KR101885571B1 - 기판 반송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 반송하는 기판 반송 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송 모듈은, 기판을 지지하고, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 반송 지지 유닛과; 상기 반송 지지 유닛을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 유닛을 포함하되, 상기 상하 구동 유닛은, 각각 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 서로 제 1 방향으로 이격되게 제공된 제 1 가이드 레일 및 제 2 가이드 레일과; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 이동되는 제 1 무버와; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 이동되는 제 2 무버와; 상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 구동력을 인가하는 구동 부재와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 1 무버로 전달하는 제 1 타이밍 벨트와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 2 무버로 전달하는 제 2 타이밍 벨트를 포함한다.

Description

기판 반송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFER MODULE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판을 반송하는 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판 상으로 감광액을 공급하는 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정이 수행되는 과정에서 기판은 하나의 장치에서 다른 장치로 이송된다. 이와 같은 이송 과정에서 기판의 핸들링은 이송로봇 등의 반송 유닛에 의해 수행될 수 있다.
이러한 각 공정이 수행되는 챔버들은 서로 적층되게 제공되거나, 기판이 출입하는 출입구의 높이가 서로 상이하게 제공될 수 있다. 따라서, 반송 유닛에는 반송 유닛의 기판을 지지하는 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 부재가 제공된다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 상하 구동 부재(1)를 나타낸 단면도이다. 도 1을 참조하면, 일반적으로 상하 구동 부재(1)는 핸드를 양측에서 지지하는 2개의 무버(2, 3)가 각각 이동되는 2개의 가이드 레일(4, 5)이 서로 평행하게 제공된다. 이 경우, 일측의 무버(2)는 구동력을 인가하는 구동기(6)가 연결된 타이밍 벨트(7)에 결합되어 상하 방향으로 이동되고, 타측의 무버(3)는 별도의 구동력이 인가되지 않는 실링 벨트(8)와 결합되어, 타이밍 벨트(7)에 인가된 구동력에 의해 상하 방향으로 이동된다. 실링 벨트(8)는 가이드 레일(5) 내의 파티클 등의 이물질이 무버(3)가 삽입되어 이동되는 가이드 홈(9)을 밀폐하여, 가이드 홈(9)으로부터 장치 내로 유입되는 것을 방지하기 위해 제공된다. 그러나, 도 1과 같이, 구동력이 일측에 제공된 타이밍 벨트(7)에만 인가되는 경우, 타이밍 벨트(7)가 노후화 또는 파손 등에 의해 끊어지는 경우, 핸드가 자유 낙하하게 되어 장치 및 기판의 손상과 사용자의 부상을 유발할 수 있다. 또한, 일반적으로 타이밍 벨트(7)와 재질 및 구조가 상이한 실링 벨트(8)가 요구되므로 요구되는 부품의 종류가 증가되고, 실링 벨트(8)의 장력 저하에 의해 가이드 홈(9)과 실링 벨트(8) 사이에 틈이 발생하여, 가이드 레일(5) 내의 이물질이 장치 내로 유입될 수 있다.
본 발명은 핸드의 낙하를 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 장치 및 기판의 손상과 사용자의 부상을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 반송 유닛에 포함되는 부품의 종류를 감축시킬 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 가이드 레일 내의 이물질이 장치 내로 유입되는 것을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판을 반송하는 기판 반송 모듈을 제공한다. 일 실시 예에 따르면, 기판 반송 모듈은, 기판을 지지하고, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 반송 지지 유닛과; 상기 반송 지지 유닛을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 유닛을 포함하되, 상기 상하 구동 유닛은, 각각 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 서로 제 1 방향으로 이격되게 제공된 제 1 가이드 레일 및 제 2 가이드 레일과; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 이동되는 제 1 무버와; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 이동되는 제 2 무버와; 상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 구동력을 인가하는 구동 부재와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 1 무버로 전달하는 제 1 타이밍 벨트와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 2 무버로 전달하는 제 2 타이밍 벨트를 포함한다.
