CN106537575A - 基板移送装置 - Google Patents
基板移送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106537575A CN106537575A CN201580016379.8A CN201580016379A CN106537575A CN 106537575 A CN106537575 A CN 106537575A CN 201580016379 A CN201580016379 A CN 201580016379A CN 106537575 A CN106537575 A CN 106537575A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mentioned
- conveyer belt
- cassette
- transfer member
- aforesaid substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及基板移送装置，尤其，涉及使平板形状的基板能够以维持规定间隔的方式进行移动的基板移送装置。本发明的基板移送装置的特征在于，包括：匣盒，插入配置有多个基板；以及第二移送部件，用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板，上述第二移送部件包括：第二传送带，呈履带形状，用于向一方向移送放置于上部面的上述基板；多个卡止突起，在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成；以及第二驱动部，用于使上述第二传送带旋转，从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触，从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。
Description
技术领域
本发明涉及基板移送装置，尤其，涉及平板形状的基板能够以维持规定间隔的方式进行移动的基板移送装置。
背景技术
为了制作半导体用极板、液晶显示器、太阳能电池等的基板，通常，需要执行蒸镀、蚀刻、洗涤等多种基板处理工序。
为了执行上述工序，需要使上述基板向各个工序以维持规定间隔的方式移动。
以往，为了使基板移动，通常利用传送带类型的传输装置。
但是，上述传输装置仅具有使放置于上部的基板移动的功能，从而发生向传输装置的上部投入的基板的间隔并不恒定的情况。
由此，只要向其他位置移动放置于输送装置上部的基板的接载装置未按规定间隔形成，则很难移动基板。
发明内容
技术问题
本发明用于解决上述问题，本发明的目的在于，提供可使多个基板以维持规定间隔的方式移动的基板移送装置。
解决问题的方案
为了实现上述目的，本发明的基板移送装置的特征在于，包括：匣盒，插入配置有多个基板；以及第二移送部件，用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板，上述第二移送部件包括：第二传送带，呈履带形状，用于向一方向移送放置于上部面的上述基板；多个卡止突起，在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成；以及第二驱动部，用于使上述第二传送带旋转，从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触，从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。
上述第二移送部件还包括引导部件，上述引导部件配置于上述第二传送带的移送方向的两侧，用于引导借助上述第二传送带向一方向移送的上述基板的两侧。
上述引导部件可向与上述第二传送带的移送方向相垂直的方向移动。
上述卡止突起的突出长度大于上述基板的厚度。
上述卡止突起的上部面的宽度小于下部面的宽度。
上述匣盒向上下方向升降，从而向上述第二移送部件供给插入配置于上述匣盒内部的上述基板。
本发明还包括第一移送部件，上述第一移送部件配置于上述匣盒与上述第二移送部件之间，用于向上述第二移送部件移送从上述匣盒供给的上述基板。
上述第一移送部件包括：第一传送带，呈履带形状，用于向上述第二传送带移送放置于上部面的上述基板；以及第一驱动部，用于使上述第一传送带旋转，上述匣盒向上下方向升降，从而使插入配置于上述匣盒内部的上述基板向上述第一传送带的一端的上部面下降，从上述第一传送带向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触，从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。
上述第一移送部件还包括用于使上述第一传送带向上述匣盒方向直线移动的传送带移动部。
发明的效果
根据如上所述的本发明的基板移送装置，本发明具有如下效果。
借助形成于上述第二传送带的上述卡止突起，可使上述多个基板以一直维持规定间隔的方式向一方向移动，从而具有接载装置按规定时间间隔简单移动基板的效果。
附图说明
图1为本发明实施例的基板移送装置的立体图。
图2为本发明实施例的基板移送装置的侧视图。
图3为本发明实施例的基板移送装置的俯视图。
图4a至图4c为在本发明实施例的基板移送装置中匣盒和第一移送部件的运行过程图。
图5a至图5c为在本发明一实施例的基板移送装置中第一移送部件和第二移送部件的运行过程图。
具体实施方式
图1为本发明实施例的基板移送装置的立体图。图2为本发明实施例的基板移送装置的侧视图。图3为本发明实施例的基板移送装置的俯视图。图4a至图4c为在本发明实施例的基板移送装置中匣盒和第一移送部件的运行过程图。图5a至图5c为在本发明一实施例的基板移送装置中第一移送部件和第二移送部件的运行过程图。
如图1至图5所示，本发明的基板移送装置包括匣盒10、第一移送部件20及第二移送部件30。
多个基板40(硅片、硅基板等)插入配置于上述匣盒10的内部，并向上下方向层叠。
在上述匣盒10的中心内侧形成有向上下方向及前方开放的排出孔11，因此，上述匣盒10支撑上述基板40的边缘部分。
上述匣盒10可向上下方向升降。
