轨道交错重迭，并使输送的晶圆能经过横向输送轨道输送，以方便承接设备。

而该纵向输送轨道和横向输送轨道的输送晶圆方向前端处，会各自设置一缓冲容置件，用于暂时容置晶圆之用，因此当输送的晶圆停止在输送带上时，而另一片晶圆又开始向前输送，输送带会将带动原晶圆至缓冲容置件内；另外该横向输送轨道两侧会跨设一导正装置，用于晶圆输送间导引晶圆归回正确位置角度，以降低晶圆的损坏风险。

进一步地，在所述两个横向输送轨道的轨道交错区域间上各自可设置多个轨道交错结构，而该轨道交错结构的数量由纵向输送轨道的数量而定。

进一步地，所述纵向输送轨道上包含有一开口、一缓冲容置件和两组平行设置在纵向输送轨道上的输送带，其中该开口大小必须大于轨道交错结构的中央凸口，以利于纵向输送轨道能与横向输送轨道交错重迭。

一种晶圆输送分配方法，包括：

1) 输入晶圆经过纵向输送轨道输送；

2) 当纵向输送轨道自动下降与横向输送轨道交错重迭时，同时横向输送轨道将晶圆送往不同的方向；

3) 当横向输送轨道开始输送晶圆时，该纵向输送轨道自动上升，与横向输送轨道脱离连结，并继续输送晶圆。

该晶圆到达纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道停止向前输送晶圆，并会自动下降与横向输送轨道交错重迭。

该晶圆离开纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道会自动上升，与横向输送轨道脱离连结，同时纵向输送轨道启动，继续向前输送晶圆。

本发明提供的晶圆输送分配装置及其方法，可使晶圆输送带能够自动调整上升与下降，并能配合晶圆输送路径，使得晶圆输送能够自动调整方向，以配合承载装置或不同作业平台使用，另外，还有利于进行厂房规划时，配合整个厂房内部的尺寸、高度，使晶圆输送路径还有规划的弹性，同时能节省厂房空间。

附图说明

图1A是本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的立体架构图；

图1B是本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的纵向输送轨道上升示意图；

图1C是本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的纵向输送轨道下降示意图；

图2A是本发明实施例1提供的第一种晶圆输送分配方法的实施例图；

图2B是本发明实施例1提供的第二种晶圆输送分配方法的实施例图；

图2C是本发明实施例1提供的第三种晶圆输送分配方法的实施例图；

图2D是本发明实施例1提供的第四种晶圆输送分配方法的实施例图；

图3是本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的导正装置实施示意图；

图4是本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的纵向输送轨道的缓冲容置示意图；

图5为本发明实施例1提供的晶圆输送分配装置的横向输送轨道的缓冲容置示意图。

【主要元件符号说明】

1：纵向输送轨道，11：开口，12：缓冲容置件，13：输送带，

2：横向输送轨道，21：轨道交错结构，211：中央凸口，212：凹口，

22：导正装置，221：夹具，23：缓冲容置件，24：输送带，3：感测器，

4：晶圆，41-44：晶圆，5：晶圆。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

实施例1

如图1A、图1B和图1C所示为本发明实施例提供的晶圆输送分配装置及其方法的立体结构图、纵向输送轨道上升示意图和纵向输送轨道下降示意图，根据图1A可知，该晶圆输送分配装置主要包括：

多个纵向输送轨道1，与横向输送轨道2交错设置，而该横向输送轨道2与纵向输送轨道1之间具有高度差，另外该纵向输送轨道1上包含有一开口11、一缓冲容置件12和两组平行设置在纵向输送轨道1两侧的输送带13，其开口11大小必须大于轨道交错结构21的中央凸口211，以利于该多个纵向输送轨道1能与两个横向输送轨道2交错重迭；

两个横向输送轨道2，与纵向输送轨道1交错设置，其中该横向输送轨道2中包含有多个轨道交错结构21、一导正装置22、一缓冲容置件23和一组平行设置在横向输送轨道2两侧的输送带24，而该轨道交错结构21设置在该组输送带24中央，其中该轨道交错结构21的左右两端为一凹口212，并在中央凸口211顶端设置一感测器3，而该感测器3为一用于测定物体的出现、离开和运动的感测器，因此当晶圆经过纵向输送轨道1通过该轨道交错结构21区域时，该感测器3自动触发调整（上升或下降）纵向输送轨道1的高度，使多个纵向输送轨道1自动下降与两个横向输送轨道2交错重迭，并使输送的晶圆再经过横向输送轨道2输送，以方便承接设备；

