TWI403446B - Substrate handling system - Google Patents

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TWI403446B
TWI403446B TW097135654A TW97135654A TWI403446B TW I403446 B TWI403446 B TW I403446B TW 097135654 A TW097135654 A TW 097135654A TW 97135654 A TW97135654 A TW 97135654A TW I403446 B TWI403446 B TW I403446B
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Toru Gamo
Takehiko Hori
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Hirata Spinning
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Description

基板搬運系統
本發明，是有關搬運系統，可在收納玻璃基板、液晶基板、PDP基板等的基板的收納卡匣、及處理前述基板的處理裝置之間搬運基板。
薄型顯示器等的製造設備中，玻璃基板等的基板是被收納於收納卡匣內。而且，進行基板的處理時基板是朝處理裝置被搬運，處理終了的話再度收納至收納卡匣。在這種製造設備中，在收納卡匣及處理裝置之間需要運搬基板的搬運系統。基板的搬運系統，是要求具有可對應處理裝置的基板處理能力的搬運能力。例如處理裝置的基板處理能力若是超過搬運系統的搬運能力的情況時，會產生處理裝置等待基板的搬運時間，導致製造效率變差。因此，搬運系統的基板的搬運能力希望是超過處理裝置的基板處理能力。
在日本特開2005-60110號公報中，是揭示從複數收納卡匣選擇性地將基板搬運至處理裝置的系統。在此系統中，基板的搬運能力是依存於收納卡匣的數量。因此，例如在一個收納卡匣、及處理裝置之間搬運基板的情況時，會有基板的搬運能力比處理裝置的處理能力差的情況。
在日本特開平9-132309號公報中，是揭示同時搬運複數枚基板，在搬運的過程處理複數枚基板的系統。在此系統中，處理裝置成為需要可以同時交接複數枚基板。但是，薄型顯示器等的製造設備多採用每次1枚地進行基板交接的處理裝置。此系統，欲適用於採用每次1枚地進行基板交接的處理裝置的製造設備是困難的。
本發明的目的，是為了提供一種基板搬運系統，可對應每次1枚地進行基板交接的處理裝置，並提高基板的搬運能力。
依據本發明，提供一種基板搬運系統，是在收納基板的收納卡匣、及處理前述基板的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1輸送帶，配置於前述收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置將前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及移動組件，具有載置前述第2輸送帶上的前述基板的載置部，在前述第2輸送帶上朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述第2輸送帶相對地昇降。
在本發明的基板搬運系統中，藉由設置前述第1輸送帶，在基板的搬運途中，可並列進行複數枚基板的搬運，可以提高搬運能力。而且，藉由設置前述第2輸送帶、前述移動組件及前述昇降組件，對於前述處理裝置，可以每次1枚地進行基板的交接。因此，可以對應每次1枚地進行基板交接的處理裝置。
且，依據本發明，提供一種基板搬運系統，是在收納基板的第1及第2收納卡匣、及與前述第1及第2收納卡匣分離配置供處理前述基板用的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1同時搬運輸送帶，配置於前述第1收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2同時搬運輸送帶，配置於前述第2收納卡匣側，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第1個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及第2個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側對於前述第2同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及移動組件，具有供載置前述第1及第2個別搬運輸送帶上的前述基板用的載置部，橫跨前述第1及第2個別搬運輸送帶，朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述第1及2個別搬運輸送帶相對地昇降。
在本發明的基板搬運系統中，藉由設置前述第1及第2同時搬運輸送帶，在基板的搬運途中，可並列進行複數枚基板的搬運，可以提高搬運能力。而且，前述第1及第2個別搬運輸送帶，藉由設置前述移動組件及前述昇降組件，對於前述處理裝置，是可以每次1枚地進行基板的交接。因此，可以對應每次1枚地進行基板交接的處理裝置。進一步，前述移動組件藉由橫跨前述第1及第2個別搬運輸送帶移動前述基板，就可在前述處理裝置、及前述第1及第2收納卡匣之間各別搬運基板，可以提高基板的搬運能力。
且，依據本發明，提供一種基板搬運系統，是在收納基板的第1及第2收納卡匣、及與前述第1及第2收納卡匣分離配置供處理前述基板用的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1同時搬運輸送帶，配置於前述第1收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2同時搬運輸送帶，配置於前述第2收納卡匣側，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及第3同時搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第2同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度；及移動組件，具有載置前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶上的前述基板用的載置部，橫跨前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶，朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶相對地昇降。
在本發明的基板搬運系統中，藉由設置前述第1及第2同時搬運輸送帶，在基板的搬運途中，可並列進行複數枚基板的搬運，可以提高搬運能力。而且，前述個別搬運輸送帶，藉由設置前述移動組件及前述昇降組件，對於前述處理裝置，是可以每次1枚地進行基板的交接。因此，可以對應每次1枚地進行基板交接的處理裝置。進一步，前述移動組件藉由橫跨前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶移動前述基板，就可在前述處理裝置、及前述第1及第2收納卡匣之間各別搬運基板，可以提高基板的搬運能力。
 [第1實施例] [整體結構]