为此，在框架17的内侧配置上述匣盒10，利用位于上部的升降气缸15等来使上述匣盒10向杭霞方向移动。
上述第一移送部件20配置于上述匣盒10和上述第二移送部件30之间，上述第一移送部件20用于向上述第二移送部件30移送从上述匣盒10供给的上述件40。
上述第一移送部件20包括第一传送带21、第一驱动部22及传送带移动部23。
上述第一传送带21呈履带形状，在上述第一传送带21的上部面向上述第二移送部件30移送从上述匣盒10排出的基板40。
上述第一传送带21的一端靠近上述匣盒10，另一端靠近上述第二移送部件30。
更具体地，上述第一传送带21的一端插入于上述匣盒10的排出孔11，并与插入配置于上述匣盒10的上述基板40的下部面接触，从而从上述匣盒10移送极板40。
上述第一驱动部22由马达等形成，从而使上述第一传送带21旋转。
上述传送带移动部23用于使上述第一传送带21沿着上述匣盒10方向直线移动。
此时，优选地，上述传送带移动部23仅使上述第一传送带21的一端沿着上述匣盒10的方向直线移动，而并非使上述第一传送带21的整体移动。
为此，如气缸，上述传送带移动部23呈沿着上述匣盒10方向伸缩的结构。
而且，为了防止因上述传送带移动部23的移动，上述第一传送带21的张力发生变更的情况，上述第一移动部件20还可包括张力调节部件(未图示)。
随着具有规定长度的上述第一传送带21沿着上述匣盒10方向移动，上述张力调节部件变更上述第一传送带21的移动路径，由此可使上述第一传送带21一直维持相同张力，上述张力调节部件仅使用以往的公知部件即可，将省略对其的详细说明。
另一方面，如上所述，上述匣盒10向上下方向升降，由此使插入配置于上述匣盒10内部的上述基板40向上述第一传送带21的一端的上部面下降，并使放置于上述第一传送带21的上部面的上述基板40向上述第二移送部件30的方向移动。
上述第二移送部件30用于使插入配置于上述匣盒10的基板40向一方向移送。
更具体地，上述第二移送部件30从上述第一移送部件20接收从上述匣盒10向上述第一移送部件20移送的基板40并使其向一方向移送。
上述第二移送部件30包括第二传送带31、卡止突起32、第二驱动部33和引导部件34等。
上述第二传送带31呈履带形状，使放置于上部面的上述基板40向一方向，即，向上述匣盒10的相反方向移动。
具有多个上述卡止突起32，上述多个卡止突起32以相互隔开的方式在上述第二传送带31的上部面突出。
此时，相互隔开的多个上述卡止突起32按规定间隔隔开。
从上述第一传送带21向第二传送带31供给的上述基板41与上述卡止突起32相接触，由此阻止上述基板40对于上述第二传送带31的相对移动，使得放置于上述第二传送带31的上述基板40的间隔一直恒定维持。
而且，上述卡止突起32的突出长度大于上述基板40的厚度。
并且，上述卡止突起32的上部面的宽度大于下部面的宽度，由此，用于向其他位置移动放置于上述第二移送部件30的基板40的接载装置通过吸附上述基板40并容易向垂直方向抬起上述第二传送带31。
上述卡止突起32可以与上述第二传送带31想成为一体，或者上述卡止突起32单独形成，从而可通过激光或焊接与上述第二传送带31相结合。
上述第二驱动部33由马达形成，从而使上述第二传送带31进行旋转。
上述引导部件34配置于上述第二传送带31的移送方向的两侧，上述引导部件34用于引导借助上述第二传送带31向一方向移送的上述基板40的两侧。
上述引导部件34可向与上述第二传送带31的移送方向相垂直的方向移动，从而可使被移送的多个基板40沿着相同管线移动。
根据情况，本发明即使没有上述第一移送部件20，也可直接向上述第二移送部件30供给插入于上述匣盒10的上述基板40。
此时，上述第二移动部件30的一端靠近上述匣盒10配置。
以下，观察以上述结构形成的本发明的运行过程。
如图4a所示，使上述匣盒10向水平方向移动，使得上述匣盒10靠近上述第一传送带21的一端。
此时，为使上述匣盒10容易向水平方向移动，上述第一传送带21的一端向上述第二移送部件30方向移动。
因此，上述第一传送带21的一端并非处于插入于上述匣盒10的排出孔11的状态。
之后，如图4b所示，利用上述传送带移动部23，使上述第一传送带21的一端配置于上述匣盒10的排出孔11的下部。
在上述状态下，如图4c所示，随着上述匣盒10的下降，插入配置于上述匣盒10的上述基板40与上述第一传送带21的上部面相接触。
此时，因上述第一传送带21进行旋转，因此，上述基板40与进行旋转的上述第一传送带21的上部面相接触并向上述匣盒10的相反方向移送。
如图5所示，从上述匣盒10向上述第一移送部件20移动的上述基板40向上述第二移送部件30移动。
如图5a所示，在上述第一传送带21向一方向移动的基板40向上述第二传送带31移动。
此时，上述第一传送带21和第二传送带31可存在速度差，尤其，在上述第一传送带21的移动速度大于上述第二传送带31的移动速度的情况下，放置于上述第一传送带21的上述基板40以大于上述第二传送带31的移动速度的速度快速向一方向移动。
在此情况下，如图5b所示，上述件40与上述卡止突起32相接触，由此阻止上述基板40对于上述第二传送带31的相对移动，在上述卡止突起32之间，上述基板40放置于上述第二传送带31的状态下进行移动。
并且，在上述第一传送带21及第二传送带31的速度相同，或者在上述第一传送带21的移动速度小于上述第二传送带31的移动速度的情况下，上述基板40也可在上述第二传送带31的上部面发生滑移，此时，如图5c所示，可防止上述基板40被上述卡止突起32所推开的情况。
如上所述，借助形成于上述第二传送带31的上述卡止突起32，多个上述基板40一直维持规定间隔并向一方向移动。
放置于上述第二传送带31的上部的上述基板40借助额外的接载装置向其他位置移动。
作为本发明的基板移送装置并不局限于上述实施例，可在本发明的技术思想所允许的范围内进行多种变形。
产业上的可利用性
本发明可适用于移送半导体用极板、液晶显示器、太阳能电池等的基板的装置。
Claims (8)
1.一种基板移送装置，其特征在于，包括：
匣盒，插入配置有多个基板；以及
第二移送部件，用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板，
