KR100922097B1 - 프로브 유닛 및 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 프로브 유닛 및 검사 장치는, 가이드 필름이 벗겨지는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 본 발명은, 검사대상판의 검사에 사용하는 프로브 유닛 및 검사 장치로서, 상기 검사대상판의 회로의 전극에 전기적으로 접촉하여 검사 신호를 인가하는 프로브 조립체와, 상기 프로브 조립체와 외부 장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 구비하고, 상기 프로브 조립체의 기단부의 침부가 접촉하는 FPC 케이블의 단자를 덮어 가이드 필름이 형성되며, 상기 가이드 필름이, 상기 FPC 케이블 단자와 같은 수만큼, 각 단자에 정합하는 위치에 각각 형성된 가이드 구멍과, FPC 플레이트의 선단측 가장자리부의 모서리부에 맞춘 위치에 형성된 절곡부를 구비한 것이다.
Figure R1020070116517
프로브 유닛, 검사 장치, 가이드 필름, FPC 케이블, FPC 플레이트

Description

프로브 유닛 및 검사 장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}
본 발명은 프로브와 FPC 케이블의 접속 부분을 개량한 프로브 유닛 및 검사 장치에 관한 것이다
액정 패널의 제조 공정에서, TFT(Thin Film Transistor) 회로가 형성된 유리 기판이나, 액정이 봉입된 액정 패널 등의 검사대상판에 대하여, 사양서대로의 성능을 갖는지 여부가 검사(테스트)된다. 이들 검사에는, 일반적으로 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 구비한 검사 장치가 사용된다. 이 경우, 검사 장치의 각 프로브를 액정 패널 등의 검사대상판의 전극에 가압한 상태에서, 소정의 전극에 소정의 전기 신호를 공급함으로써 실시된다.
이러한 검사 장치의 일례를 도 2에 나타낸다. 도시하는 검사 장치(1)는 주로 패널 세트부(2)와 측정부(3)로 구성되어 있다.
패널 세트부(2)는, 외부로부터 삽입된 액정 패널이나 유리 기판 등의 검사대상판(5)을 측정부(3)로 반송하고, 검사 종료 후의 검사대상판(5)을 외부로 반송하 기 위한 장치이다. 패널 세트부(2)는, 개구부(6) 안에 패널 세트 스테이지(7)를 구비하며, 상기 패널 세트 스테이지(7)에서 검사대상판(5)을 지지하여, 측정부(3)로 반송한다. 또한, 패널 세트 스테이지(7)는, 측정부(3)에서 검사 종료 후의 검사대상판(5)을 수용하여 외부로 반송한다.
측정부(3)는, 패널 세트부(2)로부터 반송된 검사대상판(5)을 지지하여 테스트하기 위한 장치이다. 측정부(3)는, 척 상부(chuck top)(8)나 프로버(9) 등을 구비하여 구성되어 있다.
척 상부(8)는, 검사대상판(5)을 지지하기 위한 부재이다. 상기 척 상부(8)는, XYZθ 스테이지(도시 생략)에 지지되고, XYZ축 방향으로의 이동 및 회전이 제어되어, 검사대상판(5)의 위치가 조정된다. 프로버(9)는 주로 베이스 플레이트(10), 프로브 유닛(11), 지지부(12)를 구비하여 구성되어 있다. 프로브 유닛(11)은 수평면에 대하여 경사지게 형성되어 있다. 상기 프로브 유닛(11)은, 베이스 플레이트(10)의 개구(10A)와 마주한 상태로 베이스 플레이트(10)에 지지되어, 지지부(12)를 지지한다.
이와 같은 검사 장치를 사용한 상기 액정 패널 등의 검사에서는, TFT 회로의 전기적 특성을 테스트하기 위해, 액정 패널 등에 형성된 전극에, 프로브 유닛(11)의 프로브를 접촉시켜, 프로브 유닛(11)에 접속한 외부의 테스터에 의해 전기 신호를 흐르게 하여 전기적 테스트를 실시한다. 액정 패널의 검사에서는, 검사용 전원으로부터의 전기적 신호를 통해 액정 기판의 전체면을 점등시키고, 테스트 패턴을 투영함으로서, 액정 패널의 불량 여부가 판단된다.
