JPH0751229Y2 - 基板の位置整合装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は、例えば液晶用ガラス基板等（以下単に基板
と称する）の製造工程において、当該基板の位置を正し
く整合するのに用いられる基板の位置整合装置に関する
ものである。

《従来の技術》 基板の製造に係る各種工程へ基板を供給する場合、搬送
方向に対して左右又は前後方向の位置ズレがあると、処
理装置に基板を正しく装着できず、あるいは基板収容カ
セット等に基板を正しく収容できず、対象物との衝突に
より基板を破損することがある。

かかる不都合を回避するため、基板搬送手段の基板支持
具上で基板の位置の整合が行われる。そして、この種の
位置整合装置としては、従来より例えば第４図〜第５図
に示すものがある。

それは、基板搬送ロボット101の基板支持具102の両側に
対向配置され、基板当接具102を備えた一対のプッシャ
ー111・111と、各プッシャー111を対面水平方向へ進退
自在に搭載した一対の昇降台118と、各プッシャー111を
昇降台118を介して基板支持具102の高さに位置する上昇
位置と基板支持具の下方に位置する下降位置に昇降する
昇降駆動用エアシリンダー125と、各プッシャー111の基
板当接具112を上昇位置で基板支持具102に向けて進退さ
せる進退駆動用エアシリンダー130とを具備して成り、
基板支持具102で支持した基板Ｗを一対のプッシャー111
・111でその対面方向へ位置整合するように構成されて
いる。

なお、基板搬送ロボット101は、基板Ｗを吸着保持して
移載する基板支持具102と、基板支持具102を進退操作す
る進退操作用ヘッド103と、進退操作用ヘッド103を昇降
自在かつ回転自在に支持する支軸104と、支軸104を昇降
回転する駆動手段105を具備して成り、基板搬送ベルト1
07で搬送されてきた基板Ｗを基板支持具102で受け取
り、位置整合装置110によって整合を終えた基板Ｗを方
向転換して、例えば基板収容カセット108に収容するよ
うに構成されている。

《考案が解決しようとする課題》 上記従来例では昇降駆動用エアシリンダ125の他に、プ
ッシャー111を基板支持具102に向けて水平に進退させる
駆動源として進退駆動用エアシリンダ130を必要とし、
また、当該エアシリンダ130にエアチューブ等の配管を
必要とするため、全体にその構造が複雑になり、コスト
が高くなる。

進退駆動用エアシリンダ130を省略するには、昇降駆動
用エアシリンダ125でプッシャー111を上昇させながら、
他の連動手段を介在させてプッシャー111を連動させる
ことも考えられるが、この場合にはプッシャー111の基
板当接具112が上昇しながら基板Ｗに当接するため、基
板Ｗの欠けや発塵の原因になる。

本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、 イ．プッシャーの進退駆動用エアシリンダを省略して、
構造の簡素化とコストの低減を図ること、 ロ．基板の位置整合に際して、基板の欠けや発塵を無く
すこと、 を技術課題とする。

《課題を解決するための手段》 本考案は上記課題を解決するものとして、以下のように
構成される。

即ち、基板搬送手段の基板支持具の両側に対向配置さ
れ、基板当接具と当接具支持ベースとから成る一対のプ
ッシャーと、各プッシャーを対面水平方向へ進退自在に
搭載した一対の昇降台と、各プッシャーを昇降台を介し
て基板支持具の高さに位置する上昇位置と基板支持具の
下方に位置する下降位置に昇降させる昇降駆動手段と、
各プッシャーの基板当接具を上昇位置で基板支持具に向
けて進退させる進退駆動手段とを具備して成り、基板支
持具で支持した基板を一対のプッシャーでその対面方向
へ位置整合するように構成した基板の位置整合装置にお
いて、 昇降駆動手段は、昇降ストロークより長い余剰ストロー
クを有する昇降操作ロッドと、上昇位置で昇降台の上昇
を規制するストッパーを備え、 プッシャーの進退駆動手段は、昇降操作ロッドの上端部
に設けられたコロと、コロに係合し当接具支持ベースに
固定されたカムと、プッシャーを後退側へ直接又は間接
的に付勢する付勢手段を具備して成り、昇降操作ロッド
の余剰ストロークでコロを上昇させて基板当接具の支持
ベースを進退させるように構成したことを特徴とするも
のである。

《作用》 本考案では、昇降駆動手段が昇降ストロークより長い余
剰ストロークを有する昇降操作ロッドと、上昇位置でプ
ッシャーの上昇を規制するストッパーを備え、プッシャ
ーはストッパーにより上昇位置に位置決めされる。

またプッシャーの進退駆動手段が、昇降操作ロッドの上
端部に設けられたコロと、基板当接具の支持ベースに固
定され、コロに係合するカムと、プッシャーを後退側へ
直接又は間接的に付勢する付勢手段を具備して成り、昇
降操作ロッドをさらにその余剰ストロークだけ伸長させ
ることによりコロが上昇し、付勢手段に抗してカムを前
進させ、基板当接具の支持ベースを前進させる。

