JPH0547804A - リードフレームの搬送装置 - Google Patents
リードフレームの搬送装置Info
- Publication number
- JPH0547804A JPH0547804A JP22227891A JP22227891A JPH0547804A JP H0547804 A JPH0547804 A JP H0547804A JP 22227891 A JP22227891 A JP 22227891A JP 22227891 A JP22227891 A JP 22227891A JP H0547804 A JPH0547804 A JP H0547804A
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- JP
- Japan
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- guide rail
- lead frame
- pulleys
- feed plate
- timing belt
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上下動するプレス装置のフィードプレートへ
リードフレームを供給する際に、リードフレームを曲げ
ずにストレスをかけること無く供給するリードフレーム
の搬送装置を提供するものである。 【構成】 プレス装置14にリードフレーム12を供給
するために、ガイドレール16の一端にフィードプレー
ト24に連結する連結機構26を設け、ガイドレール1
6に対して上下位置にそれぞれプーリ30a、b、32
a、b、44a、b、46a、b、を配置し、前記上下
のプーリ間にタイミングベルト34a、b、48a、b
を掛け渡すと共に、該タイミングベルトにガイドレール
16を係止することで、ガイドレール16を支持する上
下動ユニット18、20を、ガイドレール16に長手方
向の一端側と他端側の間に少なくとも2個配置し、各上
下動ユニット18、20のプーリ40、52間にユニッ
ト間タイミングベルト22を掛け渡したことを特徴とす
るリードフレームの搬送装置。
リードフレームを供給する際に、リードフレームを曲げ
ずにストレスをかけること無く供給するリードフレーム
の搬送装置を提供するものである。 【構成】 プレス装置14にリードフレーム12を供給
するために、ガイドレール16の一端にフィードプレー
ト24に連結する連結機構26を設け、ガイドレール1
6に対して上下位置にそれぞれプーリ30a、b、32
a、b、44a、b、46a、b、を配置し、前記上下
のプーリ間にタイミングベルト34a、b、48a、b
を掛け渡すと共に、該タイミングベルトにガイドレール
16を係止することで、ガイドレール16を支持する上
下動ユニット18、20を、ガイドレール16に長手方
向の一端側と他端側の間に少なくとも2個配置し、各上
下動ユニット18、20のプーリ40、52間にユニッ
ト間タイミングベルト22を掛け渡したことを特徴とす
るリードフレームの搬送装置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームを、上下
動しているプレス装置等の加工機に供給するためのリー
ドフレームの搬送装置に関する。
動しているプレス装置等の加工機に供給するためのリー
ドフレームの搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のリードフレームの搬送装置では、
リードフレームをガイドレール上をスライドさせてプレ
ス装置のフィードプレートまで移送している。リードフ
レームを支持するガイドレールは、上下動するフィード
プレートの最高位置と同じ高さに、ほぼ水平に固定され
た導入レール部と、該導入レール部と上下動するプレス
装置のフィードプレートとを連結する可動レール部とか
ら構成されている。可動レール部はリードフレームの搬
送方向に伸縮自在に形成され、その一端はガイドレール
の導入レール部と、また他端はプレス装置のフィードプ
レートと回動自在に軸支されている。従って、上下動す
るプレス装置と固定されたガイドレールの導入レール部
間を、可動レール部がリードフレームの搬送方向に伸縮
しながら、固定された導入レール部との連結部分を中心
に回動して連結している。上述した事より、リードフレ
ームはガイドレールの可動レール部では屈曲伸長を繰り
返している。
リードフレームをガイドレール上をスライドさせてプレ
ス装置のフィードプレートまで移送している。リードフ
レームを支持するガイドレールは、上下動するフィード
プレートの最高位置と同じ高さに、ほぼ水平に固定され
た導入レール部と、該導入レール部と上下動するプレス
