JP2016003146A - 脆性材料基板のブレイク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板のブレイク装置において、ブレイクに要する時間を短縮する。【解決手段】この装置は、第１方向に延びる第１スクライブラインと、第１方向と交差する第２方向に延びる第２スクライブラインと、が形成されたガラス基板Ｇを、第１及び第２スクライブラインに沿って分断するための装置である。このブレイク装置は、搬送ベルト２と、第１ブレイク機構１１と、第２ブレイク機構１２と、を備えている。搬送ベルト２は、載置面２ａを有し、載置面２ａに載置されたガラス基板Ｇを第１方向に沿って搬送する。第１ブレイク機構１１は、搬送ベルト２に載置されたガラス基板Ｇを第１スクライブラインに沿って分断する。第２ブレイク機構１２は、搬送ベルト２に載置されたガラス基板Ｇを第２スクライブラインに沿って分断する。【選択図】図１

Description

本発明は、ブレイク装置、特に、第１方向に延びる第１スクライブラインと、第１方向と交差する第２方向に延びる第２スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、第１及び第２スクライブラインに沿って分断するためのブレイク装置に関するものである。

ガラス基板等の脆性材料基板をブレイクする装置が特許文献１及び特許文献２に示されている。これらの文献に示された装置では、まず、スクライブ装置によって脆性材料基板にスクライブラインが形成される。そして、ブレイク装置によって、脆性材料基板が押圧され、スクライブラインに沿ってブレイクされる。

ブレイク装置は、表面にゴム等のクッションシートを有するテーブルと、テーブルの上方に配置されたブレイクバーと、を有している。脆性材料基板は、スクライブラインが形成された側の面を下向きにしてテーブル上に載置される。そして、ブレイクバーを脆性材料基板の上面から押圧する。これにより、脆性材料基板がクッションシート上で撓み、スクライブラインに沿ってブレイクされる。

特開２００２−１０３２９５号公報 特開２００２−１８７０９８号公報

ここで、１枚のマザー基板の表面に、互いに直交する第１方向及び第２方向のスクライブラインを形成し、その後両スクライブラインに沿って複数の単位基板にブレイクすることが広く行われている。

特許文献１及び２の装置によって以上のようなブレイクを行う場合、まず、第１方向のスクライブラインに沿って前述したような方法でブレイクを行う。このとき、テーブルはスクライブラインのピッチ毎に移動し、ブレイクバーは、スクライブラインの数だけ昇降する。その後、テーブルを９０°回転させる。そして、第２方向のスクライブラインに沿って、第１方向のブレイクと同様な方法でブレイクを行う。

以上のような従来の装置では、第１方向及び第２方向の両方のスクライブラインの数だけ１つのブレイクバーを昇降させる必要がある。また、テーブルを水平面内で回転させるための機構が必要になる。このため、スクライブラインの数が増加するのに伴ってブレイクに要する時間が長くなり、またブレイクバー及びその昇降機構の摩耗が増えて寿命が短くなる。

本発明の課題は、ブレイクに要する時間を短縮することにある。

本発明の一側面に係る脆性材料基板のブレイク装置は、第１方向に延びる第１スクライブラインと、第１方向と交差する第２方向に延びる第２スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、第１及び第２スクライブラインに沿って分断するための装置である。このブレイク装置は、搬送ベルトと、第１ブレイク機構と、第２ブレイク機構と、を備えている。搬送ベルトは、載置面を有し、載置面に載置された脆性材料基板を第１方向に沿って搬送する。第１ブレイク機構は、搬送ベルトに載置された脆性材料基板を第１スクライブラインに沿って分断する。第２ブレイク機構は、搬送ベルトに載置された脆性材料基板を第２スクライブラインに沿って分断する。

この装置では、第１及び第２スクライブラインが形成された脆性材料基板が、搬送ベルトに載置されて第１方向に搬送される。そして、第１ブレイク機構によって、脆性材料基板は第１スクライブラインに沿ってブレイクされる。また、第２ブレイク機構によって、脆性材料基板は第２スクライブラインに沿ってブレイクされる。