第1圖是本發明的一實施例的基板搬運系統A的佈局配置的平面圖，第2圖是基板搬運系統A的側面圖。又，在各圖中，箭頭X、Y是顯示相互垂直的水平方向，箭頭Z是顯示上下方向(鉛直方向)。本實施例的情況，基板搬運系統A，是在收納方形薄板狀的玻璃基板W的收納卡匣10、及處理玻璃基板W的處理裝置20(只有圖示一部分)之間搬運玻璃基板。又，玻璃基板W於第2圖中由虛線所示，於第1圖中省略圖示。
處理裝置20，是進行例如玻璃基板的洗淨、乾燥、其他的處理。處理裝置20，是在其內部可收納複數枚玻璃基板，例如可被收納於收納卡匣10的數板玻璃基板W。但是，處理裝置20，是每次一枚地進行玻璃基板W的搬入/搬出。
收納卡匣10及處理裝置20，是於X方向分離配置。因此，本實施例的情況，基板搬運系統A的基板的搬運方向為X方向，垂直於搬運方向的方向為Y方向。且，收納卡匣10及處理裝置20，是使這些的玻璃基板W的搬入出部相互面向地配置。
基板搬運系統A，是具備：同時搬運輸送帶30(第1輸送帶的一例)、及個別搬運輸送帶31(第2輸送帶的一例)、及移動組件50、及昇降組件60、及移載輸送帶32(第3輸送帶的一例)及70、及一對的昇降裝置80。
[收納卡匣]
第3圖是收納卡匣10的立體圖。收納卡匣10是將玻璃基板W在Z方向可多段收納的卡匣。又，第3圖是顯示玻璃基板W未被收納的狀態。本實施例的情況，收納卡匣10是藉由複數柱構件11、及樑構件12形成略直方體形狀的框架體。柱構件11的配設間隔及樑構件12的配設間隔，是設定成讓移載輸送帶32可以從收納卡匣10的下方進入收納卡匣10內。
柱構件11，是在X方向複數配設，並且於Y方向分離地同數並設。於Y方向分離的一對的柱構件11之間，是並列於Z方向，且，以預定的間距張設有鋼絲13。各鋼絲13的上下間的空間，是形成供收納玻璃基板W用的槽，玻璃基板W是呈略水平姿勢載置於鋼絲13上。而且，槽是形成與並列於Z方向的鋼絲13的數量相同。
本實施例的情況，一條槽中的複數玻璃基板W是於Y方向或是X方向並列地被收納。但是，一條槽中只收納一枚玻璃基板W也可以。且，本實施例雖是藉由鋼絲形成槽，但是採用其他的方式也可以。但是，藉由鋼絲的使用，可以縮小收納基板間的間隔，可以提高收納卡匣10的收納效率。
[輸送帶]
接著，說明同時搬運輸送帶30、個別搬運輸送帶31及移載輸送帶32的結構。本實施例的情況，這些的輸送帶，皆是將複數滾子輸送帶矩陣狀配置的結構。但是使用皮帶輸送帶等其他形式的輸送帶也可以。
第4圖是顯示構成各輸送帶30、31及32的滾子輸送帶組件100及110的立體圖。如同圖所示，在本實施例中，藉由大小不同2種類的滾子輸送帶組件100及110，就可將尺寸不同的玻璃基板W由相同的系統搬運。
滾子輸送帶組件100，是具備：載置玻璃基板W(第4圖中未圖示)用的複數滾子101、及內藏滾子101的驅動裝置用的驅動盒102、及檢出滾子101上的玻璃基板W用的感測器103。滾子101，是朝Y方向的旋轉軸周圍旋轉，將玻璃基板W朝X方向搬運。
滾子輸送帶組件110，是具備：載置玻璃基板W用的複數滾子111、及內藏滾子111的驅動裝置用的驅動盒112、及檢出滾子111上的玻璃基板W用的感測器113。滾子111，是朝Y方向的旋轉軸周圍旋轉，將玻璃基板W朝X方向搬運。滾子輸送帶組件110的Y方向的寬度，是滾子輸送帶組件100的Y方向的寬度的約一半。各滾子輸送帶組件100及各滾子輸送帶組件110可分別獨立驅動。
本實施例的情況，在Y方向的兩端部各配置一組滾子輸送帶組件100，在這些的滾子輸送帶組件100之間配置2個滾子輸送帶件110。在Y方向並列的這4個滾子輸送帶件100及110也稱「滾子輸送帶組件組」。第4圖，是顯示在X方向並列3個「滾子輸送帶組件組」的態樣。
參照第1圖及第2圖，在本實施例中，同時搬運輸送帶30、個別搬運輸送帶31及移載輸送帶32，皆是在X方向並列6個「滾子輸送帶組件組」的結構。同時搬運輸送帶30、及移載輸送帶32，是於X方向連續配置，可將玻璃基板W朝X方向連續搬運。
且，同時搬運輸送帶30、個別搬運輸送帶31及移載輸送帶32，皆是在與玻璃基板W的搬運方向(X方向)垂直的Y方向具有可並列載置複數枚玻璃基板W的寬度(Y方向的寬度)。進一步，同時搬運輸送帶30、個別搬運輸送帶31及移載輸送帶32，皆是在玻璃基板W的搬運方向(X方向)具有可並列載置複數枚玻璃基板W的長度(X方向的長度)。第5圖，是收納卡匣10中的玻璃基板W的收納態樣及移載輸送帶32上的玻璃基板W(W1、W2)的位置的例(2例)的平面圖。
第5圖的上例，是在收納卡匣10的各槽收納4枚玻璃基板W1的例，移載輸送帶32，是可在X方向載置2枚，在Y方向載置2枚玻璃基板W1。第5圖的下例，是在收納卡匣10的各槽收納6枚玻璃基板W2的例，移載輸送帶32，是可在X方向載置2枚，在Y方向載置3枚玻璃基板W2。玻璃基板W2，是Y方向的寬度比玻璃基板W1小的玻璃基板。
搬運玻璃基板W1的對象的情況，與移載輸送帶32同樣，在同時搬運輸送帶30及個別搬運輸送帶31上，在Y方向可以載置2枚玻璃基板W1。且，搬運玻璃基板W2的對象的情況，與移載輸送帶32同樣，在同時搬運輸送帶30及個別搬運輸送帶31上，在Y方向可以載置3枚玻璃基板W2。
在本實施例中，在同時搬運輸送帶30上，在X方向及Y方向可以各別載置複數玻璃基板。在同時搬運輸送帶30上，藉由可以載置如此多數的玻璃基板，處理裝置20就不會等待玻璃基板的搬運。且，清空收納卡匣10之進行交換的情況時，姑且，將玻璃基板搬出同時搬運輸送帶30，交換後再度搬入收納卡匣10也可以，收納卡匣10的交換變方便。
回到第1圖及第2圖，移載輸送帶70是由單一個滾子輸送帶組件所構成的滾子輸送帶。移載輸送帶70，是在處理裝置20及個別搬運輸送帶31之間進行玻璃基板W的交接。又，不設置移載輸送帶70，而在個別搬運輸送帶31及處理裝置20之間直接交接玻璃基板W也可以。
[昇降裝置]
第6圖是一對的昇降裝置80的立體圖，第7圖是昇降裝置80的分解立體圖。在本實施例中，藉由昇降裝置80使收納卡匣10在Z方向昇降，使收納卡匣10及移載輸送帶32朝Z方向相對地移動。但是，將移載輸送帶32朝Z方向昇降的結構也可以。又，昇降移載輸送帶32的結構的情況，是成為同時搬運輸送帶30也昇降的結構。
本實施例的情況，昇降裝置80是挾住收納卡匣10的方式各別配設於收納卡匣10的相互面對的Y方向的兩側部，懸臂支撐收納卡匣10。依據此結構的話，昇降裝置80可以更薄型化。
昇降裝置80具備樑構件81，可載置收納卡匣10的底部的樑構件12。各昇降裝置80的各樑構件81是藉由同步地朝Z方向移動使收納卡匣10昇降。昇降裝置80是具備朝Z方向延伸的支柱82，在支柱82的內側表面固定有朝Z方向延伸的一對的軌道構件83及齒條84。在各昇降裝置80之間，在支柱82的上端架設樑構件80a。
樑構件81是透過托架85a被固定支撐於支撐板85的一側面。在支撐板85的另一側面固定有可沿著軌道構件83移動的4個滑動構件86，樑構件81及支撐板85是藉由軌道構件83的導引而上下移動。驅動組件87是由馬達87a及減速機87b所構成，被固定支撐於支撐板88的一側面。減速機87b的輸出軸是貫通支撐板88與配設於支撐板88的另一側面的小齒輪89a連接。
與支撐板85支撐的板88是隔有預定的間隔地被相互固定，支撐板85及支撐板88的空隙是配設小齒輪89b至89d。小齒輪89b至89d是可旋轉地被軸支於支撐板85及支撐板88之間，小齒輪89b及小齒輪89c，是從動於小齒輪89a的旋轉而旋轉。小齒輪89d是從動於小齒輪89c的旋轉而旋轉。小齒輪89b至89d是相同規格的小齒輪，2個小齒輪89b及89d是與各齒條84嚙合。