상기 제 1 가이드 레일에는 제 1 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 제 2 가이드 레일에는 제 2 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 제 1 타이밍 벨트는 상기 제 1 가이드 레일 내에 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트는 상기 제 2 가이드 레일 내에 제공되고, 상기 제 1 무버는 상기 제 1 가이드 홈을 관통하여 상기 제 1 타이밍 벨트의 측면에 결합되고, 상기 제 2 무버는 상기 제 2 가이드 홈을 관통하여 상기 제 2 타이밍 벨트의 측면에 결합된다.
상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 1 가이드 홈에 대향되게 제공되고, 상기 제 1 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 1 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며, 상기 제 1 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 1 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고, 상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 1 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되며, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 2 가이드 홈에 대향되게 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 2 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며, 상기 제 2 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 2 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 2 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공된다.
상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈은 제 2 방향을 바라보도록 제공되되, 상기 제 2 방향은 상부에서 바라볼 때, 상기 제 1 방향과 수직인 방향이다.
상기 상하 구동 유닛은 상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일을 연결하는 연결 플레이트를 더 포함한다.
상기 연결 플레이트는 상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일의 상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈이 형성된 면과 반대되는 면에 결합된다.
상기 반송 지지 유닛은, 기판을 지지하는 핸드와; 상기 핸드를 지지하고, 상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 결합되는 베이스를 포함하고, 상기 연결 플레이트에는 상기 핸드가 관통되어 지날 수 있는 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯은 복수개가 상하 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다.
상기 베이스는, 상기 핸드가 상면을 따라 직선 운동 가능하게 지지되는 제 1 베이스와; 상기 제 1 베이스의 하부에 제공되고, 상기 제 1 베이스가 상하 방향을 축으로 회전 가능하게 지지되는 제 2 베이스를 포함한다.
또한, 본 발명은 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제공한다. 일 실시 예에 따르면, 기판 처리 장치는, 내부에서 기판이 처리되고, 복수개가 서로 적층되게 제공되는 챔버와; 상기 챔버로 기판을 반송하는 기판 반송 모듈을 포함하되, 상기 기판 반송 모듈은, 기판을 지지하고, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 반송 지지 유닛과; 상기 반송 지지 유닛을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 유닛을 포함하되, 상기 상하 구동 유닛은, 각각 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 서로 제 1 방향으로 이격되게 제공된 제 1 가이드 레일 및 제 2 가이드 레일과; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 이동되는 제 1 무버와; 상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 이동되는 제 2 무버와; 상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 구동력을 인가하는 구동 부재와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 1 무버로 전달하는 제 1 타이밍 벨트와; 상기 구동력을 상기 구동 부재로부터 상기 제 2 무버로 전달하는 제 2 타이밍 벨트를 포함한다.
상기 제 1 가이드 레일에는 제 1 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 제 2 가이드 레일에는 제 2 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 제 1 타이밍 벨트는 상기 제 1 가이드 레일 내에 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트는 상기 제 2 가이드 레일 내에 제공되고, 상기 제 1 무버는 상기 제 1 가이드 홈을 관통하여 상기 제 1 타이밍 벨트의 측면에 결합되고, 상기 제 2 무버는 상기 제 2 가이드 홈을 관통하여 상기 제 2 타이밍 벨트의 측면에 결합된다.
상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 1 가이드 홈에 대향되게 제공되고, 상기 제 1 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 1 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며, 상기 제 1 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 1 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고, 상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 1 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되며, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 2 가이드 홈에 대향되게 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 2 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며, 상기 제 2 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 2 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고, 상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 2 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공된다.
상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈은 제 2 방향을 바라보도록 제공되되, 상기 제 2 방향은 상부에서 바라볼 때, 상기 제 1 방향과 수직인 방향이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 핸드의 낙하를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 장치 및 기판의 손상과 사용자의 부상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 반송 유닛에 포함되는 부품의 종류를 감축시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 가이드 레일 내의 이물질이 장치 내로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 상하 구동 부재를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 3은 도 2의 기판 반송 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 2의 핸드 및 제 1 베이스를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 2의 제 2 베이스를 타나낸 사시도이다.
