KR20160027716A - 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상의 기판들이 일정한 간격을 유지하면서 이동되도록 할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판 이송장치는, 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와; 상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되, 상기 제2이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와; 상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와; 상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송장치 { Substrate Transfer Apparatus }
본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상의 기판들이 일정한 간격을 유지하면서 이동되도록 할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
반도체용 기판, LCD, 태양전지 등의 기판을 제조하기 위해, 일반적으로 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판 처리 공정들이 수행된다.
이러한 공정들을 수행하기 위해서는 상기 기판들을 각 공정으로 일정한 간격을 유지시키면 이동시켜야 한다.
종래에는 기판들을 이동시키기 위해 일반적인 벨트타입의 컨베이어를 이용하였다.
그러나, 이러한 컨베이어는 단순히 상부에 놓인 기판들을 이동시키는 기능만 가지고 있어, 컨베이어의 상부로 투입되는 기판들의 간격이 일정하지 못하게 되는 경우가 발생된다.
이로 인해, 컨베이어의 상부에 놓인 기판을 다른 곳으로 옮기는 픽업장치가 일정한 간격으로 놓이지 않은 기판들을 옮기기가 곤란한 문제가 발생 되었다.
대한민국 공개특허 제10-2010-0040037호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 다수개의 기판들을 일정한 간격을 유지시키면서 이동시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 이송장치는, 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와; 상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되, 상기 제2이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와; 상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와; 상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2이송부재는, 상기 제2벨트의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판의 양측을 가이드하는 가이드부재를 더 포함하여 이루어진다.
상기 가이드부재는 상기 제2벨트의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착된다.
상기 걸림돌기의 돌출길이는 상기 기판의 두께보다 크다.
상기 걸림돌기는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성된다.
상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 공급한다.
상기 카세트와 상기 제2이송부재 사이에 배치되어 상기 카세트에서 공급된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 이송시키는 제1이송부재를 더 포함하여 이루어진다.
상기 제1이송부재는, 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 상기 제2벨트로 이송시키는 제1벨트와; 상기 제1벨트를 회전시키는 제1구동부를 포함하여 이루어지고, 상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제1벨트의 일단의 상면으로 하강시키며, 상기 제1벨트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지된다.
상기 제1이송부재는, 상기 제1벨트를 상기 카세트 방향으로 직선이동시키는 벨트이동부를 더 포함하여 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 이송장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
상기 제2벨트에 형성된 상기 걸림돌기에 의해 다수개의 상기 기판이 항상 일정한 간격을 유지하면서 일방향으로 이동되도록 할 수 있어, 픽업장치가 기판을 일정한 시간간격으로 옮기기가 용이한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 측면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 평면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 카세트와 제1이송부재의 작동과정도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 제1이송부재와 제2이송부재의 작동과정도,
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 측면도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 평면도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 카세트와 제1이송부재의 작동과정도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에서 제1이송부재와 제2이송부재의 작동과정도이다.
본 발명의 기판 이송장치는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 카세트(10)와, 제1이송부재(20)와, 제2이송부재(30)를 포함하여 이루어진다.
상기 카세트(10)는 내부에 다수개의 기판(40; 웨이퍼, 실리콘기판 등)이 삽입 배치되고, 상하방향으로 적층 된다.
이러한 상기 카세트(10)는 중심 안쪽에 상하방향 및 전방으로 개방된 배출공(11)이 형성되어 있으며, 따라서 상기 카세트(10)는 상기 기판(40)의 테두리부분을 지지한다.
상기 카세트(10)는 상하방향으로 승강 가능하게 설치된다.
이를 위해 프레임(17)의 안쪽에 상기 카세트(10)가 배치되고, 상부에 위치한 승강실린더(15) 등을 이용하여 상기 카세트(10)를 상하방향으로 이동시키도록 한다.
상기 제1이송부재(20)는 상기 카세트(10)와 상기 제2이송부재(30) 사이에 배치되어 상기 카세트(10)에서 공급된 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)로 이송시키는 역할을 한다.
상기 제1이송부재(20)는 제1벨트(21)와, 제1구동부(22)와, 벨트이동부(23)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1벨트(21)는 무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 상기 카세트(10)로부터 배출된 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)로 이송시킨다.
이러한 상기 제1벨트(21)는 일단이 상기 카세트(10)에 인접하게 배치되고 타단이 상기 제2이송부재(30)에 인접하게 배치된다.
보다 구체적으로 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 카세트(10)의 배출공(11)에 삽입되어, 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 상기 기판(40)의 하부에 면접촉하여 상기 카세트(10)로부터 기판(40)을 이송시킨다.
상기 제1구동부(22)는 모터 등으로 이루어져 상기 제1벨트(21)를 회전시킨다.
상기 벨트이동부(23)는 상기 제1벨트(21)를 상기 카세트(10) 방향으로 직선이동시킨다.