但是讓驅動組件87驅動的話小齒輪89a會旋轉，藉由其驅動力，使驅動組件87、支撐板85及88、滑動構件86及樑構件81一體地朝上方或下方移動，就可以昇降被載置於樑構件81上的收納卡匣10。在各昇降裝置80中，在樑構件81的端部設有感測器81a，供檢出彼此的樑構件81的昇降高度的偏離。
感測器81a是例如具備發光部及受光部的光感測器，如第6圖所示彼此將光朝Y方向照射來判別是否受光。若有受光的情況即表示彼此的樑構件81的昇降高度沒有偏離，受光無情況是有偏離成昇降高度的成為事。由感測器81a檢出昇降高度的偏離的話，藉由馬達87a的控制來消解偏離。藉由設置感測器81a控制樑構件81的昇降高度的偏離，就可防止昇降時收納卡匣10傾斜，收納卡匣10就可以更穩定地昇降。
又，設置於各樑構件81的2個感測器81a，是其一方是具有發光部及受光部的任一方，另一方是具有發光部及受光部的另一方的結構也可以。且，不限定於光感測器，其他的感測器也可採用。
第8圖是顯示將玻璃基板W從收納卡匣10搬出的情況時的由昇降裝置80所產生的收納卡匣10的昇降動作的圖。又，同圖中省略昇降裝置80的圖示。玻璃基板W的搬出，是在收納有玻璃基板W的槽之中，從被收納於最下方的槽的玻璃基板W依序進行。
首先，如第8圖的左上圖所示，從收納卡匣10位置於移載輸送帶32的上方的狀態，藉由昇降裝置80(第8圖中未圖示)使收納卡匣10降下，如第8圖的右上圖所示，在移載輸送帶32上，載置搬運對象的玻璃基板W。這時，移載輸送帶32是從下方進入收納卡匣10內，搬運對象的玻璃基板W是成為浮於收納卡匣10的鋼絲13上的狀態，成為只有被移載輸送帶32支撐的狀態。接著驅動移載輸送帶32，如第8圖的左下圖所示，將搬運對象的玻璃基板W從收納卡匣10搬出。以下，同樣地，返覆收納卡匣10的降下及移載輸送帶32的驅動(第8圖的右下圖)，從下方側依序搬出玻璃基板W。
構成移載輸送帶32的滾子輸送帶組件100及110，是對應搬運對象的玻璃基板的位置及尺寸被選擇性地驅動。在例如第5圖的上側的例，將位於+X側的2枚玻璃基板W1搬出的情況時，成為驅動位於這些的玻璃基板W1下方的3個「滾子輸送帶組件組」。且，在例如第5圖的上側的例，搬出位於+X側且位於+Y側的1枚玻璃基板W1的情況時，成為驅動位於此玻璃基板W1下的3個「滾子輸送帶組件組」之中位於+Y側的3個滾子輸送帶件100及110。
將玻璃基板W往收納卡匣10搬入的情況時，是成為與上述搬出時的動作大致相反的動作。玻璃基板W的搬入，是從未收納玻璃基板W的槽之中最下方的槽依序進行。
[移動組件及昇降組件]
參照第1圖及第2圖，移動組件50，是具備分別設在個別搬運輸送帶31的Y方向兩側的基座構件51。在各基座構件51上，搭載了：由馬達52和馬達52旋轉驅動的一對的驅動帶輪53、及一對的從動帶輪54。驅動帶輪53及從動帶輪54的組是合計有4個，在各組的驅動帶輪53及從動帶輪54之間捲撓有皮帶55。藉由將馬達52驅動使驅動帶輪53旋轉，皮帶55就會行走。
皮帶55，是將個別搬運輸送帶31橫跨Y方向延伸，每次二個通過相互鄰接的「滾子輸送帶組件組」之間的空間。在各皮帶55上固定有載置構件56或57。第9圖是載置構件56及57的立體圖。載置構件56及57，是在與皮帶55略同寬度的板狀的構件上形成半球狀的突起56a、57a。在載置構件56的+Y側的端部形成比突起56a突出的直方體形狀的定位構件56b，在載置構件57的-Y側的端部形成比突起57a突出的直方體形狀的定位構件57b。
載置構件56及57，是作為載置個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的載置部的功能，將玻璃基板W從其下側支撐。載置構件56及57，是藉由皮帶55的行走，朝Y方向移動。玻璃基板W是載置於突起56a、57a上。突起56a、57a藉由形成半球狀，來縮小與玻璃基板W及突起56a、57a的接觸面積，降低玻璃基板W的刮傷。
定位構件56b及57b，其側面藉由抵接於玻璃基板W的端緣，進行玻璃基板W的定位(玻璃基板W的方向及位置的調整)。本實施例的情況，因為在4條皮帶55上使載置構件56或57的任一分別設置1個，所以定位構件56b及57b合計有4個，在X方向及Y方向分離的4處進行玻璃基板W的定位。
接著，參照第2圖說明昇降組件60。昇降組件60，是對於各基座構件51，配設於各基座構件51的下方。因此，本實施例的情況，昇降組件60各別設在個別搬運輸送帶31的Y方向兩側，合計設有2個。
各昇降組件60是具備基座構件61。在基座構件61上立設複數支柱62，支柱62是支撐基座構件51。支柱62，是例如由汽缸、及桿所構成，可朝Z方向伸縮。在基座構件61上，具備：馬達63、及藉由馬達63的驅動而轉動一對的凸輪板64。凸輪板64的凸輪面，是抵接於基座構件51的下面，藉由其轉動使基座構件51昇降。隨著基座構件51的昇降，支柱62被伸縮。
在本實施例中，同步地進行2個昇降組件60的昇降動作，使移動組件50昇降。由此，載置構件56及57朝Z方向昇降，使載置構件56及57、及個別搬運輸送帶31相對地朝Z方向移動。但是，將個別搬運輸送帶31朝Z方向昇降，將載置構件56及57及個別搬運輸送帶31朝Z方向相對地移動也可以。
第10圖，是顯示昇降組件60的昇降動作、及隨其的載置構件56的昇降的圖。又，載置構件57的昇降也同樣。在第10圖中只有圖示昇降組件60的要部。昇降組件60，是將載置構件56在下降位置及上昇位置的2個位置之間昇降。
第10圖的左側，是顯示載置構件56位於下降位置的情況。此情況，昇降組件60，是凸輪板64的頂部朝向Y方向的狀態。載置構件56，是使構成個別搬運輸送帶31的滾子輸送帶組件100的滾子101，位於比搬運玻璃基板W的搬運高度L低的位置。
第10圖的右側，是顯示載置構件56位於上昇位置的情況。此情況，昇降組件60，是凸輪板64的頂部朝向+Z方向的狀態。即，藉由從第10的左側圖所示的狀態使馬達63的驅動凸輪板64被90度轉動，使基座構件51被壓起。由此移動組件50上昇。載置構件56的突出部56a位於比搬運高度L高的位置。玻璃基板W遠離滾子101並被載置於突出部56a上。又，皮帶55，是位於比搬運高度L低的位置。
將個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W，藉由移動組件50朝Y方向移動時，玻璃基板W被載置於載置構件56及載置構件57的雙方。而且，藉由將載置構件56及載置構件57朝相互相反的方向(相互接近的方向)移動，藉由定位構件56b及57b挾持玻璃基板W。在例如第10圖的右側的狀態，將定位構件56b朝-Y方向移動，將定位構件56b抵接於玻璃基板W的端緣。此時，玻璃基板W成為滑動於突起56a上。
藉由定位構件56b及57b挾持玻璃基板W，玻璃基板W的方向被調整(限定)。由此，在搬運的過程玻璃基板W的方向傾斜的情況時，可以進行方向的修正。接著，藉由將載置構件56及載置構件57相互朝同方向移動，玻璃基板W成為在保持被定位構件56b及57b挾持的狀態下朝Y方向移動。
[控制裝置]
第11圖是顯示基板搬運系統A的控制裝置200的結構的方塊圖。控制裝置200是具備：管理基板搬運系統A的整體的控制用的CPU201、及提供CPU201工作區域供記憶可變資料等用的RAM202、及記憶控制程式和控制資料等的固定性的資料用的ROM203。RAM202、ROM203可採用其他的記憶手段。
輸入介面(I/F)204，是CPU201及各種的感測器(例如感測器81a、113等)的介面，通過輸入I/F204讓CPU201取得各種感測器的檢出結果。輸出介面(I/F)205，是CPU201及各種的馬達(例如馬達52、63、87a、驅動盒102、112內的馬達等)的介面，通過輸出I/F204讓CPU201控制各種馬達。