ここでは、第１ブレイク機構と第２ブレイク機構とによって、第１スクライブラインに沿ったブレイクと第２スクライブラインに沿ったブレイクとを並行して行うことができる。このため、ブレイクに要する時間を短縮することができる。

本発明の別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第１及び第２ブレイク機構は、脆性材料基板の搬送姿勢を同じ姿勢に維持した状態で第１及び第２スクライブラインに沿って分断する。

ここでは、従来装置における９０°回転機構が不要になる。

本発明のさら別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第１ブレイク機構は第１方向に延び昇降可能な第１ブレイクバーを有している。第２ブレイク機構は第２方向に延び昇降可能な第２ブレイクバーを有している。第１及び第２ブレイクバーは、第１及び第２スクライブラインが形成された脆性材料基板を各スクライブラインが形成された面と逆側の面から押圧力を加えて分断するものである。搬送ベルトは、載置面に載置された脆性材料基板が第１及び第２ブレイクバーにより押圧力を受けたときに弾性変形可能である。

この装置では、脆性材料基板はブレイクバーによって押圧力を受ける。具体的には、脆性材料基板のスクライブラインが形成された面と逆側の面に対して、直接に、あるいは搬送ベルトを介して、各ブレイク機構のブレイクバーが押し付けられる。ブレイクバーの押圧によって、搬送ベルトが撓み、このため脆性材料基板はスライブラインに沿ってブレイクされる。

本発明のさらに別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第１ブレイクバーは第２方向に移動可能である。

ここでは、複数の第１スクライブラインのそれぞれの位置に第２ブレイクバーが移動し、各移動位置においてブレイク処理が実行される。

本発明のさらに別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第１ブレイク機構は、第１上ブレイクバーと第１下ブレイクバーとを有している。第１上ブレイクバーは、搬送ベルトの載置面の上方に配置され第１方向に延びる。第１下ブレイクバーは、載置面の下方に配置され第１方向に延びる。第１上ブレイクバー及び第１下ブレイクバーは、昇降可能かつ第２方向に移動可能である。

そして、第１上ブレイクバーは、載置面と接触する下表面に第１スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を第１スクライブラインに沿って分断する。また、第１下ブレイクバーは、上表面に第１スクライブラインが形成された脆性材料基板に、搬送ベルトを介して押圧力を加え、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。

本発明のさらに別の側面に係る脆性材料基板のブレイク装置では、第２ブレイク機構は、第２上ブレイクバーと第２下ブレイクバートを有している。第２上ブレイクバーは、搬送ベルトの載置面の上方に配置され第２方向に延びる。第２下ブレイクバーは、載置面の下方に配置され第２方向に延びる。第２上ブレイクバー及び第２下ブレイクバーは、昇降可能である。

そして、第２上ブレイクバーは、載置面と接触する下表面に第２スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。また、第２下ブレイクバーは、上表面に第２スクライブラインが形成された脆性材料基板に、搬送ベルトを介して押圧力を加え、搬送ベルトを弾性変形させて脆性材料基板を分断する。

本発明によれば、第１方向及び第１方向と交差する第２方向にスクライブラインが形成された脆性材料基板を、短い時間でブレイクすることができる。

ブレイク装置の概略平面図 ブレイク装置の概略正面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図 第１ブレイク機構の概略側面図

図１は、本発明の一実施形態によるブレイク装置の概略平面図、図２はその正面図である。これらの図に示すように、ブレイク装置１は、脆性材料基板としてのガラス基板Ｇをスクライブラインに沿ってブレイクする装置である。

［ガラス基板Ｇ］
本実施形態では、ガラス基板Ｇは貼り合わせ基板である。すなわち、ガラス基板Ｇは、第１基板Ｇ１と第２基板Ｇ２とによって構成されている。各基板Ｇ１，Ｇ２には、ブレイク装置１における処理の前工程において、第１方向（ここでは、ブレイク装置１における基板搬送方向）に延びる複数の第１スクライブラインと、第２方向に延びる複数の第２スクライブラインが形成されている。第１方向と第２方向とは直交する方向である。すなわち、第１スクライブラインと第２スクライブラインとは直交している。