이와 같은 검사 장치에서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 외부 장치까지 연결되는 배선인 FPC 케이블(13)이 프로브(14)의 기단부(基端部)에 전기적으로 접촉되어 있다. 구체적으로는 FPC 플레이트(15)의 하측면에 FPC 케이블(13)이 부착되고, 상기 FPC 케이블(13)의 단자에 프로브(14)의 기단부가 접촉하게 되어 있다. 또한, 상기 FPC 케이블(13)의 단자 주위에 가이드 필름(16)이 형성되어 있다. 상기 가이드 필름(16)에는, 가이드 구멍(16A)이 형성되고, 상기 가이드 구멍(16A)은, 상기 단자에 정합하는 위치에 형성되며, 프로브(14)의 기단부는 상기 가이드 구멍(16A)을 통해 FPC 케이블(13)의 단자에 접촉된다.
또한, 가이드 필름(16)은, 직사각형 형상으로 형성되고, 도 4에 나타내는 바와 같이, FPC 플레이트(15)의 하측면의 가장자리부에 정합되어 부착되어 있다. 가이드 필름(16)의 양 끝은, 접착제(17)로 고정되어 있다.
그러나, 상기 구성의 프로브 유닛 및 검사 장치에서는, 도 4의 A 부분에서, 가이드 필름(16)을 접착제(17)로 고정할 때, 그 접착제(17)가 근방에 있는 가이드 구멍(16A)으로 유입되어, FPC 케이블(13)의 단자를 막아, 프로브(14)의 기단부와 전기적으로 접촉할 수 없게 되는 경우가 있다.
또한, 프로브(14)의 기단부와 FPC 케이블(13)의 단자와의 접촉 시에, 프로브(14)의 기단부의 가이드 필름(16)에 대한 접촉, 접착제(17)의 성능 저하 등으로 인해, 가이드 필름(16)이 FPC 플레이트(15)의 하측면으로부터 벗겨지는 경우가 있다.
본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 가이드 필름의 벗겨짐을 확실하게 방지할 수 있는 프로브 유닛 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 프로브 유닛은, 이와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 검사대상판의 검사에 사용하는 프로브 유닛으로서, 상기 검사대상판의 회로의 전극에 전기적으로 접촉하여 검사 신호를 인가하는 프로브 조립체와, 상기 프로브 조립체와 외부 장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 구비하며, 상기 프로브 조립체의 기단부의 침부가 접촉하는 FPC 케이블의 단자를 덮어 가이드 필름이 형성되고, 상기 가이드 필름이, 상기 FPC 케이블의 단자와 같은 수만큼 각 단자에 정합하는 위치에 각각 형성된 가이드 구멍과, FPC 플레이트의 선단측 가장자리부의 모서리부에 일치시킨 위치에 형성된 절곡부를 구비한 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 상기 가이드 필름을 상기 절곡부에서 절곡하여 FPC 플레이트의 선단측 가장자리부에 접착한다.
상기 가이드 필름은, 직사각형 형상의 필름재로 구성하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 검사 장치는, 검사대상판의 검사에 사용하는 검사 장치로서, 외부로부터 삽입된 검사대상판을 외부로부터 반입하고, 검사 종료 후에 외부로 반 송하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 반송된 검사대상판을 지지하여 테스트하는 측정부를 구비하고, 상기 측정부의 프로브 유닛으로서 상기 프로브 유닛을 사용한 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 상기 프로브 유닛과 마찬가지로, 상기 가이드 필름을 상기 절곡부에서 절곡하여 FPC 플레이트의 선단측 가장자리부에 접착한다.
