TWI354104B - Probe unit and inspection apparatus - Google Patents

Description

1354104 對象板5並進行測試之裝置。測定部3係具備吸附座8及 探針9等而構成。 吸附座8爲用以支撐檢查對象板5之構件。此吸附座 8係由XYZ 0承載台（圖中未顯示）所支撐，且其往XYZ 軸方向之移動及旋轉被控制而調整檢查對象板5的位置。 探針9主要係具備基座板10、探針單元11、支撐部12而 構成。探針單元11係對水平面傾斜而設置。此探針單元 1 1係以面臨基座板1 0的開口 1 0 A之狀態而支撐於基座板 10，並將支撐部12予以支撐。 於使用此檢查裝置之上述液晶面板等的檢查中，爲了 測試TFT電路的電氣特性，係使探針單元11的探針接觸 於液晶面板等當中所設置之電極，並藉由連接於探針單元 1 1之外部的測試器，使電氣訊號流通且進行電性測試。於 液晶面板的檢査中，係藉由檢査用電源的電氣訊號，使液 晶基板全面點燈，映射出測試圖樣而判斷液晶面板的良品 或不良品。 於此檢查裝置中，如第3圖所示般，連接至外部裝置 之配線的FPC排線13，係電性接觸於探針14的基端部。 具體而言’於FPC板15的下側面貼附FPC排線13，且探 針]4的基端部接觸於此Fpc排線1 3的端子。此外，於此 FPC排線13的端子周圍，設置有導引薄膜16。於此導引 薄膜16設置有導孔16A，此導孔16A係設置於與上述端 子整合一致的位置，探針14的基端部係經由此導孔16A 接觸於FPC排線13的端子。 -5- 1354104 再者’導引薄膜16係形成爲短片狀，如第4圖所示 般’係與FPC排線1 3之下側面的緣部整合—致而裝設。 FPC排線13的兩端係以黏著劑〗7所固定。 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 然而，於上述構成的探針單元及檢査裝置中，於第4 圖中的A部分中，以黏著劑]7固定導引薄膜16時，該黏 著劑1 7可能進入位於其附近之導孔1 6A，阻塞FPC排線 13的端子而無法與探針14的基端部電性接觸。 此外，於探針14的基端部與FPC排線13的端子之接 觸時，由於探針14的基端部對導引薄膜16之接觸、或黏 著劑17的劣化等，可能使導引薄膜16從TCP板15的下 側面產生剝離。 本發明係爲了解決上述問題點而創作之發明，目的在 於提供一種可確實地防止導引薄膜產生剝離之探針單元及 檢查裝置。 (用以解決課魍之手段） 本發明之探針單元係用以解決上述課題而創作出之發 明，爲使用於檢查對象板的檢查之探針單元，其特徵爲具 備：電性接觸於上述檢查對象板之電路的電極並施加檢查 訊號之探針組裝體；及將該探針組裝體與外部裝置予以電 性連接之連接排線部：係將上述探針組裝體之基端部的針 -6 - 1354104 部所接觸之FPC排線的端子予以覆蓋而設置導引薄膜；該 導引薄膜係具備：與上述FPC排線的端子爲相同數目且分 別設置於與各端子整合一致的位置之導孔；及設置於配合 ·- F P C板的前端側緣部的角部之位置之彎折部。 / 藉此，能夠以上述彎折部將上述導引薄膜予以彎折而 _ · 接著於FPC板的前端側緣部。 上述導引薄膜較理想爲以長方形狀的膜片材所構成。 # 本發明之檢查裝置，爲使用於檢查對象板的檢查之檢 查裝置，其特徵爲具備：將從外部所插入之檢查對象板從 外部予以搬入，且於檢查結束後搬運至外部之面板設置部 ;及支撐從該面板設置部所傳遞之檢查對象板並進行測試 之測定部；係使用上述探針單元作爲上述測定部的探針單 元。 藉由上述構成，與上述探針單元相同，能夠以上述彎 折部將上述導引薄膜予以彎折而接著於FPC板的前端側緣 • 部。 - 於上述檢査裝置中，上述導引薄膜較理想亦以長方形 . 狀的膜片材所構成。 發明之效果： 如上述般，上述導引薄膜可確實地固定於FPC板及 FPC排線，即使與探針組裝體稍微接觸，亦可確實地防止 導引薄膜產生剝離。 1354104 【實施方式】 以下係參照附加圖式，說明本發明的實施型態之探針 單元;及檢查裝置。本發明之檢查裝置的全體構成係與上述 以往的檢查裝置幾乎相同，在此係以探針單元爲中心進行 說明。 如第5圖所示般，探針單元21係具備：探針基座22 ;支撐部23;支撐於此支撐部23之探針組裝體24;及支 撐於上述支撐部23的內側面之電性連接於探針組裝體24 的連接排線部2 5而構成。 上述探針基座22，爲一體地將支撐有探針組裝體24 之複數個支撐部23予以支撐之板材《藉由該探針基座22 ’複數個探針組裝體24係夾介支撐部23以面對工作台26 之狀態被支撐。 上述支撐部23，爲用以於該基端側支撐於上述探針基 座22之狀態下，以該基端側支撐上述探針組裝體24之構 件。如第1圖、第6圖、第7圖所示般，此支撐部23係 具備：直接裝設於上述探針基座22且支撐全體之懸置基 座2 7 ;支撐於此懸置基座2 7的前端部之滑動組件2 8 ;及 一體地裝設於此滑動組件2 8的內側面（第1圖中的下側 面）之探針板29而構成》 上述懸置基座2 7係形成爲幾乎呈長方形狀，且於使 該前端部從上述探針基座2 2的內側緣部往內側延伸出之 狀態下，固定於該探針基座2 2。於上述懸置基座2 7的前 端部內側，設置有用以讓滑動組件2 8嵌合之缺口 3 1。於 -8 - 1354104 . 此缺口 31中，設置有軌道32;彈簧承受孔（圖中未顯示 );及調整螺釘孔（圖中未顯示）。 軌道32爲用以可讓上述滑動組件28滑動支撐於上述 ·. 懸置基座2 7之構件。彈簧承受孔爲用以讓彈簧3 4嵌合之 :· 孔。嵌合於此彈簧承受孔之彈簧34，係將上述滑動組件 28往下側彈推。調整螺釘孔爲用以讓調整螺釘35可滑動 嵌合之孔。調整螺釘3 5，係於該前端側螺入於上述滑動組 φ 件2 8之狀態下，可讓該基端側滑動嵌合於上述調整螺釘 孔。此外，藉由調整上述調整螺釘35的螺入量，使支撐 於上述軌道32且由上述調整螺釘35所懸吊之上述滑動組 件2 8，對上述懸置基座2 7滑動而調整該滑動組件2 8的位 置。藉此，可將之後所述的探針40接觸於液晶面板37的 電極時所施加的荷重予以吸收。藉由上述滑動組件28、軌 道32、之後所述的導塊36、彈簧34及調整螺釘35，而構 成懸置機構。 • 滑動組件2 8，爲用以於該基端部嵌合支撐於上述懸置 基座2 7的缺口 3 1之狀態下，以下側部支撐上述探針板2 9 之構件。滑動組件2 8係夾介可滑動地裝設於上述軌道3 2 之導塊36，而可滑動地支撐於上述懸置基座27。於此滑 動組件28，設置有可讓上述彈簧34嵌合且支撐此彈簧34 之彈簧承受孔（圖中未顯示）：及讓上述調整螺釘35螺 入之調整螺釘孔（圖中未顯示）。 探針板29’爲用以支撐上述探針組裝體24、上述連 接排線部2 5的之後所述的F P C板4 5之構件。此探針板 < S)· -9- 1354104 29係形成爲厚壁的板狀，且固定於上述滑動組件28的下 側面。於探針板2 9的下側面，裝設有之後所述之探針組 裝體24的探針組件39，及連接排線部25的FPC板45。 .. 上述探針組裝體24，爲用以電性接觸於液晶面板37 · 之電路的電極（圖中未顯示），而將檢查訊號施加於液晶 • 面板37的電路之構件。如第8圖、第9圖所示般，此探 針組裝體24係由探針組件39及探針40所構成。

