JP2000035464A - プローブ装置の取っ手構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブ装置を移動する際や、プローバーの
ホルダーに着脱する際にプローブ装置を誤って脱落しに
くく、前記着脱の際の作業性が向上する、プローブ装置
の取っ手構造を提供する。 【解決手段】 プローブ装置７０のメカニカルパーツ６
０（支持用パーツ）のトップクランプ４０の外面には、
それぞれ「コ」字状の２つの取っ手５ａ，５ｂの両端部
が例えば接着剤により固着されている。２つの取っ手５
ａ，５ｂは、例えば金属もしくは合成樹脂で形成されて
おり、並んで設けられている。プローブ装置７０を移動
させたりプローバーのホルダー６に着脱する際には、２
つの取っ手５ａ，５ｂを手で持ってプローブ装置７０
を、そのコンタクトプローブ（不図示）に触れることな
く、安定に持つことにより、前記移動の際や着脱の際に
プローブ装置７０を誤って落下させてしまう恐れが低減
する上に、作業性も向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ＩＣチップ
や液晶デバイス等の各端子に各コンタクトピンをそれぞ
れ接触させて電気的なテストを行うプローブ装置（プロ
ーブカード）に関し、特に、このプローブ装置を安安定
に持つための取っ手構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＩＣチップやＬＳＩチップ等の
半導体チップ又はＬＣＤ（液晶表示体）等の被検査物の
電気的なテストを行うために、被検査物の各端子に接触
する複数のコンタクトピンを有するプローブ装置が使用
されている。

【０００３】図１３に示すように、このプローブ装置の
一例として、それぞれ複数のコンタクトピン３ａを有す
る複数のコンタクトプローブ１，１をその支持用パーツ
としてのメカニカルパーツ６０に組み込んでなるもので
あり、前記コンタクトプローブ１は、複数のパターン配
線３がフィルム２上に形成されこれらのパターン配線３
の各先端が前記フィルム２から突出状態に配されてコン
タクトピン３ａとされるものである。

【０００４】前記メカニカルパーツ６０は、マウンティ
ングベース３０と、トップクランプ４０と、ボトムクラ
ンプ５０とからなっている。プリント基板２０の上にト
ップクランプ４０を取り付け、次に、コンタクトプロー
ブ１を取り付けたマウンティングベース３０をトップク
ランプ４０に、ボルト穴４１にボルト４２を螺合させて
取り付ける。そして、ボトムクランプ５０でコンタクト
プローブ１をプリント基板２０に押え付けることによ
り、電気的に接触させる。このプローブ装置７０を用い
て、ＩＣチップのプローブテスト等を行う場合には、プ
ローブ装置７０のプリント基板２０を、プローバーと呼
ばれる装置のホルダー６に装着することによりテスター
（不図示）に電気的に接続し、所定の電気信号をパター
ン配線３のコンタクトピン３ａからウェーハ上のＩＣチ
ップに送ることによって、該ＩＣチップからの出力信号
がコンタクトピン３ａからパターン配線３およびプリン
ト基板２０等を介して前記テスターに送られ、ＩＣチッ
プの電気的特性が測定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、プローブ装
置をプローバーのホルダーに装着する際やホルダーから
取り外す際には、プローブ装置を、そのメカニカルパー
ツの部分を直接手で掴んで持たねばならないが、このメ
カニカルパーツには手を引っ掛ける部分がないので、プ
ローブ装置が手から脱落しやすく、脱落して落下した場
合、非常に繊細なコンタクトピンが破損しやすい。ま
た、誤って手がコンタクトプローブに触れる恐れも大き
く、この場合、その特性が劣化しやすく、コンタクトピ
ンも破損しやすいのである。このように、従来、メカニ
カルパーツを直接手で掴んでいたので、プローブ装置の
取扱にはかなりの慎重を要するとともに、前記取り外し
および装着の作業性は極めて悪い。

