KR20190072428A - 픽업 장치 - Google Patents

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KR20190072428A
KR20190072428A KR1020180158106A KR20180158106A KR20190072428A KR 20190072428 A KR20190072428 A KR 20190072428A KR 1020180158106 A KR1020180158106 A KR 1020180158106A KR 20180158106 A KR20180158106 A KR 20180158106A KR 20190072428 A KR20190072428 A KR 20190072428A
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KR
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belt conveyor
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scribe line
pusher bar
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KR1020180158106A
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히라미치 다니가이토
가츠요시 나카타
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 단재 제거 전용의 구동 장치를 마련하지 않고, 기판으로부터 단재를 제거한다.
[해결 수단] 픽업 장치(1)는 벨트 컨베이어 장치(3)와, 푸셔 바(11)와, 흡착 반송 장치(5)와, 깔개판(21)을 구비하고 있다. 벨트 컨베이어 장치(3)는 본체(106)와 단재(107)와의 사이에 스크라이브 라인(S)이 형성된 기판(101)을 반송한다. 푸셔 바(11)는 벨트 컨베이어 장치(3)의 상방에 배치되고, 하강하여 기판(101)에 충돌함으로써 스크라이브 라인(S)을 분단시킨다. 흡착 반송 장치(5)는 기판(101)의 본체(106)를 흡착하여 반송한다. 깔개판(21)은 기판(101)의 단재(107)에 대응하는 위치에 있어서 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)의 하면에 맞닿거나 또는 근접하게 배치됨으로써, 상측 반송부(3a)의 하방에 간극(21b)을 확보한다.

Description

픽업 장치{PICK-UP APPARATUS}
본 발명은 픽업 장치에 관한 것으로, 특히, 기판을 벨트 컨베이어로부터 픽업하는 픽업 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 패널의 제조 공정에서는, 제조 단위가 되는 복수의 단위 표시 패널(단위 기판)이 패터닝된 대면적의 접합 유리 기판(마더 기판)을 제조하고, 다음에 그것을 단위 표시 패널마다 분할한다. 구체적으로는, 상하 한 쌍의 커터 휠을 이용하여, 마더 기판에 대해서 상하 방향으로 2면 동시에 스크라이브를 행하고, 다음에 2면 동시에 분리함으로써, 단위 표시 패널마다 분할한다. 단위 표시 패널끼리의 사이에는 여분의 부분이 마련되어 있고, 이들이 분단 후에는 단재(端材)가 된다.
단재의 처리로서는, 척(chuck) 부재로 단재를 잡고, 떼어 놓을 방향으로 척를 이동시켜, 단재를 하방에 마련한 단재 집적 용기에 낙하시키는 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
특허 문헌 1: 국제 공개 제2002/057192호
근래에는, 기판을 벨트 컨베이어의 위에서 분할하는 것이 행해지고 있다. 그러나 단재를 분단하는데 있어서 브레이크 바가 기판에 충돌하면, 기판이 벨트와 함께 휘어 버리고, 그 때문에 스크라이브 라인의 분단의 정밀도가 저하되는 것을 생각할 수 있다.
그러나 종래에는, 그러한 문제를 해결하기 위한 기술은 제안되어 있지 않다.
본 발명의 목적은, 벨트 컨베이어의 위의 기판의 단재의 분단을 정밀도 좋게 행하는 것에 있다.
이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는, 필요에 따라서 임의로 조합할 수 있다.
본 발명의 일 견지에 따른 픽업 장치는, 벨트 컨베이어 장치와, 푸셔 바(pusher bar)와, 흡착 반송 장치와, 깔개판을 구비하고 있다.
벨트 컨베이어 장치는 본체와 단재와의 사이에 스크라이브 라인이 형성된 기판을 반송한다.
푸셔 바는 벨트 컨베이어 장치의 상방에 배치되고, 하강하여 기판에 충돌함으로써 스크라이브 라인을 분단한다.