상기 검사 장치에 있어서도, 상기 가이드 필름은, 직사각형 형상의 필름재로 구성하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 상기 가이드 필름이 FPC 플레이트 및 FPC 케이블에 확실하게 고정되고, 프로브 조립체가 다소 접촉하더라도, 가이드 필름이 벗겨지는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사 장치에 대해서, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 실시형태에 따른 검사 장치의 전체 구성은, 상기 종래의 검사 장치와 거의 동일하기 때문에, 여기서는 프로브 유닛을 중심으로 설명한다.
프로브 유닛(21)은, 도 5에 나타내는 바와 같이, 프로브 베이스(22), 지지부(23), 상기 지지부(23)에 지지된 프로브 조립체(24), 및 상기 지지부(23)의 내측 면에 지지되어 상기 프로브 조립체(24)에 전기적으로 접속되는 접속 케이블부(25)를 구비하여 구성되어 있다.
상기 프로브 베이스(22)는, 프로브 조립체(24)를 지지한 복수의 지지부(23)를 일체로 지지하는 판 부재이다. 상기 프로브 베이스(22)에서, 복수의 프로브 조립체(24)가 지지부(23)를 통하여, 워크테이블(26)과 마주한 상태로 지지되어 있다.
상기 지지부(23)는, 그 기단측이 상기 프로브 베이스(22)에 지지된 상태로, 그 선단측에서 상기 프로브 조립체(24)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부(23)는, 도 1, 6, 7에 나타내는 바와 같이, 상기 프로브 베이스(22)에 직접 장착되어 전체를 지지하는 서스펜션 베이스(27)와, 상기 서스페션 베이스(27)의 선단부에 지지되는 슬라이드 블록(28)과, 상기 슬라이드 블록(28)의 내측면(도 1에 있어서의 하측면)에 일체로 부착된 프로브 플레이트(29)를 구비하여 구성되어 있다.
상기 서스펜션 베이스(27)는, 대략 직사각형 형상으로 형성되고, 그 선단부를, 상기 프로브 베이스(22)의 내측 가장자리부로부터 내측(워크테이블(26)측)으로 연장시킨 상태로, 상기 프로브 베이스(22)에 고정되어 있다. 상기 서스펜션 베이스(27)의 선단부의 내측에는, 상기 슬라이드 블록(28)이 끼워 맞춰지기 위한 절개오목부(31)가 형성되어 있다. 상기 절개오목부(31)에는, 레일(32), 스프링 수용 구멍(도시 생략), 및 조정 나사 구멍(도시 생략)이 형성되어 있다.
레일(32)은, 상기 서스펜션 베이스(27)에 대하여 상기 슬라이드 블록(28)을 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 스프링 수용 구멍은, 스프링(34)이 끼워 맞춰지기 위한 구멍이다. 상기 스프링 수용 구멍에 끼워 맞춰진 스프링(34)이, 상기 슬라이드 블록(28)을 아래쪽으로 가압한다. 조정 나사 구멍은, 조정 나사(35)가 슬라이드 가능하게 끼워 맞춰지기 위한 구멍이다. 조정 나사(35)는, 그 선단측이 상기 슬라이드 블록(28)에 나사결합된 상태로, 그 기단측이 상기 조정 나사 구멍에 슬라이드 가능하게 끼워 맞춰져 있다. 그리고, 상기 조정 나사(35)의 나사결합 양을 변경함으로써, 상기 레일(32)에 지지되어 조정 나사(35)에 의해 매달린 상기 슬라이드 블록(28)이 상기 서스펜션 베이스(27)에 대하여 슬라이드하여 상기 슬라이드 블록(28)의 위치를 조정한다. 이에 따라, 후술하는 프로브(40)가 액정 패널(37)의 전극에 접촉할 때에 걸리는 하중을 흡수하게 되어 있다. 상기 슬라이드 블록(28), 레일(32), 후술하는 가이드(36), 스프링(34) 및 조정 나사(35)로 서스펜션 기구를 구성하고 있다.