【０００６】なお、コンタクトプローブを直接手で掴む
と、手の汚れや油等がコンタクトプローブに付着して、
コンタクトピン間での電流リークが発生する恐れがあ
る。また、プリント基板にも手を引っ掛ける部分がない
とともに、プリント基板には電子部品や電極等が設けら
れているので、プリント基板を手で直接持つことは、こ
れらの電子部品や電極等が破損する恐れがあるので、好
ましくない。したがって、従来、メカニカルパーツを直
接手で掴んでプローブ装置を取り扱う方法しかなかった
のである。

【０００７】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、プローブ装置を移動する際
や、プローバーのホルダーに着脱する際にプローブ装置
を誤って脱落しにくく、前記着脱の際の作業性が向上す
る、プローブ装置の取っ手構造を提供することを目的と
している。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のプローブ装置の取っ手構造は、コンタクトプ
ローブがその支持用パーツによってプリント基板に押圧
されて電気的に接続されてなるプローブ装置の、前記支
持用パーツあるいは前記プリント基板に、取っ手が備え
られていることを特徴とするものである。

【０００９】この発明においては、プローブ装置を移動
させたり、プローバーのホルダーに着脱する際に、取っ
手を介してプローブ装置を安定に持つことにより、前記
移動の際や着脱の際にプローブ装置を誤って落下させて
しまう恐れが低減する。ここで、請求項２のように、前
記取っ手は、前記支持用パーツあるいは前記プリント基
板に着脱可能に取り付けられるものとすることにより、
プローブ装置を移動させたりプローバーのホルダーに着
脱する際に先だって、取っ手をプローブ装置に装着し、
この取っ手を介してプローブ装置を持つ。そして、プロ
ーブ装置により被検査物の電気的特性を測定する際に
は、取っ手をプローブ装置より取り外して、この取っ手
が他の装置の邪魔になる恐れをなくする。

【００１０】請求項３の発明は、前記支持用パーツの互
いに反対側の部位には、穴がそれぞれ形成されており、
各穴にそれぞれ着脱可能に係止される突起を各先端に有
するピンセット状の取っ手を備えているものである。し
たがって、ピンセット状の取っ手の先端の突起を支持用
パーツの互いに反対側の穴にそれぞれ係止させて、取っ
手を閉じることにより支持用パーツを把持し、結果的
に、取っ手を介してプローブ装置を安定に持つことがで
きる。

【００１１】請求項４の発明は、前記支持用パーツには
ねじ穴が形成されており、このねじ穴に螺合可能な雄ね
じ部を有する取っ手を備えているものである。したがっ
て、取っ手のねじ部を支持用パーツのねじ穴に螺合させ
ることにより、取っ手を前記支持用パーツに装着し、取
っ手を介してプローブ装置を安定に持つことができる。

【００１２】請求項５の発明は、前記支持用パーツの中
心部には、前記コンタクトプローブのコンタクトピンを
確認するための窓部が形成されているとともに、この窓
部を覆う大きさのカバー兼取っ手を備え、前記支持用パ
ーツには、前記カバー兼取っ手を着脱可能に係止するた
めの溝部が形成されているものである。

【００１３】この発明においては、プローブ装置の組立
時等に、コンタクトピンを例えば半導体ＩＣチップ等の
パッドに接触させて位置決めする際に、プローブ装置の
窓部を介してコンタクトピンおよびパッドを目視する必
要がある。このように、プローブ装置の組立の際には、
前記窓部を開放する必要があるので、カバー兼取っ手を
支持用パーツに装着しない。一方、プローブ装置を移動
させたりプローバーのホルダーに着脱する際には、これ
に先だって、カバー兼取っ手の先端部を支持用パーツの
溝部に係止して装着し、このカバーを介してプローブ装
置を持つ。また、プローブ装置により被測定物を電気的
特性の検査を行う際には、前記カバー兼取っ手を支持用
パーツに装着されたままとし、前記窓部を覆った状態と
する。これにより、空気中の塵埃等がプローブ装置の窓
部より侵入してこれがコンタクトプローブに付着するこ
とが低減し、結果的に、この塵埃等に起因してコンタク
トピン間がショートする恐れが少ない。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。先ず、コンタクトプローブお
よびプローブ装置の一例について順次説明する。図１は
コンタクトプローブの一例を示す要部斜視図、図２はコ
ンタクトプローブの一例を示す平面図、図３は図２のＣ
−Ｃ線断面図である。

