CN109928609A - 基板分割装置 - Google Patents

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Abstract

高精度地实施带式输送机上的基板的端部材料分割。基板分割装置(1)具有带式输送装置(3)、切断杆(11)、垫板(21)。带式输送装置(3)对在主体(106a、106b)与端部材料(107a、107b)之间形成刻划线(S1、S2)的基板(100)进行输送。切断杆(11)配置于带式输送装置(3)的上方，通过下降而冲击基板(100)来分割刻划线(S1、S2)。垫板(21)通过在与基板(100)对应的位置处与带式输送装置(3)的上侧输送部(3a)的下表面抵接或靠近地配置而在基板(100)的下方确保间隙(29)。

Description

基板分割装置
技术领域
本发明涉及基板分割装置，特别涉及将基板的端部材料从主体进行分割的基板分割装置。
背景技术
通常在液晶面板的制造工序中，制造作为制造单元的多个单元显示面板(单位基板)被图案化的大面积的贴合玻璃基板(母基板)，接着以每个单元显示面板为单位地对上述母基板进行分割。具体而言，使用上下一对刀轮从上下方向两面同时地对母基板实施刻划，接着通过两面同时地进行分离，从而以每个单元显示面板为单位地进行分割。在单元显示面板彼此之间设置额外的部分，这些在分割后成为端部材料。
作为端部材料的处理，已知一种使用卡盘(chuck)构件对端部材料进行抓持，并使夹钳向拉开方向移动而使端部材料落到设置在下方的端部材料收集容器的方法(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2002/057192号。
发明要解决的课题
近年来，将基板在带式输送机上进行分割。但是，认识到当对端部材料进行分割而切断杆冲击基板时，基板与皮带一起弯曲，由此刻划线的分割的精度降低。
然而，在现有技术中，没有提出用于解决这样的问题的技术。
发明内容
本发明的目的在于将带式输送机上的基板的端部材料精度良好地进行分割。
用于解决课题的方案
以下，对作为用于解决问题的方案的多种方式进行说明。这些方式能够根据需要进行任意地组合。
本发明的一个观点涉及的基板分割装置具有带式输送装置、切断杆以及垫板。
带式输送装置对在主体与端部材料之间形成有刻划线的基板进行输送。
切断杆配置于带式输送装置的上方，通过向基板施加冲击力来分割刻划线。
垫板通过在与基板对应的位置处与带式输送装置的上侧输送部的下表面抵接或靠近地配置而在基板的下方确保间隙。
在该装置中，由于通过垫板在带式输送装置的上侧输送部的下方确保了间隙，所以当切断杆向在带式输送装置上配置的基板施加冲击力时，在刻划线周边产生大的应力，其结果是，刻划线被精度良好地分割。
此外，如果与本发明不同地没有垫板，则即使切断杆下降而压下端部材料，在刻划线周边也不会产生充分大的弯曲应力，因此有可能没有将刻划线进行精度良好地分割。
垫板也可以具有与端部材料对应的端面。
在该装置中，当切断杆压下端部材料时，弯曲应力作用于刻划线。
端面也可以平行于基板的刻划线。
在该装置中，当切断杆压下端部材料时，弯曲应力均匀地作用在整个刻划线。
端面也可以从刻划线离开而形成有上述的间隙。
在该装置中，在刻划线周围产生大的应力。
基板也可以为由两张基板构成的贴合基板。也可以在对下侧的基板的刻划线进行分割时，以端面成为比刻划线靠外侧的方式配置垫板，也可以在对上侧的基板的刻划线进行分割时，以端面成为比刻划线靠内侧的方式配置垫板。
在该装置中，能够精度良好地分割贴合基板的两张基板的端部材料。
发明效果
在本发明涉及的基板分割装置中，能够精度良好地实施带式输送机上的基板的端部材料的分割。
附图说明
图1为第一实施方式涉及的基板分割装置的立体图。
图2为基板分割装置的带式输送装置的局部俯视图。
图3为基板分割装置的带式输送装置的局部立体图。
图4为垫板的立体图。
图5为示意性表示基板分割动作的剖视图。
图6为示意性表示第二实施方式涉及的基板分割装置的基板分割动作的剖视图。
具体实施方式
1.第一实施方式
(1)基板分割装置
使用图1对第一实施方式的基板分割装置1进行说明。图1为第一实施方式涉及的基板分割装置的立体图。此外，在各图中，箭头X为第一水平方向，箭头Y为第二水平方向。
基板分割装置1是通过将在前一阶段工序形成了刻划线(切槽)的基板100(图5)从该刻划线的相反侧的面按压而使基板弯曲，从而沿着刻划线来分割基板的装置。
基板分割装置1具有带式输送装置3。带式输送装置3能够将第一基板101在第二水平方向输送。带式输送装置3具有用于载置基板100的上侧输送部3a。
基板分割装置1具有在第一方向延伸的横梁(横梁)9。横梁9配置于比带式输送装置3的上侧输送部3a靠上方的位置，能够通过滑动驱动机构(图未示)沿着轨道15在第二水平方向移动。
基板分割装置1具有切断杆11。切断杆11被横梁9保持，例如沿着第一水平方向延伸很长。切断杆11配置于带式输送装置3的上方，通过下降而向基板100施加冲击力来分割刻划线。具体的是，切断杆11在与基板100的表面接触的位置处静止，在这种状态下使作为冲击构件的锤(图未示)落下至切断杆11，通过该冲击将基板100沿着刻划线切断。
如图5所示，基板100是由第一基板101和第二基板102组成的贴合玻璃。在第一基板101中，通过刻划线S1而划分主体106a和端部材料107a。在第二基板102中，通过刻划线S2而划分主体106b和端部材料107b。刻划线S1和刻划线S2在俯视时一致。