通訊介面(I/F)206，是控制包含基板搬運系統A的基板處理設備整體的主機電腦300及CPU201的介面，CPU201是依據來自主機電腦300的指令控制基板搬運系統A。
[基板搬運系統A的基板的搬運例] [同時搬運輸送帶的搬運例]
第12圖及第13圖是顯示從移載輸送帶32朝同時搬運輸送帶30搬運玻璃基板W1的情況的態樣的例的圖。藉由同步地驅動各「滾子輸送帶組件組」，可以朝X方向將複數枚玻璃基板W1並列地同時搬運。
第12圖的例，是顯示將移載輸送帶32上的玻璃基板W1每次2枚地同時搬運的例。在第12圖的例中，將位於-X側的2枚玻璃基板W1，首先，從移載輸送帶32朝同時搬運輸送帶30搬運。接著，同時搬運輸送帶30，是將2枚玻璃基板W1朝+X方向同時搬運，一方面，移載輸送帶32是將位於-X側的2枚玻璃基板W1朝同時搬運輸送帶30搬運。最終是4枚玻璃基板W1位於同時搬運輸送帶30上。
第13圖的例，是顯示將移載輸送帶32上的玻璃基板W1同時搬運4枚例。在第13圖的例中，移載輸送帶32是4枚同時將玻璃基板W1朝+X方向搬運，同時搬運輸送帶30也4枚同時將玻璃基板W1朝+X方向搬運。最終是4枚玻璃基板W1位於同時搬運輸送帶30上。
在第12圖及第13圖中，說明玻璃基板W1的搬運例，但是對於尺寸比玻璃基板W1小的玻璃基板W2也同樣搬運可能。且，在第12圖及第13圖中，說明從移載輸送帶32朝同時搬運輸送帶30將玻璃基板W1搬出的情況，但是從同時搬運輸送帶30朝移載輸送帶32將玻璃基板W1搬運的情況，也可以朝Y方向將複數枚玻璃基板W1並列地同時搬運。
在本實施例中，如此，在同時搬運輸送帶30及移載輸送帶32之間，可以朝Y方向將複數枚玻璃基板並列地同時搬運，對於收納卡匣10的玻璃基板的搬出搬入的效率可以提高。
在本實施例中，將同時搬運輸送帶30移載至的輸送帶32，由獨立被驅動的複數滾子輸送帶組件100及110所構成，但是只朝Y方向將複數枚玻璃基板並列地同時搬運的話，如移載輸送帶70由單一個滾子輸送帶組件分別構成同時搬運輸送帶30、移載輸送帶32也可以。
但是，如本實施例，將同時搬運輸送帶30及移載輸送帶32，藉由由獨立被驅動的複數滾子輸送帶組件100及110所構成，就有搬運態樣的變形例可增加的優點。例如將玻璃基板每次一枚搬運的搬運態樣也可以選擇性地採用。且，例如在+Y側將玻璃基板朝+X方向，在-Y側將玻璃基板-朝X方向，即將複數玻璃基板朝相反方向搬運的搬運態樣也可以選擇性地採用。
[個別搬運輸送帶的搬運例]
在本實施例中，可將從收納卡匣10搬出的複數枚玻璃基板，藉由同時搬運輸送帶30並列地搬運。即，朝Y方向將複數枚玻璃基板並列，可將這些的玻璃基板同時搬運。由此，在玻璃基板的搬運途中可以提高搬運能力。
另一方面，處理裝置20是將玻璃基板每次1枚地搬入/搬出。因此，有需要將搬運枚數從複數枚變換成一枚。個別搬運輸送帶31、移動組件50及昇降組件60，是進行此搬運枚數的變換。由此，對於處理裝置20，是可以每次1枚地進行玻璃基板的交接。
[朝處理裝置的玻璃基板的搬入]
第14圖至第16圖，是顯示從個別搬運輸送帶31朝處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W1的例的圖。第14圖的上側，是顯示玻璃基板W1是2枚同時被搬運至個別搬運輸送帶31上的態樣。2枚玻璃基板W1，是被載置於-X側的3個「滾子輸送帶組件組」上。
從此狀態，將2枚玻璃基板W1之中的一方的玻璃基板W1，如第14圖的下側所示朝+X方向搬運。此時，各滾子輸送帶組件100及110是對應玻璃基板W1的尺寸被選擇性地驅動。例如從第14圖的上側的態樣朝下側的態樣搬運玻璃基板W1的情況，位於+Y側的6個滾子輸送帶組件100及6個滾子輸送帶組件110被驅動。
接著，將玻璃基板W1朝Y方向移動至對應處理裝置20的搬入出位置的位置。因此，首先如第15圖的上側所示，將位於下降位置的載置構件56及57，位於玻璃基板W1的端緣附近。載置構件56，是在玻璃基板W1的+Y方向側的端緣附近，使載置構件57是位於玻璃基板W1的-Y方向側的端緣附近。這時，複數突起56a及57a的一部分，是位於玻璃基板W1的下方，定位構件56b及57b不位於玻璃基板W1的下方。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)的驅動，將載置構件56及57朝上昇至上昇位置。由此，玻璃基板W1是遠離滾子101及111而成為位於載置構件56及57上的狀態(第10圖的右側的態樣)。將載置構件56及57往上昇至上昇位置後，藉由將載置構件56朝-Y方向在，將載置構件57朝+Y方向移動，由定位構件56b及定位構件57b挾持玻璃基板W1(第15圖的下側的態樣)。由此，玻璃基板W1的方向被調整。又，這時，抵接於定位構件56b及定位構件57b的側面(玻璃基板W1的端緣的面)的間隔，是與玻璃基板W1的寬度略相同或若干寬較佳。
接著，將載置構件56及57朝Y方向彼此朝同方向移動，將玻璃基板W1搬運直到對應處理裝置20的搬入出位置的位置為止(第16圖的上側的圖)。由此，對於處理裝置20的玻璃基板W1的定位被進行。本實施例的情況，對應處理裝置20的搬入出位置的位置，雖是個別搬運輸送帶31的Y方向的略中央，但是不限定於此，例如Y方向的端部為搬入出位置也可以。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)的驅動，將載置構件56及57下降至下降位置。而且，如第16圖的下側所示，驅動位於玻璃基板W1的下方的6個滾子輸送帶組件110、及移載輸送帶70，將玻璃基板W1朝處理裝置20搬運。
殘留於個別搬運輸送帶31上的另一方的玻璃基板W1也同樣朝處理裝置20搬運。如此，玻璃基板W1可以每次一枚地朝處理裝置20搬運。
將第5圖的下圖所示的玻璃基板W2朝處理裝置20搬入情況也可以採用同樣的程序，如第17圖至第20圖所示的程序也可以採用。第17圖至第20圖是顯示從個別搬運輸送帶31朝處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W2的例的圖。
第17圖的上側，是顯示玻璃基板W2是3枚同時被搬運於個別搬運輸送帶31上的態樣。3枚玻璃基板W2，是載置於-X側的3個「滾子輸送帶組件組」上。從此狀態，將3枚玻璃基板W2，如第17圖的下側所示朝+X方向同時搬運。
接著，將中央的玻璃基板W2定位於對應處理裝置20的搬入出位置的位置。因此，位於下降位置的載置構件56及57，位於中央的玻璃基板W2的端緣附近之後，藉由上昇至上昇位置使中央的玻璃基板W2由載置構件56及57載置。而且，如第18圖的上側所示，將載置構件56朝-Y方向，藉由將載置構件57朝+Y方向移動，就而由定位構件56b及定位構件57b挾持玻璃基板W2，進行玻璃基板W2的定位。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)的驅動，將載置構件56及57下降至下降位置。而且，如第18圖的下側所示，驅動位於玻璃基板W2的下方的6個滾子輸送帶組件110、及移載輸送帶70，將玻璃基板W2朝處理裝置20搬運。
接著，將殘留於個別搬運輸送帶31上的2枚玻璃基板W2依序朝處理裝置20搬運。首先，將一方的玻璃基板W2載置於載置構件56及57上，由定位構件56b及57b挾持如第19圖的上側所示，移動至對應處理裝置20的搬入出位置的位置。之後，如第19圖的下側所示，驅動位於玻璃基板W2的下方的6個滾子輸送帶組件110、及移載輸送帶70，將玻璃基板W2朝處理裝置20搬運。