슬라이드 블록(28)은, 그 기단부가 상기 서스펜션 베이스(27)의 절개오목부(31)에 끼워 맞춰지고 지지된 상태로, 하측부에서 상기 프로브 플레이트(29)를 지지하기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(28)은, 상기 레일(32)에 슬라이드 가능하게 장착된 가이드(36)를 통해 상기 서스펜션 베이스(27)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 상기 슬라이드 블록(28)에는, 상기 스프링(34)이 끼워 맞춰져서 상기 스프링(34)을 지지하는 스프링 수용 구멍(도시 생략)과, 상기 조정 나사(35)가 나사결합되는 조정 나사 구멍(도시 생략)이 형성되어 있다.
프로브 플레이트(29)는, 상기 프로브 조립체(24)와, 상기 접속 케이블부(25)의 후술하는 FPC 플레이트(45)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 프로브 플레이트(29)는, 두꺼운 판 형상으로 형성되며, 상기 슬라이드 블록(28)의 하측면에 고정 되어 있다. 프로브 플레이트(29)의 하측면에는, 후술하는 프로브 조립체(24)의 프로브 블록(39)과 접속 케이블부(25)의 FPC 플레이트(45)가 부착되어 있다.
상기 프로브 조립체(24)는, 액정 패널(37)의 회로의 전극(도시 생략)에 전기적으로 접촉하여 검사 신호를 액정 패널(37)의 회로에 인가하기 위한 부재이다. 상기 프로브 조립체(24)는, 도 8, 9에 나타내는 바와 같이, 프로브 블록(39)과 프로브(40)로 구성되어 있다.
프로브 블록(39)은, 프로브 플레이트(29)의 하측면에 직접 부착되는 부재이다. 상기 프로브 블록(39)은, 프로브 플레이트(29)의 하측면에 부착된 상태에서, 그 하측면에 프로브(40)를 지지하고 있다.
프로브(40)는, 액정 패널(37)의 회로의 전극에 직접 접촉하는 부재이다. 프로브(40)는, 그 선단부와 기단부에 각각 침부(40A, 40B)를 구비하고, 선단부의 침부(40A)가 액정 패널(37)의 회로의 전극에 접촉되고, 기단부의 침부(40B)가 접속 케이블부(25)의 단자(48)에 접촉된다. 프로브 블록(39)과 프로브(40)는, 슬릿 바(41), 가이드 바(42), 탄성체(43) 등을 통해 서로 고정되어 있다.
상기 접속 케이블부(25)는, 상기 프로브와 외부 장치인 테스터(도시 생략)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. 상기 접속 케이블부(25)는, 상기 프로브 플레이트(29)의 하측면에 지지되어, 상기 프로브 조립체(24)와 외부 장치를 전기적으로 접속한다. 상기 접속 케이블부(25)는 구체적으로는, 도 1, 8, 9에 나타내는 바와 같이, FPC 플레이트(45)와 FPC 케이블(46)로 구성되어 있다.
FPC 플레이트(45)는, 상기 프로브 플레이트(29)에 직접 고정되는 부재이다. FPC 플레이트(45)는 두꺼운 판 형상으로 형성되어 있다. FPC 플레이트(45)의 선단측(프로브 조립체(24)의 프로브 블록(39) 측)에는 프로브 블록(39)과 끼워 맞춰지기 위한 결합판부(45A)가 형성되어 있다.
FPC 케이블(46)은, 프로브 조립체(24)의 각 침부(40B)의 개수에 대응한 개수의 신호선(46A)을 필름으로 끼워 박판 형상으로 형성되어 있다. 상기 FPC 케이블(46)을 구성하는 필름은, 유연성을 갖는 재료로 구성되고, 자유롭게 휘어질 수 있게 되어 있다. 신호선(46A)에는 IC(47)가 형성되어 있다. 신호선(46A)의 끝 부분에는, 프로브(40)의 침부(40B)와 접촉하는 단자(48)가 형성되어 있다.