装置のフィードプレートとを連結する可動レール部とか
ら構成されている。可動レール部はリードフレームの搬
送方向に伸縮自在に形成され、その一端はガイドレール
の導入レール部と、また他端はプレス装置のフィードプ
レートと回動自在に軸支されている。従って、上下動す
るプレス装置と固定されたガイドレールの導入レール部
間を、可動レール部がリードフレームの搬送方向に伸縮
しながら、固定された導入レール部との連結部分を中心
に回動して連結している。上述した事より、リードフレ
ームはガイドレールの可動レール部では屈曲伸長を繰り
返している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のリードフレームの搬送装置には次の様な課題が有
る。まず、固定されたガイドレールの導入レール部から
上下動するプレス装置のフィードプレートへ供給される
リードフレームは、ガイドレールの導入レール部にて屈
曲伸長を繰り返しているため、リードフレーム自体にス
トレスがかかり、リードフレームが損傷する場合があ
る。またガイドレールの可動レール部と伴に屈曲し、一
旦へ字状になったリードフレームがフィードプレートが
上昇し直線状になった時に、リードフレームに位置ズレ
が発生してしまい、送りミスが生じるという問題点があ
る。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、上下動するプレス装置のフィ
ードプレートへリードフレームを供給する際に、ガイド
レールをフィードプレートと連結し、同期させて上下さ
せることで、リードフレームを曲げずにストレスをかけ
ること無く供給できるリードフレームの搬送装置を提供
しようとするものである。
従来のリードフレームの搬送装置には次の様な課題が有
る。まず、固定されたガイドレールの導入レール部から
上下動するプレス装置のフィードプレートへ供給される
リードフレームは、ガイドレールの導入レール部にて屈
曲伸長を繰り返しているため、リードフレーム自体にス
トレスがかかり、リードフレームが損傷する場合があ
る。またガイドレールの可動レール部と伴に屈曲し、一
旦へ字状になったリードフレームがフィードプレートが
上昇し直線状になった時に、リードフレームに位置ズレ
が発生してしまい、送りミスが生じるという問題点があ
る。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、上下動するプレス装置のフィ
ードプレートへリードフレームを供給する際に、ガイド
レールをフィードプレートと連結し、同期させて上下さ
せることで、リードフレームを曲げずにストレスをかけ
ること無く供給できるリードフレームの搬送装置を提供
しようとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、リードフレーム
に加工を施すプレス装置にリードフレームを供給するた
めに、リードフレームを支持すると共に、プレス装置の
フィードプレートに連動して上下動可能に設けられたガ
イドレールを有するリードフレームの搬送装置におい
て、前記ガイドレールの一端に前記フィードプレートに
連結する連結機構を設け、ガイドレールに対して上下位
置にそれぞれプーリを配置し、上下のプーリ間にタイミ
ングベルトを掛け渡すと共に、該タイミングベルトに前
記ガイドレールを係止することで、ガイドレールを支持
する上下動ユニットを、ガイドレールに長手方向の一端
側と他端側の間に少なくとも2個配置し、前記各上下動
ユニットのプーリ間にユニット間タイミングベルトを掛
け渡したことを特徴とする。
するため次の構成を備える。すなわち、リードフレーム
に加工を施すプレス装置にリードフレームを供給するた
めに、リードフレームを支持すると共に、プレス装置の
フィードプレートに連動して上下動可能に設けられたガ
イドレールを有するリードフレームの搬送装置におい
て、前記ガイドレールの一端に前記フィードプレートに
連結する連結機構を設け、ガイドレールに対して上下位
置にそれぞれプーリを配置し、上下のプーリ間にタイミ
ングベルトを掛け渡すと共に、該タイミングベルトに前
記ガイドレールを係止することで、ガイドレールを支持
する上下動ユニットを、ガイドレールに長手方向の一端
側と他端側の間に少なくとも2個配置し、前記各上下動
ユニットのプーリ間にユニット間タイミングベルトを掛
け渡したことを特徴とする。
【0005】
【作用】プレス装置のフィードプレートがリードフレー
ムの加工のため下方に移動すると、一端が該フィードプ
レートに連結されたガイドレールもそれに伴って下方に
移動する。ガイドレールは上下動ユニットのタイミング
ベルトにて係止され、そのタイミングベルトはガイドレ
ールの上下位置に配置されたプーリ間に掛け渡されてい