【００１５】図１に示すように、コンタクトプローブ１
は、フィルム２の片面に金属で形成されるパターン配線
３を貼り付けた構造となっており、前記フィルム２の端
部から前記パターン配線３の先端が突出してコンタクト
ピン３ａとされている。なお、符号４は、後述する位置
合わせ穴である。

【００１６】図２および図３に示すように、コンタクト
プローブ１のフィルム２には、コンタクトプローブ１を
固定するための孔９が設けられ、また、パターン配線３
から得られた信号を引き出し用配線１０を介してプリン
ト基板２０（図５参照）に伝えるための窓１１が設けら
れている。なお、本例のフィルム２は、ポリイミド樹脂
フィルムＰＩおよび金属フィルム５００（銅箔）の二層
テープである。

【００１７】次に、図４乃至図６を参照して、４つの前
記コンタクトプローブ１をその支持用パーツとしてのメ
カニカルパーツ６０を用いてプリント基板に組み込んで
プローブ装置（プローブカード）７０にする構成につい
て説明する。なお、本実施形態に係るコンタクトプロー
ブ１は、全体が柔軟で曲げやすいため、プローブ装置に
組み込む際にフレキシブル基板として機能する。

【００１８】前記メカニカルパーツ６０は、４つのマウ
ンティングベース３０と、トップクランプ４０（トップ
プレート）と、ボトムクランプ５０（ボトムプレート）
とからなっている。まず、プリント基板２０の上にトッ
プクランプ４０を取付け、次に、コンタクトプローブ１
を取り付けたマウンティングベース３０をトップクラン
プ４０にボルト穴４１にボルト４２を螺合させて取り付
ける（図６参照）。そして、ボトムクランプ５０でコン
タクトプローブ１を押さえ込むことにより、パターン配
線３を一定の傾斜状態に保ち、該パターン配線３の先端
に位置するコンタクトピン３ａをＩＣチップＩに押し付
ける。

【００１９】図５は、組立終了後のプローブ装置７０を
示している。図６は、図５のＥ−Ｅ線断面図である。フ
ィルム２の先端側は、前記下面３２に当接して下方に傾
斜した状態で支持され、コンタクトピン３ａはＩＣチッ
プＩに接触している。

【００２０】前記マウンティングベース３０には、コン
タクトプローブ１の位置を調整するための位置決めピン
３１が設けられており、この位置決めピン３１をコンタ
クトプローブ１の前記位置合わせ穴４に挿入することに
より、パターン配線３とＩＣチップＩとを正確に位置合
わせすることができるようになっている。コンタクトプ
ローブ１に設けられた窓１１の部分のパターン配線３
に、ボトムクランプ５０の弾性体５１を押し付けて、前
記引き出し用配線１０をプリント基板２０の電極２１に
接触させ、パターン配線３から得られた信号を電極２１
を通して外部に伝えることができるようになっている。
なお、図６に示すように、各マウンティングベース３間
の空間３０ａ、およびトップクランプ４０の中央開口部
４０ａは、プローブ装置７０の後述する窓部７０ａを構
成している。

【００２１】上記のように構成されたプローブ装置７０
を用いて、ＩＣチップＩのプローブテスト等を行う場合
は、プローブ装置７０を、プローバーのホルダー（不図
示）に装着することにより電気的に接続し、所定の電気
信号をパターン配線３のコンタクトピン３ａからウェー
ハ上のＩＣチップＩに送ることによって、該ＩＣチップ
Ｉからの出力信号がコンタクトピン３ａからテスターに
伝送され、ＩＣチップＩの電気的特性が測定される。

【００２２】なお、コンタクトプローブ１をプローブカ
ードであるプローブ装置７０に適用したが、他の測定用
治具等に採用しても構わない。例えば、ＩＣチップを内
側に保持して保護し、ＩＣチップのバーンインテスト用
装置等に搭載されるＩＣチップテスト用ソケット等に適
用してもよい。