흡착 반송 장치는 기판의 본체를 흡착하여 반송한다.
깔개판은 기판의 단재에 대응하는 위치에 있어서 벨트 컨베이어 장치의 상측 반송부의 하면에 맞닿거나 또는 근접하게 배치됨으로써, 상측 반송부의 하방에 간극을 확보한다.
이 장치에서는, 깔개판에 의해서 벨트 컨베이어 장치의 상측 반송부의 하방에 간극이 확보되므로, 벨트 컨베이어 장치상에 배치된 기판에 대해서 푸셔 바가 하강하여 충돌하면, 스크라이브 라인 주변에 큰 응력이 발생하고, 그 결과, 스크라이브 라인이 정밀도 좋게 분단된다.
또, 단재 분단 후에 흡착 반송 장치가 본체를 흡착하여 다른 장치로 반송할 수 있다. 이와 같이, 단재 제거 전용의 구동 장치를 마련하지 않고, 기판으로부터 단재를 제거할 수 있다.
또한, 본 발명과는 달리 깔개판이 없으면, 푸셔 바가 하강하여 단재를 눌러 내렸다고 하더라도, 스크라이브 라인 주변에는 충분히 큰 휨 응력이 발생하지 않고, 따라서 스크라이브 라인이 정밀도 좋게 분단되지 않을 가능성이 있다.
깔개판은 스크라이브 라인에 평행한 직선 모양 단면(端面)을 가지고 있어도 된다.
이 장치에서는, 푸셔 바가 단재를 눌러 내리면, 스크라이브 라인 전체에 균등하게 휨 응력이 작용한다.
흡착 반송 장치와 푸셔 바는 상하 방향으로 일체로 동작 가능하게 연결되어 있어, 푸셔 바에 의한 스크라이브 라인의 분단 동작과 흡착 반송 장치에 의한 본체의 흡착 동작은 동시에 또는 연속하여 행해져도 된다.
이 장치에서는, 스크라이브 라인의 분단과 기판의 본체의 흡착이 동시에 또는 연속하여 행해지므로, 가공 효율이 좋다.
흡착 반송 장치는 푸셔 바가 스크라이브 라인을 분단하고 그 후에 단재에 맞닿은 상태에서, 본체를 벨트 컨베이어 장치로부터 들어올려도 된다.
이 장치에서는, 기판의 본체가 단재로부터 확실히 떨어진다.
본 발명에 따른 픽업 장치에서는, 벨트 컨베이어의 위의 기판의 단재의 분단을 정밀도 좋게 행할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 픽업 장치의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
도 2는 픽업 장치의 제어 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
도 4는 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 4의 부분 확대도이다.
도 6은 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
도 7은 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
1. 제1 실시 형태
(1) 픽업 장치의 구조
도 1을 이용하여, 픽업 장치(1)의 구조를 설명한다. 도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 픽업 장치의 일 상태를 나타내는 측면도이다.
또한, 도 1에 있어서, 지면(紙面) 직교 방향이 제1 수평 방향이고, 화살표 Y가 제1 수평 방향에 직교하는 제2 수평 방향이다.
픽업 장치(1)는 기판 분단 동작과 기판 흡착 반송 동작을 행하는 장치이다.
픽업 장치(1)는 벨트 컨베이어 장치(3)를 가지고 있다. 벨트 컨베이어 장치(3)는 기판(101)을 반송하기 위한 장치이다. 구체적으로는, 벨트 컨베이어 장치(3)는 기판(101)을 제2 방향으로 반송한다. 기판(101)은 2매의 기판으로 이루어지는 접합 유리이며, 기판(101)은 본체(106)와, 단재(107)를 가지고 있다. 본체(106)와 단재(107)와의 사이에는, 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있다. 단재(107)는 본체(106)의 하측으로 파고 들어간 부분을 가지고 있다.