接著，將殘留於個別搬運輸送帶31上的1枚玻璃基板W2朝處理裝置20搬運。首先，將玻璃基板W2，載置於載置構件56及57上，由定位構件56b及57b挾持如第20圖的上側所示，移動至對應處理裝置20的搬入出位置的位置。之後，驅動在第20圖的下側位於玻璃基板W2下方的6個滾子輸送帶組件110、及移載輸送帶70，將玻璃基板W2朝處理裝置20搬運。
[從處理裝置的玻璃基板的搬出]
第21圖至第24圖，是顯示從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W1，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W1的例的圖。
第21圖的上側，是顯示第1枚玻璃基板W1從處理裝置20搬出的態樣。此情況，驅動：移載輸送帶70、及個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110，使玻璃基板W1位於個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110上。
接著，將玻璃基板W1朝Y方向移動。因此，首先，如第21圖的下側所示，將位於下降位置的載置構件56及57，位置成玻璃基板W1的端緣附近。而且，藉由昇降組件60(無圖示)的驅動，將載置構件56及57上昇至上昇位置。由此，玻璃基板W1是成為遠離滾子101及111而位於載置構件56及57上的狀態。將載置構件56及57上昇至上昇位置後，藉由將載置構件56朝-Y方向，將載置構件57朝+Y方向移動，由定位構件56b及定位構件57b挾持玻璃基板W1的(第22圖的上側的態樣)。由此，玻璃基板W1的方向被調整。
接著，將載置構件56及57朝Y方向彼此朝同方向移動，將玻璃基板W1朝Y方向移動。玻璃基板W1，是依據其尺寸，移動至可並列搬運複數玻璃基板W1的位置。如第22圖的下側所示的例中，將玻璃基板W1朝+Y方向移動，移動至個別搬運輸送帶31的+Y方向的端部。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)的驅動，將載置構件56及57下降至下降位置。且、如第23圖的上側所示將玻璃基板W1-朝X方向移動，使玻璃基板W1位於個別搬運輸送帶31的-X側且+Y側的3個滾子輸送帶件100及3個滾子輸送帶件110上。當此移動時，驅動位於+Y側的6個滾子輸送帶組件100及6個滾子輸送帶組件110。
接著，如第23圖的下側所示，第2枚玻璃基板W1是從處理裝置20搬出。與第1枚玻璃基板W1的搬運同樣，驅動移載輸送帶70、及個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110，使第2枚玻璃基板W1位於個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110上。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)及移動組件50的驅動，將第2枚玻璃基板W1朝Y方向移動。第2枚玻璃基板W1，是如第24圖的上側所示，朝第1枚玻璃基板W1相反方向(-Y方向)移動。接著，將第2枚玻璃基板W1-朝X方向移動，使玻璃基板W1位於個別搬運輸送帶31的-X側且-Y側的3個滾子輸送帶件100及3個滾子輸送帶件110上。由此，2枚玻璃基板W1，是在個別搬運輸送帶31上，成為並列於Y方向的載置狀態。之後，成為可在同時搬運輸送帶30同時搬運2枚玻璃基板W1。
將第5圖的下圖所示的玻璃基板W2從處理裝置20搬出情況也可以採用同樣的程序，如第25圖至第28圖所示的程序也可以採用。第25圖至第28圖，是從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W2，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W2的例的圖。
首先，如第25圖的上側所示，第1枚玻璃基板W2是從處理裝置20搬出。此情況，驅動移載輸送帶70、及個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110，使第1枚玻璃基板W2位於個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110上。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)及移動組件50的驅動，如第25圖的下側所示，調整第1枚玻璃基板W2的方向。而且，如第26圖的上側所示，藉由移動組件50的驅動，玻璃基板W2將朝Y方向移動。在第26圖的上側的例中朝+Y方向移動，3個滾子輸送帶件100上在第1枚玻璃基板W2將位置。
接著，如第26圖的下側所示，第2枚玻璃基板W2是從處理裝置20搬出。與第1枚玻璃基板W2的搬運同樣，驅動移載輸送帶70、及個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110，使第2枚玻璃基板W2位於個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110上。
接著，藉由昇降組件60(無圖示)及移動組件50的驅動，如第27圖的上側所示，調整第2枚玻璃基板W2的方向。而且，如第27圖的下側所示，藉由移動組件50的驅動，將第2枚玻璃基板W2朝Y方向移動。在第27圖的下側的例中朝+Y方向移動，使第2枚玻璃基板W2位於3個滾子輸送帶件100上。
接著，如第28圖的上側所示，第3枚的玻璃基板W2是從處理裝置20搬出。與第1枚及第2枚玻璃基板W2的搬運同樣，驅動移載輸送帶70、及個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110，使第3枚的玻璃基板W2位於個別搬運輸送帶31的+X側的6個滾子輸送帶組件110上。
接著，藉由昇降組件60及移動組件50的驅動，如第 28圖的下側所示，調整第3枚的玻璃基板W2的方向。由此，3枚玻璃基板W2，是在個別搬運輸送帶31上，成為並列於Y方向的載置狀態。3枚玻璃基板W2，是載置於+X側的3個「滾子輸送帶組件組」上。之後，3枚玻璃基板W2，是經由-X側的3個「滾子輸送帶組件組」，同時被同時搬運輸送帶30搬運。
又，本實施例的情況，對應處理裝置20的搬入出位置的位置，雖為個別搬運輸送帶31的Y方向的略中央，但不限定於此，搬例如Y方向的端部的入出位置也可以。
[玻璃基板的尺寸的界定]
在本實施例中，如上述，可以進行不同尺寸的玻璃基板W1及W2的搬運。這是依據玻璃基板的尺寸、及搬運位置，藉由選擇性地驅動構成個別搬運輸送帶31的滾子輸送帶組件100及110、以及驅動移動組件50而可實現。進行不同尺寸的玻璃基板的搬運的情況，有需要界定其玻璃基板的尺寸，控制裝置200的控制上有需要設定尺寸。
設定玻璃基板的尺寸的第1方法，在一個收納卡匣10中，只收納相同尺寸的玻璃基板，以收納卡匣10單位，在控制裝置200的控制上設定玻璃基板的尺寸。此情況，前提是搬運基板搬運系統A上的玻璃基板是全部相同尺寸的玻璃基板。
設定玻璃基板的尺寸的第2方法，是在個別搬運輸送帶31，逐一檢出玻璃基板的尺寸，在控制裝置200的控制上，個別設定玻璃基板的尺寸。此情況，搬運基板搬運系統A上的玻璃基板是全部相同尺寸的玻璃基板也可以，例如在收納卡匣10的各槽收納不同尺寸的玻璃基板也可能。且，將不同尺寸的玻璃基板收納於一條槽內也可能。