【００２３】次に、本発明のプローブ装置の取っ手構造
について、４つの実施形態を例に挙げて説明する。

【００２４】先ず、図７（ａ），（ｂ）に示すように、
第１の実施形態について、メカニカルパーツ６０のトッ
プクランプ４０の外面には、それぞれ「コ」字状の２つ
の取っ手５ａ，５ｂの両端部が例えば接着剤により固着
されている。２つの取っ手５ａ，５ｂは、例えば金属も
しくは合成樹脂で形成されており、並んで設けられてい
る。

【００２５】第１の実施形態では、プローブ装置７０を
移動させたり、プローバーのホルダー６に着脱する際に
は、２つの取っ手５ａ，５ｂを手で持ってプローブ装置
７０を、そのコンタクトプローブ１（図６参照）に手が
触れることなく、安定に持つことにより、前記移動の際
や着脱の際にプローブ装置７０を誤って落下させてしま
う恐れが低減する。結果的に、コンタクトプローブ１
（図６参照）が損傷しない上に、前記着脱の際の作業性
が向上する。なお、取っ手を１つのみ設けてもよく、さ
らには、取っ手５ａ，５ｂをメカニカルパーツ６０のボ
トムクランプ５０あるいはプリント基板２０に固着して
もよい。プリント基板２０に固着する場合には、その電
子部品や電極に悪影響を及ぼさないように、これらから
十分に離れた部位に固着することが好ましい。

【００２６】図８（ａ），（ｂ）および図９に示すよう
に、第２の実施形態について、トップクランプ４０の互
いに反対方向を向く端面（側面）には、一対の穴７ａ，
７ｂ、一対の穴７ｃ，７ｄがそれぞれ形成されている。
また、符号８で示すものはピンセット状の取っ手であ
り、この取っ手８の両先端部８ａ，８ｂはそれぞれ二股
状に別れている。各二股状の先端１２ａ，１２ｂおよび
先端１３ａ，１３ｂは、それぞれ内側に向いた突起１４
を備えており、各突起１４は前記穴７ａ，７ｂ，７ｃ，
７ｄに着脱可能に嵌合するようになっている。

【００２７】第２の実施形態では、プローブ装置７０を
移動させたりプローバーのホルダー６に着脱する際に先
だって、開いた状態の取っ手８の各突起１４をトップク
ランプ４０の各穴７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにそれぞれ対
向させ（実線参照）、取っ手８を閉じて各突起１４をト
ップクランプ４０の各穴７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにそれ
ぞれ挿入して係止させることにより（二点鎖線の状態参
照）、取っ手８をトップクランプ４０に装着する。そし
て、取っ手８を持ってプローブ装置７０を安定に持つこ
とにより、前記移動の際や着脱の際にプローブ装置７０
を誤って落下させてしまう恐れが低減する。結果的に、
前記着脱の際の作業性が向上する。プローブ装置７０に
より被検査物の電気的特性を検査する際には、取っ手８
をトップクランプ４０から外す。

【００２８】また、第２の実施形態では、ボトムクラン
プ５０の互いに反対方向を向く端面（側面）にも、一対
の穴１５ｂ（一方の穴は不図示）、一対の穴１５ｄ（一
方の穴は不図示）がそれぞれ形成されており、取っ手８
をボトムクランプ５０に装着し取っ手８を介してプロー
ブ装置７０を安定に持つことができる。なお、取っ手の
先端部を二股状にせず、トップクランプ（およびボトム
クランプ）の互いに反対方向を向く端面（側面）に穴を
１つずつ形成してもよい。

【００２９】図１０（ａ），（ｂ）に示すように、第３
の実施形態について、トップクランプ４０の外面には２
つのねじ穴１６ａ，１６ｂが形成されている。取っ手１
７は、前記ねじ穴１６ａ，１６ｂに螺合する雄ねじ部１
７ａを先端に有する棒状のものであり、２本用意されて
いる。