픽업 장치(1)는 흡착 반송 장치(5)(흡착 반송 장치의 일례)를 가지고 있다. 흡착 반송 장치(5)는 기판(101)의 본체(106)를 흡착하여 반송하는 장치이다. 흡착 반송 장치(5)는 흡착부 본체(7)와, 그 하부에 마련된 복수의 흡착반(9)을 가지고 있다. 흡착부 본체(7)는 도시하지 않은 진공 펌프 등의 부압(負壓) 발생 장치(25)(도 2)에 접속되어 있다.
흡착 반송 장치(5)는 이동 장치(27)(도 2)를 가지고 있다. 이동 장치(27)는 흡착 반송 장치(5)를 승강, 측방으로의 이동을 가능하게 한다.
픽업 장치(1)는 푸셔 바(11)를 가지고 있다. 푸셔 바(11)는 흡착부 본체(7)에 대해서 상하 방향으로 일체로 동작 가능하게 연결되어 있다. 푸셔 바(11)는 벨트 컨베이어 장치(3)의 상방에 배치되고, 하강하여 기판(101)에 충돌함으로써 스크라이브 라인을 분단시킨다. 도 1에서는, 한 쌍의 푸셔 바(11)가 도시되어 있다. 한 쌍의 푸셔 바(11)는 지면 직교 방향으로 길게 연장되어 있다.
픽업 장치(1)는 승강 장치(13)를 가지고 있다. 승강 장치(13)는 푸셔 바(11)를 흡착부 본체(7)에 대해서 승강시키는 장치이다.
픽업 장치(1)는 깔개판(21)을 가지고 있다. 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)의 하방에 있어서, 지지 부재(22)의 상면의 위에 배치되어 있다. 깔개판(21)은 기판(101)의 단재(107)에 대응하는 위치에 있어서 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)의 하면에 맞닿거나 또는 근접하게 배치된 단면(21a)을 가지고 있다. 그 때문에, 상측 반송부(3a)의 하방에 간극(21b)이 확보되어 있다.
단면(21a)은 기판(101)의 스크라이브 라인(S)에 평행한 직선 모양이다. 즉, 단면(21a)은 제1 수평 방향으로 연장되어 있다. 단면(21a)은 제2 수평 방향에 있어서 단재(107)에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 단면(21a)의 제2 방향 위치는, 스크라이브 라인(S)의 상측 부분에 일치하거나 또는 근접해 있다.
픽업 장치(1)는 깔개판(21)을 도 1의 위치와 다른 위치와의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 가지고 있어도 된다.
(2) 픽업 장치의 제어 구성
도 2를 이용하여, 픽업 장치(1)의 제어 구성을 설명한다. 도 2는 픽업 장치의 제어 구성을 나타내는 블록도이다.
픽업 장치(1)는 컨트롤러(50)를 가지고 있다.
컨트롤러(50)는 프로세서(예를 들면, CPU)와, 기억 장치(예를 들면, ROM, RAM, HDD, SSD 등)와, 각종 인터페이스(예를 들면, A/D 컨버터, D/A 컨버터, 통신 인터페이스 등)를 가지는 컴퓨터 시스템이다. 컨트롤러(50)는 기억부(기억 장치의 기억 영역의 일부 또는 전부에 대응)에 저장된 프로그램을 실행함으로써, 각종 제어 동작을 행한다.
컨트롤러(50)는 단일의 프로세서로 구성되어 있어도 되지만, 각 제어를 위해서 독립한 복수의 프로세서로 구성되어 있어도 된다.
컨트롤러(50)의 각 요소의 기능은, 일부 또는 모두가, 컨트롤러(50)를 구성하는 컴퓨터 시스템에서 실행 가능한 프로그램으로서 실현되어도 된다. 그 외, 컨트롤러(50)의 각 요소의 기능의 일부는, 커스텀 IC에 의해 구성되어 있어도 된다.
컨트롤러(50)에는 벨트 컨베이어 장치(3), 부압 발생 장치(25), 이동 장치(27), 승강 장치(13)가 배치되어 있다.