ここで、本実施形態におけるガラス基板Ｇは、第１基板Ｇ１が上側、第２基板Ｇ２が下側に配置された状態で搬送される。そして、各基板Ｇ１，Ｇ２のスクライブラインは、貼り合わせ面とは逆側の面に形成されている。すなわち、上方の第１基板Ｇ１には上側の面にスクライブラインが形成され、下方の第２基板Ｇ２には下側の面にスクライブラインが形成されている。

第１基板Ｇ１と第２基板Ｇ２との間で例えば液晶層が構成されている。また、ガラス基板Ｇは、第１基板Ｇ１と第２基板Ｇ２との間に配置されたシール部材（図示省略）を有している。このシール部材によって液晶層を囲んでいる。

［ブレイク装置１］
ブレイク装置１は、搬送ベルト２と、搬送方向上流側に配置された第１ブレイク機構１１と、第１ブレイク機構１１の搬送方向下流側に配置された第２ブレイク機構１２と、を備えている。

＜搬送ベルト２＞
搬送ベルト２は、ガラス基板Ｇが載置される載置面２ａを有している。搬送ベルト２は、可撓性を有しており、例えば、天然ゴム、合成ゴム、布、又は合成樹脂などによって形成することができる。搬送ベルト２は、弛まない程度に張力が掛かった状態で、複数の搬送ローラ３の間に架け渡されている。また、搬送ベルト２は、図２において、時計周りに回転している。すなわち、搬送ベルト２は、載置面２ａに載置されたガラス基板Ｇを、図２の左から右方向に搬送する。

＜第１ブレイク機構１１＞
第１ブレイク機構１１は、搬送ベルト２に載置されたガラス基板Ｇを第１スクライブラインに沿って分断する。第１ブレイク機構１１は、図１及び図２に示すように、第１上ブレイクバー１４と、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂと、第１下ブレイクバー１６と、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂと、第１上ガントリー１８及び第１下ガントリーと、を有している。なお、図では、第１下ガントリーは表れていない。

第１上ブレイクバー１４は、搬送ベルト２の載置面２ａの上方に配置され、第１方向（搬送方向）に延びている。第１上ブレイクバー１４は、載置面２ａ上に載置されたガラス基板Ｇを上方から押圧し、ガラス基板Ｇを第１スクライブラインＳに沿ってブレイクするための部材である。詳細には、図３等に示すように、第１上ブレイクバー１４の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。そして、第１上ブレイクバー１４は、先端部（下端部）でガラス基板Ｇを押圧する。また、第１上ブレイクバー１４は、例えば、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、昇降可能である。

１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂは、搬送ベルト２の載置面２ａの上方に配置されており、第１方向に延びている。また、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂは、第１上ブレイクバー１４を挟むように配置されている。１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂは、載置面２ａに載置されたガラス基板Ｇの表面（上面）に当接して、ガラス基板Ｇを支持するための部材である。また、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂは、例えば、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、昇降可能である。

第１上ガントリー１８は、第１上ブレイクバー１４及び１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂのさらに上方に配置され、これらの部材１４，１５ａ，１５ｂを第２方向、すなわち搬送方向と直交する方向に移動自在に支持している。

図２から明らかなように、第１下ブレイクバー１６、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂ、及び第１下ガントリー（図示せず）は、循環する搬送ベルト２によって構成された空間Ｒ内に配置されている。第１下ブレイクバー１６及び１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂは、それぞれ第１上ブレイクバー１４及び１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂに対して載置面２ａを挟んで上下対称に構成されている。第１下ブレイクバー１６、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂ、及び第１下ガントリーは、第１上ブレイクバー１４、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂ、及び第１上ガントリー１８と基本的に同じ構成である。