つまり、プッシャーの進退駆動用エアシリンダは不要に
なり、また基板の位置整合に際して、プッシャーは上昇
し終えた位置で進退するから、基板当接具が上昇中に基
板と当接することはない。

《実施例》 以下図面に基づいて本考案の実施例を説明する。第１図
は本考案に係る位置整合装置の一実施例を示す平面図、
第２図は第１図中のII−II線矢視縦断面図、第３図は第
１図中のIII−III線矢視側面図である。

この位置整合装置10は、基板搬送ロボット１に固定具９
を介して固設されており、当該ロボット１の基板支持具
２の両側に対向配置された一対のプッシャー11と、各プ
ッシャー11を対面水平方向へ進退自在に搭載した一対の
昇降台18と、各プッシャー11を昇降台18を介して基板支
持具２の高さ（第２図の仮想線）に位置する上昇位置と
基板支持具の下方（第２図の実線）に位置する下降位置
に昇降させる昇降駆動用エアシリンダー25と、各プッシ
ャー11を上昇位置で基板支持具２に向けて進退させる進
退駆動手段30とを具備して成り、基板支持具２で支持し
た基板を一対のプッシャー11、11でその対面方向へ位置
整合するように構成されている。

なお、基板搬送ロボット１は第４図〜第５図と同様、基
板Ｗを吸着保持して移載する基板支持具２と、基板支持
具２を進退操作する進退操作用ヘッド３と、進退操作用
ヘッド３を昇降自在かつ回転自在に支持する支軸４と、
支軸４を昇降回転する駆動手段５を具備して成り、基板
支持具２を搬送方向手前（矢印Ａ）へ前進させて基板Ｗ
を受け取り、第１図の実線位置で基板の位置整合を行
い、位置整合を終えた基板Ｗを180度方向転換して、次
の工程へ搬送するように構成されている。

各プッシャー11は、離間配置した２本の基板当接具12と
当接具支持ベース13とから成り、各逆Ｌ字状に形成され
た当接具支持ベース13は前後一対のスライド軸14の先端
に固定され、スライド軸受15を介して昇降台18上に進退
自在に搭載されている。ここで、符号16はプッシャー11
を直接後退側へ付勢する付勢バネ、17はスライド軸14の
後端部に固設されたバネ止め具であり、付勢バネ16は後
述するリフト付勢バネ28と実質的に同じ機能を有する。

なお、第１図においてプッシャー11の基板当接具12が基
板搬送ロボット１の中心に対して手前側（矢印Ａ）方向
へ偏位しているが、これは当該ロボット１の基板支持具
２の搬送動作を考慮したためで、基板支持具２で支持し
た基板Ｗの中心に対応させたものであり、基板搬送装置
の形態に応じて適宜変更して実施できる。

昇降台18は第２図〜第３図に示すように、前後一対の昇
降ガイドロッド20、20の上端部に固定され、昇降用スラ
イド軸受け21を介して前記固定具９に昇降自在に設けら
れ、昇降ガイドロッド20の下端部に調節自在に固定され
たストッパー22によってその上昇位置を規定するように
構成されている。

昇降駆動用エアシリンダー25は固定金具9aを介して前記
固定具９に固定され、当該エアシリンダー25の昇降操作
ロッド26の先端部に固定したコロ支持用フランジ27の鍔
部27aとリフト付勢バネ28とで昇降台18を挟持して支持
することにより、昇降台18を上昇位置と下降位置との間
で昇降するように構成されている。

また、昇降操作ロッド26は、昇降ストロークより長い余
剰ストロークを有し、昇降台18がストッパー22で上昇位
置に規制された後、当該操作ロッド26の先端部に固定し
たコロ支持用フランジ27がリフト付勢バネ28に抗して上
昇するように構成されている。

プッシャー11の進退駆動手段30は、コロ支持用フランジ
27の上端部に軸持具29を介して設けられたコロ31と、コ
ロ31に係合するカム溝32aを有し、当接具支持ベース13
及びバネ止め具17に固定された板カム32と、プッシャー
11を後退側へ付勢する前記付勢バネ16あるいはリフト付
勢バネ18で構成され、昇降操作ロッド26の余剰ストロー
クでコロ31を上昇させ、板カム32を介して当接具支持ベ
ース13を進退させ、基板当接具12を基板Ｗに当接させて
基板Ｗを位置整合するように構成されている。

なお、上記実施例では付勢バネ16及びリフト付勢バネ18
が併用したものについて例示したが、両者は昇降操作ロ
ッド26が昇降ストローク内で伸長する限りにおいて、プ
ッシャー11を後退位置に付勢する機能が同じであり、少
なくともいずれか一方の付勢バネがあれば足りる。