이때, 상기 벨트이동부(23)는 상기 제1벨트(21)의 전체가 아닌 상기 제1벨트(21)의 일단만을 상기 카세트(10) 방향으로 직선이동시키도록 함이 바람직하다.
이를 위해 상기 벨트이동부(23)는 실린더와 같이 상기 카세트(10) 방향으로 신축되는 구조로 이루어지도록 한다.
그리고, 상기 제1이송부재(20)는, 상기 벨트이동부(23)의 이동에 의해 상기 제1벨트(21)의 장력이 변경되는 것을 방지하기 위해 장력조절부재(미도시)를 더 포함하여 이루어지도록 한다.
상기 장력조절부재는 일정한 길이를 갖는 상기 제1벨트(21)가 상기 카세트(10) 방향으로 이동됨에 따라, 상기 제1벨트(21)의 이동경로를 변경하여 상기 제1벨트(21)가 항상 동일한 장력을 유지하도록 할 수 있으며, 이러한 장력조절부재는 종래의 공지된 부품을 사용하면 충분한바, 이에 대한 더 자세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 카세트(10)는 상술한 바와 같이 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판(40)을 상기 제1벨트(21)의 일단의 상면으로 하강시키고, 상기 제1벨트(21)는 상부에 놓인 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30) 방향으로 이동시킨다.
상기 제2이송부재(30)는 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 기판(40)을 일방향으로 이송시키는 역할을 한다.
보다 구체적으로 상기 제2이송부재(30)는 상기 카세트(10)에서 상기 제1이송부재(20)로 이송된 기판(40)을 상기 제1이송부재(20)부터 전달받아 일방향으로 이송시킨다.
상기 제2이송부재(30)는 제2벨트(31)와 걸림돌기(32)와 제2구동부(33)와 가이드부재(34) 등을 포함하여 이루어진다.
상기 제2벨트(31)는 무한궤도 형상으로 이루어지고, 상면에 놓인 상기 기판(40)을 일방향 즉 상기 카세트(10)의 반대방향으로 이동시킨다.
상기 걸림돌기(32)는 다수개로 이루어져 상기 제2벨트(31)의 상면에 상호 이격되어 돌출 형성된다.
이때, 상호 이격된 다수개의 상기 걸림돌기(32)는 일정한 간격으로 이격되도록 한다.
이러한 상기 걸림돌기(32)는 상기 제1벨트(21)에서 상기 제2벨트(31)로 공급된 상기 기판(40)이 상기 걸림돌기(32)에 접하여 상기 제2벨트(31)에 대한 상기 기판(40)의 상대적 이동이 저지되도록 하여, 상기 제2벨트(31)에 놓인 상기 기판(40)의 간격이 항상 일정하게 유지되도록 한다.
그리고 상기 걸림돌기(32)의 돌출길이는 상기 기판(40)의 두께보다 크도록 한다.
또한, 상기 걸림돌기(32)는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성되어, 상기 제2이송부재(30)에 놓인 기판(40)을 다른 곳으로 옮기는 별도의 픽업장치가 상기 기판(40)을 흡착하여 상기 제2벨트(31)의 수직방향으로 용이하게 들 수 있도록 한다.
상기 걸림돌기(32)는 상기 제2벨트(31)에 일체로 형성될 수도 있고, 별개로 형성되어 레이저 또는 본딩을 통해 결합될 수도 있다.
상기 제2구동부(33)는 모터로 이루어져 상기 제2벨트(31)를 회전시킨다.
상기 가이드부재(34)는 상기 제2벨트(31)의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트(31)에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판(40)의 양측을 가이드 한다.
이러한 상기 가이드부재(34)는 상기 제2벨트(31)의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착되어 이송된 다수개의 기판(40)이 동일한 라인을 따라 이동될 수 있도록 한다.
경우에 따라 본 발명은 상기 제1이송부재(20)없이 상기 카세트(10)에 삽입된 상기 기판(40)을 상기 제2이송부재(30)에 곧바로 공급할 수도 있다.
이때, 상기 제2이송부재(30)의 일단은 상기 카세트(10)에 인접하게 배치되도록 한다.
이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.
도 4(a)에 도시된 바와 같이 상기 카세트(10)를 수평방향으로 이동시켜 상기 제1벨트(21)의 일단에 인접하게 배치한다.
이때, 상기 카세트(10)가 수평방향으로 용이하게 이동되도록 하기 위해 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 제2이송부재(30) 방향으로 이동되어 있도록 한다.
따라서, 상기 제1벨트(21)의 일단은 상기 카세트(10)의 배출공(11)에 삽입된 상태가 아니다.
그 후 도 4(b)에 도시된 바와 같이, 상기 벨트이동부(23)를 이용하여 상기 제1벨트(21)의 일단이 상기 카세트(10)의 배출공(11)의 하부에 배치되도록 한다.