＜第２ブレイク機構１２＞
第２ブレイク機構１２は、搬送ベルト２に載置されたガラス基板Ｇを第２スクライブラインに沿って分断する。第２ブレイク機構１２は、第２上ブレイクバー２４と、１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂと、第２下ブレイクバー２６と、１対の第２下支持部材２７ａ，２７ｂと、第２上ガントリー２８及び第２下ガントリーと、を有している。なお、図では、第２下ガントリーは表れていない。

第２上ブレイクバー２４は、搬送ベルト２の載置面２ａの上方に配置され、第２方向（搬送方向と直交する方向）に延びている。第２上ブレイクバー２４は、載置面２ａ上に載置されたガラス基板Ｇを上方から押圧し、ガラス基板Ｇを第２スクライブラインに沿ってブレイクするための部材である。詳細には、図２に示すように、第２上ブレイクバー２４の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。そして、第２上ブレイクバー２４は、先端部（下端部）でガラス基板Ｇを押圧する。また、第２上ブレイクバー２４は、例えば、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、昇降可能である。

１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂは、搬送ベルト２の載置面２ａの上方に配置されており、第２方向に延びている。また、１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂは、第２上ブレイクバー２４を挟むように配置されている。１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂは、載置面２ａに載置されたガラス基板Ｇの表面（上面）に当接して、ガラス基板Ｇを支持するための部材である。また、１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂは、例えば、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、昇降可能である。

第２上ガントリー２８は、第２上ブレイクバー２４及び１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂのさらに上方に配置され、これらの部材２４，２５ａ，２５ｂを第１方向、すなわち搬送方向に移動自在に支持している。

第２下ブレイクバー２６、１対の第２下支持部材２７ａ，２７ｂ、及び第２下ガントリー（図示せず）は、第１下ブレイクバー１６、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂ、及び第１下ガントリーとともに、循環する搬送ベルト２によって構成された空間Ｒ内に配置されている。第２下ブレイクバー２６及び１対の第２下支持部材２７ａ，２７ｂは、それぞれ第２上ブレイクバー２４及び１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂに対して載置面２ａを挟んで上下対称に構成されている。第２下ブレイクバー２６、１対の第２下支持部材２７ａ，２７ｂ、及び第２下ガントリーは、第２上ブレイクバー２４、１対の第２上支持部材２５ａ，２５ｂ、及び第２上ガントリー２８と基本的に同じ構成である。

［動作：第１ブレイク機構１１］
まず、図１に示すように、搬送ベルト２の載置面２ａにガラス基板Ｇを載置し、搬送ベルト２によってガラス基板Ｇを搬送する。そして、ガラス基板Ｇが第１上ブレイクバー１４の真下の第１ブレイク位置に到達したとき、搬送ベルト２によるガラス基板Ｇの搬送を停止する。

＜端部以外のスクライブラインに沿ったブレイク＞
ガラス基板Ｇが第１ブレイク位置にセットされると、図３（図３以降の図面は、第１ブレイク機構１１を搬送方向に沿った方向から視ている）に示すように、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂを上方に移動させ、第１下支持部材１７ａ，１７ｂによって下方から搬送ベルト２を支持する。ここで、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂは、搬送ベルト２を介して、ガラス基板Ｇの下に位置している。

次に、図４に示すように、第１上ブレイクバー１４を下方に移動させる。これによって、第１上ブレイクバー１４はガラス基板Ｇを下方に押圧する。なお、第１上ブレイクバー１４は、第１スクライブラインＳ上を押圧する。この押圧力によって、ガラス基板Ｇは搬送ベルト２とともに撓む。この結果、下方の第２基板Ｇ２が第１スクライブラインＳに沿ってブレイクされる。

次に、第１上ブレイクバー１４及び第１下支持部材１７ａ，１７ｂを元の位置に戻した後、図５に示すように、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂを下方に移動させ、第１上支持部材１５ａ，１５ｂによって上方から搬送ベルト２を支持する。ここで、１対の第１上支持部材１５ａ，１５ｂはガラス基板Ｇの上面に当接している。

