KR960011443A - 프로우브 장치 - Google Patents

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도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
이노우에 쥰이치
도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼가이샤
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    • G01R1/0735—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card arranged on a flexible frame or film

Abstract

반도체웨이퍼(W)의 프로우브장치는, 웨이퍼를 얹어놓는대를 가진다. 얹어놓는대의 위편에는 개구를 가지며 또한 강성이 높은 프린트배선판이 배설된다. 프린트배선판에는, 개구를 관통하듯이 지지블록이 부착된다. 지지블록은 얹어놓는대에 대향하는 오목부를 가지며, 오목부를 덮듯이 가요성이 막형상 프로우브카드가 붙이고 떼기 자유롭게 부착된다. 프로우브카드는, 지지블록의 오목부를 덮는 위치에, 반도체웨이퍼(W)의 전극패드에 접촉하는 접촉자가 배치된 주영역을 가진다. 주영역을 포위하듯이, 프로우브카드의 이면에는 경질이 직사각형 프레임이 접합되고, 프로우브카드에 평면성이 부여된다. 지지블록이 오목부내에 푸셔가 배설되고, 프로우브카드의 주영역의 이면쪽에 접촉한다. 푸셔는, 수직으로 지지된 샤프트의 하단에 요동이 자유롭게 배치된다. 샤프트는 2개의 접시 스프링을 개재하여 지지블록에 지지된다.

Description

프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관계된 프로우브장치의 전체를 나타낸 개략도,
제2도는 제1도에 도시한 프로우브 장치의 얹어놓는대를 나타낸 사시도,
제3도는 제1도에 도시한 프로우브장치의 프로우브기구를 나타낸 단면도.

Claims (20)