• 探針40爲直接接觸於液晶面板37之電路的電極之構 件。探針40於其前端部及基端部分別具備針部40A、40B ，前端部的針部4 0 A係接觸於液晶面板37之電路的電極 ，基端部的針部40B接觸於連接排線部25的端子48。探 針組件39及探針40係夾介狹縫桿41、導桿42、彈性體 43等而互爲固定。 上述連接排線部2 5爲用以將上述探針4 0及外部裝置 的測試器（圖中未顯示）予以電性連接之構件。此連接排 ® 線部25係支撐於上述探針板29的下側面，且將上述探針 • 組裝體24及外部裝置予以電性連接。如第1圖、第8圖

. 、第9圖所示般，此連接排線部25，具體而言係由FPC 板45及FPC排線46所構成。 FPC板45爲直接固定於上述探針板29之構件》FPC 板45係形成爲厚壁的平板狀。於FPC板45的前端側（探 針組裝體24的探針組件3 9側），設置有用以與探針組件 39嵌合之嵌合板部45A。 FPC排線46係以膜片包夾對應於探針組裝體24之各 < S>- -10- 1354104 針部40B的數目之數目的訊號線4 6A，而形成爲薄板狀 構成此FPC排線46之膜片’係以具有柔軟性的材料所 成’且可自由地撓曲。於訊號線46A中，設置有IC47 於訊號線46A的端部’設置有與探針4〇的針部40B接 之端子48。 FPC排線46係使該前端部配合fpc板45之探針組 體24側的緣部而設置。於FPC排線46之端子48的下 面，設置有導引薄膜50。此導引薄膜50爲用以覆蓋並 護端子48的部分之膜片材。如第1〇圖、第n圖所示 ’導引薄膜50係由長方形狀的膜片材所構成。於此長 形狀的導引薄膜50上，設置有導孔51及彎折用孔52。 導孔51係與上述FPC排線46的端子48爲相同數 ，.且分別設置於與各端子48整合一致的位置。 彎折用孔52設置於配合FPC板45的前端側緣部的 部之位置。具體而言，於夾介雙面膠帶53而將以彎折 孔52爲交界所彎折之導引薄膜50，以及FPC板45的 端側面45B予以裝設時，係以使導孔51與上述FPC排 46的端子48整合一致之方式，考量雙面膠帶53的厚度 設定彎折用孔5 2的位置。彎折用孔5 2係隔著一定間隔 設置有複數個，藉此可容易地彎折。如第12圖所示般 導引薄膜50係以彎折用孔52所彎折，且以雙面膠帶 固定於FPC板45的前端側面45B。導引薄膜50的基端 係以黏著劑54所固定。 於上述構成之檢查裝置的探針單元21中，連接排 4¾ 稱 〇 觸 裝 側 保 般 方 a 角 用 前 線 而 而 > 53 側 線 < s> -11 - 1354104 部25的FPC排線46，係於裝設於FPC板45的下側面之 狀態下，以使導引薄膜50的導孔51與FPC排線46的端 子48整合一致之狀態予以固定。此時，導引薄膜50係以 · 彎折用孔52所彎折，且於該內側貼附有雙面膠帶53。於 '· 此狀態下，使導引薄膜50的導孔51與FPC排線46的端 ' 子48整合一致’將雙面膠帶53貼附於FPC板45的前端 側面45B而固定導引薄膜50的前端側。之後以黏著劑54 # 固定導引薄膜50的基端側。 於此狀態下’將FPC板45裝設於探針板29，且將探 針組裝體24裝設於探針板29。藉此，探針40的針部40B 係與導引薄膜50的導孔51整合一致並接觸於FPC排線 46的端子48。 結果爲，導引薄膜50可確實地固定於FPC板45及 FPC排線46，即使探針40的針部40B爲稍微接觸，亦可 確實地防止導引薄膜50產生剝離。 • 此外’由於導引薄膜50係藉由雙面膠帶53，以寬廣 - 的面積將以彎折用孔52所彎折的部分貼附於FPC板45的 前端側面45B，因此，即使雙面膠帶53因經年劣化使黏 ' 著力稍微降低，亦可確實地防止導引薄膜50產生剝離β 此時，由於導引薄膜50的基端側不會與探針40的針 部4〇Β接觸，因此不會有剝離等之疑慮。 〔變形例〕 上述實施型態之探針單元2]，可適用於以導引薄膜 -12- 1354104 5〇覆蓋連接排線部25之FPC排線46的端子48之型式的 所有探針單元。 此外’檢查裝置並不限定於上述實施型態的檢查裝置 ’可適用於具備以導引薄膜50覆蓋連接排線部25之FPC 排線40的端子48之型式的探針單元之所有的檢查裝置。 本發明並不限定於上述實施例，可在不脫離該主旨之 範圍內進行種種變更。 於上述實施型態中，導引薄膜5 0之以彎折用孔5 2所 彎折的部分，係以雙面膠帶5 3固定於F P C板4 5，但亦可 藉由黏著劑等之其他接合手段予以固定。 於上述實施型態中，係以彎折用孔5 2構成導引薄膜 5〇的_折部’但亦可藉由刻痕等之其他手段所構成。此時 亦具有與上述同樣的作用。並且可達到效果。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明的實施型態之探針單元之側面剖 面圖（第7圖的a_A箭頭剖面圖）。 第2圖係顯示以往的檢査裝置之正視圖。 第3圖係顯示以往的檢查裝置的探針單元之側面剖面 圖。 第4圖係顯示以往的探針單元之覆蓋FPC排線之導引 薄膜的裝設狀態之側面剖面圖。 第5圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的主要部 分之立體圖。 < S > -13- 1354104 第6圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的探針單 元的主要部分之立體圖。 第7圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的探針單 元的主要部分之俯視圖。 第8圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的探針單 元的主要部分之側面剖面圖。 第9圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的探針單 元的主要部分之內面圖。 第10圖係顯示本發明的實施型態之檢查裝置的探針 單元的導引薄膜之立體圖。 第11圖係顯示於本發明的實施型態之檢查裝置的探 針單元中，將導引薄膜予以彎折的狀態之立體圖。 第〗2圖係顯示於本發明的實施型態之探針單元中， 覆蓋FPC排線之導引薄膜的裝設狀態之側面剖面圖。 【主要元件符號說明】 2 1 :探針單元 22 :探針基座 23 :支撐部 24 :探針組裝體 2 5 :連接排線部 2 6 :工作台 2 7 :懸置基座 2 8 :滑動組件 1354104 探針板 缺口 軌道 彈簧 調整螺釘 導塊 液晶面板 探針組件 探針 、40B :針部 狹縫桿 導桿 彈性體 FPC板 FPC排線