るためガイドレールの移動はタイミングベルトの直線移
動を介して、両プーリの回転運動に変換される。その回
転運動は他の上下動ユニットへ、上下動ユニットを相互
に連携させるために掛け渡されたユニット間タイミング
ベルトを介して伝動され、他の上下動ユニットもほぼ同
時に下方へ移動する。したがって、ガイドレール全体が
フィードプレートの下方移動に連動してほぼ水平のま
ま、下方に移動する。またフィードプレートがリードフ
レームの加工のため上方に移動する場合も同様である。
これによってガイドレールからフィードプレートへ、リ
ードフレームは曲がること無く供給される。
ムの加工のため下方に移動すると、一端が該フィードプ
レートに連結されたガイドレールもそれに伴って下方に
移動する。ガイドレールは上下動ユニットのタイミング
ベルトにて係止され、そのタイミングベルトはガイドレ
ールの上下位置に配置されたプーリ間に掛け渡されてい
るためガイドレールの移動はタイミングベルトの直線移
動を介して、両プーリの回転運動に変換される。その回
転運動は他の上下動ユニットへ、上下動ユニットを相互
に連携させるために掛け渡されたユニット間タイミング
ベルトを介して伝動され、他の上下動ユニットもほぼ同
時に下方へ移動する。したがって、ガイドレール全体が
フィードプレートの下方移動に連動してほぼ水平のま
ま、下方に移動する。またフィードプレートがリードフ
レームの加工のため上方に移動する場合も同様である。
これによってガイドレールからフィードプレートへ、リ
ードフレームは曲がること無く供給される。
【0006】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームの搬送装置の全体構成を示す正面図である。図2
は、図1のA矢視図である。図3は、図1のB矢視図で
ある。まず、図1を用いて構成を説明する。リードフレ
ームの搬送装置10は大きく分けて、リードフレーム1
2を支持し、プレス装置14に供給するためのガイドレ
ール16と、ガイドレール16を支持するために、その
両端に設けられた第1、第2の上下動ユニット18、2
0と、第1、第2の上下動ユニット18、20間に掛け
渡されたユニット間タイミングベルト22とから構成さ
れている。
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームの搬送装置の全体構成を示す正面図である。図2
は、図1のA矢視図である。図3は、図1のB矢視図で
ある。まず、図1を用いて構成を説明する。リードフレ
ームの搬送装置10は大きく分けて、リードフレーム1
2を支持し、プレス装置14に供給するためのガイドレ
ール16と、ガイドレール16を支持するために、その
両端に設けられた第1、第2の上下動ユニット18、2
0と、第1、第2の上下動ユニット18、20間に掛け
渡されたユニット間タイミングベルト22とから構成さ
れている。
【0007】詳細にはプレス装置14は、ガイドレール
16から供給されたリードフレーム12をフィードプレ
ート24にて支持し、プレス動作によりリードフレーム
12に加工を施すものである。フィードプレート24は
プレス動作に伴って上下動を繰り返す。ガイドレール1
6は、長尺で、平行な2本のレールで形成され、その上
面にはリードフレームを支持するための溝が形成されて
いると共に、その一端にフィードプレート24と連結す
るための連結機構26を有し、リードフレーム供給装置
(図示しない)から供給されたリードフレーム12を、
ガイドレール16の下方に設けられたリードフレームの
移送装置(図示しない)により移送可能に支持してい
る。
16から供給されたリードフレーム12をフィードプレ
ート24にて支持し、プレス動作によりリードフレーム
12に加工を施すものである。フィードプレート24は
プレス動作に伴って上下動を繰り返す。ガイドレール1
6は、長尺で、平行な2本のレールで形成され、その上
面にはリードフレームを支持するための溝が形成されて
いると共に、その一端にフィードプレート24と連結す
るための連結機構26を有し、リードフレーム供給装置
(図示しない)から供給されたリードフレーム12を、
ガイドレール16の下方に設けられたリードフレームの
移送装置(図示しない)により移送可能に支持してい
る。
【0008】第1の上下動ユニット18は、断面四角形
の枠状に形成され、両端面が開口した本体28と、本体
28内部の対向する側面の内の1つの側面には、ガイド
レール16の上下に位置するように垂直に配されると共
に、回動可能に取り付けられた1対の同径なプーリ30
a、32aと、そのプーリ間に掛け渡されたタイミング
ベルト34aと、タイミングベルト34aと平行に配置
され、ガイドレール16の前後左右方向の動きを抑止す