以上のようにしてガラス基板Ｇを支持した状態で、図６に示すように、第１下ブレイクバー１６を上方に移動させる。これによって、第１下ブレイクバー１６はガラス基板Ｇを、搬送ベルト２を介して上方に押圧する。この結果、ガラス基板Ｇは搬送ベルト２とともに撓み、上方の第１基板Ｇ１が第１スクライブラインＳに沿ってブレイクされる。

以上の処理を、各ブレイクバー１４，１６及び各支持部材１５ａ，１５ｂ，１７ａ，１７ｂを第２方向に移動させながら、すべてのスクライブラインについて実行する。これにより、第１方向の複数の第１スクライブラインに沿ってガラス基板Ｇをブレイクすることができる。

＜端部のスクライブラインに沿ったブレイク＞
ここで、ガラス基板Ｇの端部に形成された第１スクライブラインに沿ってブレイクを行う場合は、前述のような方法でブレイクできない場合がある。すなわち、例えば、１対の第１下支持板１７ａ，１７ｂによって、ガラス基板Ｇにおける第１スクライブラインの両側を支持できない場合がある。このような端部に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクを行う場合は、以下のような方法によって行う。

まず、図７に示すように、１対の第１下支持部材１７ａ，１７ｂを上方に移動させ、第１下支持部材１７ａ，１７ｂによって下方から搬送ベルト２を支持する。なお、一方の（基板内側の）第１下支持部材１７ａは、搬送ベルト２を介してガラス基板Ｇの下に位置しているが、他方の（基板外側の）第１下支持部材１７ｂは、搬送ベルト２を介してガラス基板Ｇの下に位置していない。

次に、図８に示すように、第１上ブレイクバー１４を下方に移動させる。これによって、第１上ブレイクバー１４はガラス基板Ｇを下方に押圧し、ガラス基板Ｇは搬送ベルト２とともに撓む。なお、第１上ブレイクバー１４は、第１スクライブラインＳ上を押圧する。この結果、第２基板Ｇ２に形成された第１スクライブラインＳに沿って第２基板Ｇ２がブレイクされる。

次に、各部材を元の位置に戻した後、上下の各ブレイクバー１４，１６及び上下の各支持部材１５ａ，１５ｂ，１７ａ，１７ｂをガラス基板Ｇのさらに端部側に移動させる。この状態を図９に示している。そして、図１０に示すように、一方の（基板内側の）第１上支持部材１５ａを下方に移動させるとともに、一方の（基板内側の）第１下支持部材１７ａを上方に移動させる。この結果、ガラス基板Ｇの内側部分は、第１上支持部材１５ａと第１下支持部材１７ａとによって挟まれて支持される。他方、ガラス基板Ｇの第１スクライブラインＳより外側の端部は、第１上支持部材１５ｂと第１下支持部材１７ｂとによって挟まれていない。なお、第１上支持部材１５ａと第１下支持部材１７ａとは、ガラス基板Ｇのみではなく搬送ベルト２も挟んでいる。

次に、図１１に示すように、第１上ブレイクバー１４を下方に移動させる。これによって、第１上ブレイクバー１４はガラス基板Ｇの端部を下方に押圧し、端部が下方に撓む。この結果、第１基板Ｇ１に形成されたスクライブラインＳに沿って第１基板Ｇ１がブレイクされる。

以上のようにして、第１ブレイク機構１１は、ガラス基板Ｇを第１スクライブラインＳに沿ってブレイクすることができる。

［動作：第２ブレイク機構１２］
次に、搬送ベルト２を駆動し、ガラス基板Ｇを第２ブレイク機構１２の第２ブレイク位置に搬送する。このとき、ガラス基板Ｇは、同じ搬送姿勢のまま搬送される。すなわち、従来装置のように９０°反転させる処理は行わない。第２ブレイク機構１２におけるブレイク処理は、スクライブラインの方向が異なるのみで、基本的な動作は第１ブレイク機構１１における動作と同じである。

なお、第２ブレイク機構１２では、ブレイクバー等の各部材を第１方向に移動させてガラス基板Ｇをブレイクするほか、ブレイクバー等の各部材の第１方向における位置を固定したまま搬送ベルト２を駆動してガラス基板Ｇを第２スクライブラインのピッチ毎に移動させてブレイク処理を実行することもできる。