도 6은 도 2의 상하 구동 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 3의 구동 부재가 제 1 타이밍 벨트 및 제 2 타이밍 벨트와 연결된 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다. 도 2를 참조하면, 기판(W)을 처리하는 기판 처리 장치는 챔버(2000) 및 기판 반송 모듈(1000)을 포함한다.
챔버(2000)는 복수개가 제공된다. 복수개의 챔버(2000)는 서로 적층되게 제공된다. 챔버(2000)는 내부에서 기판(W)이 처리된다. 예를 들면, 챔버(2000)는 내부에서 기판에 감광액 등의 처리액을 도포하는 도포 공정 전후에 수행되는 열처리 공정이 수행되는 열처리 챔버(2000)로 제공될 수 있다. 이와 달리, 챔버(2000)는 복수개가 적층되게 제공되는 다양한 종류의 챔버일 수 있다. 또한, 복수개의 챔버(2000) 중 일부는 서로 상이한 공정을 수행하는 챔버일 수 있다.
기판 반송 모듈(1000)은 챔버(2000)로 기판(W)을 반송한다. 일 실시 예에 따르면 기판 반송 모듈(1000)은 반송 지지 유닛(1100) 및 상하 구동 유닛(1200)을 포함한다.
도 3은 도 2의 기판 반송 모듈(1000)을 나타낸 사시도이다. 도 4는 도 2의 핸드(1110) 및 제 1 베이스(1121)를 나타낸 사시도이다. 도 5는 도 2의 제 2 베이스(1122)를 타나낸 사시도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 반송 지지 유닛(1100)은 기판(W)을 지지하고, 기판(W)을 수평 방향으로 이동시킨다. 일 실시 예에 따르면, 반송 지지 유닛(1100)은 핸드(1110) 및 베이스(1120)를 포함한다.
핸드(1110)는 기판 반송 모듈(1000)이 기판(W)을 반송하는 동안, 기판(W)을 지지한다. 핸드(1110)는 진공 방식으로 기판(W)을 흡착하여 지지할 수 있다. 이와 달리, 핸드(1110)는 기판(W)을 지지하는 방식으로 제공될 수 있다.
베이스(1120)는 핸드(1110)를 지지한다. 핸드(1110)는 베이스(1120) 상에서 직선 운동 및 회전 운동이 가능하게 제공된다. 베이스(1120)는 제 1 무버(1230) 및 제 2 무버(1240)에 결합된다. 베이스(1120)는 제 1 베이스(1121)와 제 2 베이스(1122)를 포함한다.
제 1 베이스(1121)는 핸드(1110)를 상면을 따라 직선 운동이 가능하도록 지지한다. 제 1 베이스(1121)에는 핸드(1110)의 직선 운동을 가이드 하는 레일 및 핸드(1110)에 직선 운동 가능하도록 구동력을 인가하는 구동기가 제공될 수 있다.
제 2 베이스(1122)는 제 1 베이스(1121)의 하부에 제공된다. 제 2 베이스(1122)는 제 1 베이스를 상하 방향을 축으로 회전 가능하게 지지한다. 제 2 베이스(1122)에는 제 1 베이스(1121)를 회전 운동시키는 회전 구동력을 제공하는 회전 구동기가 제공될 수 있다.
도 6은 도 2의 상하 구동 유닛(1200)을 나타낸 사시도이다. 도 3 및 도 6을 참조하면, 상하 구동 유닛(1200)은 반송 지지 유닛(1100)을 상하 방향으로 이동시킨다. 일 실시 예에 따르면, 상하 구동 유닛(1200)은 제 1 가이드 레일(1210), 제 2 가이드 레일(1220), 제 1 무버(1230), 제 2 무버(1240), 구동 부재(1250), 제 1 타이밍 벨트(1260), 제 2 타이밍 벨트(1270) 그리고 연결 플레이트(1280)를 포함한다.
제 1 가이드 레일(1210) 및 제 2 가이드 레일(1220)은 길이 방향이 상하 방향으로 제공된다. 제 1 가이드 레일(1210) 및 제 2 가이드 레일(1220)은 서로 제 1 방향(11)으로 이격되게 제공된다.