るためのリニアガイドレール36aとが設けられてい
る。また他の側面にも同様に、1対の同径なプーリ30
b、32bと、そのプーリ間に掛け渡されたタイミング
ベルト34bと、タイミングベルト34bと平行に配置
され、ガイドレール16の前後左右方向の動きを抑止す
るためのリニアガイドレール36bとが設けられてい
る。各側面のプーリ、リニアガイドは向かい合って同じ
位置に配置されている。そのうちガイドレール16の下
に位置する2つのプーリ32a、32bは、同一のシャ
フト38にて連結され、更にそのシャフト38の一端は
本体28の外面に突出し、その先端にはプーリ40が固
着されている。第1の上下動ユニット18は、ガイドレ
ール16のプレス装置14寄りの一端側に、ガイドレー
ル16が本体28内部を貫通するように配置され、ガイ
ドレール16の両側面をタイミングベルト34a、34
bによって係止することで、支持すると共に、リニアガ
イドレール36a、36bによって上下方向に摺動可能
に挟持している。
の枠状に形成され、両端面が開口した本体28と、本体
28内部の対向する側面の内の1つの側面には、ガイド
レール16の上下に位置するように垂直に配されると共
に、回動可能に取り付けられた1対の同径なプーリ30
a、32aと、そのプーリ間に掛け渡されたタイミング
ベルト34aと、タイミングベルト34aと平行に配置
され、ガイドレール16の前後左右方向の動きを抑止す
るためのリニアガイドレール36aとが設けられてい
る。また他の側面にも同様に、1対の同径なプーリ30
b、32bと、そのプーリ間に掛け渡されたタイミング
ベルト34bと、タイミングベルト34bと平行に配置
され、ガイドレール16の前後左右方向の動きを抑止す
るためのリニアガイドレール36bとが設けられてい
る。各側面のプーリ、リニアガイドは向かい合って同じ
位置に配置されている。そのうちガイドレール16の下
に位置する2つのプーリ32a、32bは、同一のシャ
フト38にて連結され、更にそのシャフト38の一端は
本体28の外面に突出し、その先端にはプーリ40が固
着されている。第1の上下動ユニット18は、ガイドレ
ール16のプレス装置14寄りの一端側に、ガイドレー
ル16が本体28内部を貫通するように配置され、ガイ
ドレール16の両側面をタイミングベルト34a、34
bによって係止することで、支持すると共に、リニアガ
イドレール36a、36bによって上下方向に摺動可能
に挟持している。
【0009】第2の上下動ユニット20は、第1の上下
動ユニット18と同様に、本体42と、2対のプーリ4
4a、46a、44b、46bと、タイミングベルト4
8a、48bと、リニアガイドレール50a,50b
と、シャフト52と、プーリ54とで構成されると共
に、ガイドレール16の他端側を同様にタイミングベル
ト48a、48bにて係止し、リニアガイドレール50
a,50bにて上下方向に摺動可能に挟持している。ユ
ニット間タイミングベルト22は、第1、第2の上下動
ユニット18、20の各プーリ40、54間に掛け渡さ
れており、両上下動ユニットを連携して動作させる。
動ユニット18と同様に、本体42と、2対のプーリ4
4a、46a、44b、46bと、タイミングベルト4
8a、48bと、リニアガイドレール50a,50b
と、シャフト52と、プーリ54とで構成されると共
に、ガイドレール16の他端側を同様にタイミングベル
ト48a、48bにて係止し、リニアガイドレール50
a,50bにて上下方向に摺動可能に挟持している。ユ
ニット間タイミングベルト22は、第1、第2の上下動
ユニット18、20の各プーリ40、54間に掛け渡さ
れており、両上下動ユニットを連携して動作させる。
【0010】次に、動作について説明する。まず、リー
ドフレームの供給装置によって、次々にガイドレール1
6上に置かれたリードフレーム12は、リードフレーム
の移送装置によってガイドレール16上を、プレス装置
14の加工動作に同期してプレス装置14の方向へ移送
されている。プレス装置14内のフィードプレート24
は、プレス装置14の加工動作に伴って上下動を繰り返
している。連結機構26にて、フィードプレート24に
連結された第1の上下動ユニット18のガイドレール1
6の一端も、それに伴って上下に移動する。ガイドレー
ル16の一端の両側面は、プーリ間に掛け渡されたタイ
ミングベルト34a、34bにて係止されているため、
その上下動は対に形成されたプーリ30a、32aおよ
び30b、32bの回転運動に変換される。またプ−リ
32aと32bが回転するとシャフト38も回転し、シ
ャフト38に固着されたプーリ40も回転する。プーリ
40の回転はユニット間タイミングベルト22によっ
て、第2の上下動ユニット20のプーリ54に伝動さ