이러한 상태에서 도 4(c)에 도시된 바와 같이 상기 카세트(10)가 하강함에 따라 상기 카세트(10)에 삽입 배치된 상기 기판(40)은 상기 제1벨트(21)의 상면에 접하게 된다.
이때, 상기 제1벨트(21)는 회전하고 있기 때문에, 상기 기판(40)은 회전하는 상기 제1벨트(21)의 상면에 접하면서 상기 카세트(10)의 반대방향으로 이송된다.
상기 카세트(10)에서 상기 제1이송부재(20)로 이동된 상기 기판(40)은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2이송부재(30)로 이동된다.
도 5(a)에 도시된 바와 같이 상기 제1벨트(21)에서 일방향으로 이동중인 기판(40)은 상기 제2벨트(31)로 옮겨지게 된다.
이때, 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(31)의 속도차가 있을 수 있는데, 특히 상기 제1벨트(21)의 이동속도가 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 빠른 경우 상기 제1벨트(21)에 놓인 상기 기판(40)은 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 빨리 일방향으로 이동하게 된다.
이 경우, 상기 기판(40)은 도 5(b)에 도시된 바와 같이 상기 걸림돌기(32)에 접하여 상기 제2벨트(31)에 대한 상기 기판(40)의 상대적 이동이 저지되고, 상기 걸림돌기(32) 사이에서 상기 제2벨트(31)에 놓인 상태로 이동할 수 있게 된다.
또한, 상기 제1벨트(21) 및 제2벨트(31)가 속도가 동일하거나 상기 제1벨트(21)의 이동속도가 상기 제2벨트(31)의 이동속도보다 느린 경우에도, 상기 기판(40)이 상기 제2벨트(31)의 상면에서 슬립이 발생될 수 있는데, 이때 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 걸림돌기(32)에 의해 상기 기판(40)이 밀리는 것을 방지할 수 있다.
위와 같이 상기 제2벨트(31)에 형성된 상기 걸림돌기(32)에 의해 다수개의 상기 기판(40)이 항상 일정한 간격을 유지하면서 일방향으로 이동되도록 할 수 있다.
상기 제2벨트(31)의 상부에 놓인 상기 기판(40)은 별도의 픽업장치에 의해 다른 곳으로 옮겨지게 된다.
본 발명인 기판 이송장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 카세트, 11 : 배출공, 15 : 승강실린더, 17 : 프레임,
20 : 제1이송부재, 21 : 제1벨트, 22 : 제1구동부, 23 : 벨트이동부,
30 : 제2이송부재, 31 : 제2벨트, 32 : 걸림돌기, 33 : 제2구동부, 34 : 가이드부재,
40 : 기판,

Claims (8)

  1. 다수개의 기판이 삽입 배치된 카세트와;
    상기 카세트에 삽입 배치된 기판을 일방향으로 이송시키는 제2이송부재를 포함하여 이루어지되,
    상기 제2이송부재는,
    무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제2벨트와;
    상기 제2벨트의 상면에 상호 이격되어 돌출된 다수개의 걸림돌기와;
    상기 제2벨트를 회전시키는 제2구동부를 포함하여 이루어지며,
    상기 카세트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 제2이송부재는,
    상기 제2벨트의 이송방향의 양측에 배치되어 상기 제2벨트에 의해 일방향으로 이송되는 상기 기판의 양측을 가이드하는 가이드부재를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 가이드부재는 상기 제2벨트의 이송방향의 수직방향으로 이동가능하게 장착된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 청구항1에 있어서,
    상기 걸림돌기의 돌출길이는 상기 기판의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 청구항1 또는 청구항4에 있어서,
    상기 걸림돌기는 상면의 너비가 하면의 너비보다 작은 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 청구항1에 있어서,
    상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 청구항1 또는 청구항6에 있어서,
    상기 카세트와 상기 제2이송부재 사이에 배치되어 상기 카세트에서 공급된 상기 기판을 상기 제2이송부재로 이송시키는 제1이송부재를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 제1이송부재는,
    무한궤도 형상으로 이루어지고 상면에 놓인 상기 기판을 상기 제2벨트로 이송시키는 제1벨트와;
    상기 제1벨트를 회전시키는 제1구동부를 포함하여 이루어지고,
    상기 카세트는 상하방향으로 승강되어 내부에 삽입 배치된 상기 기판을 상기 제1벨트의 일단의 상면으로 하강시키며,
    상기 제1벨트에서 상기 제2벨트로 공급된 상기 기판은 상기 걸림돌기에 접하여 상기 제2벨트에 대한 상기 기판의 상대적 이동이 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  8. 청구항7에 있어서,
    상기 제1이송부재는,
    상기 제1벨트를 상기 카세트 방향으로 직선이동시키는 벨트이동부를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.


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