컨트롤러(50)에는, 도시하지 않지만, 기판의 크기, 형상 및 위치를 검출하는 센서, 각 장치의 상태를 검출하기 위한 센서 및 스위치, 및 정보 입력 장치가 접속되어 있다.
(3) 픽업 장치의 픽업 및 기판 분단 동작
도 3~도 8을 이용하여, 픽업 장치의 픽업 및 기판 분단 동작을 설명한다. 도 3~4, 도 6~8은 픽업 장치의 동작의 일 상태를 나타내는 측면도이다. 도 5는 도 4의 부분 확대도이다.
또한, 이하의 제어 동작은 컨트롤러(50)의 각종 장치로의 지령에 의해서 실현된다.
도 3에서는, 이동 장치(27)에 의해서, 흡착 반송 장치(5)의 흡착부 본체(7)가 하강하여, 복수의 흡착반(9)이 기판(101)의 본체(106)에 맞닿는다. 이 상태에서, 푸셔 바(11)는 기판(101)의 상방으로 떨어진 위치에 있다.
이어서, 부압 발생 장치(25)에 의해서, 복수의 흡착반(9)이 기판(101)의 본체(106)를 흡착한다.
도 4에서는, 승강 장치(13)에 의해서, 한 쌍의 푸셔 바(11)가 흡착부 본체(7)에 대한 하측 위치로 이동하여, 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)상에 배치된 기판(101)에 대해서 충돌한다. 구체적으로는, 도 5에 도시하는 것 같이, 한쪽의 푸셔 바(11)는, 단재(107)의 상면에 맞닿아서, 기판(101)을 하방으로 휘게 한다. 이 경우, 깔개판(21)에 의해서 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)의 하방에 간극(21b)이 확보되어 있으므로, 스크라이브 라인(S)이 정밀도 좋게 분단된다. 또한, 본 실시 형태와는 달리 깔개판이 없으면, 푸셔 바가 하강하여 단재를 눌러 내렸다고 하더라도, 스크라이브 라인 주변에는 충분히 큰 힘이 작용하지 않고, 따라서 스크라이브 라인이 정밀도 좋게 분단되지 않을 가능성이 있다.
또한, 단면(21a)이 스크라이브 라인(S)에 평행하므로, 푸셔 바(11)가 단재(107)를 눌러 내리면, 휨 응력이 스크라이브 라인(S) 전체에 균등하게 작용한다.
도 6에 도시하는 것 같이, 다음에, 흡착부 본체(7)가 상방으로 이동하고, 흡착반(9)이 기판(101)의 본체(106)를 벨트 컨베이어 장치(3)의 상측 반송부(3a)로부터 들어올린다. 이때, 한 쌍의 푸셔 바(11)는 기판(101)의 단재(107)를 상방으로부터 누른 채로 있다. 따라서, 본체(106)는 단재(107)로부터 확실히 잘려 떨어진다. 또, 단재(107)는 벨트 컨베이어 장치(3)의 위에 확실히 남는다.
도 7에 도시하는 것 같이, 다음에, 흡착부 본체(7)가 추가로 상방으로 이동하여, 흡착반(9)이 기판(101)의 본체(106)를 더 상승시킨다. 이때 한 쌍의 푸셔 바(11)는 흡착부 본체(7)와 함께 상승하여, 단재(107)로부터 상방으로 떨어진다.
도 8에 도시하는 것 같이, 다음에, 승강 장치(13)에 의해서, 푸셔 바(11)가 흡착부 본체(7)에 대한 상측 위치로 이동한다.
이상에서 기술한 것처럼, 단재(107)의 분단 후에, 흡착 반송 장치(5)가 기판(101)의 본체(106)를 흡착하여 다른 장치로 반송할 수 있다. 즉, 단재 제거 전용의 구동 장치를 마련하지 않고, 기판(101)로부터 단재(107)를 제거할 수 있다.