上述第二移送部件包括：
第二传送带，呈履带形状，用于向一方向移送放置于上部面的上述基板；
多个卡止突起，在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成；以及第二驱动部，用于使上述第二传送带旋转，
从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触，从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。
2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，上述第二移送部件还包括引导部件，上述引导部件配置于上述第二传送带的移送方向的两侧，用于引导借助上述第二传送带向一方向移送的上述基板的两侧。
3.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，上述引导部件能够向与上述第二传送带的移送方向相垂直的方向移动。
4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，上述卡止突起的突出长度大于上述基板的厚度。
5.根据权利要求1或4所述的基板移送装置，其特征在于，上述卡止突起的上部面的宽度小于下部面的宽度。
6.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，上述匣盒向上下方向升降，从而向上述第二移送部件供给插入配置于上述匣盒内部的上述基板。
7.根据权利要求1或6所述的基板移送装置，其特征在于，
还包括第一移送部件，上述第一移送部件配置于上述匣盒与上述第二移送部件之间，用于向上述第二移送部件移送从上述匣盒供给的上述基板，
上述第一移送部件包括：
第一传送带，呈履带形状，用于向上述第二传送带移送放置于上部面的上述基板；以及
第一驱动部，用于使上述第一传送带旋转，
上述匣盒向上下方向升降，从而使插入配置于上述匣盒内部的上述基板向上述第一传送带的一端的上部面下降，
从上述第一传送带向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触，从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。
8.根据权利要求7所述的基板移送装置，其特征在于，上述第一移送部件还包括用于使上述第一传送带向上述匣盒方向直线移动的传送带移动部。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2014-0116166 | 2014-09-02 | ||
| KR1020140116166A KR101606705B1 (ko) | 2014-09-02 | 2014-09-02 | 기판 이송장치 |
| PCT/KR2015/008283 WO2016036019A1 (ko) | 2014-09-02 | 2015-08-07 | 기판 이송장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106537575A true CN106537575A (zh) | 2017-03-22 |
Family
ID=55440032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201580016379.8A Pending CN106537575A (zh) | 2014-09-02 | 2015-08-07 | 基板移送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101606705B1 (zh) |
| CN (1) | CN106537575A (zh) |
| WO (1) | WO2016036019A1 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117316830A (zh) * | 2023-11-28 | 2023-12-29 | 成都高投芯未半导体有限公司 | 一种半导体封装系统及控制方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101894476B1 (ko) | 2016-12-01 | 2018-10-04 | 김성용 | 기판 정렬 투입장치 |
| CN106735933A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 天津曼科科技有限公司 | 一种太阳能硅晶片自动切割机 |
| KR102350865B1 (ko) * | 2017-02-23 | 2022-01-13 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈 |
| KR101817315B1 (ko) * | 2017-07-27 | 2018-01-11 | 주식회사 크럭셀 | 영상판 반송장치 및 이를 이용한 영상판 스캐너 |
| CN109920749A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种大面积玻璃基板装载机 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001010711A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Naohito Miyashita | 伸縮可能なベルトコンベアー |
| KR20130062837A (ko) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 주식회사 테라세미콘 | 기판 이송 시스템 |
| JP2014007193A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送システム |