檢出玻璃基板的尺寸用的感測器，可以設於個別搬運輸送帶31的X方向的兩端部。例如可以設置第1圖所示的感測器90、91。感測器90，是檢出從處理裝置20搬出的玻璃基板的尺寸。在第1圖，感測器90是於Y方向分離地設置一對，玻璃基板W1被搬出的情況，雙方成為導通(ON)，玻璃基板W2被搬出的情況，只有一方成為導通(ON)或雙方成為斷開(OFF)。感測器91，是檢出從同時搬運輸送帶30朝個別搬運輸送帶31搬運的玻璃基板的尺寸。感測器91也是於Y方向分離地設置一對，玻璃基板W1被搬運的情況，雙方成為導通(ON)，玻璃基板W2被搬運的情況，只有一方成為導通(ON)或是雙方成為斷開(OFF)。
[第2實施例]
在上述第1實施例中，雖說明在一個收納卡匣10、及一個處理裝置20之間搬運玻璃基板的例，但是在複數收納卡匣10、及一個處理裝置20之間搬運玻璃基板也可以。第29圖是本發明的其他的實施例的基板搬運系統B的佈局配置的平面圖。在同圖中，對於與基板搬運系統A相同的結構，是附加相同參照符號省略說明，只有說明不同的結構。
在基板搬運系統B中，並設2個收納卡匣10。2個收納卡匣10是並列配置於Y方向。昇降裝置80、移載輸送帶32、同時搬運輸送帶30(第1、第2同時搬運輸送帶的一例)及個別搬運輸送帶31，是在各收納卡匣10並列配置於X方向。移載輸送帶70及處理裝置20，是與各收納卡匣10在X方向分離配置，配置於一方的個別搬運輸送帶31的+X方向的端部側。
移動組件50，是橫跨2個個別搬運輸送帶31配置。即，在一對的基座構件51之間配置2個個別搬運輸送帶31，各皮帶55，是橫斷2個個別搬運輸送帶31。由此，固定於各皮帶55上的合計4個載置構件56及57，可以移動於2個個別搬運輸送帶31上。又，在各基座構件51的下方，配設未圖示的昇降組件60。
在基板搬運系統B，移動組件50，在個別搬運輸送帶31上不只朝Y方向移動玻璃基板，在2個個別搬運輸送帶31之間也將玻璃基板朝Y方向移動。第30圖，是在2個個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的搬運態樣的說明圖。
如同圖所示，個別搬運輸送帶31，是將玻璃基板W朝X方向搬運，移動組件50，是將玻璃基板W朝Y方向移動。移動組件50，是也在個別搬運輸送帶31間移動玻璃基板W。在個別搬運輸送帶31上的搬運枚數的變換，是與上述第1實施例同樣。
在本實施例中，移動組件50是藉由橫跨2個個別搬運輸送帶31移動玻璃基板W，就可在處理裝置20、及2個收納卡匣10之間各別搬運玻璃基板W，玻璃基板W的搬運能力可以更提高。
又，在本實施例中，收納卡匣10雖為2個，但是收納卡匣10為3個以上也可以。此情況，同時搬運輸送帶30、個別搬運輸送帶31等可以設在各收納卡匣10。而且，移動組件，可以橫跨各個別搬運輸送帶31移動玻璃基板W。
[第3實施例]
在上述第2實施例中，移動組件50，是將玻璃基板W每次一枚地朝Y方向移動的結構，但是將複數枚玻璃基板W同時朝Y方向移動的結構也可以。
第31圖是本發明的其他的實施例的基板搬運系統B’的佈局配置的平面圖。在同圖中，對於與基板搬運系統B相同結構，是附加相同參照符號省略說明，只有說明不同的結構。
如上述，個別搬運輸送帶31可朝X方向載置複數枚玻璃基板W(2枚)。本實施例的移動組件50’，是將朝X方向並列的複數枚玻璃基板W同時朝Y方向移動。
移動組件50’，是設有合計8條皮帶55，+X側的4條皮帶55，是被載置於+X側的6個滾子輸送帶100及6個滾子輸送帶110上供搬運玻璃基板W所使用，-X側的4條皮帶55，是被載置於-X側的6個滾子輸送帶100及6個滾子輸送帶110上供移動玻璃基板W所使用。
在各皮帶55上，分別設置1個載置構件56或是57，對於一枚玻璃基板W使用2個載置構件56及2個載置構件57。本實施例的情況，各載置構件56是同時移動，且，各載置構件57也同時移動。但是，也可採用個別移動的結構。
移動組件50’的基座構件51’，是X方向的長度是比上述基座構件51更擴大，分別搭載有：馬達52、4個驅動帶輪53及4個從動帶輪54。又，在各基座構件51’的下方配設有未圖示的昇降組件60。
第32圖及第33圖，是在2個個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的搬運態樣的說明圖。如第32圖所示，在本實施例中，在個別搬運輸送帶31及處理裝置20之間，可進行朝X方向連續的複數玻璃基板W的搬入出。而且，如第33圖所示，移動組件50’，可以在個別搬運輸送帶31之間，將朝X方向並列的複數枚玻璃基板W同時朝Y方向移動。
在本實施例中，藉由將朝X方向並列的複數枚玻璃基板W同時朝Y方向移動，玻璃基板W的搬運能力可以更提高。
[第4實施例]
在上述第2實施例中，藉由移動組件50及昇降組件60，在個別搬運輸送帶31之間將玻璃基板W朝Y方向移動的結構，且，在同時搬運輸送帶30之間將玻璃基板W朝Y方向移動的結構也可以。
第34圖是本發明的其他的實施例的基板搬運系統B”的佈局配置的平面圖。在同圖中，對於與基板搬運系統B相同的結構，是附加相同參照符號省略說明，只有說明不同的結構。
在本實施例中，在同時搬運輸送帶30也設置上述第3實施例所說明的移動組件50’(具備該移動組件50’的載置構件56、57係第2載置部的一例)。又，設在同時搬運輸送帶30的移動組件50’的各基座構件51’的下方是配設有未圖示的昇降組件60(第2昇降組件的一例)。且，可取代移動組件50’，將上述第1及第2實施例的移動組件50設在同時搬運輸送帶30也可以。
在本實施例中，因為在同時搬運輸送帶30之間也可以將玻璃基板W朝Y方向移動，所以例如在收納卡匣10之間移載玻璃基板W的情況時，不需經由個別搬運輸送帶31就可以搬運玻璃基板W。且，在本實施例中藉由使用移動組件50’，在同時搬運輸送帶30之間，可將朝X方向並列的複數枚玻璃基板W同時朝Y方向移動，玻璃基板W的搬運能力可以更提高。
又，對於以上說明的第2實施例至第4實施例的基板 搬運系統B、B’、B”，是2個個別搬運輸送帶31之中不鄰接於處理裝置20的+Y側的個別搬運輸送帶31非必定會要求將玻璃基板個別搬運。因此，可取代+Y側的個別搬運輸送帶31，使具有可並列搬運複數枚玻璃基板W的寬度，但是不具有將玻璃基板W個別搬運的功能的輸送帶(只有作為同時搬運輸送帶的功能的輸送帶，第3同時搬運輸送帶的一例)也可以。此情況，該輸送帶，即使是由單一個滾子輸送帶組件所構成也可以，由並列於X方向的複數滾子輸送帶組件所構成也可以。
[第5實施例]
在上述第1實施例中，收納卡匣10是由Y方向收納複數玻璃基板，移載輸送帶32是朝Y方向載置複數玻璃基板同時搬運的結構，但是每次1枚地搬運的結構也可以。但是，此情況，需要變換玻璃基板的搬運枚數。第35圖是本發明的其他的實施例的基板搬運系統C的佈局配置的平面圖。在同圖中，對於與基板搬運系統A相同的結構，是附加相同參照符號省略說明，只有說明不同的結構。且，在同圖中，是省略處理裝置20、移載輸送帶70、移動個別搬運輸送帶31及個別搬運輸送帶31上的玻璃基板的移動組件50及昇降組件60。
本實施例的收納卡匣10’，是在各槽收納1枚玻璃基板W。從收納卡匣10’進行玻璃基板W的搬出/搬入的移載輸送帶32’是由3個滾子輸送帶件100所構成，將玻璃基板W每次1枚地搬運。
在移載輸送帶32’及同時搬運輸送帶30之間設有個別搬運輸送帶31’。個別搬運輸送帶31’，是與上述個別搬運輸送帶31相同的結構。在個別搬運輸送帶31’中設有移動組件50’。移動組件50’，是與上述移動組件50相同的結構。在各移動組件50’的基座構件51的下方設有與上述昇降組件60相同結構的昇降組件(未圖示)。