FPC 케이블(46)은, 그 선단부를 FPC 플레이트(45)의 프로브 조립체(24)측 가장자리부에 일치시켜 형성되어 있다. FPC 케이블(46)의 단자(48)의 하측면에는, 가이드 필름(50)이 형성되어 있다. 상기 가이드 필름(50)은, 단자(48)의 부분을 덮어서 보호하기 위한 필름재이다. 가이드 필름(50)은, 도 10, 11에 나타내는 바와 같이, 직사각형 형상의 필름재로 구성되어 있다. 상기 직사각형 형상의 가이드 필름(50)에, 가이드 구멍(51)과 절곡용 구멍(52)이 형성되어 있다.
가이드 구멍(51)은, 상기 FPC 케이블(46)의 단자(48)와 같은 수만큼, 각 단자(48)에 정합하는 위치에 각각 형성되어 있다.
절곡용 구멍(52)은, FPC 플레이트(45)의 선단측 가장자리부의 모서리부에 일치시킨 위치에 형성되어 있다. 구체적으로는, 절곡용 구멍(52)을 경계로 절곡된 가이드 필름(50)과 FPC 플레이트(45)의 선단측면(45B)이 양면테이프(53)를 통해 부착되었을 때, 가이드 구멍(51)과 상기 FPC 케이블(46)의 단자(48)가 정합하도록, 양 면테이프(53)의 두께를 고려하여, 절곡용 구멍(52)의 위치가 설정되어 있다. 절곡용 구멍(52)은, 일정 간격을 두고 복수개 형성되어, 용이하게 절곡할 수 있게 되어 있다. 가이드 필름(50)은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 절곡용 구멍(52)에 의해 절곡되어, FPC 플레이트(45)의 선단측면(45B)에 양면테이프(53)로 고정되어 있다. 가이드 필름(50)의 기단측은, 접착제(54)로 고정되어 있다.
상술한 바와 같이 구성된 검사 장치의 프로브 유닛(21)에서는, 접속 케이블부(25)의 FPC 케이블(46)이 FPC 플레이트(45)의 하측면에 부착된 상태에서, FPC 케이블(46)의 단자(48)에 가이드 필름(50)의 가이드 구멍(51)을 정합시킨 상태로 고정한다. 이 때, 가이드 필름(50)은 절곡용 구멍(52)에 의해 절곡되어 있으며, 그 내측에 양면테이프(53)가 부착되어 있다. 그 상태에서, FPC 케이블(46)의 단자(48)에 가이드 필름(50)의 가이드 구멍(51)을 정합시켜 양면테이프(53)를 FPC 플레이트(45)의 선단측면(45B)에 부착하여 가이드 필름(50)의 선단측을 고정한다. 이어서, 가이드 필름(50)의 기단측을 접착제(54)로 고정한다.
그 상태에서, FPC 플레이트(45)를 프로브 플레이트(29)에 부착하고, 프로브 조립체(24)를 프로브 플레이트(29)에 부착한다. 이에 따라, 프로브(40)의 침부(40B)가 가이드 필름(50)의 가이드 구멍(51)에 정합하여 FPC 케이블(46)의 단자에 접촉한다.
그 결과, 가이드 필름(50)이 FPC 플레이트(45) 및 FPC 케이블(46)에 확실히 고정되어, 프로브(40)의 침부(40B)가 다소 접촉하더라도, 가이드 필름(50)이 벗겨지는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 가이드 필름(50)은, 그 절곡용 구멍(52)에 의해 절곡된 부분이 양면테이프(53)에 의해 넓은 면적으로 FPC 플레이트(45)의 선단측면(45B)에 부착되기 때문에, 양면테이프(53)가 시간이 지나면 성능이 저하되고 다소 점착력이 약해지더라도, 가이드 필름(50)이 벗겨지는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
이 때, 가이드 필름(50)의 기단측은, 프로브(40)의 침부(40B)가 접촉하지 않으므로, 벗겨지거나 할 우려는 없다.
[변형례]
상기 실시형태에 따른 프로브 유닛(21)은, 접속 케이블부(25)의 FPC 케이블(46)의 단자(48)를 가이드 필름(50)으로 덮는 타입의 프로브 유닛 모두에 적용할 수 있다.