另外该导正装置22跨设在横向输送轨道2两侧，其中该导正装置22包含有两组平行配置的夹具221，该夹具221内缘可沿晶圆4输送方向，接触并夹制导正晶圆4，使该晶圆4归回正确位置角度（请参见图3）；

值得一提的是，该纵向输送轨道1和横向输送轨道2的输送晶圆方向前端处，会各自设置一缓冲容置件12,23，用于暂时容置晶圆之用，因此当输送的晶圆4停止在输送带上时，而次一片晶圆5又开始向前输送，输送带会将带动该晶圆4至缓冲容置件12,23内（请参见图4和图5）。

如图2A至图2D所示为本发明实施例提供的晶圆输送分配装置及其方法的实施例图，由图中可知，该晶圆输送分配装置及其方法的其中一实施运作方式为：

1.输入晶圆41,42,43,44经过纵向输送轨道1输送（请参考图2A）；

2.当晶圆41,42,43,44到达纵向输送轨道1与横向输送轨道2交错区域（轨道交错结构）时（请参考图2B），该纵向输送轨道1停止向前输送晶圆41,42,43,44，并会自动下降与横向输送轨道2交错重迭，同时横向输送轨道2启动，将晶圆41,42和晶圆43,44送往不同的方向（请参见图2C）；

3.当晶圆41,42,43,44完全离开纵向输送轨道1与横向输送轨道2交错区域时，该纵向输送轨道1会自动上升，与横向输送轨道2脱离连结，同时纵向输送轨道1启动，继续向前输送晶圆41,42,43,44（请参见图2D）。

值得一提的是，当晶圆41,42,43,44到达纵向输送轨道1与横向输送轨道2交错区域时，该晶圆41,42,43,44会将轨道交错结构所设置的感测器触发，因此驱动纵向输送轨道1自动下降，而当晶圆41,42,43,44完成离开轨道交错区域时，感测器将再次被触发，因此驱动纵向输送轨道1自动上升。

本发明实施例提供的晶圆输送分配装置及其方法，与其他现有技术相互比较时，具备下列优点：

1.本发明实施例提供的晶圆输送分配装置及其方法，可使晶圆输送带能够自动调整上升与下降，并能配合晶圆输送路径，使得晶圆输送能够自动调整方向，以配合承载装置或不同作业平台使用。

2.本发明实施例提供的晶圆输送分配装置及其方法，有利于进行厂房规划时，配合整个厂房内部的尺寸、高度，使晶圆输送路径还有规划的弹性，同时能节省厂房空间。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种晶圆输送分配装置，其特征在于，包含：

多个纵向输送轨道，与横向输送轨道交错设置，而该纵向输送轨道上包含有一开口和一组设置在纵向输送轨道两侧的输送带；

两个横向输送轨道，与纵向输送轨道交错设置，其中该横向输送轨道中包含有多个轨道交错结构和一组设置在横向输送轨道两侧的输送带，而该横向输送轨道与纵向输送轨道交错重迭，使晶圆输送调整方向，以方便承接设备。

2.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，在该横向输送轨道上的轨道交错区域间设置多个轨道交错结构，而该轨道交错结构的数量由纵向输送轨道的数量而定。

3.如权利要求2所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该轨道交错结构设置在横向输送轨道的两组输送带中央，而该轨道交错结构的左右两端为一凹口，并在中央凸口顶端设置一感测器。

4.如权利要求3所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该感测器为一用于测定物体的出现、离开和运动的感测器，并触发纵向输送轨道自动调整高度。

5.如权利要求3所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该开口大小大于轨道交错结构的中央凸口，用于该多个纵向输送轨道与两个横向输送轨道交错重迭。

6.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该纵向输送轨道和横向输送轨道的输送晶圆方向前端处，会各自设置一缓冲容置件，用于暂时容置晶圆之用。

7.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该横向输送轨道两侧跨设一导正装置，而该导正装置包含两组平行配置的夹具，用于接触并夹制导正晶圆。

8.一种晶圆输送分配方法，其特征在于，包括：

输入晶圆经过纵向输送轨道输送；

当纵向输送轨道自动下降与横向输送轨道交错重迭时，同时横向输送轨道将晶圆送往不同的方向；

当横向输送轨道开始输送晶圆时，该纵向输送轨道自动上升，与横向输送轨道脱离连结，并继续输送晶圆。

9.如权利要求8所述的晶圆输送分配方法，其特征在于，该晶圆到达纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道停止向前输送晶圆，并会自动下降与横向输送轨道交错重迭。

10.如权利要求8所述的晶圆输送分配方法，其特征在于，该晶圆离开纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道会自动上升，与横向输送轨道脱离连结，同时纵向输送轨道启动，继续向前输送晶圆。