即，本實施例，也在基板搬運系統A，將上述個別搬運輸送帶31、移動組件50及昇降組件60設在收納卡匣側。且，從收納卡匣10’搬出玻璃基板W的情況，是藉由移載輸送帶32’每次一枚地搬出玻璃基板W，在個別搬運輸送帶31’上朝Y方向並列載置複數枚玻璃基板W，朝同時搬運輸送帶30被並列搬運。朝收納卡匣10’搬入玻璃基板W的情況，是從個別搬運輸送帶31’每次一枚地將玻璃基板W搬運至移載輸送帶32’，朝收納卡匣10’搬入。
[第6實施例]
在上述第1至第5實施例中，雖是藉由皮帶傳導機構將移動組件50、50’的載置構件56及57移動的結構，但是其他的機構也可以採用。第36圖，是顯示載置構件56及57的移動機構的其他例的圖。第36圖的移動機構，是使用滾珠螺桿機構。在Y方向配設有軌道構件501、滾珠螺桿502，這些是限定載置構件56及57的移動軌道。在滾珠螺桿502中，球螺帽503螺合，並且球螺帽503可在軌道構件501上滑動。載置構件56及57是固定於球螺帽503上。
且，是藉由未圖示的馬達使滾珠螺桿502旋轉，載置構件56及57會朝Y方向移動。另外，使用線形馬達的移動機構也可以採用。
且，在上述第1實施例中，昇降組件60是昇降移動組件50、50’整體的結構，但是載置構件56及57可昇降即可。例如第36圖的移動機構的例，在載置構件56及57及球螺帽503之間朝Z方向設置伸縮致動器，使載置構件56及57昇降的結構也可以。
10．．．收納卡匣
10’．．．收納卡匣
11．．．柱構件
12．．．樑構件
13．．．鋼絲
20．．．處理裝置
30．．．同時搬運輸送帶
31．．．個別搬運輸送帶
31’．．．個別搬運輸送帶
32．．．輸送帶
50．．．移動組件
50’．．．移動組件
51．．．基座構件
52．．．馬達
53．．．驅動帶輪
54．．．從動帶輪
55．．．皮帶
56．．．載置構件
56a．．．突出
56b．．．定位構件
57．．．載置構件
57a．．．突起
57b．．．定位構件
60．．．昇降組件
61．．．基座構件
62．．．支柱
63．．．馬達
64．．．凸輪板
70．．．移載至輸送帶
80．．．昇降裝置
80a．．．樑構件
81．．．樑構件
81a．．．感測器
82．．．支柱
83．．．軌道構件
84．．．齒條
85．．．支撐板
85a．．．托架
86．．．滑動構件
87．．．驅動組件
87a．．．馬達
87b．．．減速機
88．．．支撐板
89a．．．小齒輪
89b．．．小齒輪
89c．．．小齒輪
89d．．．小齒輪
90．．．感測器
91．．．感測器
100．．．滾子輸送帶組件
101．．．滾子
102．．．驅動盒
103．．．感測器
110．．．滾子輸送帶組件
111．．．滾子
112．．．驅動盒
113．．．感測器
200．．．控制裝置
300．．．主機電腦
501．．．軌道構件
502．．．滾珠螺桿
503．．．球螺帽
[第1圖]本發明的一實施例的基板搬運系統A的佈局配置的平面圖。
[第2圖]基板搬運系統A的側面圖。
[第3圖]收納卡匣10的立體圖。
[第4圖]構成各輸送帶30、31及32的滾子輸送帶組件100及110的立體圖。
[第5圖]收納卡匣10中的玻璃基板W的收納態樣及移載輸送帶32上的玻璃基板W的位置的例(2例)的平面圖。
[第6圖]一對的昇降裝置80的立體圖。
[第7圖]昇降裝置80的分解立體圖。
[第8圖]將玻璃基板W從收納卡匣10搬出的情況時的由昇降裝置80所產生的收納卡匣10的昇降動作的圖。
[第9圖]載置構件56及57的立體圖。
[第10圖]昇降組件60的昇降動作、及隨其之載置構件56的昇降的圖。
[第11圖]基板搬運系統A的控制裝置200的結構的方塊圖。
[第12圖]從移載輸送帶32朝同時搬運輸送帶30搬運玻璃基板W1的情況的態樣的例的圖。
[第13圖]從移載輸送帶32朝同時搬運輸送帶30搬運玻璃基板W1的情況的態樣的其他例的圖。
[第14圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W1的例的圖。
[第15圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W1的例的圖。
[第16圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W1的例的圖。
[第17圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W2例的圖。
[第18圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W2例的圖。
[第19圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W2例的圖。
[第20圖]從朝個別搬運輸送帶31處理裝置20每次搬運一枚玻璃基板W2例的圖。
[第21圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W1，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W1的例的圖。
[第22圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W1，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W1的例的圖。
[第23圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W1，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W1的例的圖。
[第24圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W1，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W1的例的圖。
[第25圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W2，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W2的例的圖。
[第26圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W2，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W2的例的圖。
[第27圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W2，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W2的例的圖。
[第28圖]從處理裝置20朝個別搬運輸送帶31每次搬運一枚玻璃基板W2，在個別搬運輸送帶31上，朝Y方向並列複數玻璃基板W2的例的圖。
[第29圖]本發明的其他的實施例的基板搬運系統B的佈局配置的平面圖。
[第30圖]在2個個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的搬運態樣的說明圖。
[第31圖]本發明的其他的實施例的基板搬運系統B’的佈局配置的平面圖。
[第32圖]在2個個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的搬運態樣的說明圖。