基板分割装置1具有垫板21。垫板21是用于使带式输送机上的基板的刻划线分割精度提高的构件。在带式输送装置3的上侧输送部3a的下方，垫板21配置于载置台27的上表面上。垫板21具有端面25a。在对应于第一基板101的端部材料107a、107b的位置中，端面25a与带式输送装置3的上侧输送部3a的下表面抵接或靠近地配置。
使用图2～图4对垫板21进行进一步详细地说明。图2为基板分割装置的带式输送装置的局部俯视图。图3为基板分割装置的带式输送装置的局部立体图。图4为垫板的立体图。
垫板21为在带式输送装置3的第一方向两侧配置的一对构件。垫板21是用于对基板的第一方向的单侧或两侧的端部材料进行分割的构件。在载置台27上，各垫板21相对于载置台27而配置在第一方向上规定范围内的任意的位置。载置台27在第二方向具有规定的宽度，在第一方向上具有长地延伸的上表面。载置台27的上表面为平面，与带式输送装置3的上侧输送部3a的下方靠近地配置。
垫板21具有第一部分23、和形成于第一部分23的第一方向内侧的第二部分25。第二部分25具有所述的端面25a。端面25a朝向彼此相向的一侧(第一方向的内侧)。端面25a在第二水平方向直线状地延伸。第二部分25还具有向第二方向两侧延伸的一对细的延长部25b。也就是说，端面25a的第二方向两侧部分的第一方向外侧的板部构件成为切口的形状。由此，能够使垫板21轻量化，进而能够降低材料费。
进而，第二部分25在延长部25b的前端具有折弯部25c。折弯部25c从延长部25b前端延伸到下方。折弯部25c抵接或靠近于载置台27的第二方向端面。由此，垫板21相对于载置台27的朝向第二方向的移动被限制。
基板分割装置1也可以具有使基板21在图1的位置和其他的位置之间移动的移动机构。
(2)基板分割动作
使用图5对下侧的基板的刻划线进行分割的基板分割动作进行说明。图5为示意性表示基板分割动作的剖视图。
在图5中，在基板100中，刻划线S1、S2在第二方向延伸，也就是说，端部材料107a和107b配置于第一方向外侧。进而，第一基板101配置于下侧。
垫板21的端面25a以与端部材料107a、107b对应的方式、更具体的是成为比刻划线S1靠第一方向外侧的方式被配置。换句话说，端面25a从刻划线S1起在第一方向外侧隔离地配置。以上的结果为，在上侧输送部3a的下方确保间隙29。具体的是，间隙29在主体106a、106b的下方以及端部材料107a、107b的下方的一部分形成。
如图5所示，当切断杆11压下基板100的端部材料107a、107b或其附近时，弯曲应力作用于刻划线S1。因此，刻划线S1被精度良好地分割。此外，切断杆11按压的位置也可以与刻划线S1、S2一致，也可以从该处起在第一方向上偏离。
特别地，由于端面25a与基板100的刻划线S1平行，当切断杆11压下端部材料107a、107b时，弯曲应力均匀地作用在整个刻划线S1。
2.第二实施方式
使用图6，对上侧的基板的刻划线进行分割的实施方式进行说明。图6为示意性表示第二实施方式涉及的基板分割装置的基板分割动作的剖视图。
在图6中，在基板100中，刻划线S1、S2在第二方向延伸，也就是说，端部材料107a和107b配置于第一方向外侧。进而，第一基板101配置于下侧。
垫板21的端面25a以比刻划线S2靠第一方向内侧的方式被配置。换句话说，端面25a从刻划线S2起在第一方向内侧隔离地配置。以上的结果为，在上侧输送部3a的下方确保间隙29。具体的是，间隙29在主体106a、106b的下方的一部分和端部材料107a、107b的下方形成。
如图5所示，当切断杆11压下基板100的端部材料107a、107b或其附近时，弯曲应力作用于刻划线S2。因此，刻划线S2被精度良好地分割。此外，切断杆11按压的位置优选为比刻划线S1、S2靠第一方向外侧，也就是说为端部材料107a、107b。
特别地，由于端面25a与基板100的刻划线S1平行，因此当切断杆11压下端部材料107a、107b时，弯曲应力均匀地作用在整个刻划线S1。
3.其他的实施方式
以上，虽然对本发明的多个实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够有多种改变。特别地，本说明书中描述的多个实施方式以及变形例能够根据需要进行任意地组合。
(1)垫板的变形例
垫板的平面形状、截面形状、厚度等不限定于第一实施方式和第二实施方式。
垫板也可以在第一水平方向延伸的方式配置，并用于去除在基板的第二水平方向单侧或两侧的端部材料。
(2)基板的变形例
在将两张脆性材料基板贴合而成的贴合脆性材料基板中，包含将玻璃基板贴合而成的液晶面板、等离子显示面板、有机EL显示面板等的平面显示面板、和将硅基板、蓝宝石基板等贴合在玻璃基板而成的半导体基板。
基板的种类没有特别地限定。基板包含单板的玻璃、半导体晶片、陶瓷基板。
(3)刻划线的变形例
刻划线的形状没有限定。在所述实施方式中，虽然刻划线为直线，但是也可以是一部分或全部具有曲线。
产业上的利用的可能性
本发明能够广泛适用于将基板的端部材料从主体分割的基板分割装置。
附图标记说明
1：基板分割装置；
3：带式输送装置；
3a：上侧输送部；
11：切断杆；
21：垫板；
23：第一部分；
25：第二部分；
25a：端面；
25b：延长部；
25c：折弯部；
27：载置台；
29：间隙；
100：基板；
101：第一基板；
102：第二基板；
106a：主体；
106b：主体；
107a：端部材料；
107b：端部材料；
S1：刻划线；
S2：刻划线。