또한, 이상 기술한 것처럼, 푸셔 바(11)에 의한 스크라이브 라인(S)의 분단 동작과 흡착 반송 장치(5)에 의한 본체(106)의 흡착 동작은 동시에 또는 연속하여 행해진다. 따라서, 가공 효율이 좋다.
2. 다른 실시 형태
이상, 본 발명의 일 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것이 아니고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시 형태 및 변형예는 필요에 따라서 임의로 조합 가능하다.
(1) 깔개판의 변형예
깔개판의 평면 형상, 단면 형상, 두께 등은 제1 실시 형태로 한정되지 않는다.
(2) 픽업 장치의 변형예
흡착반의 수, 형상 및 위치, 그리고 푸셔 바의 수, 형상 및 위치는 제1 실시 형태로 한정되지 않는다.
(3) 기판의 변형예
2매의 취성 재료 기판을 접합한 접합 취성 재료 기판에는, 유리 기판을 접합한 액정 패널, 플라스마 디스플레이 패널, 유기 EL 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널과, 실리콘 기판, 사파이어 기판 등을 유리 기판에 접합한 반도체 기판이 포함된다.
기판의 종류는 특별히 한정되지 않는다. 기판은 단판(單板)의 유리, 반도체 웨이퍼, 세라믹 기판을 포함하고 있다.
(4) 스크라이브 라인의 변형예
스크라이브 라인의 형상은 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에서는 스크라이브 라인은 직선이었지만, 곡선을 일부 또는 전부에 가지고 있어도 된다.
본 발명은 기판을 벨트 컨베이어로부터 픽업하는 픽업 장치에 넓게 적용할 수 있다.
1：픽업 장치
3：벨트 컨베이어 장치
3a：상측 반송부
5：흡착 반송 장치
7：흡착부 본체
9：흡착반
11：푸셔 바
13：승강 장치
21：깔개판
21a：직선 모양 단면
21b：간극
25：부압 발생 장치
27：이동 장치
50：컨트롤러
101：기판
106：본체
107：단재
S：스크라이브 라인

Claims (5)

  1. 본체와 단재(端材)와의 사이에 스크라이브 라인이 형성된 기판을 반송하는 벨트 컨베이어 장치와,
    상기 벨트 컨베이어 장치의 상방에 배치되고, 하강하여 상기 기판에 충돌함으로써 상기 스크라이브 라인을 분단시키기 위한 푸셔 바와,
    상기 기판의 상기 본체를 흡착하여 반송하는 흡착 반송 장치와,
    상기 기판의 상기 단재에 대응하는 위치에 있어서 상기 벨트 컨베이어 장치의 상측 반송부의 하면에 맞닿거나 또는 근접하게 배치됨으로써, 상기 상측 반송부의 하방에 간극을 확보하는 깔개판을 구비한 픽업 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 깔개판은 상기 스크라이브 라인에 평행한 직선 모양 단면(端面)을 가지는 픽업 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 흡착 반송 장치와 상기 푸셔 바는 상하 방향으로 일체로 동작 가능하게 연결되어 있고, 상기 푸셔 바에 의한 상기 스크라이브 라인의 분단 동작과 상기 흡착 반송 장치에 의한 상기 본체의 흡착 동작은 동시에 또는 연속하여 행해지는 픽업 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 흡착 반송 장치는 상기 푸셔 바가 상기 스크라이브 라인을 분단하고, 그 후에 상기 단재에 맞닿은 상태에서, 상기 본체를 상기 벨트 컨베이어 장치로부터 들어올리는 픽업 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 흡착 반송 장치는 상기 푸셔 바가 상기 스크라이브 라인을 분단하고, 그 후에 상기 단재에 맞닿은 상태에서, 상기 본체를 상기 벨트 컨베이어 장치로부터 들어올리는 픽업 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002057192A1 (fr) 2001-01-17 2002-07-25 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Separateur et systeme de separation

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