제 1 무버(1230)는 반송 지지 유닛(1100)과 결합된다. 제 1 무버(1230)는 제 1 가이드 레일(1210)을 따라 이동된다. 일 실시 예에 따르면, 제 1 가이드 레일(1210)에는 제 1 가이드 홈(1211)이 길이 방향을 따라 형성된다. 제 1 무버(1230)는 제 1 가이드 레일(1210)을 따라 상하 방향으로 이동된다.
제 2 무버(1240)는 반송 지지 유닛(1100)과 결합된다. 제 2 무버(1240)는 제 2 가이드 레일(1220)을 따라 이동된다. 일 실시 예에 따르면, 제 2 가이드 레일(1220)에는 제 2 가이드 홈(1221)이 길이 방향을 따라 형성된다. 제 2 무버(1240)는 제 2 가이드 레일(1220)을 따라 상하 방향으로 이동된다.
도 7은 도 3의 구동 부재(1250)가 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270)와 연결된 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 구동 부재(1250)는 제 1 무버(1230) 및 제 2 무버(1240)에 구동력을 인가한다. 구동 부재(1250)는 구동력을 연결축(1251)을 통해 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270)에 연결될 수 있다. 연결축(1251)은 구동 부재(1250)의 구동력을 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270)에 전달한다. 연결축(1251)은 구동 부재(1250)로부터 분기되어 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270) 각각에 연결된다. 따라서, 구동 부재(1250)의 구동력은 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270)에 각각 전달된다. 구동 부재(1250)와 제 1 타이밍 벨트(1260) 및 제 2 타이밍 벨트(1270)가 연결되는 구조를 단순화하기 위해 제 1 가이드 홈(1211) 및 제 2 가이드 홈(1221)은 제 2 방향(12)을 바라보도록 제공된다. 제 2 방향(12)은 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(11)과 수직인 방향이다.
제 1 타이밍 벨트(1260)는 구동 부재(1250)의 구동력을 제 1 무버(1230)로 전달한다. 제 1 타이밍 벨트(1260)는 제 1 가이드 레일(1210) 내에 제공된다. 제 1 무버(1230)는 제 1 가이드 홈(1211)을 관통하여 제 1 타이밍 벨트(1260)의 측면에 결합된다. 제 1 타이밍 벨트(1260)의 제 1 가이드 홈(1211)을 바라보는 측면은 제 1 가이드 홈(1211)에 대향되게 제공된다. 제 1 타이밍 벨트(1260)의 상단은 제 1 가이드 홈(1211)의 상단보다 높게 제공된다. 제 1 타이밍 벨트(1260)의 하단은 제 1 가이드 홈(1211)의 하단보다 낮게 제공된다. 제 1 타이밍 벨트(1260)의 측면의 너비는 제 1 가이드 홈(1211)의 너비보다 넓게 제공된다. 제 1 타이밍 벨트(1260)의 측면은 제 1 가이드 홈(1211)에 인접하게 제공된다. 따라서, 제 1 가이드 홈(1211)은 제 1 가이드 레일(1210) 내부의 이물질이 제 1 가이드 레일(1210)의 내부로부터 장치 내로 유입되는 것을 방지한다.
제 2 타이밍 벨트(1270)는 구동 부재(1250)의 구동력을 제 2 무버(1240)로 전달한다. 제 2 타이밍 벨트(1270)는 제 2 가이드 레일(1220) 내에 제공된다. 제 2 무버(1240)는 제 2 가이드 홈(1221)을 관통하여 제 2 타이밍 벨트(1270)의 측면에 결합된다. 제 2 타이밍 벨트(1270)의 제 2 가이드 홈(1221)을 바라보는 측면은 제 2 가이드 홈(1221)에 대향되게 제공된다. 제 2 타이밍 벨트(1270)의 상단은 제 2 가이드 홈(1221)의 상단보다 높게 제공된다. 제 2 타이밍 벨트(1270)의 하단은 제 2 가이드 홈(1221)의 하단보다 낮게 제공된다. 제 2 타이밍 벨트(1270)의 측면의 너비는 제 2 가이드 홈(1221)의 너비보다 넓게 제공된다. 제 2 타이밍 벨트(1270)의 측면은 제 2 가이드 홈(1221)에 인접하게 제공된다. 따라서, 제 2 가이드 홈(1221)은 제 2 가이드 레일(1220) 내부의 이물질이 제 2 가이드 레일(1220)의 내부로부터 장치 내로 유입되는 것을 방지한다.