| CN103733326A (zh) * | 2011-09-29 | 2014-04-16 | 川崎重工业株式会社 | 搬运系统 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100040037A (ko) | 2008-10-09 | 2010-04-19 | 김병준 | 기판이송용 트레이 및 이를 구비한 진공처리장치 |
-
2014
- 2014-09-02 KR KR1020140116166A patent/KR101606705B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-08-07 CN CN201580016379.8A patent/CN106537575A/zh active Pending
- 2015-08-07 WO PCT/KR2015/008283 patent/WO2016036019A1/ko active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001010711A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Naohito Miyashita | 伸縮可能なベルトコンベアー |
| CN103733326A (zh) * | 2011-09-29 | 2014-04-16 | 川崎重工业株式会社 | 搬运系统 |
| KR20130062837A (ko) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 주식회사 테라세미콘 | 기판 이송 시스템 |
| JP2014007193A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送システム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117316830A (zh) * | 2023-11-28 | 2023-12-29 | 成都高投芯未半导体有限公司 | 一种半导体封装系统及控制方法 |
| CN117316830B (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-02 | 成都高投芯未半导体有限公司 | 一种半导体封装系统及控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101606705B1 (ko) | 2016-03-28 |
| KR20160027716A (ko) | 2016-03-10 |
| WO2016036019A1 (ko) | 2016-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106537575A (zh) | 基板移送装置 | |
| CN103569699B (zh) | 基板传送装置 | |
| US20160229644A1 (en) | Transfer apparatus | |
| US9741597B2 (en) | Positioning device for glass substrate | |
| CN106044135B (zh) | 翻转装置、翻转方法、搬送装置以及搬送方法 | |
| CN105658551B (zh) | 输送装置 | |
| CN101907789B (zh) | 面板基板输送装置及显示面板模块装配装置 | |
| KR20130022372A (ko) | 기판반전장치 및 기판취급방법, 및 기판처리장치 | |
| CN104538338A (zh) | 具有可变机械手的四臂搬运机器人 | |
| JP2008260605A (ja) | 基板搬送装置 | |
| KR101324470B1 (ko) | 디스플레이 기판 정렬장치 | |
| JP2009099692A (ja) | 基板搬送コンベヤ | |
| JP2016003146A (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
| US9611548B2 (en) | Wafer rotating apparatus | |
| JP5617471B2 (ja) | 電子部品実装用装置および電子部品実装用作業実行方法 | |
| KR102222263B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| US9615494B2 (en) | Substrate conveyance mechanism and component mounting device | |
| KR101885571B1 (ko) | 기판 반송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
| US10165716B2 (en) | Substrate conveyance mechanism and component mounting method | |
| KR101489270B1 (ko) | 터치 스크린 패널용 기판이송장치 | |
| JP6550932B2 (ja) | ブレイク装置、ブレイクシステムおよびブレイクユニット | |
| KR101957492B1 (ko) | 가요성 드라이브 ｉｃ 패키지와 그 절삭 장치 | |
| JP7054170B2 (ja) | ベルトコンベヤ装置 | |
| KR20100125583A (ko) | 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치 | |
| KR20130000150A (ko) | 연속형 디버터장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170322 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |