JP2918274B2

JP2918274B2 - ペレット突き上げ装置

Info

Publication number: JP2918274B2
Application number: JP6649590A
Authority: JP
Inventors: 隆奥山; 泰雄岩城
Original assignee: SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
Current assignee: SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
Priority date: 1990-03-16
Filing date: 1990-03-16
Publication date: 1999-07-12
Anticipated expiration: 2014-07-12
Also published as: JPH03268342A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、ウェハシートに貼着されたペレットを突き
上げピンを用いて突き上げるペレット突き上げ装置に関
する。

（従来の技術）第６図に示すペレット突き上げ装置は、ペレット22が
貼着されたウェハシート21を支持部材10にて支持し、不
図示のモータにてカム２を回転させることにより突き上
げピン８を上下動させ、支持部材10上で支持されたペレ
ット22を突き上げてウェハシート21から剥離するもので
ある。なお、上記により剥離されたペレット22は、不図
示の吸着機構にて吸着されて搬送される。

（発明が解決しようとする課題）ところで、ウェハシート21に貼着されたペレット22の
剥離作業が完了すると、この使用済みのウェハシート21
は新たなウェハシート21に交換される。この交換作業
は、ウェハリング23を水平方向（ウェハシート21の面に
沿う方向）に移送することによって行なわれるが、この
移送時に、ウェハリング23やウェハシート21が支持部材
10に干渉し、ウェハシートの交換が円滑に行なえないこ
とがあった。

本発明は、ウェハシートの交換が円滑に行なえるペレ
ット突き上げ装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）請求項１に記載の本発明は、ペレットが貼着されたウ
ェハシートを支持する支持部材と、前記ペレットの突き
上げピンと、この突き上げピンを前記ウェハシートに対
して進退する方向へ移動させる駆動部とを有するペレッ
ト突き上げ装置において、前記支持部材は、前記突き上
げピンが前記ウェハシートから離れる方向へ移動する過
程において、前記突き上げピンが前記ウェハシートから
所定量移動した時点から前記突き上げピンと係合するこ
とで前記突き上げピンと一体となって移動するように構
成されることを特徴とする。

請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の本発明
において、前記支持部材は、前記突き上げピンと所定の
相対位置関係において当接する当接部を有し、前記突き
上げピンが前記ウェハシートから離れる方向へ移動する
過程において、前記突き上げピンと前記当接部とが係合
することで前記突き上げピンと一体となって移動するこ
とを特徴とする。

（作用）本発明によれば、突き上げピンによるペレットの突き
上げ動作中、支持部材は、ウェハシートを支持する固定
状態に維持される。そして、支持部材は、突き上げピン
がウェハシートから離れる方向へ移動する過程におい
て、突き上げピンがウェハシートから所定量以上移動し
た時点から突き上げピンと係合し、以後突き上げピンと
一体となって移動される。

（実施例）本発明の一実施例について、第１図乃至第５図を用い
て説明する。

第１図は本発明の実施例に係るペレット突き上げ装置
の構成を示す正面図、第２図は同じく側面図、第３図お
よび第４図はその動作図、第５図はカムの形状を示す平
面図である。

第１図および第２図において、基台１にはパルスモー
タＰが設けられ、パルスモータＰの出力軸ｓにはカム２
が装着される。また、基台１には支軸1aが突設され、支
軸1aにはレバー３が回動自在に支持される。レバー３の
一端部3aにはローラ４が支持され、このローラ４はばね
５によりカム２のカム面2aに付勢される。レバー３の他
端部3bにはＵ字形の切欠き部3cが形成されており、この
切欠き部3cは突き上げ棒６に支持されたローラ７に係合
する。突き上げ棒６は、移動テーブル13の一対のガイド
部13a、13bに上下動可能に支持されており、その上端部
に突き上げピン８を有する。移動テーブル13は、レール
12を介して基台１に上下動可能に支持され、ばね15によ
り上方に付勢されて不図示のストッパに当接される。移
動テーブル13の下端部13cには、当接部14が突き上げ棒
６と同軸配置される。また、ガイド部13a上には、支持
部材10が、その開孔部10b内に突き上げ棒６を収容して
載置される。開孔部10bの上端部には、同一円周上に配
置された複数個の吸引孔と突き上げピン８に対応して形
成された小孔とを有する支持蓋10cが装着され、この支
持蓋10cの上面はウェハシート21の支持面10aを形成す
る。

ここで、カム２の形状は、例えば第５図に示すよう
に、点ａにおいて最小半径r1を有し、点ａから徐々に半
径を増大し180°回転した点ｂにおいて最大半径r2とな
るように形成されている。そして、ローラ４の接触位置
が中間位置、すなわち点ｃにあるときに突き上げピン８
の先端部と支持面10aとの高さが略同一となるように設
定される。

次に動作について説明する。

まず、ペレット22の突き上げ動作を行う場合、ウェハ
シート21上に貼り付けられたペレット22が、支持面10a
上に位置決めされると、支持蓋10cの吸引孔によりウェ
ハシート21が吸着されるとともに不図示の制御装置から
の指令によりパルスモータＰが駆動される。このとき制
御装置は、ローラ４がカム面2a上において点ａから点ｃ
の範囲で往復移動するようにパルスモータＰを制御す
る。そして、パルスモータＰによるカム２の回動に伴
い、レバー３が揺動してレバー３に連結された突き上げ
棒６は上下動する。ここで、ローラ４が点ａにある場
合、第３図のように、突き上げピン８は支持面10aから
突出し、ローラ４が点ｃにある場合、第１図のように突
き上げピン８は、支持面10aと同一高さとなる。

次にウェハリング23を交換する場合、制御装置は、ロ
ーラ４がカム面2a上において点ｃから点ｂの範囲で移動
するようにパルスモータＰを制御する。この場合、カム
２が矢印Ａ方向に回転するにつれて突き上げ棒６は下降
し、この下降途中において突き上げ棒６の下端部6aは、
当接部14に当接する。さらに、カム２が回転すると、突
き上げ棒６の下降について移動テーブル13も突き上げ棒
６と一体となって下降する。そして、ローラ４が点ｂに
到達した時点で、第４図に示すように、支持面10aはウ
ェハシート21の支持位置Ｌよりも距離ｔ下降する。

上記実施例によれば、支持部材10は、突き上げ棒６の
下降途中において、突き上げ棒６の下端部6aが当接部14
に当接した以後、突き上げ棒６と一体となって下降させ
られることから、ウェハリング23の交換時、突き上げ棒
６を下降させさえすれば支持部材10を下降させることが
でき、ウェハリング23を水平方向（ウェハシート21の面
に沿う方向）に移送するとき、ウェハリング23やウェハ
シート21が支持部材10に干渉することがなく、円滑なウ
ェハシート21の交換が可能となる。

また、１つの駆動装置により、突き上げピン８と支持
部材10とを下降させているため、構造が簡単で、しかも
制御が容易である。

なお、上記実施例において、突き上げ棒６が一定のス
トロークで上下する場合について述べたが、カム２のカ
ム面2aにおける使用範囲を変えることで、突き上げ棒６
のストロークを変化させるようにしてもよい。

また、カム２の駆動源としてパルスモータＰを使用し
たが、所定の角度範囲内で回動できるものであれば他の
モータを用いてもよい。

また、突き上げ棒６を上下動させるためにカム２機構
を用いたが、例えば、レバー３を直接パルスモータＰに
より揺動させるものであってもよい。この場合、突き上
げ棒６の作用範囲を容易かつ、自由に設定変更すること
ができる。さらに、突き上げ棒６にラックを設け、この
ラックに噛合するピニオンを回転駆動するようにしても
よい。

また、移動テーブル13と支持部材10とが別体で形成さ
れていたが、一体成型されるものであってもよい。

［発明の効果］本発明によれば、支持部材は、突き上げピンがウェハ
シートから離れる方向へ移動する過程において、突き上
げピンがウェハシートから所定量移動した時点から突き
上げピンと係合して突き上げピンと一体となって移動さ
せられる。従って、ウェハシートを交換するときには、
突き上げピンを移動させさえすれば支持部材をウェハシ
ートから離れる方向へ移動させることができ、よって、
ウェハシートの交換が円滑に行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るペレット突き上げ装置の
構成を示す正面図、第２図は同じく側面図、第３図およ
び第４図はその動作図、第５図はカムの形状を示す平面
図、第６図は従来の装置を示す側面図である。１……基台、２……カム、３……レバー、４……ロー
ラ、５……ばね、６……突き上げ棒、７……ローラ、８
……突き上げピン、10……支持部材、10a……支持面、1
0b……開孔部、10c……支持蓋、12……レール、13……
移動テーブル、13a,13b……ガイド部、14……当接部、2
1……ウェハシート、22……ペレット。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ペレットが貼着されたウェハシートを支持
する支持部材と、前記ペレットの突き上げピンと、この
突き上げピンを前記ウェハシートに対して進退する方向
へ移動させる駆動部とを有するペレット突き上げ装置に
おいて、前記支持部材は、前記突き上げピンが前記ウェ
ハシートから離れる方向へ移動する過程において、前記
突き上げピンが前記ウェハシートから所定量移動した時
点から前記突き上げピンと係合することで前記突き上げ
ピンと一体となって移動するように構成されることを特
徴とするペレット突き上げ装置。
【請求項２】前記支持部材は、前記突き上げピンと所定
の相対位置関係において当接する当接部を有し、前記突
き上げピンが前記ウェハシートから離れる方向へ移動す
る過程において、前記突き上げピンと前記当接部とが係
合することで前記突き上げピンと一体となって移動する
ことを特徴とする請求項１に記載のペレット突き上げ装
置。