1C 端子 導引薄膜 導孔 彎折用孔 雙面膠帶 5 4 :黏著劑

Claims (1)

1354104 十、申請專利範圍 1·—種探針單元，爲使用於檢查對象板的檢查之探 針單元，其特徵爲： 係具備：電性接觸於上述檢查對象板之電路的電極並 ·- 施加檢查訊號之探針組裝體；及將該探針組裝體與外部裝 · 置予以電性連接之連接排線部； 係將上述探針組裝體之基端部的針部所接觸之FPC排 # 線的端子予以覆蓋而設置導引薄膜； 該導引薄膜係具備··與上述FPC排線的端子爲相同數 目且分別設置於與各端子整合一致的位置之導孔；及設置 於配合FPC板的前端側緣部的角部之位置之彎折部。 2-如申請專利範圍第1項所記載之探針單元，其中 ’上述導引薄膜係以長方形狀的膜片材所構成。 3. —種檢查裝置，爲使用於檢查對象板的檢查之檢 查裝置，其特徵爲： • 係具備：將從外部所插入之檢查對象板從外部予以搬 - 入，且於檢查結束後搬運至外部之面板設置部；及支撐從 該面板設置部所傳遞之檢查對象板並進行測試之測定部； ' 係使用下列探針單元作爲上述測定部的探針單元；此 探針單元係具備：電性接觸於上述檢查對象板之電路的電 極並施加檢查訊號之探針組裝體；及將該探針組裝體及外 部裝置予以電性連接之連接排線部；將上述探針組裝體之 基端部的針部所接觸之FPC排線的端子予以覆蓋而設置導 引薄膜；該導引薄膜係具備：與上述FPC排線的端子爲相 (S> -16- 1354104 同數目且分別設置於與各端子整合一致的位置之導孔；及 設置於配合FPC板的前端側緣部的角部之位置之彎折部。 4.如申請專利範圍第3項所記載之檢查裝置，其中 ，上述導引薄膜係以長方形狀的膜片材所構成。

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