연결 플레이트(1280)는 제 1 가이드 레일(1210) 및 제 2 가이드 레일(1220)을 연결한다. 연결 플레이트(1280)는 제 1 가이드 레일(1210) 및 제 2 가이드 레일(1220)을 고정하여, 정위치로부터 벗어나는 것을 방지한다. 연결 플레이트(1280)는 제 1 가이드 레일(1210) 및 제 2 가이드 레일(1220)의 제 1 가이드 홈(1211) 및 제 2 가이드 홈(1221)이 형성된 면과 반대되는 면에 결합된다. 연결 플레이트(1280)에는 핸드(1110)가 관통되어 지날 수 있는 슬롯(1281)이 형성된다. 슬롯(1281)은 복수개가 상하 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 슬롯(1281)은 챔버(2000)들의 기판 출입구에 각각 대응되게 위치된다. 따라서, 핸드(1110)는 슬롯(1281) 및 기판 출입구를 통해 챔버(2000)들로 기판을 반송할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 구동 부재(1250)의 구동력이 제 1 무버(1230) 및 제 2 무버(1240)에 각각 인가됨으로써, 하나의 타이밍 벨트가 절단되는 경우에도, 핸드의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 핸드의 낙하로 인한 장치 및 기판의 손상과 사용자의 부상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 장치는 가이드 홈을 가리기 위한 별도의 실링 벨트가 요구되지 않으므로, 반송 유닛에 포함되는 부품의 종류를 감축시킬 수 있다. 또한, 별도의 실링 벨트가 제공되지 않아도, 가이드 레일 내의 이물질이 장치 내로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
1000: 기판 반송 모듈 1100: 반송 지지 유닛
1110: 핸드 1120: 베이스
1200: 상하 구동 유닛 1210: 제 1 가이드 레일
1211: 제 1 가이드 홈 1220: 제 2 가이드 레일
1221: 제 2 가이드 홈 1230: 제 1 무버
1240: 제 2 무버 1250: 구동 부재
1251: 연결축 1260: 제 1 타이밍 벨트
1270: 제 2 타이밍 벨트 1280: 연결 플레이트
1281: 슬롯

Claims (12)

  1. 기판을 반송하는 모듈에 있어서,
    기판을 지지하고, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 반송 지지 유닛과;
    상기 반송 지지 유닛을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 유닛을 포함하되,
    상기 상하 구동 유닛은,
    각각 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 서로 제 1 방향으로 이격되게 제공된 제 1 가이드 레일 및 제 2 가이드 레일과;
    상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 이동되는 제 1 무버와;
    상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 이동되는 제 2 무버와;
    상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 구동력을 인가하는 구동 부재와;
    상기 구동력을 전달받도록 상기 구동 부재로부터 분기된 연결축과 연결되고, 상기 구동력을 상기 제 1 무버로 전달하는 제 1 타이밍 벨트와;
    상기 구동력을 전달받도록 상기 연결축과 연결되고, 상기 구동력을 상기 제2 무버로 전달하는 제 2 타이밍 벨트를 포함하며,
    상기 구동부재는,
    상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일 하단에 제공되고,
    상면에서 봤을 때, 상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일의 중앙에 제공된 기판 반송 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 레일에는 제 1 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고,
    상기 제 2 가이드 레일에는 제 2 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트는 상기 제 1 가이드 레일 내에 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트는 상기 제 2 가이드 레일 내에 제공되고,
    상기 제 1 무버는 상기 제 1 가이드 홈을 관통하여 상기 제 1 타이밍 벨트의 측면에 결합되고,
    상기 제 2 무버는 상기 제 2 가이드 홈을 관통하여 상기 제 2 타이밍 벨트의 측면에 결합되는 기판 반송 모듈.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 1 가이드 홈에 대향되게 제공되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 1 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 1 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 1 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되며,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 2 가이드 홈에 대향되게 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 2 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 2 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 2 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되는 기판 반송 모듈.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈은 제 2 방향을 바라보도록 제공되되,