［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

変形例１
（ａ）前記実施形態では、第１ブレイク機構１１が搬送方向の上流側に位置し、第２ブレイク機構１２が搬送方向の下流側に位置しているが、各機構の位置関係は特にこれに限定されない。

（ｂ）前記実施形態では、脆性材料基板として貼り合わせガラス基板を例にとって説明したが、脆性材料基板は特にこれに限定されない。

１ ブレイク装置
２ 搬送ベルト
２ａ 載置面
１１ 第１ブレイク機構
１２ 第２ブレイク機構
１４ 第１上ブレイクバー
１６ 第１下ブレイクバー
２４ 第２上ブレイクバー
２６ 第２下ブレイクバー
Ｇ ガラス基板

Claims (6)

1. 第１方向に延びる第１スクライブラインと、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第２スクライブラインと、が形成された脆性材料基板を、前記第１及び第２スクライブラインに沿って分断するためのブレイク装置であって、
   載置面を有し、前記載置面に載置された脆性材料基板を前記第１方向に沿って搬送する搬送ベルトと、
   前記搬送ベルトに載置された脆性材料基板を前記第１スクライブラインに沿って分断する第１ブレイク機構と、
   前記搬送ベルトに載置された脆性材料基板を前記第２スクライブラインに沿って分断する第２ブレイク機構と、
   を備えた脆性材料基板のブレイク装置。
2. 前記第１及び第２ブレイク機構は、脆性材料基板の搬送姿勢を同じ姿勢に維持した状態で前記第１及び第２スクライブラインに沿って分断する、請求項１に記載の脆性材料基板のブレイク装置。
3. 前記第１ブレイク機構は前記第１方向に延び昇降可能な第１ブレイクバーを有し、
   前記第２ブレイク機構は前記第２方向に延び昇降可能な第２ブレイクバーを有し、
   前記第１及び第２ブレイクバーは、前記第１及び第２スクライブラインが形成された脆性材料基板を前記各スクライブラインが形成された面と逆側の面から押圧力を加えて分断するものであり、
   前記搬送ベルトは、前記載置面に載置された脆性材料基板が前記第１及び第２ブレイクバーから押圧力を受けたときに弾性変形可能である、
   請求項１又は２に記載の脆性材料基板のブレイク装置。
4. 前記第１ブレイクバーは前記第２方向に移動可能である、請求項３に記載の脆性材料基板のブレイク装置。
5. 前記第１ブレイク機構は、前記搬送ベルトの前記載置面の上方に配置され前記第１方向に延びる第１上ブレイクバーと、前記載置面の下方に配置され前記第１方向に延びる第１下ブレイクバーと、を有し、
   前記第１上ブレイクバー及び前記第１下ブレイクバーは、昇降可能かつ前記第２方向に移動可能であり、
   前記第１上ブレイクバーは、前記載置面と接触する下表面に第１スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものであり、
   前記第１下ブレイクバーは、上表面に第１スクライブラインが形成された脆性材料基板に、前記搬送ベルトを介して押圧力を加え、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものである、
   請求項１に記載の脆性材料基板のブレイク装置。
6. 前記第２ブレイク機構は、前記搬送ベルトの前記載置面の上方に配置され前記第２方向に延びる第２上ブレイクバーと、前記載置面の下方に配置され前記第２方向に延びる第２下ブレイクバーと、を有し、
   前記第２上ブレイクバー及び前記第２下ブレイクバーは、昇降可能であり、
   前記第２上ブレイクバーは、前記載置面と接触する下表面に第２スクライブラインが形成された脆性材料基板を上方から押圧し、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものであり、
   前記第２下ブレイクバーは、上表面に第２スクライブラインが形成された脆性材料基板に、前記搬送ベルトを介して押圧力を加え、前記搬送ベルトを弾性変形させて前記脆性材料基板を分断するものである、
   請求項１又は５に記載の脆性材料基板のブレイク装置。

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