Claims (6)

1.一种基板分割装置，具有：
带式输送装置，其对在主体与端部材料之间形成有刻划线的基板进行输送；
切断杆，其配置于所述带式输送装置的上方，用于通过向所述基板施加冲击力来分割所述刻划线；以及
垫板，其通过在与所述基板对应的位置处与所述带式输送装置的上侧输送部的下表面抵接或靠近地配置而在所述基板的下方确保间隙。
2.根据权利要求1所述的基板分割装置，其中，
所述垫板具有与所述端部材料对应的端面。
3.根据权利要求2所述的基板分割装置，其中，
所述端面平行于所述基板的所述刻划线。
4.根据权利要求2或3所述的基板分割装置，其中，
所述端面从所述刻划线离开而形成有所述间隙。
5.根据权利要求2或3所述的基板分割装置，其中，
所述基板为由两张基板构成的贴合基板，
在对下侧的基板的刻划线进行分割时，以所述端面成为比所述刻划线靠外侧的方式配置所述垫板，
在对上侧的基板的刻划线进行分割时，以所述端面成为比所述刻划线靠内侧的方式配置所述垫板。
6.根据权利要求4所述的基板分割装置，其中，
所述基板为由两张基板构成的贴合基板，
在对下侧的基板的刻划线进行分割时，以所述端面成为比所述刻划线靠外侧的方式配置所述垫板，
在对上侧的基板的刻划线进行分割时，以所述端面成为比所述刻划线靠内侧的方式配置所述垫板。
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