第３図において符号35はプッシャー11の前進位置を調節
するための前進位置調節具であり、昇降台18上に略コ字
状のフレーム36を固定して、その先端部にコロ支持用フ
ランジ27の軸支具29の上昇位置を規制する接当具37が付
設されている。

以下、上記位置整合装置10の動作について簡単に説明す
る。

基板搬送ロボット１はあらかじめ基板支持具２で基板Ｗ
を保持し、第１図の位置で基板Ｗの吸着を解除した状態
で待機する。

この状態で昇降駆動用エアシリンダー25が作動し、昇降
操作ロッド26が伸長して昇降台18を上昇する。そして上
昇位置でストッパー22が昇降台18の上昇を規制する。

そして、昇降台18が上昇し終えた位置で引き続き昇降操
作ロッド26がリフト付勢バネ28及び他方の付勢バネ16に
抗して余剰ストロークだけ伸長する。これによりコロ31
が上昇してカムを前進させ、当接具支持ベース13を前進
させ、基板当接具12で基板Ｗを位置整合する。

基板Ｗの位置整合後、エアシリンダ25を逆動作させ、昇
降操作ロッド26を収縮させる。

そして、余剰ストロークだけ昇降操作ロッド26を収縮さ
せる際、一対のプッシャー11は付勢バネ16の付勢力及び
コロ31と板カム32を介して後退位置に向けて付勢される
ため、上昇位置で水平移動して後退位置に戻る。

さらに昇降操作ロッド26は、余剰ストローク分収縮後も
継続して収縮し、コロ支持用フランジ27の鍔部27aで昇
降台18をリフト付勢バネ28に抗して下降させ、第２図の
実線で示す下降位置に復帰させる。

次いで必要に応じて基板搬送ロボット１で基板Ｗを90度
旋回し、基板の他の方向についても同様に位置整合す
る。なお、基板Ｗを旋回する際にはあらかじめプッシャ
ー11を下降位置に退避させておく。

位置整合を終えた基板Ｗは、基板搬送ロボット１によっ
て次の工程へ向けて搬送される。

本考案は上記実施例に限るものではなく、例えば下記の
ように、 基板搬送ロボットに代えて他の基板搬送装置を用い
るもの、 ストッパーで直接昇降台の上昇位置を規制するも
の、 昇降駆動用エアシリンダーに代えて他のアクチュエ
ータを用いるもの、 進退駆動手段の板カムに代えて他の形状のカムを用
いるもの、 等多様な変形を加えて本考案を実施することができる。

《考案の効果》 以上説明したように、本考案は前記のように構成され、
作用するから次の効果を奏する。

イ．従来用いられていたプッシャーの進退駆動用エアシ
リンダは不要になり、構造の簡素化ひいてはコスト低減
を図ることができる。

ロ．また基板の位置整合に際して、プッシャーは上昇し
終えた位置で水平進退するから、基板当接具が上昇中に
基板と当接することはなく、基板の欠けや発塵を解消す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る位置整合装置の一実施例を示す平
面図、第２図は第１図中のII−II線矢視縦断面図、第３
図は第１図中のIII−III線矢視側面図、第４図は従来例
を示す平面図、第５図は基板搬送装置の側面図である。 １…基板搬送手段、２…基板支持具、10…位置整合装
置、11…プッシャー、12…基板当接具、13…当接具支持
ベース、18…昇降台、22…ストッパー、25…昇降駆動手
段、26…昇降操作ロッド、30…進退駆動手段、31…コ
ロ、32…カム、16・28…付勢手段、Ｗ…基板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板搬送手段の基板支持具の両側に対向配
   置され、基板当接具と当接具支持ベースとから成る一対
   のプッシャーと、各プッシャーを対面水平方向へ進退自
   在に搭載した一対の昇降台と、各プッシャーを昇降台を
   介して基板支持具の高さに位置する上昇位置と基板支持
   具の下方に位置する下降位置に昇降させる昇降駆動手段
   と、各プッシャーの基板当接具を上昇位置で基板支持具
   に向けて進退させる進退駆動手段とを具備して成り、基
   板支持具で支持した基板を一対のプッシャーでその対面
   方向へ位置整合するように構成した基板の位置整合装置
   において、 昇降駆動手段は、昇降ストロークより長い余剰ストロー
   クを有する昇降操作ロッドと、上昇位置で昇降台の上昇
   を規制するストッパーを備え、 プッシャーの進退駆動手段は、昇降操作ロッドの上端部
   に設けられたコロと、コロに係合し当接具支持ベースに
   固定されたカムと、プッシャーを後退側へ直接又は間接
   的に付勢する付勢手段を具備して成り、昇降操作ロッド
   の余剰ストロークでコロを上昇させて基板当接具の支持
   ベースを進退させるように構成したことを特徴とする基
   板の位置整合装置