    상기 제 2 방향은 상부에서 바라볼 때, 상기 제 1 방향과 수직인 방향인 기판 반송 모듈.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 상하 구동 유닛은 상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일을 연결하는 연결 플레이트를 더 포함하는 기판 반송 모듈.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 연결 플레이트는 상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일의 상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈이 형성된 면과 반대되는 면에 결합되는 기판 반송 모듈.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 반송 지지 유닛은,
    기판을 지지하는 핸드와;
    상기 핸드를 지지하고, 상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 결합되는 베이스를 포함하고,
    상기 연결 플레이트에는 상기 핸드가 관통되어 지날 수 있는 슬롯이 형성되고,
    상기 슬롯은 복수개가 상하 방향을 따라 서로 이격되게 배열되는 기판 반송 모듈.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 베이스는,
    상기 핸드가 상면을 따라 직선 운동 가능하게 지지되는 제 1 베이스와;
    상기 제 1 베이스의 하부에 제공되고, 상기 제 1 베이스가 상하 방향을 축으로 회전 가능하게 지지되는 제 2 베이스를 포함하는 기판 반송 모듈.
  9. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    내부에서 기판이 처리되고, 복수개가 서로 적층되게 제공되는 챔버와;
    상기 챔버로 기판을 반송하는 기판 반송 모듈을 포함하되,
    상기 기판 반송 모듈은,
    기판을 지지하고, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 반송 지지 유닛과;
    상기 반송 지지 유닛을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동 유닛을 포함하되,
    상기 상하 구동 유닛은,
    각각 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 서로 제 1 방향으로 이격되게 제공된 제 1 가이드 레일 및 제 2 가이드 레일과;
    상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 이동되는 제 1 무버와;
    상기 반송 지지 유닛과 결합되고, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 이동되는 제 2 무버와;
    상기 제 1 무버 및 상기 제 2 무버에 구동력을 인가하는 구동 부재와;
    상기 구동력을 전달받도록 상기 구동 부재로부터 분기된 연결축과 연결되고, 상기 구동력을 상기 제 1 무버로 전달하는 제 1 타이밍 벨트와;
    상기 구동력을 전달받도록 상기 연결축과 연결되고, 상기 구동력을 상기 제 2 무버로 전달하는 제 2 타이밍 벨트를 포함하며,
    상기 구동부재는,
    상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일 하단에 제공되고,
    상면에서 봤을 때, 상기 제1 가이드 레일 및 상기 제2 가이드 레일의 중앙에 제공된 기판 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 레일에는 제 1 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고,
    상기 제 2 가이드 레일에는 제 2 가이드 홈이 길이 방향을 따라 형성되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트는 상기 제 1 가이드 레일 내에 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트는 상기 제 2 가이드 레일 내에 제공되고,
    상기 제 1 무버는 상기 제 1 가이드 홈을 관통하여 상기 제 1 타이밍 벨트의 측면에 결합되고,
    상기 제 2 무버는 상기 제 2 가이드 홈을 관통하여 상기 제 2 타이밍 벨트의 측면에 결합되는 기판 처리 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 1 가이드 홈에 대향되게 제공되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 1 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 1 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고,
    상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 1 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되며,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면은 상기 제 2 가이드 홈에 대향되게 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상단은 상기 제 2 가이드 홈의 상단보다 높게 제공되며,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 하단은 상기 제 2 가이드 홈의 하단보다 낮게 제공되고,
    상기 제 2 타이밍 벨트의 상기 측면의 너비는 상기 제 2 가이드 홈의 너비보다 넓게 제공되는 기판 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 홈 및 상기 제 2 가이드 홈은 제 2 방향을 바라보도록 제공되되,
    상기 제 2 방향은 상부에서 바라볼 때, 상기 제 1 방향과 수직인 방향인 기판 처리 장치.
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