  1. 복수의 전극패드를 구비하는 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브장치로서; 상기 피검사체를 얹어놓기 위한 얹어놓는면을 구비하는 얹어놓는대와, 장치 케이싱체에 지지된 높은 강성을 가진 기판과 상기 기판상에 배설되고 또한 테스터에 전기적으로 접속된 보드배선을 구비하며 상기 얹어놓는대의 위편에 배설된 배선판과, 가요성이고 또한 절연성인 막과 상기 막사에 형성된 가요성의 카드배선을 구비하고, 상기 피검사체의 상기 전극패드의 각각에 접속하고 카드배선에 전기적으로 접속되는 복수의 접촉자가 배치된 주영역을 상기 재치면에 대향하는 표면쪽에 구비하는 프로우브카드와, 상기 프로우브카드를 상기 배선판에 부착하기 위한 부착수단과, 상기 프로우브카드의 카드배선을 상기 배선판의 보드배선에 전기적으로 접속하기 위한 접속수단과, 그의 윤곽내에 상기 접촉자의 전부가 위치하도록 설정된 접촉면을 구비하며 상기 프로우브카드의 상기 주영역의 뒷면쪽에 접촉하는 푸셔와, 상기 푸셔와 걸어맞춤하고, 상기 푸셔를 요동이 자유로운 상기 프로우브카드의 상기 주영역의 뒷면쪽에 배치하기 위한 샤프트와, 상기 샤프트에 접속되고, 상기 프로우브카드의 주영역에 가하는 힘을 상기 푸셔의 접촉면에 부여하기 위한 접시스프링과, 상기 배선판에 부착된, 상기 접시스프링을 유지하기 위한 수단을 구비하는 프로우브장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 푸셔는 상기 샤프트 걸어맞춤하는 강성이 높은 본체와, 상기 본체에 접합된 탄성재료로 된 탄성판을 구비하고, 상기 접촉면은 상기 탄성판에 의하여 형성되는 프로우브장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 푸셔와 상기 샤프트는, 각각 형성된 볼록형상구면과 이것을 수용하는 오목부와의 걸어맞춤을 통하여 접촉하는 프로우브장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 샤프트는, 상기 얹어놓는면에 대하여 실질적으로 직각인 중심축을 갖도록, 상기 접시스프링에 접속되고, 상기 접시스프링은 상기 얹어놓는면에 대하여 실질적으로 평행으로 배치되는 프로우브장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 샤프트가 나사기구를 통하여 상기 접시스프링에 지지되고, 상기 나사기구의 작용에 의하여 상기 샤프트가 그 축방향으로 상기 접시스프링에 대하여 상대적으로 위치조정 가능한 프로우브장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 샤프트에 접속되고, 상기 프로우브카드의 주영역에 대해 가하는 힘을 상기 푸셔의 접촉면에 부여하기 위한 다른 접시스프링을 또한 구비하고, 양 접시스프링은 실질적으로 평행으로 배치되는 프로우브장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 프로우브카드의 상기 주영역을 포위하도록, 상기 프로우브카드의 이면쪽에 접합된 높은 강성을 가진 프레임을 더욱 구비하고, 상기 프레임은, 이것과 포위된 상기 주영역을 포함하는 상기 프로우브카드의 부분에 평면성을 부여하기 우한 평면을 구비하고, 상기 푸셔는, 상기 프로우브카드의 상기 주영역을 상기 프레임의 상기 평면보다도 상기 얹어놓는 면을 향해서 밀어내는 프로우브장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 프레임의 상기 평면이 상이 얹어놓는면에 대하여 실질적으로 평행이 되도록, 상기 배선판에 대하여 상기 프레임을 위치결정하기 위한 위치 결정면을 더욱 구비하는 프로우브장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 부착수단이, 상기 프레임을 상기 위치결정면에 붙이고 떼기 자유롭게 고정하는 부재를 구비하는 프로우브장치.
  10. 복수의 전극패드를 구비하는 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브장치에 있어서, 상기 피검사체를 재치하기 위한 재치면을 구비하는 얹어놓는대와, 장치체이싱체에 지지된 높은 강성을 가진 기판과 상기 기판상에 배설되고 전기적으로 접속된 보드배선을 구비하며 상기 얹어놓는대의 위편에 배설된 배선판과, 상기 재치면에 대향하도록 배치된 오목부를 구비하고 상기 배선판에 지지된 지지블록과, 상기 지지블록을 상기 배선판에 부착하기 위한 제1부착수단과, 상기 지지블록에 지지되며, 가요성이고 또한 절연성인 막과 상기 막상에 형성된 가요성의 카드배선을 구비하며 상기 피검사체의 상기 전극패드의 각각에 접속하도록 카드배선에전기적으로 접속되는 복수의 접촉자가 배치되고 상기 지지블록의 상기 오목부를 덮는 위치에 배치되는 주영역을 상기 재치면에 대향하는 표면쪽에 구비하는 프로우브카드와, 상기 프로우브카드를 상기 지지블록에 부착하기 위한 제2부착수단과, 상기 프로우브카드의 카드배선을 상기 배선판의 보드배선에 전기적으로 접속하기 위한 접속수단과, 상기 프로우브카드의 상기 주영역의 이면쪽에 접촉하도록 상기 지지블록의 상기 오목부내에 배설되며, 그의 윤곽내에 상기 접촉자의 전부가 위치하도록 설정된 접촉면을 구비하는 푸셔와, 상기 푸셔와 걸어맞춤하고, 상기 푸셔를 요동이 자유롭게 상기 프로우브카드의 상기 주영역의 이면쪽에 배치하기 위한 샤프트와, 상기 샤프트에 접속되고, 상기 프로우브카드의 주영역에 대하여 가하는 힘을 상기 푸셔의 접촉면에 부여하기 위한 접시스프링과, 상기 지지블록에 부착된, 상기 접시스프링을 유지하기 위한 수단을 구비하는 프로우브장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 배선판은 개구를 구비하고, 상기 지지블록이 상기 개구를 관통하여 상기 얹어놓는면쪽으로 돌출하도록 배치되는 프로우브장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1부착수단은, 상기 지지블록의 대향하는 양 끝단부에 형성되고 또한 상기 배선판에 고정된 플랜지를 구비하며, 상기 접속수단은, 상기 프로우브카드의 대향하는 양 끝단부에 형성된 커넥터부와, 상기 프로우브카드의 상기 커넥터부터 대응하는 상기 배선판상에 형성된 커넥트부를 구비하며, 상기 지지블록의 상기 양 커넥터부는, 서로 직교하는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 프로우브장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 푸셔가 상기 샤프트 걸어맞춤하는 강성이 높은 본체와, 상기 본체에 접합된 탄성재료로 된 탄성판을 구비하고, 상기 접촉면은 상기 탄성판에 의하여 형성되는 프로우브장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 푸셔와 상기 샤프트는, 각각 형성된 블록형상 구면과 이것을 수용하는 오목부와의 걸어맞춤을 통하여 접촉하는 프로우브장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 샤프트는 상기 얹어놓는면에 대하여 실질적으로 직각인 중심축을 갖도록 상기 접시스프링에 접속되고, 상기 접시스프링은 상기 얹어놓는면에 대하여 실질적으로 평행으로 배치되는 프로우브장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 샤프트는 나사기구를 통하여 상기 접시스프링에 지지되고, 상기 나사기구의 작용에 의하여 상기 샤프트가 그 축방향에 있어서 상기 접시스프링에 대하여 상대적으로 위치조정 가능한 프로우브 장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 샤프트에 접속되고 상기 프로우브카드의 주영역에 대하여 가하는 힘을 상기 푸셔의 접촉면에 부여하기 위한 다른 접시스프링을 또한 구비하고, 양 접시스프링은 실질적으로 평행으로 배치되는 프로우브장치.
  18. 제10항에 있어서, 상기 프로우브카드의 상기 주영역을 포위하도록, 상기 프로우브카드의 이면쪽에 접합된 높은 강성을 가진 프레임을 더욱 귀하고, 상기 프레임은, 이것에 포위된 상기 주영역을 포함하는 프로우브카드의 부분에 평면성을 부여하기 위한 평면을 구비하고, 상기 푸셔는 상기 프로우브카드의 상기 주영역을 상기 프레임의 상기 평면보다도 상기 얹어놓는면을 향해서 밀어내는 프로우브장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 지지블록은 상기 프레임의 상기 평면이 상기 재치면에 대하여 실질적으로 평행이 되도록, 상기 지지블록에 대하여 상기 프레임을 위치결정하기 위한 위치결정면을 구비하는 프로우브장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제2부착수단은, 상기 프레임을 상기 위치결정면에 붙이고 떼기 자유롭게 고정하는 부재를 구비하는 프로우브장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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