れ、プーリ54が回転すると共に、同じシャフト52を
有するプーリ46a、46bが回転する。これによって
回動自在に取り付けられたプーリ(44a、46aと4
4b、46b)間に掛け渡されたタイミングベルト48
a、48bが上下に移動し、両タイミングベルト48
a、48bに係止されたガイドレール16の他端も上下
に移動する。
ドフレームの供給装置によって、次々にガイドレール1
6上に置かれたリードフレーム12は、リードフレーム
の移送装置によってガイドレール16上を、プレス装置
14の加工動作に同期してプレス装置14の方向へ移送
されている。プレス装置14内のフィードプレート24
は、プレス装置14の加工動作に伴って上下動を繰り返
している。連結機構26にて、フィードプレート24に
連結された第1の上下動ユニット18のガイドレール1
6の一端も、それに伴って上下に移動する。ガイドレー
ル16の一端の両側面は、プーリ間に掛け渡されたタイ
ミングベルト34a、34bにて係止されているため、
その上下動は対に形成されたプーリ30a、32aおよ
び30b、32bの回転運動に変換される。またプ−リ
32aと32bが回転するとシャフト38も回転し、シ
ャフト38に固着されたプーリ40も回転する。プーリ
40の回転はユニット間タイミングベルト22によっ
て、第2の上下動ユニット20のプーリ54に伝動さ
れ、プーリ54が回転すると共に、同じシャフト52を
有するプーリ46a、46bが回転する。これによって
回動自在に取り付けられたプーリ(44a、46aと4
4b、46b)間に掛け渡されたタイミングベルト48
a、48bが上下に移動し、両タイミングベルト48
a、48bに係止されたガイドレール16の他端も上下
に移動する。
【0011】プーリ30a、32a、30b、32b
と、プーリ44a、46a、44b、46bが、さらに
2つのプーリ40と54が同径に形成されているため、
第1の上下動ユニット18に係止されたガイドレール1
6の一端と、第2の上下動ユニット20に係止されたガ
イドレール16の他端とはタイミングベルトの1ピッチ
分の誤差範囲内で同じ距離移動する。従って、ガイドレ
ールはフィードプレートの上下動に同期してほぼ水平に
移動することができ、リードフレームをフィードプレー
トにほぼ水平のまま供給できる。またガイドレールはリ
ニアガイドにて挟持されているため、上下動の際の前後
左右の動きが防止でき、安定してリードフレームを搬送
できる。以上、リードフレームの搬送装置として好適な
実施例を上げて説明したが、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、前記枠体の両側面にプーリとタイ
ミングベルトをそれぞれ設ける代わりに、1つの側面の
みに設けても良し、また同様にリニアガイドも両側面に
設ける代わりに、1つの側面のみに設けても良い等、発
明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのは
もちろんである。
と、プーリ44a、46a、44b、46bが、さらに
2つのプーリ40と54が同径に形成されているため、
第1の上下動ユニット18に係止されたガイドレール1
6の一端と、第2の上下動ユニット20に係止されたガ
イドレール16の他端とはタイミングベルトの1ピッチ
分の誤差範囲内で同じ距離移動する。従って、ガイドレ
ールはフィードプレートの上下動に同期してほぼ水平に
移動することができ、リードフレームをフィードプレー
トにほぼ水平のまま供給できる。またガイドレールはリ
ニアガイドにて挟持されているため、上下動の際の前後
左右の動きが防止でき、安定してリードフレームを搬送
できる。以上、リードフレームの搬送装置として好適な
実施例を上げて説明したが、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、前記枠体の両側面にプーリとタイ
ミングベルトをそれぞれ設ける代わりに、1つの側面の
みに設けても良し、また同様にリニアガイドも両側面に
設ける代わりに、1つの側面のみに設けても良い等、発
明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのは
もちろんである。
【0012】
【発明の効果】本発明に係るリードフレームの搬送装置
によれば、リードフレームに加工を施すために上下動を
繰り返しているプレス装置と同期して、ガイドレール全
体がほぼ水平に上下動しているため、リードフレームも
ほぼ水平のままの状態で供給でき、リードフレームに不
要なストレスを加えることがなく、また送りミスも発生
しないので製品の不良の発生を防止でき、作業効率が上
がる。またガイドレールの一端をプレス装置内部のフィ