【００３０】第３の実施形態では、プローブ装置７０を
移動させたりプローバーのホルダー６に着脱する際に先
だって、棒状の２本の取っ手１７の雄ねじ部１７ａをト
ップクランプ４０の２つのねじ穴１６ａ，１６ｂにそれ
ぞれ螺合させることにより、各取っ手１７をトップクラ
ンプ４０に装着する。そして、取っ手１７を持ってプロ
ーブ装置７０を安定に持つことにより、前記移動の際や
着脱の際にプローブ装置７０を誤って落下させてしまう
恐れが低減する。結果的に、前記着脱の際の作業性が向
上する。プローブ装置７０により被検査物の電気的特性
を検査する際には、取っ手１７をトップクランプ４０か
ら取り外す。なお、トップクランプにねじ穴を形成する
ものに限らず、ボトムクランプ５０の外面にねじ穴を形
成して、ボトムクランプ５０に取っ手を装着してもよ
い。

【００３１】図１１および図１２（ａ），（ｂ）に示す
ように、第４の実施形態については、トップクランプ４
０の両側面（端面）には、溝部１８ａ，１８ｂがそれぞ
れ形成されており、各溝部１８ａ，１８ｂは、断面矩形
状をなし、トップクランプ４０の他の両側面（端面）に
開口している。符号１９はカバー兼取っ手（カバープレ
ート）を示しており、このカバー兼取っ手１９のカバー
部１９ａの両端部近傍の下面には、「Ｌ」字型の突起２
２ａ，２２ｂが互いに対向するように一体的に形成され
ている。この突起部２２ａ，２２ｂはトップクランプ４
０の他方の両端まで形成されており、突起部２２ａ，２
２ｂ間の間隔は、前記溝部１８ａ，１８ｂ間の間隔と等
しくなっている。カバー兼取っ手１９の両突起部２２
ａ，２２ｂを前記トップクランプ４０の両溝部１８ａ，
１８ｂにその一端側より嵌合し、カバー兼取っ手１９を
スライドさせることにより（図１２中の矢印Ｘ参照）、
トップクランプ４０に着脱自在に装着でき、装着した状
態でカバー兼取っ手１９は、プローブ装置７０のコンタ
クトピン３ａを確認するための窓部７０ａを覆うことが
できる。

【００３２】カバー兼取っ手１９のカバー部１９ａの中
央部には、引き起こし自在な一対の取っ手部２３ａ，２
３ｂが備えられている。この取っ手部２３ａ，２３ｂは
肉薄の一辺部２４ａ，２４ｂのみにおいて、カバー部１
９ａに連結されており、図１１に示すように、一対の取
っ手部２３ａ，２３ｂ（二点鎖線参照）を引き起こして
カバー部１９ａに対して垂直にし、この一対の取っ手部
２３ａ，２３ｂを手で持つことによりカバー兼取っ手１
９を保持できる。

【００３３】第４の実施形態では、図１１の状態から、
ホルダー６を裏返してコンタクトピン３ａを下方へ向い
た状態においてプローブ装置７０の組立時等に、コンタ
クトピン３ａを例えば半導体ＩＣチップ等のパッドに接
触させて位置決めする際には、プローブ装置７０の窓部
７０ａを介してコンタクトピン３ａおよびパッドを目視
する必要がある。このように、プローブ装置７０の組立
の際には、前記窓部７０ａを開放する必要があるので、
カバー兼取っ手１９をメカニカルパーツ６０に装着しな
い。