[第33圖]在2個個別搬運輸送帶31上的玻璃基板W的搬運態樣的說明圖。
[第34圖]本發明的其他的實施例的基板搬運系統B”的佈局配置的平面圖。
[第35圖]本發明的其他的實施例的基板搬運系統C的佈局配置的平面圖。
[第36圖]載置構件56及57的移動機構的其他例的圖。
10．．．收納卡匣
12．．．樑構件
20．．．處理裝置
30．．．同時搬運輸送帶
31．．．個別搬運輸送帶
32．．．輸送帶
50．．．移動組件
51．．．基座構件
52．．．馬達
53．．．驅動帶輪
54．．．從動帶輪
55．．．皮帶
56．．．載置構件
57．．．載置構件
70．．．移載至輸送帶
80．．．昇降裝置
80a．．．樑構件
81．．．樑構件
82．．．支柱
83．．．軌道構件
90．．．感測器
91．．．感測器
100．．．滾子輸送帶組件
110．．．滾子輸送帶組件
A．．．基板搬運系統

Claims (13)

  1. 一種基板搬運系統，是在收納基板的收納卡匣、及處理前述基板的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1輸送帶，配置於前述收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置將前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及移動組件，具有載置前述第2輸送帶上的前述基板的載置部，在前述第2輸送帶上朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述第2輸送帶相對地昇降。
  2. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，更具備：與前述第1輸送帶連續且配置於前述收納卡匣的下部並載置被收納於前述收納卡匣的前述基板朝前述搬運方向搬運的第3輸送帶、及使前述收納卡匣和前述第3輸送帶相對地昇降的昇降裝置，前述收納卡匣，是在上下方向具備複數供收納前述基板用的槽，各槽是在與前述搬運方向垂直的方向可收納前述複數枚前述基板，前述第3輸送帶，是在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運。
  3. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，前述第2輸送帶，是具備依據前述基板的尺寸選擇性地驅動的複數輸送帶組件，前述移動組件，是將前述基板移動至對應前述基板的尺寸的位置。
  4. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，前述移動組件，是移動前述基板並且調整前述基板的方向。
  5. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，前述第1輸送帶，是在前述搬運方向具有可並列載置複數枚前述基板的長度。
  6. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，前述第1及第2輸送帶是由複數滾子輸送帶組件所構成。
  7. 如申請專利範圍第2項的基板搬運系統，其中，前述第3輸送帶是由複數滾子輸送帶組件所構成。
  8. 如申請專利範圍第1項的基板搬運系統，其中，前述收納卡匣及前述處理裝置是在前述搬運方向分離配置。
  9. 一種基板搬運系統，是在收納基板的第1及第2收納卡匣、及與前述第1及第2收納卡匣分離配置供處理前述基板用的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1同時搬運輸送帶，配置於前述第1收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2同時搬運輸送帶，配置於前述第2收納卡匣側，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第1個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及第2個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側對於前述第2同時搬運輸送帶運續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及移動組件，具有供載置前述第1及第2個別搬運輸送帶上的前述基板用的載置部，橫跨前述第1及第2個別搬運輸送帶，朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述第1及2個別搬運輸送帶相對地昇降。
  10. 如申請專利範圍第9項的基板搬運系統，其中，更具備：第2移動組件，具有供載置前述第1及第2同時搬運輸送帶上的前述基板用的第2載置部，橫跨前述第1及第2同時搬運輸送帶，朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及第2昇降組件，將前述第2載置部及前述第1及2同時搬運輸送帶相對地昇降。
  11. 如申請專利範圍第9項的基板搬運系統，其中，前述第1及第2個別搬運輸送帶，是在前述搬運方向具有可並列載置複數枚前述基板的長度，前述載置部，是對於在前述第1及第2個別搬運輸送帶上在前述搬運方向並列載置的複數枚每一前述基板設置，前述移動組件，是在前述搬運方向並列載置複數枚前述基板，朝與前述搬運方向垂直的方向同時搬運。
  12. 如申請專利範圍第9項的基板搬運系統，其中，前述第1及第2收納卡匣，是在與前述搬運方向垂直的方向並列配置，前述處理裝置，是與前述第1及第2收納卡匣在前述搬運方向分離配置。
  13. 一種基板搬運系統，是在收納基板的第1及第2收納卡匣、及與前述第1及第2收納卡匣分離配置供處理前述基板用的處理裝置之間搬運基板，其特徵為，具備：第1同時搬運輸送帶，配置於前述第1收納卡匣側，在與前述基板的搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及第2同時搬運輸送帶，配置於前述第2收納卡匣側，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚前述基板朝前述搬運方向同時搬運；及個別搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第1同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度，可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運；及第3同時搬運輸送帶，在前述處理裝置側與前述第2同時搬運輸送帶連續配置，在與前述搬運方向垂直的方向具有可並列載置前述複數枚前述基板的寬度；及移動組件，具有載置前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶上的前述基板用的載置部，橫跨前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶，朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板；及昇降組件，將前述載置部及前述個別搬運輸送帶及前述第3同時搬運輸送帶相對地昇降。
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