또한, 검사 장치로는, 상기 실시형태의 검사 장치에 한정되지 않고, 접속 케이블부(25)의 FPC 케이블(46)의 단자(48)를 가이드 필름(50)으로 덮는 타입의 프로브 유닛을 구비한 장치 모두에 적용할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.
상기 실시형태에서는, 가이드 필름(50)의 절곡용 구멍(52)에 의해 절곡된 부분은 FPC 플레이트(45)에 양면테이프(53)로 고정했으나, 접착제 등의 다른 접합 수단으로 고정할 수도 있다.
상기 실시형태에서는, 가이드 필름(50)의 절곡부를 절곡용 구멍(52)으로 구성했으나, 홈 등의 다른 수단으로 구성해도 좋다. 그 경우에도 상기와 동일한 작용 및 효과를 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타내는 측면단면도(도 7의 A-A 화살표 단면도)이다.
도 2는 종래의 검사 장치를 나타내는 정면도이다.
도 3은 종래의 검사 장치의 프로브 유닛을 나타내는 측면단면도이다.
도 4는 종래의 프로브 유닛의 FPC 케이블을 덮는 가이드 필름의 부착 상태를 나타내는 측면단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 주요부를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 주요부를 나타내는 측면단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 주요부를 나타내는 이면도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 가이드 필름을 나타내는 사시도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 따른 검사 장치의 프로브 유닛의 가이드 필름 을 절곡한 상태로 나타내는 사시도이다.
도 12는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 FPC 케이블을 덮는 가이드 필름의 부착 상태를 나타내는 측면단면도이다.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명*
21: 프로브 유닛 22: 프로브 베이스
23: 지지부 24: 프로브 조립체
25: 접속 케이블부 26: 워크테이블
27: 서스펜션 베이스 28: 슬라이드 블록
29: 프로브 플레이트 31: 절개오목부
32: 레일 34: 스프링
35: 조정 나사 36: 가이드
37: 액정 패널 39: 프로브 블록
40: 프로브 40A, 40B: 침부
41: 슬릿 바 42: 가이드 바
43: 탄성체 45: FPC 플레이트
46: FPC 케이블 47: IC
48: 단자 50: 가이드 필름
51: 가이드 구멍 52: 절곡용 구멍
53: 양면테이프 54: 접착제

Claims (4)

  1. 검사대상판의 검사에 사용하는 프로브 유닛으로서,
    상기 검사대상판의 회로의 전극에 전기적으로 접촉하여 검사 신호를 인가하는 프로브 조립체와, 상기 프로브 조립체와 외부 장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 구비하며,
    상기 프로브 조립체의 기단부의 침부가 접촉하는 FPC 케이블의 단자를 덮어서 가이드 필름이 형성되고,
    상기 가이드 필름이, 상기 FPC 케이블의 단자와 같은 수만큼 각 단자에 정합하는 위치에 각각 형성된 가이드 구멍과, FPC 플레이트의 선단측 가장자리부의 모서리부에 일치시킨 위치에 형성된 절곡부를 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가이드 필름이 직사각형 형상의 필름재로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 검사대상판의 검사에 사용하는 검사 장치로서,
    외부로부터 삽입된 검사대상판을 외부로부터 반입하고, 검사 종료 후에 외부 로 반송하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 반송된 검사대상판을 지지하여 테스트하는 측정부를 구비하고,
    상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 상기 검사대상판의 회로의 전극에 전기적으로 접촉하여 검사 신호를 인가하는 프로브 조립체와, 상기 프로브 조립체와 외부 장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 구비하고, 상기 프로브 조립체의 기단부의 침부가 접촉하는 FPC 케이블의 단자를 덮어서 가이드 필름이 형성되고, 상기 가이드 필름이, 상기 FPC 케이블의 단자와 같은 수만큼 각 단자에 정합하는 위치에 각각 형성된 가이드 구멍과, FPC 플레이트의 선단측 가장자리부의 모서리부에 일치시킨 위치에 형성된 절곡부를 구비한 프로브 유닛을 사용한 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 가이드 필름이 직사각형 형상의 필름재로 구성된 것을 특징으로 하는 검사 장치.
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