【００３４】一方、図１１に示したように、プローブ装
置７０を移動させたりそのコンタクトピン３ａが上方を
向いた状態においてプローバーのホルダー６に着脱する
際には、これに先だって、引き起こした一対の取っ手部
２３ａ，２３ｂを持って、カバー兼取っ手１９をスライ
ドさせてその突起部２２ａ，２２ｂをトップクランプ４
０の溝部２２ａ，２２ｂに係止させて装着する。そし
て、カバー兼取っ手１９の一対の取っ手部２３ａ，２３
ｂを持つことにより、プローブ装置７０を保持し、さら
に、ホルダー６に装着できる。装着後、カバー兼取っ手
１９の一対の取っ手部２３ａ，２３ｂを倒した状態とし
（図１２の状態）、後述する電気的特性の検査の際に邪
魔にならないようにする。また、図１１の状態から、ホ
ルダー６を裏返してコンタクトピン３ａを下方へ向いた
状態においてプローブ装置７０により被測定物を電気的
特性の検査を行う際には、前記カバー兼取っ手１９をト
ップクランプ４０に装着されたままとし、前記窓部７０
ａを覆う。これにより、空気中の塵埃等が窓部７０ａよ
り侵入してこれがコンタクトプローブ１（図６参照）に
付着することが低減し、結果的に、前記塵埃等に起因し
てコンタクトピン３ａ間がショートする恐れが少ない。

【００３５】なお、第４の実施形態において、カバー兼
取っ手を例えばアクリル板等の透明な素材で形成するこ
とにより、カバー兼取っ手をトップクランプに装着した
まま、プローブ装置の組立の際に透明なカバー兼取っ手
および窓部を介して、コンタクトピンを確認できるの
で、カバー兼カバー兼取っ手をトップクランプに着脱不
能に固定してもよい。

【００３６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。請
求項１記載の発明は、プローブ装置を移動させたり、プ
ローバーのホルダーに着脱する際に、取っ手を介してプ
ローブ装置を、そのコンタクトプローブに手が触れるこ
となく、安定に持つことにより、前記移動の際や着脱の
際にプローブ装置を誤って落下させてしまう恐れが低減
する。前記移動の際や着脱の際の慎重さが低減して作業
性が向上し、コンタクトプローブも破損しにくい。ま
た、プローブ装置に手の汚れや油等が付着せず、パター
ン配線間やコンタクトピン間での電流リークが発生せ
ず、絶縁状態を確実に維持できる。

【００３７】請求項２記載の発明は、前記取っ手を、支
持用パーツあるいは前記プリント基板に着脱可能に取り
付けられたものとすることにより、プローブ装置を移動
させたりプローバーのホルダーに着脱する際に先だっ
て、取っ手をプローブ装置に装着する。そして、プロー
ブ装置により被検査物の電気的特性を測定する際には、
取っ手をプローブ装置より取り外して、この取っ手が他
の装置の邪魔になる恐れをなくする。

【００３８】請求項３記載の発明は、ピンセット状の取
っ手の先端の突起を支持用パーツの互いに反対側の穴に
それぞれ係止させて、取っ手を閉じることにより支持用
パーツを把持し、結果的に、取っ手を介してプローブ装
置を安定して持つことができる。請求項４記載の発明
は、取っ手のねじ部を支持用パーツのねじ穴に螺合させ
ることにより、取っ手を前記支持用パーツに装着し、取
っ手を介してプローブ装置を安定に持つことができる。

【００３９】請求項５記載の発明は、プローブ装置の組
立時等に、コンタクトピンを例えば半導体ＩＣチップ等
のパッドに接触させて位置決めする際に、プローブ装置
の窓部を介してコンタクトピンおよびパッドを目視する
必要がある。このように、プローブ装置の組立の際に
は、前記窓部を開放する必要があるので、カバー兼取っ
手を支持用パーツに装着しない。一方、プローブ装置を
移動させたり、プローバーのホルダーに着脱する際に
は、これに先だって、カバー兼取っ手の先端部を支持用
パーツの溝部に係止して装着し、このカバー兼取っ手を
介してプローブ装置を持つ。また、プローブ装置により
被測定物を電気的特性の検査を行う際には、前記カバー
兼取っ手を支持用パーツに装着されたままとし、前記窓
部を覆った状態とする。これにより、空気中の塵埃等が
プローブ装置の窓部より侵入してこれがコンタクトプロ
ーブに付着することが低減し、結果的に、この塵埃等に
起因してコンタクトピン間がショートする恐れが少な
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 コンタクトプローブの一例を示す要部斜視図
である。