ードプレートと連結することで、ガイドレールを上下に
動かしているため、容易にプレス装置の上下動作に同期
させることができると共に、特別な駆動装置を用意する
必要はない等の著効を奏する。
によれば、リードフレームに加工を施すために上下動を
繰り返しているプレス装置と同期して、ガイドレール全
体がほぼ水平に上下動しているため、リードフレームも
ほぼ水平のままの状態で供給でき、リードフレームに不
要なストレスを加えることがなく、また送りミスも発生
しないので製品の不良の発生を防止でき、作業効率が上
がる。またガイドレールの一端をプレス装置内部のフィ
ードプレートと連結することで、ガイドレールを上下に
動かしているため、容易にプレス装置の上下動作に同期
させることができると共に、特別な駆動装置を用意する
必要はない等の著効を奏する。
【図1】リードフレームの搬送装置の全体構成を示す正
面図である。
面図である。
【図2】リードフレームの搬送装置のA矢視図である。
【図3】リードフレームの搬送装置のB矢視図である。
12 リードフレーム 14 プレス装置 16 ガイドレール 18、20 上下動ユニット 22 ユニット間タイミングベルト 24 フィードプレート 26 連結機構 30a、32a、30b、32b、40、44a、46
a、44b、46b、52 プーリ 34a、34b、48a、48b タイミングベルト
a、44b、46b、52 プーリ 34a、34b、48a、48b タイミングベルト
Claims (1)
- 【請求項1】 リードフレームに加工を施すプレス装置
にリードフレームを供給するために、リードフレームを
支持すると共に、プレス装置のフィードプレートに連動
して上下動可能に設けられたガイドレールを有するリー
ドフレームの搬送装置において、 前記ガイドレールの一端に前記フィードプレートに連結
する連結機構を設け、ガイドレールに対して上下位置に
それぞれプーリを配置し、上下のプーリ間にタイミング
ベルトを掛け渡すと共に、該タイミングベルトに前記ガ
イドレールを係止することで、ガイドレールを支持する
上下動ユニットを、ガイドレールに長手方向の一端側と
他端側の間に少なくとも2個配置し、前記各上下動ユニ
ットのプーリ間にユニット間タイミングベルトを掛け渡
したことを特徴とするリードフレームの搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22227891A JPH0547804A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | リードフレームの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22227891A JPH0547804A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | リードフレームの搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0547804A true JPH0547804A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16779872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22227891A Pending JPH0547804A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | リードフレームの搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0547804A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180005848A (ko) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 세메스 주식회사 | 기판 반송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP22227891A patent/JPH0547804A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180005848A (ko) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 세메스 주식회사 | 기판 반송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
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