【図２】 コンタクトプローブの一例を示す平面図であ
る。

【図３】 図２のＣ−Ｃ線断面図である。

【図４】 コンタクトプローブの一例を組み込んだプロ
ーブ装置の一例の分解斜視図である。

【図５】 コンタクトプローブの一例を組み込んだプロ
ーブ装置の一例の要部斜視図である。

【図６】 図５のＥ−Ｅ線断面図である。

【図７】 本発明のプローブ装置の取っ手構造の第１の
実施形態を示す図であり、（ａ）は側断面図、（ｂ）は
（ａ）を下方から見た図である。

【図８】 本発明のプローブ装置の取っ手構造の第２の
実施形態を示す図であり、（ａ）は側断面図、（ｂ）は
（ａ）を下方から見た図である。

【図９】 図８（ａ）の側面図である。

【図１０】 本発明のプローブ装置の取っ手構造の第３
の実施形態を示す図であり、（ａ）は側断面図、（ｂ）
は（ａ）を下方から見た図である。

【図１１】 本発明のプローブ装置の取っ手構造の第４
の実施形態を示す側断面図である。

【図１２】 図１１を下方から見た図であり、カバー兼
取っ手をトップクランプに嵌め込む際の状態を示してい
る。

【図１３】 従来のプローブ装置を示す図である。

【符号の説明】

１ コンタクトプローブ ２ フィルム ３ パターン配線 ３ａ コンタクトピン ５ａ，５ｂ，８，１７ 取っ手 ６ プローバーのホルダー ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ 穴 １４ 突起 １６ａ，１６ｂ ねじ穴 １７ａ 雄ねじ部 １８ａ，１８ｂ 溝部 １９ カバー兼取っ手 ２０ プリント基板 ２２ａ，２２ｂ 突起部 ３０ マウンティングベース ４０ トップクランプ ５０ ボトムクランプ ６０ メカニカルパーツ（支持用パーツ） ７０ プローブ装置 ７０ａ 窓部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 秀昭 兵庫県三田市テクノパーク十二番地の六 三菱マテリアル株式会社三田工場内 Ｆターム(参考） 2G011 AA17 AB00 AC00 AE01 AF01 AF06 AF07 2G032 AF00 AF01 4M106 AA01 AA07 AD01 BA01 BA11 CA01 CA02 CA15 CA16 DD01 DD04 DD10 DD18 DD30

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コンタクトプローブがその支持用パーツ
   によってプリント基板に押圧されて電気的に接続されて
   なるプローブ装置の、前記支持用パーツあるいは前記プ
   リント基板に、取っ手が備えられていることを特徴とす
   るプローブ装置の取っ手構造。
2. 【請求項２】 前記取っ手は、前記支持用パーツあるい
   は前記プリント基板に着脱可能に取り付けられるもので
   ある請求項１記載のプローブ装置の取っ手構造。
3. 【請求項３】 前記支持用パーツの互いに反対側の部位
   には、穴がそれぞれ形成されており、各穴にそれぞれ着
   脱可能に係止される突起を各先端に有するピンセット状
   の取っ手を備えている請求項２記載のプローブ装置の取
   っ手構造。
4. 【請求項４】 前記支持用パーツにはねじ穴が形成され
   ており、このねじ穴に螺合可能な雄ねじ部を有する取っ
   手を備えている請求項２記載のプローブ装置の取っ手構
   造。
5. 【請求項５】 前記支持用パーツの中心部には、前記コ
   ンタクトプローブのコンタクトピンを確認するための窓
   部が形成されているとともに、この窓部を覆う大きさの
   カバー兼取っ手を備え、前記支持用パーツには、前記カ
   バー兼取っ手を着脱可能に係止するための溝部が形成さ
   れている請求項１記載のプローブ装置の取っ手構造。
6. 【請求項６】 前記コンタクトプローブは、複数のパタ
   ーン配線がフィルム上に形成されこれらのパターン配線
   の各先端が前記フィルムから突出状態に配されてコンタ
   クトピンとされている請求項１乃至請求項５のいずれか
   １項に記載のプローブ装置の取っ手構造。